图3可以得知，第三凹陷部104的面积小于第一凹陷部102的面积。因此，在由娃片上对微机电麦克风装I进彳丁裂片处理时，可有效减少向基板10的左右两侧拉扯的拉伸力(Expans1n force)，进而避免微机电麦克风装置I的微机电麦克风薄膜12产生受损、皱折及结构被破坏等情况，并提升微机电麦克风装置I的合格率。
[0053]为了使本领域技术人员能了解微机电麦克风装置I的各个元件间的距离关系，请参考图4，图4为本发明的微机电麦克风装置于示范元件间的距离关系的剖面示意图。如图4所示，微机电麦克风薄膜12与基板10之间具有第一距离D1，微机电麦克风薄膜12与阻挡块18之间具有第二距离D2，阻挡块18与背板层16之间具有第三距离D3，背板层16与钝化层20之间具有第四距离D4。其中，第一距离Dl在0.01至I微米之间，例如为0.05微米或0.1微米。第二距离D2在0.01至I微米之间，例如为0.5或0.8微米。第三距离D3在0.01至I微米之间，例如为0.5或0.8微米，第四距离D4在0.01至I微米之间，例如为0.3或0.5微米。背板层16的缝隙160的长度分别在I至5微米之间，例如为2.5或3微米。此外，微机电麦克风薄膜12与背板层16例如相距第五距离D5，而此第五距离在I至5微米之间，例如为2、2.18,2.5或3微米。微机电麦克风薄膜12的长度与宽度小于350微米。通过上述的配置，当微机电麦克风装置I以湿式蚀刻的方式形成各凹陷部及缝隙时，可有效防止微机电麦克风薄膜12与背板层16之间发生吸附效应(Stict1n Effect)，以及防止蚀刻液蚀刻掉不应该被蚀刻掉的氧化层14。
[0054]此外，当图4中的微机电麦克风薄膜12 (例如弹性部)受到声压时，会向上或向下振动一定程度的位移量。此时请参考图5，图5为本发明的微机电麦克风装置的于操作时的剖面示意图。如图5所示，若微机电麦克风薄膜12所受到的声压F大于微机电麦克风装置I所能承受的预设声压时，通过阻挡块18阻挡微机电麦克风薄膜12与背板层16的接触，以避免前述的接触而造成短路现象，使得微机电麦克风装置I损坏的情况产生。
[0055]综上所述，本发明所揭露的微机电麦克风装置，通过于微机电麦克风薄膜的弹性部上设置多个第一沟槽，且这些第一沟槽沿弹性部的周围依序排列。另外，还可进一步于弹性部上设置多个第二沟槽，第一沟槽将第二沟槽围绕于内，各第二沟槽分别相邻于各第一沟槽。如此一来，有效控制微机电麦克风薄膜的弹性系数，并确保微机电麦克风薄膜的坚固性，也可获得对声音变化的高灵敏性。
[0056]当然，本发明还可有其它多种实施例，在不背离本发明精神及其实质的情况下，熟悉本领域的技术人员当可根据本发明作出各种相应的改变和变形，但这些相应的改变和变形都应属于本发明所附的权利要求的保护范围。
【主权项】
1.一种微机电麦克风装置，其特征在于，包括: 一基板，具有一第一凹陷部； 一微机电麦克风薄膜，位于该基板上方，且覆盖该第一凹陷部并定义出一第一空腔，该微机电麦克风薄膜包括: 一弹性部，位于该微机电麦克风薄膜的中央位置，且被多个第一沟槽包围，该多个第一沟槽彼此分离地沿该弹性部的边缘排列，且该多个第一沟槽贯穿该弹性部的相对两面；以及 一结合部，位于该微机电麦克风薄膜的边缘位置，连接该弹性部；以及 一氧化层，具有一第二凹陷部，连接该微机电麦克风薄膜的该结合部，该第二凹陷部暴露出至少部分的该微机电麦克风薄膜。2.如权利要求1所述的微机电麦克风装置，其特征在于，该基板上具有至少一第三凹陷部，该第三凹陷部环绕该第一凹陷部。3.如权利要求2所述的微机电麦克风装置，其特征在于，还包含: 一背板层，具有多个缝隙，该背板层配置于该氧化层，透过该多个缝隙与该第二凹陷部暴露出部分的该微机电麦克风薄膜。4.如权利要求3所述的微机电麦克风装置，其特征在于，还包含: 至少一阻挡块，配置于该微机电麦克风薄膜与该背板层之间，而该阻挡块与该氧化层连接，且位于该第二凹陷部内。5.如权利要求4所述的微机电麦克风装置，其特征在于，还包含: 一钝化层，配置于该氧化层上，且该钝化层暴露出部分的该背板层。6.如权利要求5所述的微机电麦克风装置，其特征在于，该微机电麦克风薄膜与该基板之间具有一第一距离，该微机电麦克风薄膜与该阻挡块之间具有一第二距离，该阻挡块与该背板层之间具有一第三距离，该背板层与该钝化层之间具有一第四距离，该第一距离、该第二距离、该第三距离与该第四距离均在0.0l至0.1微米之间。7.如权利要求3所述的微机电麦克风装置，其特征在于，该背板层的该多个缝隙的长度分别为3微米。8.如权利要求3所述的微机电麦克风装置，其特征在于，该微机电麦克风薄膜与该背板层相距一第五距离，该第五距离在为I至3微米之间。9.如权利要求2所述的微机电麦克风装置，其特征在于，于平行该基板上下表面的一横切面上，该第三凹陷部的面积小于该第一凹陷部的面积。10.如权利要求1所述的微机电麦克风装置，其特征在于，该基板上具有多个第三凹陷部，该多个第三凹陷部彼此分离地沿该基板的边缘排列。11.如权利要求10所述的微机电麦克风装置，其特征在于，还包含: 一背板层，具有多个缝隙，该背板层配置于该氧化层，透过该多个缝隙与该第二凹陷部暴露出部分的该微机电麦克风薄膜。12.如权利要求11所述的微机电麦克风装置，其特征在于，还包含: 至少一阻挡块，配置于该微机电麦克风薄膜与该背板层之间，而该阻挡块与该氧化层连接，且位于该第二凹陷部内。13.如权利要求12所述的微机电麦克风装置，其特征在于，还包含: 一钝化层，配置于该氧化层上，且该钝化层暴露出部分的该背板层。14.如权利要求13所述的微机电麦克风装置，其特征在于，该微机电麦克风薄膜与该基板之间具有一第一距离，该微机电麦克风薄膜与该阻挡块之间具有一第二距离，该阻挡块与该背板层之间具有一第三距离，该背板层与该钝化层之间具有一第四距离，该第一距离、该第二距离、该第三距离与该第四距离皆在0.0l至I微米之间。15.如权利要求11所述的微机电麦克风装置，其特征在于，该背板层的该多个缝隙的长度分别在I至5微米之间。16.如权利要求11所述的微机电麦克风装置，其特征在于，该微机电麦克风薄膜与该背板层相距一第五距离，该第五距离在为I至5微米之间。17.如权利要求1所述的微机电麦克风装置，其特征在于，该微机电麦克风薄膜的厚度小于0.4微米。18.如权利要求1所述的微机电麦克风装置，其特征在于，该微机电麦克风薄膜的长度与宽度小于350微米。19.如权利要求1所述的微机电麦克风装置，其特征在于，该多个第一沟槽的宽度与该微机电麦克风薄膜的宽度比小于1:200。20.如权利要求1所述的微机电麦克风装置，其特征在于，该微机电麦克风薄膜的形状为圆形或方形。21.如权利要求1所述的微机电麦克风装置，其特征在于，该弹性部还具有多个第二沟槽与多个第三沟槽，该多个第一沟槽将该多个第二沟槽与该多个第三沟槽围绕于内，且该多个第二沟槽与该多个第三沟槽交错排列，各该第二沟槽分别相邻且平行于各该第一沟槽，各该第三沟槽分别位于相邻的两个该多个第二沟槽之间，且该多个第三沟槽两两对称而位于该弹性部的对角。22.如权利要求21所述的微机电麦克风装置，其特征在于，该多个第一沟槽、该多个第二沟槽及该多个第三沟槽的形状为直条状。
【专利摘要】一种微机电麦克风装置，包括基板、微机电麦克风薄膜与氧化层。基板具有第一凹陷部。微机电麦克风薄膜位于基板上方且覆盖第一凹陷部并定义出第一空腔，微机电麦克风薄膜包括弹性部与结合部。弹性部位于微机电麦克风薄膜的中央位置，且被多个第一沟槽包围，所述多个第一沟槽彼此分离地沿弹性部的边缘排列并贯穿弹性部的相对两面。结合部位于微机电麦克风薄膜的边缘位置，连接弹性部。氧化层具有第二凹陷部，连接微机电麦克风薄膜的结合部，第二凹陷部暴露出至少部分的微机电麦克风薄膜。
【IPC分类】H04R19/04
【公开号】CN104883651
【申请号】CN201510063342
【发明人】刘茂诚, 赵皓名, 周文介, 吕柏纬, 翁淑怡, 王竣傑
【申请人】先技股份有限公司
【公开日】2015年9月2日
【申请日】2015年2月6日
【公告号】US20150245146