一种直拉晶体生长炉加热器的拆卸器具的制作方法

文档序号:8035784阅读:305来源:国知局
专利名称:一种直拉晶体生长炉加热器的拆卸器具的制作方法
技术领域
本实用新型涉及直拉晶体生长炉中的一种辅助工具,特别是涉及直拉晶体大生长 炉加热器的一种拆卸器具。
背景技术
加热器是晶体生长炉中核心器件,它采用高密度、高强度石墨制成,固定在下炉体 铜电极之上,下有保温层及下保温罩。硅晶体的生产工艺流程为拆炉清炉-装炉-抽空(充一定量的氩气,炉内压力 保持1000-2000Pa)-化料-稳定-晶体生长-停炉。因此,在每一炉生产时,需要在停炉以 后,等待生长炉冷却下来,然后从位于工作台下面,将固定在生长炉下部凹陷圆筒中的圆环 形加热器向上抬起,再向外移出进行清炉、装炉作业。随着技术进步和性能优良的保温材料广泛应用,热系统的保温性能越来越好, 晶体生长耗用的功率大幅下降,但炉子冷却需要的时间却越来越长(硅熔液结晶温度是 14200C,加热器温度不小于1500°C,化料时温度应还要高),为了提高生产效率,一般在加 热器和保温材料在耐氧化极限温度范围内,放气至大气压打开炉子(目前停炉7-8小时,炉 内温度约在400-350°C左右),由于热系统很好的保温效果,加热器即使在空气中冷却也需 要很长一段时间,现有技术,对热系统大清炉时,需要等其冷却至室温四个人方可抬出,温 度较高时取出,容易烫伤人及损坏热器件。取出加热器后,才可对其下的保温层及下保温罩 进行清理,需要一定的冷却时间。随着太阳能电池片生产成本的不断压缩,使得硅晶片尺寸的不断增大,以满足生 产需要。大尺寸硅晶片需要更大的直拉晶体生长炉来拉制,大生长炉需要更大的加热器提 供热量。加热件尺寸的增加,导致整个生长炉内温度冷却速度变慢,需要更长时间冷却,且 重量增加,这就需要更多的时间与人力去拆卸。时间的延长,人力拆卸的不安全性,导致生 产效率的减少。生产实践迫切需要一种拆卸工具,能方便快捷地将加热器从下部向上提升,然后 移出进行清理,减少拆卸过程中由于加热器冷却所需等待的时间,提高工作效率。
发明内容本实用新型的目的是提供一种直拉晶体生长炉中提供热量的加热器快速拆卸装 置,能方便、快捷、安全地拆卸生长炉内的加热器。本实用新型的目的由以下技术方案实现。一种直拉晶体生长炉加热器的拆卸器具,其特征在于,所述拆卸装置包括杆状结 构立柱和位于立柱下端,与立柱相垂直的托架组成;所述托架为,以立柱的下端为圆心,径向均勻伸出至少三根支撑板,沿着各支撑板 的长度方向,可移动地连接伸缩板。所述立柱上端连接吊环。所述伸缩板以螺栓和长孔结构与支撑板连接。[0012]所述伸缩板以长板插入长槽的结构与支撑板连接。所述伸缩板呈T字形,竖板与支撑板连接,横板插入加热器的下边。所述立柱的下端均勻伸出四根支撑板。在所述立柱与每根支撑板之间焊接加强斜杆。采用本装置是先将其吊环固定在升降机构上,如行车,拆除加热器的固定螺丝,拆 卸装置下降到加热器底部,把四块伸缩板调节伸至加热器下口,固定加热器及承受其重量, 缓慢上升升降机构,提升并吊至生长炉外进行冷却,清理下保温层及下保温罩。加热器装配 时同样进行如上操作。本实用新型的优点是①减少等待加热器的冷却时间,加热器需要冷却至常温才能取出,否则加热器过 热,拆卸时烫伤人体,搬动时损坏加热器。采用本装置,可快速取出加热器,如22寸加热器,每月每炉大清炉取出3次,每次 节约1小时,按100台单晶炉计算,每月可节约300小时,可多生产5炉硅晶体,大大提高了 晶体炉生产效率。②减少人为搬动时对热器件的损坏,加热器由多瓣开槽石墨组成,比较重且易碎, 价格昂贵,如22寸加热器重量约为50公斤,需3-4人方可抬出,搬运时受力不均勻,会对开 槽处造成损坏,减少其使用寿命,而且几个人同时操作,难免会掉下来,砸到人或损坏。采用本装置,受力均勻,不会对开槽处造成损坏,增加热器件的使用寿命,减少对 人体的砸伤及损坏。按普通操作,加热器使用寿命150炉,采用本装置,使用寿命可提高至 170炉,使用寿命增加10%以上,具有很显著的经济效益。③采用本装置,降低了操作者的工作强度,节省人力的同时减少对人员造成的伤害。④本实用新型改变了本领域技术人员的习惯思维,一般为了将圆筒环形的加热器 提起、外移,只会从加热器的上方、外侧采取措施,比如由多个夹具从上方夹住加热器的一 圈边缘,或者由多个勾子从外侧勾住加热器的外侧下边缘,但是实践证明是比较容易碰撞、 损坏加热器的。只有本实用新型从加热器的圆筒中央放下,再将伸缩板径向伸出、托底,可 以平稳、安全地上吊、外移。

图1为本实用新型直拉晶体生长炉加热器的拆卸器具的主视图;图2为本实用新型直拉晶体生长炉加热器的拆卸器具的俯视图;图3为本实用新型装置垂直放入加热器内的结构示意图;图4为本实用新型拆卸装置伸缩板向外伸出调节的结构示意图;图5为由本实用新型拆卸装置吊起加热器的结构示意图。图中,1是吊环、2是立柱、3是加强斜杆、4是支撑板、5是伸缩板、6是升降机构、7 是加热器、8是下保温罩。
具体实施方式
以下结合附图,对本实用新型作进一步说明。
4[0031]一种直拉晶体生长炉加热器的拆卸器具,所述拆卸装置包括杆状结构立柱2和位 于立柱2下端,与立柱2相垂直的托架组成;所述托架为,以立柱2的下端为圆心,径向均勻伸出至少三根支撑板4,沿着各支 撑板4的长度方向,可移动地连接伸缩板5 ;所述立柱2上端连接吊环1。所述伸缩板5以螺栓和长孔结构与支撑板4连接。此连接方式结构简单、可靠。所述伸缩板5以长板插入长槽的结构与支撑板4连接。使伸缩板5从支撑板4外 端径向开设的长槽中插入,任意从长槽中拔出长度,便可实现调节伸缩长度。所述伸缩板5呈T字形,竖板与支撑板4连接,横板插入加热器7的下边。如此结 构,既便于竖板与支撑板4的连接与调节,又有利于横板以较宽的接触面积托住加热器下 部,减小单位面积的压力,保护加热器7。所述立柱2的下端均勻伸出四根支撑板4。一般以四根支撑板4托住加热器7为 宜,既有适当的承受力,又较平稳,且调节、支撑结构也较简单。在所述立柱2与每根支撑板4之间焊接加强斜杆3。三角形的稳定性原理,增加焊 接加强斜杆3能加固整个立柱与托架的强度和刚性。本实用新型减少等待加热器的冷却时间,节省能量,大大提高了晶体炉生产效率。 减少人为搬动时对热器件的损坏,降低了操作者的工作强度,节省人力的同时减少对人员 造成的伤害。本实用新型改变了本领域技术人员的习惯思维,提供了一种独特的器具结构, 改变了至今人工拆装的局面。
权利要求一种直拉晶体生长炉加热器的拆卸器具,其特征在于,所述拆卸装置包括杆状结构立柱(2)和位于立柱(2)下端,与立柱(2)相垂直的托架组成;所述托架为,以立柱(2)的下端为圆心,径向均匀伸出至少三根支撑板(4),沿着各支撑板(4)的长度方向,可移动地连接伸缩板(5);所述立柱(2)上端连接吊环(1)。
2.根据权利要求1所述直拉晶体生长炉加热器的拆卸器具,其特征在于所述伸缩板 (5)以螺栓和长孔结构与支撑板(4)连接。
3.根据权利要求1所述直拉晶体生长炉加热器的拆卸器具,其特征在于所述伸缩板 (5)以长板插入长槽的结构与支撑板(4)连接。
4.根据权利要求1、2或3所述直拉晶体生长炉加热器的拆卸器具,其特征在于所述伸 缩板(5)呈T字形,竖板与支撑板(4)连接,横板插入加热器(7)的下边。
5.根据权利要求1所述直拉晶体生长炉加热器的拆卸器具,其特征在于所述立柱(2) 的下端均勻伸出四根支撑板(4)。
6.根据权利要求1所述直拉晶体生长炉加热器的拆卸器具,其特征在于在所述立柱 (2)与每根支撑板(4)之间焊接加强斜杆(3)。
专利摘要本实用新型涉及直拉晶体生长炉维护、维修中的一种辅助工具,特别是涉及直拉晶体大生长炉加热器的一种拆卸装置。一种直拉晶体生长炉加热器的拆卸器具,所述拆卸装置包括杆状结构立柱(2)和位于立柱(2)下端,与立柱(2)相垂直的托架组成;所述托架为,以立柱(2)的下端为圆心,径向均匀伸出至少三根支撑板(4),沿着各支撑板(4)的长度方向,可移动地连接伸缩板(5);所述立柱(2)上端连接吊环(1)。本实用新型减少等待加热器的冷却时间,节省能量,大大提高了晶体炉生产效率。减少人为搬动时对热器件的损坏,降低了操作者的工作强度,节省人力的同时减少对人员造成的伤害。本实用新型改变了本领域技术人员的习惯思维,提供了一种独特的器具结构,改变了至今人工拆装的局面。
文档编号C30B15/14GK201738034SQ201020500328
公开日2011年2月9日 申请日期2010年8月20日 优先权日2010年8月20日
发明者施承启, 李海波, 胡如权 申请人:上海卡姆丹克太阳能科技有限公司;卡姆丹克太阳能(江苏)有限公司
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