MEMS麦克风的自动化测试上下料结构的制作方法

本实用新型涉及声学传感器测试技术领域，更为具体地，涉及一种mems麦克风的自动化测试上下料结构。

背景技术：

随着智能穿戴及智能家居等技术的日益成熟，语音识别的应用日益广泛。mems麦克风作为语音识别的核心部件，需求也不断增加。为了提高测试效率，目前对mems麦克风性能进行性能测试时，探针卡工装设备采用了内外圈排布的测试方式，即：将待测试的mems麦克风放置在探针卡工装上，待测试的mems麦克风呈内圈和外圈排布方式，在测试的时候同时对两圈的待测产品进行测试，从而提高了测试效率。

上述这种内外圈的排布方式虽然提高了测试效率，导致产品上料及下料时不能满足探针卡工装的内外圈排布方式的问题，因此，亟需本实用新型提供一种mems麦克风的自动化测试上下料结构。

技术实现要素：

鉴于上述问题，本实用新型的目的是提供一种mems麦克风的自动化测试上下料结构，以解决目前mems麦克风上料以及下料时不能满足探针卡工装的内外圈排布方式的问题。

本实用新型提供的mems麦克风的自动化测试上下料结构，包括旋转平台和吸料结构，其中，所述旋转平台包括旋转底座和对称分布设置在所述旋转底座上的两组料盘，其中，

所述两组料盘通过平台支架对称设置在所述旋转底座上，在所述料盘上设置有用于放置待测mems麦克风的若干个定位槽；

其中，所述两组料盘为两组外圈料盘和内圈料盘，所述平台支架由两个不同长度的固定轴组成，所述外圈料盘分别设置在所述平台支架的一个固定轴的两端，所述内圈料盘分别设置在所述平台支架另外一个固定轴的两端；

所述吸料结构包括吸料平移轴、吸料上下轴、吸头模组连接件以及设置在所述吸头模组连接件上的中转吸头模组，其中，在所述中转吸头模组上设置有两圈吸头，所述两圈吸头与所述内圈料盘和所述外圈料盘相适配；

其中，所述吸料平移轴移动带动所述中转吸头模组移动到所述料盘的上方，所述吸料上下轴带动所述吸头模组连接件及所述中转吸头模组下降吸取所述料盘中的待测mems麦克风。

此外，优选的结构是，还包括上料吸头，其中，

所述上料吸头用于将待测mems麦克风放置在所述料盘的定位槽内。

此外，优选的结构是，在所述旋转底座内部设置有马达，其中，

所述马达用于带动所述旋转底座旋转，并带动所述两组料盘围绕所述旋转底座旋转。

此外，优选的结构是，在每个料盘的下方均设置有一个带动料盘自转的电机，其中，

所述电机带动所述料盘旋转依次将所述待测mems麦克风放满在所述料盘内的定位槽内。

此外，优选的结构是，所述外圈料盘通过所述平台支架对称分布在所述旋转底座上，所述内圈料盘通过所述平台支架对称分布在所述旋转底座上；其中，

设置有所述内圈料盘的固定轴的半径大于设置有所述外圈料盘的固定轴的半径。

此外，优选的结构是，所述中转吸头模组的两圈吸头包括内圈吸头和外圈吸头，其中，

所述内圈吸头与所述内圈料盘相适配，所述外圈吸头与所述外圈料盘相适配。

此外，优选的结构是，所述内圈吸头的数量与所述内圈料盘的定位槽的数量相同，所述外圈吸头的数量与所述外圈料盘的定位槽的数量相同。

从上面的技术方案可知，本实用新型提供的mems麦克风的自动化测试上下料结构，通过采用两组内外圈料盘对称分布设置方式完成待测mems麦克风上下料，并且由两个不同长度的固定轴组成的平台支架实现内外圈料盘对称分布，这种设计结构进行自动化测试上下料，从而解决目前mems麦克风上料以及下料时不能满足探针卡工装的内外圈排布方式的问题，进一步提高产品测试效率。

附图说明

通过参考以下结合附图的说明及权利要求书的内容，并且随着对本实用新型的更全面理解，本实用新型的其它目的及结果将更加明白及易于理解。

在附图中：

图1为根据本实用新型实施例的mems麦克风的测试自动化上下料结构示意图；

图2为根据本实用新型实施例的旋转平台结构示意图；

图3为根据本实用新型实施例的中转吸头模组结构示意图。

其中的附图标记包括：1、吸料结构、2、旋转平台、3、上料吸头、11、吸料平移轴，12、吸料上下轴，13、吸头模组连接件，14、中转吸头模组，21、旋转底座，22、平台支架，23、第一外圈电机，26、第一外圈料盘，24、第二外圈料盘，29、第二外圈电机，25、第二内圈料盘，28、第二内圈电机，27、第一内圈料盘，20、第一内圈电机，142、内圈吸头，141、外圈吸头。

在所有附图中相同的标号指示相似或相应的特征或功能。

具体实施方式

针对前述提出的现有的mems麦克风上料以及下料时不能满足探针卡工装的内外圈排布方式的问题，本实用新型提供了一种mems麦克风的自动化测试上下料结构，从而解决上述问题，并提升mems麦克风性能测试效率。

以下将结合附图对本实用新型的具体实施例进行详细描述。

为了说明本实用新型提供的mems麦克风的测试自动化上下料结构的结构，图1至图3分别从不同角度对mems麦克风的测试自动化上下料结构的结构进行了示例性标示。具体地，图1示出了根据本实用新型实施例的mems麦克风的测试自动化上下料结构；图2示出了根据本实用新型实施例的旋转平台结构；图3示出了根据本实用新型实施例的中转吸头模组结构。

如图1、图2和图3共同所示，本实用新型提供的mems麦克风的自动化测试上下料结构，包括旋转平台2、吸料结构1和上料吸头3，其中，上料吸头3用于将待测mems麦克风放置在料盘的定位槽内；旋转平台2包括旋转底座21和对称分布设置在旋转底座21上的两组料盘。

其中，两组料盘通过平台支架22对称设置在旋转底座21上，在料盘上设置有用于放置待测mems麦克风的若干个定位槽；其中，两组料盘为两组外圈料盘和内圈料盘，并且，两组中的外圈料盘分别为完全相同的外圈料盘，分别为第一外圈料盘26和第二外圈料盘24，两组中的内圈料盘分别为完全相同的内圈料盘，分别为第一内圈料盘27和第二内圈料盘28。

在本实用新型的实施例中，在每个料盘的下方均设置有一个带动料盘自转的电机，其中，电机带动料盘旋转依次将待测mems麦克风放满在料盘内的定位槽内。即：在第一外圈料盘26下方设置第一外圈电机23，第一外圈电机23带动第一外圈料盘26旋转依次将待测试mems麦克风放满在第一外圈料盘26内的定位槽内；同理，在第二外圈料盘24下方设置第二外圈电机29，第二外圈电机29带动第二外圈料盘24自转，在第一内圈料盘27下方设置有第一内圈电机20，第一内圈电机20带动第一内圈料盘27自转，在第二内圈料盘25下方设置有第二内圈电机28，第二内圈电机28带动第二内圈料盘25自转。

平台支架22由两个不同长度的固定轴组成，外圈料盘分别设置在平台支架的一个固定轴的两端，内圈料盘分别设置在平台支架另外一个固定轴的两端；即：第一外圈料盘26和第二外圈料盘24别设置在平台支架22的一个固定轴的两端；第一内圈料盘27和第二内圈料盘28分别设置在平台支架另外一个固定轴的两端。

其中，设置有内圈料盘的固定轴的半径大于设置有外圈料盘的固定轴的半径，即：设置有第一内圈料盘27和第二内圈料盘28的固定轴的长度大于设置有第一外圈料盘26和第二外圈料盘24的固定轴的长度。

其中，在旋转底座21内部设置有马达，其中，马达用于带动旋转底座21旋转，并带动两组料盘围绕旋转底座旋转；即：马达带动旋转底座21旋转，同时并带动第一外圈料盘26、第二外圈料盘24、第一内圈料盘27和第二内圈料盘28共同运转。

其中，吸料结构1包括吸料平移轴11、吸料上下轴12、吸头模组连接件13以及设置在吸头模组连接件13上的中转吸头模组14，其中，在中转吸头模组14上设置有两圈吸头，两圈吸头与内圈料盘和外圈料盘相适配；两圈吸头包括内圈吸头142和外圈吸头141，内圈吸头142与内圈料盘相适配，外圈吸头141与外圈料盘相适配。

其中，内圈吸头142的数量与内圈料盘的定位槽的数量相同，外圈吸头141的数量与外圈料盘的定位槽的数量相同。即：内圈吸头142的数量与第一内圈料盘27、第二外圈料盘28的定位槽的数量相同，外圈吸头141的数量与第一外圈料盘26和第二外圈料盘24的定位槽的数量相同。

其中，吸料平移轴11移动带动中转吸头模组14移动到料盘的上方，吸料上下轴12带动吸头模组连接件13及中转吸头模组14下降吸取料盘中的待测mems麦克风。

在本实用新型的实施例中，通过中转吸头模组的平移完成内外圈料盘半径差的线性补偿，内外圈的产品在旋转平台2上分为两组对称排布的内圈料盘和外圈料盘，分别用来排布内圈产品和外圈产品，同时内圈料盘固定轴比外圈料盘固定轴伸长相应的半径差。

本实用新型提供的mems麦克风的自动化测试上下料结构具体的使用过程如下：

空的第二外圈料盘24旋转到上料位，上料吸头3放入待测mems麦克风，第二外圈料盘24依次旋转放入待测mems麦克风；

第二外圈料盘24的待测mems麦克风放满后第二内圈料盘25旋转到放料位，依次放入待测mems麦克风；

第二内圈料盘25放置完成后平台旋转，另一侧第一外圈料盘26旋转到放料位进行放料，同时中转吸头模组14下降吸取第一外圈料盘26中的待测mems麦克风；

中转吸头模组14上升后等待第一外圈料盘放料完成，旋转到第一内圈料盘27放料位，吸头平移后下降吸取第一内圈料盘27中的待测mems麦克风；

中转吸头模组14吸料完成后转移待测mems麦克风到测试工位。

具体地：在上料吸头3的位置为固定的放料位，上下料吸头3吸取待测mems麦克风后运输到放料位，旋转底座21内部的马达带动平台支架22旋转，从而使第二外圈料盘24旋转到放料位，第二外圈电机29带动第二外圈料盘24旋转对准放料位，上料吸头3将待测mems麦克风放入第二外圈料盘24的定位槽内。

第二外圈电机29带动第二外圈料盘24依次旋转放入待测mems麦克风，全放满后旋转底座21旋转，使第二内圈料盘25转到放料位区域，第二内圈电机28带动第二内圈料盘25依次旋转放入待测mems麦克风。在一组第二外圈料盘24及第二内圈料盘25放满待测mems麦克风后，马达带动旋转底座平台旋转，使放满料的第二外圈料盘24转到中转吸料模组14的下方，而取完料的第二外圈料盘24转入放料区域进行放料。

吸料平移轴11移动使中转吸头模组14移动到第二外圈料盘24正上方，吸料上下轴12带动吸头模组连接件13及中转吸头模组14下降吸取第二外圈料盘24中的待测mems麦克风。等待对侧第一外圈料盘26放满产品后，旋转底座旋转使第二内圈料盘25旋转到放料区域开始放料，对应的，放满产品的第二内圈料盘25此时旋转到中转吸头模组14下方，吸料平移轴11带动吸头模组移动到第二内圈料盘25正上方，吸料上下轴12带动中转吸头模组14下降吸取第二内圈料盘25的待测mems麦克风，对应吸头模组14内圈吸头142吸满待测mems麦克风。此时中转吸头模组14的内圈吸头142和外圈吸头141均吸满待测mems麦克风，吸料平移轴11带动吸头模组移动到测试位将内外圈的待测mems麦克风放入测试位。其中，下料过程与上料过程相反，动作流程相同。

在本实用新型的实施例中，两组料盘对称分布在旋转底座平台上，实现了一组料盘进行中转吸头吸放料的同时，另一组料盘进行上下料动作。

通过上述实施方式可以看出，本实用新型提供的mems麦克风的自动化测试上下料结构，通过采用两组内外圈料盘对称分布设置方式完成待测mems麦克风上下料，并且由两个不同长度的固定轴组成的平台支架实现内外圈料盘对称分布，这种设计结构进行自动化测试上下料，从而解决目前mems麦克风上料以及下料时不能满足探针卡工装的内外圈排布方式的问题，进一步提高产品测试效率。

如上参照附图以示例的方式描述了根据本实用新型提出的mems麦克风的自动化测试上下料结构。但是，本领域技术人员应当理解，对于上述本实用新型所提出的mems麦克风的自动化测试上下料结构，还可以在不脱离本实用新型内容的基础上做出各种改进。因此，本实用新型的保护范围应当由所附的权利要求书的内容确定。