专利名称：晶体生长炉的过渡室部件的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种半导体行业的晶体生长炉部件，采用这种部件可在压缩本部件的高度；充气系统固化在过渡室室体上。
背景技术：
目前已知的直拉法(切克劳斯基法)生长的晶体生长炉，需要在副室和提拉头之间用过渡室联结，在过渡室部件上设电刷结构以便给旋转的提拉头提供各种电源，同时还配有充气系统以向炉室充保护气体。已知的电刷结构均单独设置在两个支撑轴承之间，两轴承间的距离加大了部件高度。已知的充气系统均采用活动的充气环，但充气环位置及状态不易控制，且结构复杂。
本过渡室部件电刷装置配备在已有的过渡室中心轴两个轴承之间，不再设置专用的轴向尺寸，降低部件高度；充气系统固化在过渡室室体上，充气均匀，简单。
发明内容
为了克服现有的过渡室部件高度过大，充气状态不稳定的问题，本实用新型设计提供一种过渡室部件，该部件不仅压缩了部件高度，且充气状态易控制，充气均匀，简单。
本实用新型过渡室部件采用的技术方案是在已有的供提拉头旋转的用两个轴承支撑的过渡室中心轴上，轴向加工一个长槽，长槽通过与上轴承内环连接轴颈，在中心轴上安装的架在绝缘架上的铜环，其导线沿长槽通过上轴承内环引出，提供提拉头电源。
在过渡室室体上钻有充气孔及对称分布的环状进气孔，供均匀的向炉室内充惰性气体。
本实用新型的有益效果是与公知传统结构比较，节省了高度，固定的充气孔简单，充气均匀。
图1是本实用新型实施例剖面图图2是本实用新型实施例原理图图中T代表上接的提拉头 F代表下联的副室1中心轴 2过渡室壳体 3上轴承 4铜环 5绝缘套6绝缘隔套 7电源线8外接电源线 9电刷头 10支架 11下轴承 12进气口 13环状槽 14充气孔具体实施方式
见图1，图2中心轴1架设在过渡室壳体2上面的上轴承3与下轴承11之间。在中心轴上半部加工通槽一处，此槽通过上轴承内环配合面。导电用铜环4通过绝缘套5及绝缘隔套6装在中心轴上，铜环内侧有电源线7与其相联，并通过中心轴上的长槽引出到提拉头T上。电刷头9通过支架10固定在过渡室上并与铜环接触，固定的外接电源线8通过电刷头接触旋转的铜环向提拉头提供电源。
在过渡室上面设有进气12及环状槽13，槽的下方均匀配置充气孔14，可均匀对称地对炉室充惰性气体。
权利要求1.一种晶体生长炉的过渡室部件，其特征在于电刷铜环布置在已有的过渡室中心轴两个轴承之间，向旋转的提拉头提供电源，在过渡室壳体上，布置固定的充气口及环状对称的充气孔。
2.根据权利要求1所述的晶体生长炉的过渡室部件，其特征在于上述铜环通过绝缘套及绝缘隔套装在过渡室中心轴上，内侧电源线通过中心轴上长槽与提拉头连接。
3.根据权利要求1所述的晶体生长炉的过渡室部件，其特征在于上述充气孔均匀配置在环状槽的下方。
专利摘要本实用新型涉及一种晶体生长炉的过渡室部件，它利用过渡室中心轴固有的两个支撑轴承之间的空间，安装电刷及铜环，实现对旋转的提拉头提供电源，降低了高度；它在过渡室壳体上设计固定的充气口及对称环型分布的充气孔，充入惰性气体均匀对称，结构简单。
文档编号C30B35/00GK2890096SQ20052012946
公开日2007年4月18日 申请日期2005年10月21日 优先权日2005年10月21日
发明者李润源, 付一凡, 周世增 申请人:北京京仪世纪自动化设备有限公司