专利名称：长寿命离子源中隔热送气装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及离子源中隔热送气装置，尤其涉及离子注入机中长寿命离子源中隔热送气装置，属于半导体器件制造领域。
背景技术：
现有半导体集成电路制造技术中，要求离子注入机具有整机可靠性好、生产效率高、低尘粒污染等功能和特征，而离子注入机这些性能与离子源稳定性、束流指标及使用寿命密切相关。
在离子源常用的送气装置中，离子源送气管出口通常与弧室送气孔镶插直接连接，由于离子源工作时弧室温度很高，弧室采用的是耐高温和腐蚀的钼、钨等重金属材料，而送气管只能采用一般的不锈钢材料，不锈钢材料相对于钼、钨等重金属材料抗高温腐蚀作用大大减弱，因此离子源工作一段时间后不锈钢材料的送气管出口端就因高温蒸发和气体腐蚀作用而损耗，引起送气气体弧室外泄，这对离子源工作十分不利，引起离子源气体利用率低、源区真空低、电离效率低以及灯丝寿命短等一系列问题。
发明内容
为了解决上述存在的问题，本实用新型的目的是提供了一种在离子源工作时能够改善高温和气体对送气管产生腐蚀的一种长寿命离子源中隔热送气装置。
本实用新型的技术方案是这样实现的，一种长寿命离子源中隔热送气装置包括送气管、弹簧和放电弧室，还包括凸球面形隔热瓷柱和凹球面形隔热瓷柱，弹簧通过弹力使凸球面形隔热瓷柱的凸面与凹球面形隔热瓷柱的凹面相配合并使凹球面形隔热瓷柱与放电弧室连接，防止放电弧室对外泄气，凹球面形隔热瓷柱、凸球面形隔热瓷柱与弹簧依次包在送气管的外壁，送气管与弧室底板之间留有间隙。
所述的凸球面形隔热瓷柱和凹球面形隔热瓷柱均为瓷隔热材料，使不锈钢材料送气管温度相对于弧室大大降低。离子源技术中送气管的抗高温和气体腐蚀问题，增加两个瓷柱绝缘隔热体使送气管与弧室送气孔间接连接，而瓷隔热体与弧室间通过弹簧作用紧密结合，有效解决离子源高温工作时送气管的抗高温和气体腐蚀问题。
本实用新型具有如下显著优点1、送气管不与弧室直接连接，抗腐蚀损耗能力强；2、球面结构连接灵活稳定可靠，连接处漏气率小；
图1为长寿命离子源中隔热送气装置的剖面图。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细描述，但不作为对本实用新型的限定。
如图1所示，一种长寿命离子源中隔热送气装置，包括送气管1、弹簧2和弧室底板5，另外还包括凸球面形隔热瓷柱3、凹球面形隔热瓷柱4。其中送气管1将离子源工作所需气体通过送气管1进入放电弧室中，同时送气管1外套弹簧2；弹簧2为耐高温弹簧，通过弹力将凸球面形隔热瓷柱3、凹球面形隔热瓷柱4与弧室间紧密连接，防止弧室外泄气；凸球面形隔热瓷柱3一方面与送气管1外壁配合连接，另一方面与凹球面形隔热瓷柱4紧密结合连接；凹球面形隔热瓷柱4一方面与凸球面形隔热瓷柱3配合连接，另一方面通过弹簧2作用与弧室间紧密结合；凸球面形隔热瓷柱3和凹球面形隔热瓷柱4均为瓷隔热材料，使不锈钢材料送气管温度相对于弧室大大降低。
这样通过以上结构实现送气管1与弧室之间的热隔离，有效解决离子源高温工作时送气管的抗高温和气体腐蚀问题。
送气管1不与弧室送气孔直接相连，而是通过两个隔热瓷柱体使送气管1与弧室送气孔间接连接，而隔热瓷柱与弧室间通过弹簧2作用紧密结合，这样有效解决了离子源高温工作时送气管1的抗高温和气体腐蚀问题。
权利要求1.长寿命离子源中隔热送气装置包括送气管、弹簧和放电弧室，其特征在于还包括凸球面形隔热瓷柱和凹球面形隔热瓷柱，弹簧通过弹力使凸球面形隔热瓷柱的凸面与凹球面形隔热瓷柱的凹面相配合并使凹球面形隔热瓷柱与放电弧室连接，防止放电弧室对外泄气，凹球面形隔热瓷柱、凸球面形隔热瓷柱与弹簧依次包在送气管的外壁，送气管与弧室底板之间留有间隙。
专利摘要本实用新型公开了一种长寿命离子源中隔热送气装置包括送气管、弹簧和放电弧室，还包括凸球面形隔热瓷柱和凹球面形隔热瓷柱，弹簧通过弹力使凸球面形隔热瓷柱的凸面与凹球面形隔热瓷柱的凹面相配合并使凹球面形隔热瓷柱与放电弧室连接，防止放电弧室对外泄气，凹球面形隔热瓷柱、凸球面形隔热瓷柱与弹簧依次包在送气管的外壁，送气管与弧室底板之间留有间隙。本实用新型结构简单，实现了送气管与弧室之间的热隔离，有效的解决了离子源高温工作时送气管的抗高温和气体腐蚀问题。
文档编号C30B31/22GK2891270SQ20062000817
公开日2007年4月18日 申请日期2006年3月17日 优先权日2006年3月17日
发明者戴习毛, 龙会跃, 郭健辉 申请人:北京中科信电子装备有限公司