专利名称：一种新型的蓝宝石晶体生长炉人机界面设计的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种蓝宝石晶体生长炉的结构设计，尤其是一种人机界面设计。
背景技术：
随着国内蓝宝石行业的蓬勃发展，蓝宝石晶体生长炉开始逐步的国产化，但目前的晶体生长炉基本上都是以国外技术为基础，使用最多的是俄系的晶体生长炉，此种生长炉操作界面复杂，不够人性化，自动化程度低，初学者要掌握整套设备的操作至少需要3-6个月，俄系的晶体生长炉需要操作者用肉眼来观察，长期对着高温熔体，会严重损坏操作者的视力。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种新型蓝宝石晶体生长炉人机界面设计，简化操作人员的劳动强度，便于工艺培训和长晶操作。为解决上述技术问题，本发明的技术方案为一种新型的蓝宝石晶体生长炉人机界面设计，包括实时监控界面，自动程序操作界面，工艺手动操作界面，工艺曲线监控界面，报警界面和参数表，其特征在于，所述实时监控界面包括晶体生长过程模拟图像，晶体生长炉整体运行状态模拟图，晶体生长炉发热体功率，三相电压电流数值，晶体重量数值，晶体生长速率数值，籽晶位置、籽晶提拉速率和籽晶旋转速率数值，以及晶体生长过程工艺曲线监控，所述自动程序操作界面包括设备发热体控制程序，程序控制按钮和真空系统操作按钮，所述工艺手动操作界面包括功率ST/PV值，籽晶提拉速率ST/PV值，籽晶旋转速率ST/PV值，籽晶旋转正转、反转和停止按钮，籽晶提拉向上、向下和停止按钮，籽晶瞬提向上和向下按钮，籽晶瞬提间隔时间和瞬提距离设定对话框，晶体重量和晶体重量增长速率显示值，以及晶体生长情况视频显示界面，所述工艺曲线监控界面可同时显示功率曲线，晶体重量曲线，晶体生长速率曲线和晶体位置曲线，所述报警界面显示了水流报警，炉压报警，超温报警和急停使动按钮报警，所述参数表包括的参数有称重传感器的滤波时间，称重传感器称重范围和籽晶旋转加速度。上述一种新型的蓝宝石晶体生长炉人机界面设计，其特征在于，所述实时监控界面只有监控状态图示，除与其他界面之间切换的按钮以及界面锁定按钮外，没有控制按钮。本发明的优点在于此种人机界面设计大大简化了操作人员的劳动强度，便于工艺培训和长晶操作。
下面结合附图和具体实施方式
对本发明作进一步详细的说明。图I是实时监控界面示意图。图2是自动程序操作界面示意图。图3是工艺手动操作界面示意图。
图4是工艺曲线监控界面示意图。图5是报警界面示意图。图6是参数表界面示意图。
具体实施例方式新型蓝宝石晶体生长炉人机界面设计，包括实时监控界面，自动程序操作界面，工艺手动操作界面，工艺曲线监控界面，报警界面和参数表。图I所示，实时监控界面包括晶体生长过程模拟图像，晶体生长炉整体运行状态模拟图，晶体生长炉发热体功率，三相电压电流数值，晶体重量数值，晶体生长速率数值，籽晶位置、籽晶提拉速率和籽晶旋转速率数值，以及晶体生长过程工艺曲线监控。实时监控界面只有监控状态图示，除与其他界面之间 切换的按钮以及界面锁定按钮外，没有控制按钮。图2所示，自动程序操作界面包括设备发热体控制程序，程序控制按钮和真空系统操作按钮。图3所示，工艺手动操作界面包括功率ST/PV值，籽晶提拉速率ST/PV值，籽晶旋转速率ST/PV值，籽晶旋转正转、反转和停止按钮，籽晶提拉向上、向下和停止按钮，籽晶瞬提向上和向下按钮，籽晶瞬提间隔时间和瞬提距离设定对话框，晶体重量和晶体重量增长速率显示值，以及晶体生长情况视频显示界面。图4所示，工艺曲线监控界面同时显示功率曲线，晶体重量曲线，晶体生长速率曲线和晶体位置曲线。图5所示，报警界面显示了水流报警，炉压报警，超温报警和急停使动按钮报警。图6所示，参数表包括的参数有称重传感器的滤波时间，称重传感器称重范围和籽晶旋转加速度。
权利要求
1.一种新型的蓝宝石晶体生长炉人机界面设计，包括实时监控界面，自动程序操作界面，工艺手动操作界面，工艺曲线监控界面，报警界面和参数表，其特征在于，所述实时监控界面包括晶体生长过程模拟图像，晶体生长炉整体运行状态模拟图，晶体生长炉发热体功率，三相电压电流数值，晶体重量数值，晶体生长速率数值，籽晶位置、籽晶提拉速率和籽晶旋转速率数值，以及晶体生长过程工艺曲线监控，所述自动程序操作界面包括设备发热体控制程序，程序控制按钮和真空系统操作按钮，所述工艺手动操作界面包括功率ST/PV值，籽晶提拉速率ST/PV值，籽晶旋转速率ST/PV值，籽晶旋转正转、反转和停止按钮，籽晶提拉向上、向下和停止按钮，籽晶瞬提向上和向下按钮，籽晶瞬提间隔时间和瞬提距离设定对话框，晶体重量和晶体重量增长速率显示值，以及晶体生长情况视频显示界面，所述工艺曲线监控界面可同时显示功率曲线，晶体重量曲线，晶体生长速率曲线和晶体位置曲线，所述报警界面显示了水流报警，炉压报警，超温报警和急停使动按钮报警，所述参数表包括的参数有称重传感器的滤波时间，称重传感器称重范围和籽晶旋转加速度。
2.根据权利要求I所述的一种新型的蓝宝石晶体生长炉人机界面设计，其特征在于，所述实时监控界面只有监控状态图示，除与其他界面之间切换的按钮以及界面锁定按钮夕卜，没有控制按钮。
全文摘要
本发明公开了一种新型的蓝宝石晶体生长炉人机界面设计，包括实时监控界面，自动程序操作界面，工艺手动操作界面，工艺曲线监控界面，报警界面和参数表，大大简化了操作人员的劳动强度，便于工艺培训和长晶操作。
文档编号C30B29/20GK102978689SQ20121051648
公开日2013年3月20日 申请日期2012年12月4日 优先权日2012年12月4日
发明者滑喜宝 申请人:苏州工业园区杰士通真空技术有限公司