专利名称：一种用于扩散工艺的防爆源瓶的制作方法
技术领域：
本发明涉及太阳能电池片制备工艺中的液态源扩散工艺使用的设备，具体地涉及一种用于扩散工艺的防爆源瓶。
背景技术：
太阳能、集成电路等半导体行业都需要使用液态POCl3做磷源扩散来形成PN结。磷源置于扩散源瓶中，通常所用源瓶的基本构造是由出气管、进气管、测温管和源瓶组成；源瓶的底部为两端略带弧度、底部为平面的结构，如图I所示。源瓶内为液态的POCl3，将N2通入液态POCl3中，携带气态的POCl3进入扩散炉完成磷扩散过程。但是如果进气出气管路接反，或者N2进气压力过大，或者出气管路有堵塞等现象，易导致源瓶内气压过大，会导致 源瓶爆炸。而POCl3毒性较大，易挥发，对皮肤严重腐蚀，爆瓶泄露后危险性极大。
发明内容
本发明的目的是提供一种用于扩散工艺的防爆源瓶，可以避免瓶内压力大导致源瓶破裂泄露，压力超过阈值后可以自动泄压并报警。本发明采用的技术方案是采用自动泄压和报警功能的设计，在源瓶上加装泄压装置，泄压采用类似高压锅的金属块泄压，当瓶内气压过大时，金属块被顶起泄压，电路导通，蜂鸣器报警；当气压恢复时，金属块落下，蜂鸣器停止报警。本发明的有益效果是实现了源瓶压力过大时自动泄压，同时通过报警通知人员排查，成功地避免了源瓶爆炸带来的危险。
图I传统源瓶的效果图
图中1表示进气管；2表示出气管；3表示测温管；4表示液态三氯氧磷 图2本发明提供的防爆源瓶的效果图
图中A表不进气管；B表不出气管；C表不金属块；D表不液态三氯氧磷；E表不测温管；H表不蜂鸣器
具体实施例方式下面结合附图对本发明专利的技术方案作进一步详细说明。如图2所示，一种用于扩散工艺的防爆源瓶，包括进气管、出气管、测温管、金属块、蜂鸣器组成。当进气管A通入氮气时，液态三氯氧磷D随着携带源小氮从出气管B进入炉腔，开始扩散反应过程。在防爆源瓶的顶部安装一金属块，当瓶内气压过大时，金属块被顶起泄压，电路导通，蜂鸣器报警；当气压恢复时，金属块落下，蜂鸣器停止报警。
权利要求
1.一种用于扩散工艺的防爆源瓶，包括进气管、出气管、测温管、金属块和蜂鸣器，其特征在于采用自动泄压和报警功能的设计，在源瓶上加装金属块泄压装置和蜂鸣器。
全文摘要
本发明公开了一种用于扩散工艺的防爆源瓶，包括进气管、出气管、测温管、金属块、蜂鸣器，采用自动泄压和报警功能的设计，在源瓶上加装金属块泄压装置，当瓶内气压过大时，金属块被顶起泄压，电路导通，蜂鸣器报警；当气压恢复时，金属块落下，蜂鸣器停止报警。本发明的有益效果是实现了源瓶压力过大时自动泄压，同时通过报警通知人员排查，成功地避免了源瓶爆炸带来的危险。
文档编号C30B31/16GK102851742SQ20121036257
公开日2013年1月2日 申请日期2012年9月26日 优先权日2012年9月26日
发明者方智, 王庆钱 申请人:浙江鸿禧光伏科技股份有限公司