1.一种mems传声器,其特征在于,包括:
基板;和
设置在所述基板上、将声音转换成电信号的第1转换部和第2转换部,
所述第1转换部具有:
贯通所述基板的第1贯通孔;
在所述基板的一个面侧覆盖所述第1贯通孔的第1膜片;和
在所述基板的所述一个面侧覆盖所述第1贯通孔,且隔着第1气隙与所述第1膜片面对面的第1背板,
所述第2转换部具有:
贯通所述基板的第2贯通孔;
在所述基板的所述一个面侧覆盖所述第2贯通孔的第2膜片;和
在所述基板的所述一个面侧覆盖所述第2贯通孔,且隔着第2气隙与所述第2膜片面对面的第2背板,
从所述基板的厚度方向看,所述第2膜片的面积为所述第1膜片的面积的1.21倍以上2.25倍以下。
2.如权利要求1所述的mems传声器,其特征在于:
所述第1膜片和所述第2膜片为圆形,所述第2膜片的直径为所述第1膜片的直径的1.1倍以上1.3倍以下。
3.如权利要求1或2所述的mems传声器,其特征在于:
从所述基板的厚度方向看,所述第1膜片、所述第1背板、所述第2膜片和所述第2背板为圆形,
所述第1膜片的直径相对于所述第1背板的直径的比例和所述第2膜片的直径相对于所述第2背板的直径的比例为0.95倍以上1.10倍以下。
4.如权利要求3所述的mems传声器,其特征在于:
从所述基板的厚度方向看,所述第1膜片的中心与所述第1背板的中心大致一致或者具有所述第1膜片和所述第1背板中直径小的一方的直径的5%以下的偏离。
5.如权利要求3或4所述的mems传声器,其特征在于:
从所述基板的厚度方向看,所述第2膜片的中心与所述第2背板的中心大致一致或者具有所述第2膜片和所述第2背板中直径小的一方的直径的5%以下的偏离。