专利名称：涂布装置以及涂布方法
技术领域：
本发明涉及一种涂布装置以及涂布方法，尤其涉及一种从喷嘴向装载于载物台上的基板喷射有机EL材料等涂布液而进行涂布的涂布装置以及涂布方法。
背景技术：
一直以来，都在对将涂布液涂布于基板等被处理物体上的涂布装置进行各种开发。例如，在制造有机EL(Electro Luminescence电致发光)显示装置的装置中，采用这样的涂布装置在被装载于载物台上的玻璃基板等基板的主面上，通过喷嘴以给定的图案形状涂布空穴输送材料或有机EL材料。在该涂布装置中，从喷嘴以给定的压力喷出涂布液(有机EL材料或空穴输送材料)。具体而言，在涂布装置所具有的槽等供给源中贮存涂布液，利用泵对从供给源所供给的涂布液进行增压，并用被设置于配管内的过滤器除去异物之后，从喷嘴喷出。
一般地，众所周知，有机EL材料的品质会因氧化而恶化。因此，在向基板涂布有机EL材料时，必须防止该有机EL材料的氧化。例如，在JP特开2004-164873号公告(以下记为专利文献1)公开了为了防止这种有机EL材料品质恶化而在管理氧气浓度的同时进行制造的技术。专利文献1所公开的制造装置，在腔室(chamber)内配列涂布装置、干燥装置、热固化装置、基板层压装置等，使该腔室内成为氮气环境来进行制造。
但是，在上述专利文献1所公开的制造装置中，由于将多个装置设置在一个腔室内，所以腔室内的容积变大。也就是，为了使腔室内变为氮气环境，必须供给大量的氮气。另外，为了向上述腔室供给氮气来保持在所希望的氧气浓度，需要设置多个吸气/排气泵或闸门，从而装置本身会变复杂。因此，存在制造成本和装置成本变大的问题。另外，在使大空间变为氮气环境时，存在因人进入该空间而产生窒息等危险要素，从而也产生安全方面的课题。
发明内容
因此，本发明的目的在于提供防止涂布液氧化并提高装置效率的、对基板进行涂布的涂布装置以及涂布方法。
为了实现上述目的，本发明具有以下所述的特征。
第一方案是将涂布液涂布在基板上的涂布装置。涂布装置具有喷嘴、载物台、喷嘴移动机构、箱体、第一供给口、第一排气口、循环机构、以及第二供给口。喷嘴从其前端部喷出所述涂布液。载物台，在其上表面上装载基板。喷嘴移动机构，在载物台上的空间，在横贯该载物台面的方向上使喷嘴往复移动。箱体至少包围载物台而设置。第一供给口设置于箱体的一侧，向该箱体的内部空间供给给定的气体。第一排气口，其设置于箱体的另一侧，排出该箱体的内部空间内的气体。循环机构至少使从第一排气口排出的气体循环，而向箱体内部供给。第二供给口设置于箱体的一侧，向该箱体的内部空间供给从循环机构供给的气体。
第二方案为，在上述第一方案中，循环机构将从第一排气口排出的气体原样循环，并从第二供给口向箱体内部供给。
第三方案为，在上述第一方案中，循环机构包括氧气分离机构。氧气分离机构从气体中使氧气分离除去而将其从第二供给口向箱体内部供给，其中该气体是从第一排气口排出的气体。
第四方案为，在上述第一方案中，箱体包括第一箱体和第二箱体。第一箱体，其包围载物台而设置，隔开喷嘴移动机构所配置的空间和该载物台所配置的空间，在其上表面形成有使喷嘴的至少一部分从喷嘴移动机构侧突出而进行往复移动的开口部。第二箱体，其包围喷嘴移动机构而设置在第一箱体的上部。第一供给口设置于第一箱体的一侧。第二供给口设置于第一箱体的一侧。第一排气口设置于第一箱体的另一侧。涂布装置还具有第二排气口。第二排气口设置在第二箱体上，将该第二箱体的内部空间内的气体排出到外部。
第五方案为，在上述第四方案中，涂布装置还具有第三供给口。第三供给口设置在第二箱体上，向该第二箱体的内部空间供给给定的气体。
第六方案为，在上述第四方案中，循环机构使从第一排气口以及第二排气口排出的气体循环，并从第二供给口供给到第一箱体内部。
第七方案为，在上述第五方案中，涂布装置还具有第四供给口。第四供给口设置在第二箱体上，向该第二箱体的内部空间供给从循环机构供给的气体。
第八方案为，在上述第七方案中，循环机构使从第一排气口以及第二排气口排出的气体循环，并从第二供给口以及第四供给口分别向第一箱体以及第二箱体内部供给。
第九方案为，在上述第一方案中，箱体包括第一箱体以及第二箱体。第一箱体，其包围载物台而设置，隔开喷嘴移动机构所配置的空间和该载物台所配置的空间，在其上表面形成有喷嘴的至少一部分从喷嘴移动机构侧突出而进行往复移动的开口部。第二箱体，其包围喷嘴移动机构而设置在第一箱体的上部。第一供给口设置于第一箱体的一侧。第二供给口设置于第二箱体的一侧。第一排气口设置于第一箱体的另一侧。涂布装置还具有第二排气口。第二排气口设置在第二箱体上，将该第二箱体的内部空间内的气体排出到外部。
第十方案为，在上述第一方案中，该装置还具有氧气浓度检测装置。氧气浓度检测装置检测箱体内的给定空间中的氧气浓度。循环机构在氧气浓度检测装置检测出给定氧气浓度以下的氧气浓度时，使从第一排气口排出的气体循环而向箱体内部供给。
第十一方案是一种涂布方法，将从喷嘴喷出的涂布液涂布到在载物台上表面上装载的基板上，其中，该喷嘴在横贯该载物台面的上部的方向上被喷嘴移动机构支撑而进行往复移动。直到将至少包围载物台的箱体内的给定空间置换为给定的气体环境为止，从该箱体的一侧提供给定气体，并从该箱体的另一侧至少排出气体。在给定空间被置换为给定的气体环境时，在从箱体的一侧供给给定气体，并使从该箱体的另一侧排出的气体循环，从箱体的一侧的其他部位再次进行供给的状态下，在基板上涂布涂布液。
第十二方案为，在上述第十一方案中，在给定空间的氧气浓度到达给定氧气浓度后并高于该给定氧气浓度时，停止使气体循环的动作，在从箱体的一侧供给给定气体并从箱体的另一侧排出气体的状态下，在基板上涂布涂布液。
第十三方案为，在上述第十一方案中，箱体被隔成包围载物台的空间和包围喷嘴移动机构的空间。使从箱体的另一侧排出的气体循环而再次供给的气体向包围载物台的空间供给。
第十四方案为，在上述第十三方案中，使从箱体的另一侧排出的气体循环而再次供给的气体又供给到包围喷嘴移动机构的空间。
第十五方案为一种涂布方法，将从喷嘴喷出的涂布液涂布到在载物台上表面上装载的基板上，其中，该喷嘴在横贯该载物台面的上部的方向上被喷嘴移动机构支撑而进行往复移动。直到将至少包围载物台的箱体内的给定空间置换为给定的气体环境为止，从该箱体的一侧提供给定气体，并使从该箱体的另一侧排出的气体循环，而从该箱体一侧的其他部位再次进行供给。在给定空间被置换为给定的气体环境时，在从该箱体的一侧供给给定气体，并使从该箱体的另一侧排出的气体循环，而从箱体的一侧的其他部位再次进行供给的状态下，在基板上涂布涂布液。
第十六方案为，在上述第十五方案中，箱体被隔成包围载物台的空间和包围喷嘴移动机构的空间。使从箱体的另一侧排出的气体循环而再次供给的气体向包围喷嘴移动机构的空间供给。
第十七方案为，在上述第十一或者第十五方案中，分别调整向箱体内部供给给定气体的流量、从箱体内部排出气体的流量、以及使箱体内部的气体循环而再次供给的流量，而将箱体的内部压力维持在高于大气压的水平。
第十八方案为，在上述第十一或者第十五方案中，通过检测给定空间的氧气浓度值，而判定将给定空间置换成了给定的气体环境。
第十九方案为，在上述第十一或者第十五方案中，通过测量向箱体内部供给给定气体的时间，而判定将给定空间置换成了给定的气体环境。
根据上述第一方案，通过局部地供给给定的气体(例如氮气等惰性气体)，并在由该给定的气体而生成的给定的气体环境下涂布涂布液，从而能够防止涂布处理中的涂布液的氧化等。另外，由于再次利用被置换为给定的环境而排出的气体，所以能够抑制所供给的气体的消耗量。
根据上述第二方案，通过将被置换为给定的气体环境的气体原样再次供给，从而能够由泵等最小的设备构成循环机构。
根据上述第三方案，由于循环并再次供给的气体的氧气浓度进一步降低，所以使箱体内的低氧气浓度环境稳定。
根据上述第四方案，能够将设置有装载基板的载物台的第一箱体内部更有效地置换为给定的气体环境。
根据上述第五方案，通过使喷嘴往复移动而搅拌内部的第二箱体内部也被置换为给定的气体环境，因此能够防止因该搅拌而使第一箱体内部的环境变得不稳定。
根据上述第六方案，由于在循环机构动作时也再次利用并再次供给从第二箱体排出的气体，因此循环而再次利用的供给量变多，能够进一步抑制新供给的气体的消耗量。
根据上述第七方案，通过向第二箱体供给的气体也从循环机构供给，从而能够抑制新供给的气体的消耗量。
根据上述第八方案，在循环机构动作时也再次利用从第二箱体排出的气体，且向第二箱体供给的气体也从循环机构供给，从而循环而再次利用的供给量变多，能够进一步抑制新供给的气体的消耗量。
根据上述第九方案，由于第二箱体内部并不是直接对进行涂布处理的第一箱体内部环境进行影响的空间，所以通过向第二箱体内部供给循环机构循环的气体，从而能够总是供给该气体，能够抑制新供给的气体的消耗量。
根据上述第十方案，在箱体内部未达到给定氧气浓度以下的氧气浓度时，不进行来自循环机构的供给而优先供给给定的气体。因此，在利用给定的气体将箱体内部置换为低氧气浓度环境时，能够缩短到达给定氧气浓度以下的时间。
根据上述第十一方案，通过局部地供给给定的气体(例如氮气等惰性气体)，并在由该给定的气体而生成的给定的气体环境下涂布涂布液，从而能够防止涂布处理中的涂布液的氧化等。另外，由于在涂布处理时再次利用被置换为给定的环境的气体，所以能够抑制所供给的气体的消耗量。
根据上述第十二方案，能够根据氧气浓度的变化而选择适当的供给方法。
根据上述第十三方案，能够更有效地将设置有装载基板的载物台的空间置换为给定的气体环境。
根据上述第十四方案，通过使喷嘴往复移动而搅拌内部的空间也被置换为给定的气体环境，因此能够防止因该搅拌而使设置有载物台的空间的给定的气体环境变得不稳定。
根据上述第十五方案，通过局部地供给给定的气体(例如氮气等惰性气体)，并在由该给定的气体而生成的给定的气体环境下涂布涂布液，从而能够防止涂布处理中的涂布液的氧化等。另外，由于总是再次利用被置换为给定的气体环境的气体，所以能够抑制所供给的气体的消耗量。
根据上述第十六方案，由于包围喷嘴移动机构的空间并不是直接对进行涂布处理的空间的给定的气体环境进行影响的空间，所以通过将循环的气体供给到该空间而能够总是进行供给。
根据上述第十七方案，通过将箱体的内部压力维持在高于大气压的水平，从而箱体即使不是相对外部完全密封的结构，也能在稳定的给定的气体环境中进行涂布液的涂布。
根据上述第十八和第十九方案，通过直接地检测出氧气浓度值或者测量供给时间，能够对箱体内部的环境进行管理。
参照附图，从以下的详细说明中会进一步明确本发明的这些以及其它的目的、特征、方案、效果。
图1是表示本发明的一实施方式的涂布装置1的主要部分的概略结构的俯视图以及主视图，图2是表示图1的涂布装置1的控制功能以及供给部的框图，图3是表示被设置在图1的涂布装置1的局部环境生成机构的概略结构的俯视图，图4是表示被设置在图1的涂布装置1的局部环境生成机构的概略结构的侧剖视图，图5是表示第三箱体(box)63的外观的立体图，图6是表示氮气以及循环气体投入口的结构的剖面图，图7是表示扩散板731的结构的立体图，图8是用于说明在点(point)C的氧气浓度管理值的曲线图，图9是表示在局部环境生成结构中供给氮气的流程的框图，
图10是表示在本发明的第一实施方式的涂布装置1中的氮气流动流(flow)的示意图，图11是表示本发明的第一实施方式的涂布装置1进行涂布处理时的动作的前半段的流程图，图12是表示本发明的第一实施方式的涂布装置1进行涂布处理时的动作的后半段的流程图，图13是表示向腔室空间供给氮气以及循环气体、向滑动空间供给氮气的氮气流动流的第一变形例的示意图，图14是表示向腔室空间以及滑动空间分别供给氮气以及循环气体的氮气流动流的第二变形例的示意图，图15是对从腔室空间、滑动空间以及箱体空间排出的气体进行再利用的氮气流动流的第三变形例的示意图，图16是表示在本发明的第二实施方式的涂布装置1中的氮气流动流的示意图，图17是表示本发明的第二实施方式的涂布装置1进行涂布处理时的动作的流程图。
具体实施例方式
在说明本发明的具体的各实施方式之前，参照附图，对本发明的涂布装置的概要进行说明。为了具体地说明，以将该涂布装置用于使用有机EL材料或空穴输送材料等作为涂布液的、制造有机EL显示装置的涂布装置为例，来进行以下的说明。该涂布装置是在被装载于载物台上的玻璃基板上将有机EL材料或空穴输送材料等涂布成给定的图案形状，制造有机EL显示装置的涂布装置。图1是表示涂布装置1的主要部分概略结构的俯视图以及主视图。此外，如上所述，涂布装置1使用有机EL材料或空穴输送材料等多种涂布液，但是作为它们的代表，以有机EL材料为涂布液进行说明。
图1中，涂布装置1主要具有基板装载装置2和有机EL涂布机构5。有机EL涂布机构5具有喷嘴移动机构部51、喷嘴单元50和接液部53L以及53R。喷嘴移动机构部51在沿图示X轴方向上延伸设置有导向构件511，使喷嘴单元50沿导向构件511在图示X轴方向移动。喷嘴单元50在将喷出红、绿和蓝色的任一种颜色的有机EL材料的喷嘴52a～52c并列设置的状态下进行保持。分别从供给部(参照图2)向各喷嘴52a～52c供给红、绿和蓝色中任一种颜色的有机EL材料。这样，典型地，虽然从三根喷嘴52a～52c喷出相同颜色的有机EL材料，但是为了使说明具体，使用从三根喷嘴52a～52c喷出红色有机EL材料的例子。此外，涂布装置1，其周围和内部由第一～第三箱体61～63等隔开，其详细内容在后面叙述。
基板装载装置2具有载物台21、旋转部22、平行移动工作台23、接受导向部24、和导向构件25。载物台21将成为被涂布体的玻璃基板等的基板P装载在该载物台上表面。载物台21的下部通过旋转部22支承着，通过旋转部22的转动动作，可使载物台21在图示θ方向转动。此外，在载物台21的内部设置有加热机构、基板P的吸附机构、交接销机构，该加热机构用于在载物台面上对涂布了有机EL材料的基板P进行预加热处理。
以通过有机EL涂布机构5的下方的方式，导向构件25沿与上述X轴方向垂直的图示Y轴方向延伸设置并固定。在平行移动工作台23的下表面固定设置有与导向构件25抵接并在导向构件25上滑动的接受导向部24。此外，在平行移动工作台23的上表面，固定设置有旋转部22。由此，如平行移动工作台23接受来自直线电动机(未图示)的驱动力，从而可以在沿着导向构件25的图示Y轴方向移动，也可以移动由旋转部22支承的载物台21。
经由交接销机构而在载物台21上装载并吸附基板P，在平行移动工作台23移动到有机EL涂布机构5的下方时，该基板P处于从喷嘴52a～52c接受红色的有机EL材料的涂布的位置。并且，控制部(参照图2)，以使喷嘴单元50在X轴方向做往复移动的方式控制喷嘴移动机构部51，以使载物台21每次在Y轴方向直线移动仅移动给定的间距的方式控制平行移动工作台23，从喷嘴52a～52c喷出给定流量的有机EL材料。此外，在喷嘴52a～52c的X轴方向喷出位置，在从装载于载物台21上的基板P脱离的两边空间中，分别固定设置有接收偏离基板P被喷出的有机EL材料的接液部53L和53R。喷嘴移动机构部51使喷嘴单元50在从配置在基板P的一侧边缘外侧的接液部53的上部空间，和横贯基板P而配置在基板P的另一侧边缘外侧的接液部53的上部空间之间做往复移动。此外，平行移动工作台23，在喷嘴单元50被配置在接液部53的上部空间时，使载物台21在与喷嘴往复移动方向垂直的给定方向(图示Y轴方向)仅移动给定的间距。通过在这种喷嘴移动机构部51和平行移动工作台23动作的同时，从喷嘴52a～52c以液柱状态喷出有机EL材料，从而红色的有机EL材料被排列在形成于基板P上的条纹状的每个槽内，也就是在基板P上形成为条纹排列。
接着，参照图2，针对涂布装置1中的控制功能和供给部的概略结构进行说明。另外，图2是表示涂布装置1的控制功能和供给部的框图。
图2中，涂布装置1除上述的结构部以外，还具有控制部3、第一供给部54a、第二供给部54b、和第三供给部54c。第一～第三供给部54a～54c都经由配管分别向喷嘴52a～52c供给红色有机EL材料。此外，从供给源541a～541c至喷嘴52a～52c的各配管采用以PE(聚乙烯)、PP(聚丙烯)、特富龙(注册商标，即聚四氟乙烯)等为材料的管构件。
第一供给部54a具有有机EL材料的供给源541a、用于从供给源541a取出有机EL材料的泵542a、检测有机EL材料的流量的流量计543a。此外，第二供给部54b具有有机EL材料的供给源541b、用于从供给源541b取出有机EL材料的泵542b、检测有机EL材料的流量的流量计543b。第三供给部54c具有有机EL材料的供给源541c、用于从供给源541c取出有机EL材料的泵542c、检测有机EL材料的流量的流量计543c。并且，控制部3控制第一～第三供给部54a～54c、旋转部22、平行移动工作台23、和喷嘴移动机构部51的各个动作。
喷嘴52a具有用于除去从第一供给部54a供给的有机EL材料中的异物的过滤器部521a。喷嘴52b具有用于除去从第二供给部54b供给的有机EL材料中的异物的过滤器部521b。喷嘴52c具有用于除去从第三供给部54c供给的有机EL材料中的异物的过滤器部521c。此外，由于喷嘴52a～52c分别是相同的构造，在统称说明的情况下，标上附图标记“52”进行说明。
在此，在接受红色的有机EL材料的涂布的基板P的表面，以并列设置的方式形成有多条应涂布有机EL材料的、对应于给定图案形状的条纹状的槽。作为有机EL材料，可以使用例如具有粘性的有机性的EL材料，该粘性指能在基板P上的槽内扩展开那样的流动程度，具体来说，根据颜色可以使用该颜色的高分子类型的有机EL材料。喷嘴单元50以能够围绕给定的支承轴自由转动的方式被支承着，通过控制部3的控制，围绕该支承轴转动，从而可以调整涂布间距间隔。
控制部3基于装载于载物台21上的基板P的位置或方向，以使形成于基板P上的槽的方向为上述X轴方向的方式调整旋转部22的角度，计算出涂布开始点、即在形成于基板P上的槽的一个端部侧开始涂布的涂布开始位置。另外，上述涂布开始位置为一个接液部53的上部空间。并且，控制部3如上所述那样地驱动平行移动工作台23和喷嘴移动机构部51。
在上述涂布开始位置，控制部3指示各个泵542a～542c开始从各个喷嘴52a～52c喷出有机EL材料。此时，控制部3根据喷嘴52a～52c的移动速度控制其涂布量，并反馈来自流量计543a～543c的流量信息来进行控制，以便条纹状的槽的各个点的有机EL材料的涂布量变得均匀，以液柱状态喷出有机EL材料。并且，为了向基板P上的槽内注入有机EL材料，控制部3控制喷嘴单元50沿导向构件511移动，使得有机EL材料沿着基板P上的槽注入到此槽内。根据此动作，以液柱状态从各个喷嘴52a～52c喷出的红色的有机EL材料同时被注入到各自的槽中。
控制部3，当喷嘴单元50横穿基板P上而位于固定设置在槽的另一侧端部的外侧的另一个接液部53上时，保持从喷嘴52a～52c继续喷出有机EL材料的状态下，停止由喷嘴移动机构部51进行的喷嘴单元50的移动。通过这一次移动，完成向3列槽涂布有机EL材料的作业。具体地说，由于从各喷嘴52a～52c喷出同种颜色的有机EL材料，所以以1列的槽为涂布对象就可以向总计3列的槽涂布有机EL材料。
接着，控制部3，将平行移动工作台23沿Y轴正方向只进给给定距离(例如9列槽的量)的间距，接着，向成为涂布对象的槽涂布有机EL材料。并且，控制部3，从另一侧的接液部53的上部空间开始，使喷嘴单元50向相反方向横穿基板P上而位于一侧的接液部53上时，保持从喷嘴52a～52c持续喷出有机EL材料的状态，停止由喷嘴移动机构部51带来的喷嘴单元50的移动。通过这第二次的移动，完成向接下来3列槽涂布有机EL材料的作业。通过重复这样的动作，红色的有机EL材料被注入以红色为涂布对象的槽内。
接下来，参照图3～图9，针对被设置在涂布装置1的局部环境生成机构进行说明。图3是表示被设置在涂布装置1的局部环境生成机构的概略结构的俯视图。图4是表示被设置在涂布装置1的局部环境生成机构的概略结构的侧剖视图。图5是表示第三箱体63的外观的立体图。图6是表示氮气以及循环气体投入口的结构的剖视图。图7是表示扩散板731的结构的立体图。图8是用于说明在点C的氧气浓度管理值的曲线图。图9是表示在局部环境生成结构中供给氮气的流程的框图。
在图3～图5中，涂布装置1由第一箱体61、第二箱体62、以及第三箱体63分别从外部遮蔽起来。第一箱体61以包围基板装载装置2向图示Y轴方向进行往复移动的空间(以下记为腔室空间)从外部进行遮蔽的方式而被设置。另外，第一箱体61，除了喷嘴52向腔室空间突出而进行往复移动用的开口部S1，以隔开腔室空间和设置有有机EL涂布机构5的空间之间的方式而被设置。第三箱体63包括设置有有机EL涂布机构5的空间，包围喷嘴单元50等在图示X轴方向进行往复移动的空间(以下记为滑动(slider)空间)而被设置。此外，第三箱体63也形成有喷嘴52从滑动空间向腔室空间突出而进行往复移动用的开口部S1(参照图5)。另外，在第三箱体63的上表面形成有配管(未图示)通过用的开口部S2，该配管用于从第一～第三供给部54a～54c将有机EL材料分别供给到喷嘴52a～52c。在喷嘴单元50设置有静压轴承的情况下，用于向该静压轴承供给气体的配管也通过开口部S2连接。第二箱体62包围第一箱体61的上部空间而设置。在第二箱体62的内部设置有有机EL涂布机构5以及第三箱体63，在第二箱体62也形成有喷嘴52从滑动空间向腔室空间突出而进行往复移动用的开口部S1。此外，将由第二箱体62包围的空间内的、除了滑动空间的空间记为箱体(box)空间。这样，涂布装置1通过第一～第三箱体61～63被隔开而分别设置成腔室空间、滑动空间、以及箱体空间。此外，第一～第三箱体61～63都形成有上表面，但是，在图3中，为了容易理解与内部的关系，而省略上表面和下表面，用斜线或者交叉线区域仅表示侧壁。
在第一～第三箱体61～63，连接有用于向其内部空间供给氮气等惰性气体(以下仅记为氮气)和通过后述的循环机构9而进行循环移动的气体(以下记为循环气体)的供给管71、用于排出其内部空间的气体的排气管72。在图4的例子中，供给管71与第一箱体61的Y轴负方向侧的壁面(以下，将Y轴负方向侧的壁面记为前面)以及第三箱体63的前面相连接。另外，在图4的例子中，多个供给管71a～71c与第一箱体61的壁面相连接，供给管71d与第三箱体63的壁面相连接。此外，在图3中，省略供给管71d的图示。
另外，排气管72与第一箱体61的Y轴正方向侧的壁面(以下，将Y正方向侧的壁面记为背面)、第二箱体62的背面、以及第三箱体63的背面相连接。在图4的例子中，多个排气管72a以及72b与第一箱体61的壁面相连接，排气管72d与第二箱体62的壁面相连接，排气管72c与第三箱体63的壁面相连接。此外，在图3中，省略排气管72c的图示。
如图4所示，在连接了供给管71和排气管72的情况下，从供给管71a～71c所供给的氮气或循环气体供给到腔室空间，并从其背面的排气管72a以及72b流出。另外，从供给管71a～71c所供给的氮气或循环气体，通过开口部S1流入到滑动空间，而与从供给管71d所供给的氮气和循环气体汇合。然后，汇合的氮气或循环气体这样流动从滑动空间背面的排气管72c流出，或者通过开口部S2流入到箱体空间后，从排气管72d流出。为了使这种箱体空间内的气体流顺畅而在短时间内实现箱体内部的环境置换，在本实施例中，将箱体一侧(图4所示的右侧)作为供给侧，将箱体的另一侧(在图4所示的左侧)作为排出侧。
另外，在第一箱体61设置有用于进行基板P的搬入和搬出的投入口611。投入口611通过以旋转轴为中心进行转动(图示箭头方向)的闸门而可进行开闭。基板P在投入口611被开放的状态下，由搬送机械手(未图示)搬入到腔室空间内，并被装载于载物台21上。另外，在利用涂布装置1进行涂布处理时，关闭上述闸门而从外部遮蔽腔室空间。
在连接第一箱体61和供给管71a以及71b的附近以及连接第三箱体63和供给管71d的附近，设置有扩散部73，具体而言，扩散部73被设置在从供给管71a、71b以及71d流入到内部空间的入口附近的该内部空间侧。如图6和图7所示，扩散部73包括扩散板731和整流板(punching matel)732。扩散板731是被固定设置在阻碍氮气或循环气体从供给管71a、71b以及71d流入上述内部空间的位置的板状构件，在其周围形成有给定的间隙。从供给管71a、71b以及71d流入到上述内部空间的氮气或循环气体因扩散板731而被阻碍，不会直接流入到上述内部空间，而会改向扩散板731的周围流动。整流板732是冲孔加工有多个孔的板状构件，与扩散板731相对地被固定设置在上述内部空间侧。另外，整流板732被配置在从扩散板731的周围流动的氮气或循环气体的流动路径上。也就是，从供给管71a、71b以及71d供给的氮气或循环气体必定通过在整流板732形成的孔而流入到上述内部空间内。因此，通过扩散部73，能够使从供给管71a、71b以及71d所供给的氮气或循环气体扩散开而供给到第一～第三箱体61～63内。
另外，在投入口611附近连接有供给管71c。一般地，在投入口611附近，因基板P的搬入/搬出时的开闭，外部空气容易侵入，导致氧气浓度容易变高，但是通过向这样的地方供给氮气或循环气体，而能够使侵入的氧气扩散。此外，从供给管71c流入到内部空间的入口附近的流路被弯曲，在该入口附近没有设置扩散部。
在排气管72和第一～第三箱体61～63的连接部设置有整流板733。该整流板733被固定设置在排气管72的内部空间侧、并被配置在向排气管72流动的气体的流动路径上。也就是，向排气管72排出的气体必定通过在整流板733所形成的孔而被排出。这样，通过在排出口附近配置整流板733，而能够防止气体在排气的地方集中，从而均匀地排出整个内部空间的气体。
从供给管71向第一～第三箱体61～63内供给氮气或循环气体并从排气管72排出第一～第三箱体61～63内的气体，从而第一～第三箱体61～63内部变为氮气环境，内部的氧气浓度下降。由此，涂布装置1能够防止向基板P涂布有机EL材料时的氧化。在这里，为了防止有机EL材料的氧化，使整个腔室空间内的氧气浓度降低即可，但是最必须降低氧气浓度的空间是从喷嘴52喷出有机EL材料的空间和涂布后的基板P面依次向Y轴正方向侧输送的空间(在图4所示的点C)。例如，在将有机EL材料涂布在基板P上时的氧气浓度上限作为氧气浓度管理值(例如10ppm)时，至少在点C的氧气浓度必须满足氧气浓度管理值。此外，在第一箱体61内，设置有检测在上述点C的氧气浓度的氧气浓度检测部88。氧气浓度检测部88将点C的氧气浓度检测结果显示在未图示的显示装置上而向用户报告，或者将该检测结果输出到涂布装置的控制部(例如，控制部3(参照图2))。
为了在点C的氧气浓度满足氧气浓度管理值的状态下进行涂布处理，使在点C的氧气浓度降低到氧气浓度管理值以下后，必须开始涂布处理。因此，通过缩短搬入基板P之后在点C的氧气浓度降低至氧气浓度管理值以下的时间(图8所示的“到达时间”)，而能够使涂布装置1更有效地运转。另外，在涂布处理中，因为必须防止在点C的氧气浓度超过氧气浓度管理值(图8所示的“涂布处理时间”)，所以在涂布处理中也继续进行来自供给管71的氮气或循环气体的供给以及来自排气管72的气体的排出。在这里，通过使喷嘴单元50和喷嘴52在X轴方向往复移动，从而搅拌了滑动空间内的气体和开口部S1附近的气体。因此，例如在滑动空间内残存了氧气的情况下，会因搅拌而使该氧气流到点C，从而使点C的氧气浓度上升。也就是，对于在点C的氧气浓度的管理中，需要考虑涂布处理前以及涂布处理中的流体平衡。在后面所述的实施例中，通过将滑动空间内和箱体空间内也置换成低氧环境，或者不让从滑块空间内流出的气体流到上述点C侧，从而防止了在涂布处理中在上述点C的氧气浓度的上升。
另外，为了使在点C的氧气浓度稳定，第一～第三箱体61～63内的压力也很重要。例如，在第一～第三箱体61～63相对外部不是完全密闭结构的情况下，当第一～第三箱体61～63内的压力被维持在不到大气压力(也就是低于外部的压力)时，外部的气体流入第一～第三箱体61～63内。因此，在本实施方式中，调整涂布处理前和涂布处理中的流体平衡，以便能将第一～第三箱体61～63内的压力维持在大气压以上(也就是与外部相同或者高于外部的压力)。此外，设置有检测第一箱体61内的压力的压力检测部89。压力检测部89将第一箱体61内的压力值显示在未图示的显示装置上而向涂布装置的用户报告，或者将该压力值输出到涂布装置的控制部(例如，控制部3(参照图2))。因此，即使第一～第三箱体61～63相对外部不是完全密闭结构，也能够对在点C的氧气浓度进行管理。这样，第一～第三箱体61～63内，管理局部的环境成为可能，特别是使内部氧气浓度下降的管理成为可能。
在图9中，局部环境生成机构除了上述的结构部之外，还具有氮气瓶81、过滤器83、压力调整部84、供给侧的流量调整部85、排气侧的流量调整部86、吸引部87以及循环机构9，这些机构相互用配管等连接在一起。氮气瓶81、过滤器83、压力调整部84、以及流量调整部85相当于从供给管71供给氮气的供给系统。另一方面，流量调整部86和吸引部87相当于从排气管72排出气体的排气系统。另外，循环机构9相当于从排气管72将第一～第三箱体61～63内部的气体从一侧(背面侧)排出并返回到第一～第三箱体61～63的另一侧(前面侧)的循环系统。此外，构成供给系统和排气系统的机构可以内置在涂布装置1内，也可以作为涂布装置1的外部装置设置。在作为涂布装置1的外部装置设置的情况下，也可以使用预先被设置在设置部位的设备(例如，工厂的氮气供给装置或吸引装置)。
在氮气瓶81的内部贮藏有液态氮等。从氮气瓶81将氮以气体状态取出，作为工厂的动力供给并向过滤器83流动。过滤器83除去流动的氮气中的异物并将其输送到压力调整部84和流量调整部85。然后，通过压力调整部84调整向涂布装置1供给的氮气压力，并通过流量调整部85调整向涂布装置1供给的氮气流量之后，向供给管71供给氮气。另一方面，吸引部87从排气管72吸引气体，将第一～第三箱体61～63内的气体排出到外部。然后，通过流量调整部86调整从排气管72吸引气体并排出到外部的流量。用户通过调整在压力调整部84、流量调整部85、以及流量调整部86设置的流路的节流部件或设定值等，从而能够调整上述的涂布装置1的流体平衡。
循环机构9是再次利用置换了环境的第一～第三箱体61～63内的气体的机构，具有代表性的有两个结构例。循环机构9的第一例，单纯从排气管72将第一～第三箱体61～63内部的气体从背面侧排出，并将排出的气体原样返回到供给管71。此时，循环机构9由使气体从排气管72向供给管71流动的泵等构成，由该泵引起流动的气体成为上述循环气体。此外，在第一例的循环机构9上也可以根据需要设置对在循环流路内流动的循环气体的流量进行检测的流量计、或者对循环气体的压力进行检测的压力计。
循环机构9的第二例，从排气管72将第一～第三箱体61～63内的气体从背面侧排出，并从排出的气体去除氧气后供给到供给管71中。此时，循环机构9除了使气体从排气管72向供给管71流动的泵之外，还在循环流路中设置有具有使氧气分离到膜外的气体分离膜的膜模块、或通过压力摆动吸附(Pressure Swing Adsorption)方式吸附氧气的吸附槽等。通过上述膜模块或吸附槽从由泵引起流动的气体除去了氧气的气体成为上述循环气体。此外，在第二例的循环机构9中，也可以根据需要设置对在循环流路内流动的循环气体的流量进行检测的流量计、或对循环气体的压力进行检测的压力计。
(第一实施方式)下面，参照图10～图12，针对本发明的第一实施方式的涂布装置1进行说明。第一实施方式中，搬入基板P之后，在点C的氧气浓度下降到氧气浓度管理值以下后开始循环机构9的动作，使循环气体至少返回到腔室空间。图10是表示第一实施方式的涂布装置1中的氮气流动流的示意图。图11是表示涂布装置1进行涂布处理时的动作的前半段的流程图。图12是表示涂布装置1进行涂布处理时的动作的后半段的流程图。此外，在10中，为了便于说明，在涂布装置1中，简化图示，仅图示第一～第三箱体61～63、腔室空间、箱体空间、滑动空间以及循环机构9和各阀。
在图10中，在第一箱体61的前面连接有供给管71，经由多个供给管71而从氮气瓶81、循环机构9分别向腔室空间供给氮气、循环气体(图示箭头Ci以及Cri；设为氮气供给Ci以及循环供给Cri)。并且，在与第一箱体61连接而供给氮气的供给管71上设置有阀Vci。在与第一箱体61连接而供给循环气体的供给管71上设置有阀Vcri。例如，氮气供给Ci相当于图4所示的供给管71a，循环供给Cri相当于供给管71b。具体地说，由横向并排连接在一起的三根供给管71a和横向并排连接一起的三根供给管71b构成的、共计6根供给管71与第一箱体61的前面相连接。氮气供给Ci以及循环供给Cri分别从三根供给管71被供给到第一箱体61内。这些供给管71以参照图6说明的结构相同的连接方式相连接。此外，除了将氮气供给Ci供给到上述三根供给管71a之外，还可以将氮气供给Ci供给到供给管71c(参照图4)。
此外，在第一箱体61的背面连接有多个排气管72，通过多个排气管72将腔室空间内的气体排出到吸引部87(图示箭头Co；设为外部排出Co)。并且，在从腔室空间至吸引部87的排气管72上设置有阀Vco。另外，从第一箱体61和阀Vco之间的中途分支有其它排气管，分支的排气管经由阀Vcro与循环机构9相连接(设为循环排出Cro)。例如，外部排出Co以及循环排出Cro相当于图4所示的排气管72a和72b。例如，和与第一箱体61的前面相连接供给管71同样地，共计6根排气管72与第一箱体61的背面相连接。此外，关于与第一箱体61的背面相连接的多个排气管72，以与参照图4进行说明的结构同样的连接方式连接。另外，在第二箱体62的背面连接有设置了阀Vbo的排气管72，通过排气管72将箱体空间内的气体排出到吸引部87(图示箭头Bo；设为外部排出Bo)。另外，在第三箱体63的背面连接有设置了阀Vso的排气管72，通过排气管72将滑动空间内的气体排出到吸引部87(图示箭头So；设为外部排出So)。
接着，参照图10～图12，针对涂布装置1进行涂布处理时的动作进行说明。这些动作可以由涂布装置的控制部(例如，控制部3(参照图2))来进行，也可以由涂布装置的用户进行各动作，也可以按步骤由该控制部或者涂布装置的用户来进行。
首先，开放投入口611(步骤S51)。接着，由搬送机械手等从开放的投入口611搬入基板P，并将基板P装载于载物台21上(步骤S52)。然后，关闭投入口611(步骤S53)，从而腔室空间成为与外部隔断了的空间。
接着，打开阀Vci、Vco、Vbo、以及Vso，并关闭阀Vcri以及Vcro(步骤S54)。然后，开始从供给管71向第一～第三箱体61～63内供给氮气，并开始向排气管72排出第一～第三箱体61～63内的气体(步骤S55)。此时，循环机构9不进行动作，向第一～第三箱体61～63内的氮气的供给量以及从第一～第三箱体61～63内排出的气体的排出量被调整到既定值。然后，基于由氧气浓度检测部88检测的氧气浓度检测结果，等待第一～第三箱体61～63内(例如点C)的氧气浓度到达氧气浓度管理值以下(步骤S56)。
在这里，在步骤S55中从氮气供给Ci供给的氮气流入到腔室空间后，从处于第一箱体61的背面的外部排出Co被排出。另外，从氮气供给Ci供给的氮气流入到腔室空间后，从开口部S1向滑动空间流入。并且，流入到滑动空间内的氮气从外部排出So被排出，或者从开口部S2流入到箱体空间，然后从外部排出Bo被排出。然后，通过调整从氮气供给Ci供给的供给量、和从外部排出Co、So、以及Bo排出的排出量，将第一～第三箱体61～63内的压力维持在大气压以上(将该供给量和排出量记为给定量)。因此，在打开了阀Vci、Vco、Vbo、以及Vso的状态下，形成有从腔室空间一侧的多处供给的氮气向腔室空间另一侧的多处泄露的气流和、通过开口部S 1向滑动空间泄露的气流。这样，在打开了阀Vci、Vco、Vbo、以及Vso的状态下，由于一边通过多个供气管向腔室空间供给氮气一边直接从多个排气管排出腔室空间内的气体，所以向腔室空间内流入或从腔室空间被排出的气体量变多，在腔室空间内气体被置换成氮气环境的速度加快。也就是，由于在图4所示的点C的氧气浓度的下降也快速地被进行，所以能够缩短图8所示的到达时间。
并且，在第一～第三箱体61～63内的氧气浓度到达氧气浓度管理值以下时(在步骤S56为“是”)，打开阀Vcri以及Vcro，并关闭阀Vco(阀Vci、Vbo、以及Vso持续打开状态)(步骤S57)。此时，在涂布装置1的控制部取得了来自氧气浓度检测部88的氧气浓度的检测结果的情况下，该控制部可以使用该检测结果来判断点C的氧气浓度是否在氧气浓度管理值以下。并且，在控制部判断在氧气浓度管理值以下的情况下，打开阀Vcri以及Vcro，并关闭阀Vco。另一方面，在氧气浓度检测部88将氧气浓度的检测结果显示在显示装置而向涂布装置的用户报告的情况下，被报告的用户打开阀Vcri以及Vcro，并关闭阀Vco。这样，到达氧气浓度管理值的判定以及阀的开闭的工作既可以通过涂布装置的控制部自动地进行，也可以由该涂布装置的用户来进行。
接着，开始循环机构9使循环气体流动的动作(步骤S58)。并且，调整向涂布装置1供给的气体流量和从涂布装置1排出的气体的流量(步骤S61)，将第一～第三箱体61～63内(特别是第一箱体61内)的压力维持在内部压力管理值范围(步骤S62)。在这里，内部压力管理值是用于将第一～第三箱体61～63内的压力维持在大气压以上而调整流量平衡的压力范围，设定在大气压以上的给定范围。
在这里，在步骤S58中开始了循环机构9的动作时，从氮气供给Ci供给的氮气以及从循环供给Cri供给的循环气体流入到腔室空间而汇流。并且，流入到腔室空间的氮气和循环气体从循环排出Cro被排到循环机构9、或者从开口部S1流入到滑动空间。流入到滑动空间的氮气和循环气体从外部排出So被排出、或者从开口部S2流入箱体空间后从外部排出Bo被排出。然后，通过调整从氮气供给Ci以及循环供给Cri供给的供给量、从循环排出Cro排出的排出量、和从外部排出So以及Bo排出的排出量，将第一～第三箱体61～63内的压力维持在大气压以上。从该气体的流动可知，循环气体是在第一～第三箱体61～63内的氧气浓度到达氧气浓度管理值以下后从其内部排出的气体。因此，循环气体自身的氧气浓度也在氧气浓度管理值以下。
与上述的步骤S55的状态比较，由于向第一箱体61供给的气体仅增加从循环供给Cri供给的供给量，所以为了使第一～第三箱体61～63内的压力为与步骤S55同样的压力，需要调整来自氮气供给Ci的流量和向外部排出So和Bo的流量。如上所述，在本实施例中，以第一～第三箱体61～63内的压力能够维持在大气压以上的方式调整流体平衡。例如，通过使来自氮气供给Ci的供给量仅减少增加的、来自循环供给Cri的供给量，从而能够调整第一～第三箱体61～63内的流量平衡。此时，能够将从氮气瓶81向涂布装置1供给的氮气的供给量仅减少从循环供给Cri供给的循环气体的供给量。这样，通过再次利用氧气浓度成为氧气浓度管理值以下并被排到外部的气体，从而能够降低新供给的氮气的供给量。另外，由于从循环供给Cri供给的循环气体是即使循环机构9由上述第一例构成也保持氧气浓度管理值以下的气体，所以在图8所示的涂布处理时间中的氧气浓度不会上升。另外，在循环机构9由上述第二例构成的情况下，从循环供给Cri供给的循环气体的氧气浓度进一步稳定，所以能够进一步稳定涂布处理时间中的氧气浓度。
接着，在第一～第三箱体61～63内的压力维持在内部压力管理值范围内(在步骤S62为“是”)，并且第一～第三箱体61～63内的氧气浓度在氧气浓度管理值以下时(在步骤S63为“是”)时，对基板P进行涂布处理(步骤S64)。然后，反复上述步骤S62～S64的动作，直到涂布处理结束(在步骤S65中为“是”)。另一方面，在第一～第三箱体61～63内的压力在内部压力管理值范围外时(在步骤S62为“否”)，反复步骤S61的流量调整。
另一方面，在第一～第三箱体61～63内的氧气浓度不满足氧气浓度管理值时(在步骤S63为“否”)，停止循环机构9使循环气体流动的动作(步骤S71)。然后，打开阀Vci、Vco、Vbo、以及Vso并关闭阀Vcri以及Vcro(步骤S54)，再次进行流量调整使其为上述给定量(步骤S73)，返回到上述步骤S56反复进行动作。也就是，在对基板P的涂布处理中，在氧气浓度超过了氧气浓度管理值的情况下，中断循环动作而变更为仅供给来自氮气瓶81的氮气。
接着，在对基板P的涂布处理结束时(在步骤S65为“是”)，停止从供给管71供给氮气，并停止向排气管72排出气体(步骤S66)。并且，停止循环机构9使循环气体流动的动作(步骤S67)。
接着，打开投入口611(步骤S68)，并由搬送机械手等从开放的投入口611搬出装载在载物台21上的涂布处理后的基板P(步骤S69)。并且，在继续涂布处理的情况下(步骤S70为“是”)，回到上述步骤S52而反复进行动作。另一方面，在结束涂布处理的情况下(在步骤S70为“否”)，结束该流程图的动作。
此外，在上述的动作中，说明了如下的方式在对基板P的涂布处理中，在氧气浓度超过了氧气浓度管理值的情况下，中断循环动作，而变更为仅从氮气瓶81供给氮气，但是，也可以不管理对基板P进行涂布处理中的氧气浓度。例如，在循环机构9由上述第二例构成的情况下，由于成为从循环供给Cri供给的氧气浓度进一步稳定了的循环气体，所以涂布处理中仅进行内部压力管理就足够了。此时，进行相应于压力变化的流量调整(步骤S61)，但是，在涂布处理中总是继续循环动作，而不进行切换为仅供给氮气的动作。
这样，第一实施方式的涂布装置向涂布空间局部地供给氮气，通过在低氧气环境中进行涂布液的涂布，而防止在涂布处理中的涂布液的氧化，其中，涂布空间包括喷嘴喷出涂布液的空间以及输送涂布了涂布液的基板(涂布部位)的空间。此时，通过使局部供给而被排出的氮气再次循环而供给，从而能够减少为了置换成低氧气环境并维持该环境而所需要的氮气的总量。
此外，在使用图10进行说明的实施例中，仅向腔室空间直接供给氮气以及循环气体，但是也可以直接向其他空间供给氮气和循环气体。下面，使用图13和图14来说明向滑动空间直接供给氮气和循环气体的变形例。此外，图13是表示向腔室空间供给氮气和循环气体、并向滑动空间供给氮气的氮气流动流的第一变形例的示意图。图14是表示向腔室空间以及滑动空间分别供给氮气以及循环气体的氮气流动流的第二变形例的示意图。此外，在图13和图14中，为了简化说明，对涂布装置1，简化图示，仅图示第一～第三箱体61～63、腔室空间、箱体空间、滑动空间以及循环机构9和各阀。
在图13中，在第一变形例中，与图10的实施例相同，经由与第一箱体61的前面相连接的多个供给管71，从氮气瓶81向腔室空间供给氮气，并从循环机构9向腔室空间供给循环气体(氮气供给Ci以及循环供给Cri)。并且，在氮气供给Ci的供给管71上设置有阀Vci，而在循环供给Cri的供给管71上设置有阀Vcri。进而供给管71与第三箱体63的前面连接，经由供给管71从氮气瓶81向滑动空间供给氮气(图示箭头Si；设为氮气供给Si)。并且，在氮气供给Si的供给管71上设置有阀Vsi。例如，氮气供给Si相当于图4所示的供给管71d。
此外，腔室空间内的气体经由与第一箱体61的背面连接的多个排气管72排出到吸引部87(外部排出Co)。并且，在外部排出Co的排气管72上设置有阀Vco。另外，从第一箱体61和阀Vco之间的中途分支有排气管，分支的排气管经由阀Vcro与循环机构9相连接(循环排出Cro)。另外，在第二箱体62的背面连接有设置了阀Vbo的排气管72，通过排气管72向吸引部87排出箱体空间内的气体(外部排出Bo)。另外，在第三箱体63的背面上连接有设置了阀Vso的排气管72，通过排气管72向吸引部87排出滑动空间内的气体(外部排出So)。
接着，针对图13所示的第一变形例的涂布装置1进行涂布处理时的动作进行说明。图13所示的涂布装置1的动作和使用图11以及图12说明的动作相同，仅是与氮气供给Si以及阀Vsi相关的动作不同。
具体地说，搬入基板P之后直到点C的氧气浓度下降到氧气浓度管理值以下，在上述步骤S54中，打开阀Vci、Vsi、Vco、Vbo、以及Vso，并关闭阀Vcri以及Vcro。然后，从供给管71向第一～第三箱体61～63内供给氮气，并从排气管72排出第一～第三箱体61～63内的气体，等待第一～第三箱体61～63内的氧气浓度到达氧气浓度管理值以下。
在该状态从氮气供给Ci供给的氮气流入到腔室空间后，从处于第一箱体61的背面的外部排出Co排出。另外，从氮气供给Ci供给的氮气流入到腔室空间后，从开口部S1流入滑动空间，与从氮气供给Si供给的氮气汇流。并且，在滑动空间内汇流的氮气从外部排出So排出，或者从开口部S2流入到箱体空间后从外部排出Bo排出。然后，通过调整从氮气供给Ci以及Si供给的供给量、以及从外部排出Co、So以及Bo排出的排出量，将第一～第三箱体61～63内的压力维持在大气压以上。
并且，当第一～第三箱体61～63内的氧气浓度到达氧气浓度管理值以下时，在上述步骤S57中打开阀Vcri以及Vcro，并关闭阀Vco(阀Vci、Vsi、Vbo、以及Vso持续打开状态)，开始循环机构9使循环气体流动的动作。
在该状态从氮气供给Ci供给的氮气以及从循环供给Cri供给的循环气体流入到腔室空间后，从循环排出Cro排出到循环机构9，或者从开口部S1流入到滑动空间。流入到滑动空间的氮气以及循环气体，与从氮气供给Si供给的氮气汇流。并且，在滑动空间汇流的气体从外部排出So排出，或者从开口部S2流入到箱体空间，并从外部排出Bo排出。并且，通过调整从氮气供给Ci以及Si供给的供给量、从循环供给Cri供给的供给量、从循环排出Cro排出的排出量、从外部排出So以及Bo排出的排出量，将第一～第三箱体61～63内的压力维持在大气压以上。
在图14中，在第二变形例中，与图10的实施例相同，经由与第一箱体61的前面相连接的多个供给管71，从氮气瓶81向腔室空间供给氮气，从循环机构9向腔室空间供给循环气体(氮气供给Ci以及循环供给Cri)。并且，在氮气供给Ci的供给管71上设置有阀Vci，而在循环供给Cri的供给管71上设置有阀Vcri。另外，供给管71与第三箱体63的前面连接，经由供给管71从氮气瓶81向滑动空间供给氮气(氮气供给Si)。并且，在氮气供给Si的供给管71上设置有阀Vsi。进而，从循环机构9和阀Vcri之间的中途分支有供给管，分支的供给管经由阀Vsri而与第三箱体63的前面连接(图示箭头Sri；设为循环供给Sri)。
另外，腔室空间内的气体经由与第一箱体61的背面连接的多个排气管72排出到吸引部87(外部排出Co)。并且，在外部排出Co的排气管72上设置有阀Vco。另外，从第一箱体61和阀Vco之间的中途分支有排气管，分支的排气管经由阀Vcro与循环机构9相连接(循环排出Cro)。另外，在第二箱体62的背面连接有设置了阀Vbo的排气管72，通过排气管72向吸引部87排出箱体空间内的气体(外部排出Bo)。另外，在第三箱体63的背面上连接有设置了阀Vso的排气管72，通过排气管72向吸引部87排出滑动空间内的气体(外部排出So)。
接着，针对图14所示的第二变形例的涂布装置1进行涂布处理时的动作进行说明。图14所示的涂布装置1的动作和使用图11以及图12说明的动作相同，仅是与氮气供给Si、循环供给Sri、阀Vsi以及阀Vsri相关的动作不同。
具体地说，搬入基板P之后直到点C的氧气浓度下降到氧气浓度管理值以下，在上述步骤S54中，打开阀Vci、Vsi、Vco、Vbo、以及Vso，并关闭阀Vcri、Vsri以及Vcro。然后，从供给管71向第一～第三箱体61～63内供给氮气，并从排气管72排出第一～第三箱体61～63内的气体，等待第一～第三箱体61～63内的氧气浓度到达氧气浓度管理值以下。此外，由于该状态中的氮气流动流和上述的第一变形例同样，故省略详细的说明。
并且，当第一～第三箱体61～63内的氧气浓度到达氧气浓度管理值以下时，在上述步骤S57中打开阀Vcri、Vsri以及Vcro，并关闭阀Vco(阀Vci、Vsi、Vbo、以及Vso持续打开状态)，开始循环机构9使循环气体流动的动作。
在该状态从氮气供给Ci供给的氮气以及从循环供给Cri供给的循环气体流入到腔室空间后，从循环排出Cro排出到循环机构9，或者从开口部S1流入到滑动空间。流入到滑动空间的氮气以及循环气体，与从氮气供给Si供给的氮气和从循环供给Cri供给的循环气体汇流。并且，在滑动空间汇流的气体从外部排出So排出，或者从开口部S2流入到箱体空间后从外部排出Bo排出。并且，通过调整从氮气供给Ci以及Si供给的供给量、从循环供给Cri以及Sri供给的供给量、从循环排出Cro排出的排出量、从外部排出So以及Bo排出的排出量，将第一～第三箱体61～63内的压力维持在大气压以上。
此外，在第二变形例中，与上述的实施例相同，能够使来自氮气供给Ci的供给量减少增加的、来自循环供给Cri的供给量。进而，当与第一变形例进行比较时，在第二变形例中，还能够使来自氮气供给Si的供给量减少增加的、来自循环供给Sri的供给量。例如，也能够使来自氮气供给Si的供给量为0，此时，在第一～第三箱体61～63内的氧气浓度到达氧气浓度管理值以下时，关闭阀Vsi即可。
另外，在使用图10、图13、图14说明的实施例中，循环机构9仅再次利用从腔室空间排出的气体，但是也可以再次利用从其它空间排出的气体。下面，使用图15对再次利用从腔室空间、滑动空间、以及箱体空间排出的气体的变形例进行说明。此外，图15是对从腔室空间、滑动空间以及箱体空间排出的气体进行再利用的氮气流动流的第三变形例的示意图。另外，在图15中，为了简化说明，对涂布装置1，简化图示，仅图示第一～第三箱体61～63、腔室空间、箱体空间、滑动空间以及循环机构9和各阀。
在图15中，在第三变形例，与图1 4的第二变形例相同，经由与第一箱体61的前面相连接的多个供给管71，从氮气瓶81向腔室空间供给氮气，从循环机构9向腔室空间供给循环气体(氮气供给Ci以及循环供给Cri)。并且，在氮气供给Ci的供给管71上设置有阀Vci，而在循环供给Cri的供给管71上设置有阀Vcri。另外，供给管71与第三箱体63的前面连接，经由供给管71从氮气瓶81向滑动空间供给氮气(氮气供给Si)。并且，在氮气供给Si的供给管71上设置有阀Vsi。进而，在循环机构9和阀Vcri之间的中途分支有供给管，分支的供给管经由阀Vsri而与第三箱体63的前面连接(循环供给Sri)。
另外，在第一箱体61的背面、第二箱体62的背面、以及第三箱体63的背面分别连接有排气管72，排气管72汇流而分别将第一～第三箱体61～63内的气体排出到吸引部87(图示箭头Ao；设为外部排出Ao)。并且，在排气管72汇流而排出到吸引部87的中途设置有阀Vao。另外，从排气管72汇流直至阀Varo的中途分支有其他排气管，分支的排气管经由阀Varo而与循环机构9相连接(设为循环排出Aro)。例如，外部排出Ao以及循环排出Aro相当于图4所示的排气管72a～72d。
接着，针对图15所示的第三变形例的涂布装置1进行涂布处理时的动作进行说明。图15所示的涂布装置1的动作和使用图11以及图12说明的动作相同，仅是与氮气供给Si、循环供给Sri、外部排出Ao、阀Vsi、阀Vsri以及阀Vao、Varo相关的动作不同。
具体地说，搬入基板P之后直到点C的氧气浓度下降到氧气浓度管理值以下，在上述步骤S54中，打开阀Vci、Vsi、以及Vao，并关闭阀Vcri、Vsri以及Varo。然后，从供给管71向第一～第三箱体61～63内供给氮气，并从排气管72排出第一～第三箱体61～63内的气体，等待第一～第三箱体61～63内的氧气浓度到达氧气浓度管理值以下。
在该状态从氮气供给Ci供给的氮气流入到腔室空间后，从与第一箱体61的背面连接的外部排出Ao排出。另外，从氮气供给Ci供给的氮气流入到腔室空间后，从开口部S1流入滑动空间，与从氮气供给Si供给的氮气汇流。并且，在滑动空间内汇流的氮气从外部排出Ao排出，或者从开口部S2流入到箱体空间后从外部排出Ao排出。然后，通过调整从氮气供给Ci以及Si供给的供给量、以及从外部排出Ao排出的排出量，将第一～第三箱体61～63内的压力维持在大气压以上。
并且，当第一～第三箱体61～63内的氧气浓度到达氧气浓度管理值以下时，在上述步骤S57中打开阀Vcri、Vsri以及Varo，并关闭阀Vao(阀Vci以及Vsi持续打开状态)，开始循环机构9使循环气体流动的动作。
在该状态从氮气供给Ci供给的氮气以及从循环供给Cri供给的循环气体流入到腔室空间后，从循环排出Aro排出到循环机构9，或者从开口部S1流入到滑动空间。流入到滑动空间的氮气以及循环气体，与从氮气供给Si供给的氮气汇流。并且，在滑动空间汇流的气体从循环排出Ao排出，或者从开口部S2流入到箱体空间后从循环排出Aro排出。并且，通过调整氮气供给Ci以及Si的供给量、从循环供给Cri以及Sri所供给的供给量、从循环排出Aro排出的排出量，将第一～第三箱体61～63内的压力维持在大气压以上。
从图15可知，在第三变形例中，由于在循环机构9的动作时对从第一～第三箱体61～63排出的气体全部再次利用，所以与其他实施例相比，是供给循环气体的供给量最多的实施例。也就是，由于再次利用而供给的供给量相对变多，所以能够使来自氮气供给Ci以及Si的供给量为最少。例如，只要满足内部压力管理值，也能够使来自氮气供给Ci以及/或者Si的供给量为0。此时，内部压力低于内部压力管理值时，通过上述步骤S61的流量调整而在再次开始来自氮气供给Ci或Si的氮气供给。
(第二实施方式)下面，参照图16以及图17，针对本发明的第二实施方式的涂布装置1进行说明。第二实施方式中，搬入基板P之后，在点C的氧气浓度下降到氧气浓度管理值以下后开始循环机构9的动作，或者搬入基板P之后，在点C的氧气浓度下降到氧气浓度管理值以下之前开始循环机构9的动作，使循环气体至少返回到滑动空间。图16是表示第二实施方式的涂布装置1中的氮气流动流的示意图。图17是表示涂布装置1进行涂布处理时的动作的流程图。此外，在图16中，为了便于说明，对涂布装置1，简化图示，仅图示第一～第三箱体61～63、腔室空间、箱体空间、滑动空间以及循环机构9和各阀。
在图16中，在第一箱体61的前面连接有多个供给管71，通过多个供给管71向腔室空间供给氮气(图示箭头Ci×n；设为氮气供给Ci×n)。并且，在与第一箱体61相连接的各供给管71上分别连接有阀Vci(设为阀Vci×n)。例如，供给Ci×n相当于图4所示的供给管71a～71c。另外，在第三箱体63的前面连接有供给管71，从循环机构9经由供给管71供给到滑动空间(循环供给Sri)。并且，在循环供给Sri的供给管71上设置有阀Vsri。
此外，腔室空间内的气体经由与第一箱体61的背面连接的多个排气管72排出到吸引部87(外部排出Co)。并且，在外部排出Co的排气管72上设置有阀Vco。另外，从第一箱体61和阀Vco之间的中途分支有排气管，分支的排气管经由阀Vcro而与循环机构9相连接(循环排出Cro)。另外，在第二箱体62的背面连接有设置了阀Vbo的排气管72，通过排气管72向吸引部87排出箱体空间内的气体(外部排出Bo)。另外，在第三箱体63的背面上连接有设置了阀Vso的排气管72，通过排气管72向吸引部87排出滑动空间内的气体(外部排出So)。
接着，针对图16所示的第二变形例的涂布装置1进行涂布处理时的动作进行说明。搬入基板P之后，在点C的氧气浓度下降到氧气浓度管理值以下后开始循环机构9的动作时的动作，与图11和图12所示的第一实施例中说明的动作相同，仅是与氮气供给Ci、循环供给Sri、阀Vci×n以及阀Vsri相关的动作不同。
具体地说，搬入基板P之后直到点C的氧气浓度下降到氧气浓度管理值以下，在上述步骤S54中，打开阀Vci×n、Vco、Vbo、以及Vso，并关闭阀Vsri以及Vcro。然后，从供给管71向第一～第三箱体61～63内供给氮气，并从排气管72排出第一～第三箱体61～63内的气体，等待第一～第三箱体61～63内的氧气浓度到达氧气浓度管理值以下。
在该状态从氮气供给Ci×n供给的氮气流入到腔室空间后，从处于第一箱体61的背面的外部排出Co排出。另外，从氮气供给Ci×n供给的氮气流入到腔室空间后，从开口部S1流入滑动空间。并且，在滑动空间内汇流的氮气从外部排出So排出，或者从开口部S2流入到箱体空间后从外部排出Bo排出。然后，通过调整从氮气供给Ci×n供给的供给量、以及从外部排出Co、So以及Bo排出的排出量，将第一～第三箱体61～63内的压力维持在大气压以上。
并且，当第一～第三箱体61～63内的氧气浓度到达氧气浓度管理值以下时，在上述步骤S57中打开阀Vsri以及Vcro，并关闭阀Vco(阀Vci×n、Vbo、以及Vso持续打开状态)，开始循环机构9使循环气体流动的动作。
在该状态从氮气供给Ci×n供给的氮气流入到腔室空间后，从循环排出Cro排出到循环机构9，或者从开口部S1流入到滑动空间。流入到滑动空间的氮气与从循环供给Sri供给的循环气体汇流。并且，在滑动空间汇流的气体从外部排出So排出，或者从开口部S2流入到箱体空间后从外部排出Bo排出。并且，通过调整从氮气供给Ci×n供给的供给量、从循环供给Sri供给的供给量、从循环排出Cro排出的排出量、从外部排出So以及Bo排出的排出量，将第一～第三箱体61～63内的压力维持在大气压以上。
另外，第二实施方式的涂布装置1将循环气体仅供给到滑动空间。在此，当与腔室空间进行比较时，由于滑动空间并不直接将环境的影响给予涂布液的空间，因此供给的气体对点C的氧气浓度管理的影响小。因此，在第二实施方式的涂布装置1进行涂布处理时的动作中，搬入基板P之后，在点C的氧气浓度下降到氧气浓度管理值以下之前，也能够开始循环机构9的动作。下面，参照图16和图17对在氧气浓度下降到氧气浓度管理值以下之前开始循环机构9的动作的涂布装置1的动作进行说明。这些动作可以由涂布装置的控制部(例如控制部3(参照图2))，也可以由涂布装置的用户进行各动作，也可以按步骤由该控制部或者涂布装置的用户来进行。
首先，开放投入口611(步骤S81)。接着，由搬送机械手等从开放的投入口611搬入基板P，并将基板P装载于载物台21上(步骤S82)。然后，关闭投入口611(步骤S83)，腔室空间成为与外部隔断了的空间。
接着，打开阀Vci、Vsri、Vcro、Vbo、以及Vso，并关闭阀Vco(步骤S84)。然后，开始从供给管71向第一～第三箱体61～63内供给氮气，并开始向排气管72排出第一～第三箱体61～63内的气体(步骤S85)。进而，开始循环机构9使循环气体流动的动作(步骤S86)。然后，基于由氧气浓度检测部88检测的氧气浓度检测结果，等待第一～第三箱体61～63内(例如点C)的氧气浓度到达氧气浓度管理值以下(步骤S87)。
在这里，从氮气供给Ci×n供给的氮气流入到腔室空间后，从处于第一箱体61的背面的循环排出Cro排出到循环机构9中。另外，从氮气供给Ci×n供给的氮气流入到腔室空间后，从开口部S1向滑动空间流入，并和从循环供给Sri供给的循环气体汇流。并且，在滑动空间汇流的气体从外部排出So排出、或者从开口部S2流入到箱体空间，并从外部排出Bo排出。并且，通过调整从氮气供给Ci×n供给的供给量、从循环供给Sri供给的供给量、从循环排出Cro排出的排出量、从外部排出So以及Bo排出的排出量，将第一～第三箱体61～63内的压力维持在大气压以上。
因此，在打开了阀Vci×n、Vsri、Vcro、Vbo、以及Vso的状态下，形成有从腔室空间一侧的多处供给的氮气向腔室空间另一侧的多处泄露的气流和、通过开口部S1向滑动空间泄露的气流。这样，在打开了阀Vci×n、Vsri、Vcro、Vbo、以及Vso的状态下，由于一边通过多个供给管向腔室空间供给氮气一边直接从多个排气管排出腔室空间内的气体，所以向腔室空间内流入或从腔室空间被排出的气体量变多，在腔室空间内的气体被置换成氮气环境的速度加快。也就是，由于在图4所示的点C的氧气浓度的下降也快速地被进行，所以能够缩短图8所示的到达时间。
在关闭了阀Vci×n、Vsri、Vcro、Vbo、以及Vso的状态下，循环气体直接被供给到滑动空间。例如，在循环机构9由上述第一例(也就是单纯地使气体从排气侧向供给侧循环)而构成的情况下，向滑动空间供给的循环气体因在搬入基板P时侵入到腔室空间内的空气等的影响，而在供给初期就包含有氧气。但是，如上所述，由于滑动空间对在点C的氧气浓度管理的影响小，所以对图8所示的到达时间的影响少。另外，通过将腔室空间内置换成氮气环境，不久循环气体也成为低氧状态。另外，在循环机构9由上述第二例(也就是从排出的气体除去氧气而向供给侧循环)构成的情况下，由于循环气体维持在低氧状态，所以能够期待进一步缩短将滑动空间置换为低氧环境的时间。
然后，在第一～第三箱体61～63内的氧气浓度到达氧气浓度管理值以下时(在步骤S87为“是”)，对基板P进行涂布处理(步骤S88)。在对基板P的涂布处理结束时(在步骤S85为“是”)，使处理进入到下一步骤。
接着，停止从供给管71供给氮气，并停止向供给管72排出气体(步骤S89)。并且，停止循环机构9使循环气体流动的动作(步骤S90)。
接着，开放投入口611(步骤S91)，由搬送机械手等从开放的投入口611搬出在载物台21上装载的涂布处理后的基板P(步骤S92)。并且，在继续涂布处理的情况下(在步骤S93为“是”)，返回到上述步骤S82，反复进行动作。另一方面，在结束涂布处理的情况下(在步骤S93为“否”)，结束该流程图的动作。
这样，在以往，向第三箱体63供给的氮气由从循环供给Sri供给的循环气体提供，所以能够减少氮气的供给量。因此，在第二实施方式的涂布装置1中，包括使氧气浓度下降的中途状态，也通过再次利用被排到外部的气体，从而能够进一步降低新供给的氮气的供给量。
此外，在第一和第二实施方式的说明中，采用了这样的方式在循环机构9进行动作时，关闭外部排出Co或Ao而将排出流路完全地切换到循环排出Cro或Aro。但是也可以采用其他的排出流路的切换方式。例如，在循环机构9动作时，向循环排出Cro或Aro排出内部气体，并且以内部压力或氧气浓度满足管理值的方式将内部气体的一部分排出到外部排出Co或Ao也可以。
另外，上述的第一以及第二实施方式的在箱体空间和滑动空间设置的供给管以及排气管(即，氮气供给Si、循环供给Sri、外部排出So、外部排出Bo)分别有多根。另外，与腔室空间连接的供给管以及排气管可以分别有一根。如果像上述那样调整流量平衡，则无论是1根配管还是多根配管，都能得到本发明的效果。
另外，也可以省略上述的第一以及第二实施方式的第三箱体63以及外部排出So。也就是，有机EL涂布机构5设置在由第二箱体62包围的箱体空间内。此时，从腔室空间经由开口部S1流动的气体流入到箱体空间而从外部排出Bo排出。另外，氮气供给Si以及循环供给Sri分别向箱体空间供给氮气以及循环气体。也就是，即使不设置第三箱体63以及外部排出So，也能够形成向腔室空间供给的氮气通过开口部S1泄漏到箱体空间的气流。也就是，即使通过喷嘴单元50的往复移动搅拌了箱体空间内的气体，也形成有腔室空间→开口部S1→箱体空间的气体流，因此箱体空间内的气体很少会流到腔室空间中。因此即使在箱体空间残存有氧气，也能够防止氧气流到腔室空间中。另外，同样，由于能够再次利用被置换为低氧环境的气体，所以同样也能够减少供给的氮气量。
进一步，在不能够得到由喷嘴单元50进行往复移动而给气体搅拌带来影响的效果时，也可以在单一的箱体(例如仅第一箱体61)内生成局部环境。此时，通过向箱体内供给氮气并在低氧环境下进行涂布液的涂布，显然由此来能够防止涂布处理中的涂布液的氧化等，当然，经由循环机构9将被置换为低氧环境后从该箱体排出的气体再次供给到该箱体内，由此能够抑制所供给的氮气的消耗量。
此外，在上述的动作中，表示了等待由氧气浓度检测部88检测的氧气浓度检测结果表示氧气浓度管理值以下，其后开始涂布处理的顺序，但是也可以用其他方法开始涂布处理。例如，预先调查向涂布装置供给的氮气的流量或压力与点C变为氧气浓度管理值以下的到达时间(参照图8)的关系。然后，利用实际上供给的氮气的流量或压力和供给时间，也可以管理在点C的氧气浓度。此时，在开始氮气的供给后等待经过给定的时间(到达时间)，然后开始涂布处理。
另外，在喷嘴单元50设置了静压轴承的情况下，可以对该静压轴承提供氮气等惰性气体或循环气体。由此，为了构成静压轴承而提供的气体也成为低氧状态，进而能够使滑动空间内的氧气浓度降低。
另外，在上述的实施方式中，在红、绿、以及蓝色当中，通过3个1组的喷嘴52a～52c使红色的有机EL材料流入基板P的槽内，但是该涂布工序为制造有机EL显示装置的中途工序。在制造有机EL显示装置时的处理顺序为空穴输送材料(PEDOT)涂布→干燥→红色的有机EL材料涂布→干燥→绿色的有机EL材料涂布→干燥→蓝色的有机EL材料涂布→干燥这一顺序。此时，本发明的涂布装置能够分别用于涂布空穴输送材料、红色的有机EL材料、绿色的有机EL材料、以及蓝色的有机EL材料的工序。
另外，可以从喷嘴52a～52c分别排出红、绿、以及蓝色的有机EL材料。此时，按照红、绿、以及蓝色的顺序排列的、所谓的条纹排列以在一个涂布工序中形成。而且，在上述的实施方式中，由3个1组的喷嘴52a～52c在基板P的各沟槽内注入有机EL材料，但是也可以设置多组该3个1组的喷嘴52a～52c，向基板P的各槽内注入有机EL材料。
此外，在上述的实施方式中，说明了一个将有机EL材料或空穴输送材料作为涂布液的有机EL显示装置的制造装置，但是，本发明也能够应用于其它的涂布装置。例如，也能够适用于涂布保护液或SOG(Spin On Glass旋涂玻璃法)液或者用于制造PDP(等离子显示面板)的荧光材料的装置。另外，为了将液晶彩色显示器进行彩色显示，也能够应用于涂布颜色材料的装置，该颜色材料使用于制造在液晶元件内构成的彩色滤波器。
本发明中的涂布方法以及涂布装置在对基板涂布涂布液时提高装置效率并能够防止该涂布液的氧化，适用于从喷嘴喷出各种涂布液的方法或装置等。
以上详细说明了本发明，但是上述的说明在所有方面只不过是本发明的例示，不应该限定其范围。当然，只要不脱离本发明的范围，可以进行各种改良或者变形。
权利要求
1.一种涂布装置，其将涂布液涂布到基板上，其特征在于，包括喷嘴，从其前端部喷出所述涂布液；载物台，其上表面上用于装载所述基板；喷嘴移动机构，在所述载物台上的空间内，在横贯所述载物台面的方向上使所述喷嘴往复移动；箱体，其至少包围所述载物台；第一供给口，其设置于所述箱体的一侧，向该箱体的内部空间供给给定的气体；第一排气口，其设置于所述箱体的另一侧，排出该箱体的内部空间内的气体；循环机构，其至少使从所述第一排气口排出的气体循环，并向所述箱体内部供给；第二供给口，其设置于所述箱体的一侧，向该箱体的内部空间供给从所述循环机构供给的气体。
2.如权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，所述循环机构使从所述第一排气口排出的气体原样循环，并从所述第二供给口供给到所述箱体内部。
3.如权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，所述循环机构包括有氧气分离机构，该氧气分离机构从所述第一排气口所排出的气体中将氧气分离除去后，从所述第二供给口向所述箱体内部进行供给。
4.如权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，所述箱体包括第一箱体，其包围所述载物台，并将设置所述喷嘴移动机构的空间与设置该载物台的空间隔开，在该第一箱体的上表面上形成有使所述喷嘴的至少一部分从所述喷嘴移动机构侧突出并进行往复移动的开口部；第二箱体，其包围所述喷嘴移动机构并设置在所述第一箱体的上部，所述第一供给口设置于所述第一箱体的一侧，所述第二供给口设置于所述第一箱体的一侧，所述第一排气口设置于所述第一箱体的另一侧，所述涂布装置还包括有第二排气口，该第二排气口设置在所述第二箱体上，将该第二箱体的内部空间内的气体排出到外部。
5.如权利要求4所述的涂布装置，其特征在于，所述涂布装置还包括有第三供给口，该第三供给口设置在所述第二箱体上，向该第二箱体的内部空间供给所述给定的气体。
6.如权利要求4所述的涂布装置，其特征在于，所述循环机构使从所述第一排气口以及所述第二排气口排出的气体循环，并从所述第二供给口向所述第一箱体内部供给。
7.如权利要求5所述的涂布装置，其特征在于，所述涂布装置还包括有第四供给口，该第四供给口设置在所述第二箱体上，向该第二箱体的内部空间供给从所述循环机构供给的气体。
8.如权利要求7所述的涂布装置，其特征在于，所述循环机构使从所述第一排气口以及所述第二排气口排出的气体循环，并从所述第二供给口以及所述第四供给口分别向所述第一箱体以及第二箱体内部供给。
9.如权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，所述箱体包括第一箱体，其包围所述载物台，并将设置所述喷嘴移动机构的空间与设置该载物台的空间隔开，在该第一箱体的上表面上形成有使所述喷嘴的至少一部分从所述喷嘴移动机构侧突出并进行往复移动的开口部；第二箱体，其包围所述喷嘴移动机构并设置在所述第一箱体的上部，所述第一供给口设置于所述第一箱体的一侧，所述第二供给口设置于所述第二箱体的一侧，所述第一排气口设置于所述第一箱体的另一侧，所述涂布装置还包括有第二排气口，该第二排气口设置在所述第二箱体上，将该第二箱体的内部空间内的气体排出到外部。
10.如权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，该涂布装置还包括有氧气浓度检测装置，该氧气浓度检测装置检测所述箱体内的给定空间中的氧气浓度，所述循环机构在所述氧气浓度检测装置检测出给定氧气浓度以下的氧气浓度时，使从所述第一排气口排出的气体循环并向所述箱体内部供给。
11.一种涂布方法，将从喷嘴喷出的涂布液涂布到在载物台上表面上所装载的基板上，其中，该喷嘴支撑在喷嘴移动机构上，并在横贯该载物台面的上部的方向上往复移动，其特征在于，从至少包围所述载物台的箱体的一侧供给给定气体，并从该箱体的另一侧至少排出气体，直到该箱体内的给定空间被置换为给定的气体环境为止，在所述给定空间被置换为给定的气体环境时，在从所述箱体的一侧供给所述给定气体，使从该箱体的另一侧排出的气体循环，并从所述箱体一侧的其他部位再次进行供给的状态下，向所述基板涂布所述涂布液。
12.如权利要求11所述的涂布方法，其特征在于，在所述给定空间的氧气浓度达到给定氧气浓度后并高于该给定氧气浓度时，停止使所述气体循环的动作，在从所述箱体的一侧供给给定气体并从所述箱体的另一侧排出气体的状态下，向所述基板涂布所述涂布液。
13.如权利要求11所述的涂布方法，其特征在于，所述箱体被隔成包围所述载物台的空间和包围所述喷嘴移动机构的空间，使从所述箱体的另一侧排出的气体循环而再次供给的气体供给到包围所述载物台的空间内。
14.如权利要求13所述的涂布方法，其特征在于，使从所述箱体的另一侧排出的气体循环而再次供给的气体又供给到包围所述喷嘴移动机构的空间内。
15.一种涂布方法，将从喷嘴喷出的涂布液涂布到在载物台上表面上所装载的基板上，其中，该喷嘴支撑在喷嘴移动机构上，并在横贯该载物台面的上部的方向上进行往复移动，其特征在于，从至少包围所述载物台的箱体的一侧供给给定气体，并使从该箱体的另一侧排出的气体循环，而从该箱体一侧的其他部位再次供给，直到该箱体内的给定空间被置换为给定的气体环境为止，在所述给定空间被置换为给定的气体环境时，在从该箱体的一侧供给所述给定气体，并使从该箱体的另一侧排出的气体循环，从该箱体的一侧的其他部位再次进行供给的状态下，向所述基板涂布所述涂布液。
16.如权利要求15所述的涂布方法，其特征在于，所述箱体被隔成包围所述载物台的空间和包围所述喷嘴移动机构的空间，使从所述箱体的另一侧排出的气体循环而再次供给的气体供给到包围所述喷嘴移动机构的空间内。
17.如权利要求11或15所述的涂布方法，其特征在于，对向所述箱体内部供给所述给定气体的流量、从所述箱体内部排出气体的流量、以及使所述箱体内部的气体循环而再次供给的流量分别进行调整，使所述箱体维持高于大气压的内部压力。
18.如权利要求11或15所述的涂布方法，其特征在于，通过检测所述给定空间内的氧气浓度值，对所述给定空间置换成给定的气体环境的情况进行判定。
19.如权利要求11或15所述的涂布方法，其特征在于，通过测量向所述箱体内部供给所述给定气体的时间，对所述给定空间置换成给定的气体环境的情况进行判定。
全文摘要
本发明提供一种涂布装置以及涂布方法，喷嘴从其前端部喷出所述涂布液；载物台，在其上表面上装载基板；喷嘴移动机构，在载物台上的空间，在横贯载物台面的方向使喷嘴往复移动；箱体，其至少包围载物台而设置；第一供给口设置于箱体的一侧，向所述箱体的内部空间供给给定的气体；第一排气口设置于箱体的另一侧，排出该箱体的内部空间内的气体；循环机构至少使从第一排气口排出的气体循环，而向箱体内部供给；第二供给口设置于箱体的一侧，向该箱体空间内供给从循环机构供给的气体。
文档编号H05B33/10GK101085438SQ20071010216
公开日2007年12月12日 申请日期2007年4月29日 优先权日2006年6月9日
发明者吉田顺一, 高村幸宏, 川越理史, 增市干雄, 上野博之, 松家毅 申请人:大日本网目版制造株式会社