MEMS传声器的制作方法

文档序号:20081417发布日期:2020-03-10 10:43阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种mems传声器,其特征在于,包括:

基板;和

设置在所述基板上、将声音转换成电信号的第1转换部和第2转换部,

所述第1转换部具有:

贯通所述基板的第1贯通孔;

在所述基板的一个面侧覆盖所述第1贯通孔的第1膜片;和

在所述基板的所述一个面侧覆盖所述第1贯通孔,且隔着第1气隙与所述第1膜片面对面的第1背板,

所述第2转换部具有:

贯通所述基板的第2贯通孔;

在所述基板的所述一个面侧覆盖所述第2贯通孔的第2膜片;和

在所述基板的所述一个面侧覆盖所述第2贯通孔,且隔着第2气隙与所述第2膜片面对面的第2背板,

从所述基板的厚度方向看,所述第2膜片的面积为所述第1膜片的面积的1.21倍以上2.25倍以下。

2.如权利要求1所述的mems传声器,其特征在于:

所述第1膜片和所述第2膜片为圆形,所述第2膜片的直径为所述第1膜片的直径的1.1倍以上1.3倍以下。

3.如权利要求1或2所述的mems传声器,其特征在于:

从所述基板的厚度方向看,所述第1膜片、所述第1背板、所述第2膜片和所述第2背板为圆形,

所述第1膜片的直径相对于所述第1背板的直径的比例和所述第2膜片的直径相对于所述第2背板的直径的比例为0.95倍以上1.10倍以下。

4.如权利要求3所述的mems传声器,其特征在于:

从所述基板的厚度方向看,所述第1膜片的中心与所述第1背板的中心大致一致或者具有所述第1膜片和所述第1背板中直径小的一方的直径的5%以下的偏离。

5.如权利要求3或4所述的mems传声器,其特征在于:

从所述基板的厚度方向看,所述第2膜片的中心与所述第2背板的中心大致一致或者具有所述第2膜片和所述第2背板中直径小的一方的直径的5%以下的偏离。

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