一种提拉法晶体生长热电偶固定系统的制作方法

文档序号:8095091阅读:145来源:国知局
一种提拉法晶体生长热电偶固定系统的制作方法
【专利摘要】本发明公开一种热偶安装固定系统。本发明要解决的问题是既要保证热偶在安装使用过程中不发生松动、摇摆和移位现象,又要解决热电偶使用过程中容易损坏等问题,同时满足热偶安装固定易于标准化、便捷性。本系统由热偶与热偶固定支架组成,所述热偶固定支架由热偶套管、套管固定件、固定立柱和固定销组成。本发明具有结构简单,稳固性好,安装更换方便,热偶不易损坏等优点,适用于提拉法晶体生长领域。
【专利说明】一种提拉法晶体生长热电偶固定系统

【技术领域】
[0001]本发明公开一种提拉法晶体生长热电偶固定系统,涉及晶体材料制备领域,特别涉及提拉法晶体生长热偶安装固定系统。

【背景技术】
[0002]目前提法晶体生长常用的热偶安装方式主要有两种:1)采用锆杯装锅方式的YAG晶体生长,热电偶套在两孔刚玉管中,刚玉管搭在锆杯上,依靠上保温罩压紧固定刚玉管;2)采用锆砂填埋方式的YV04晶体生长,热电偶套在两孔刚玉管中,整根热偶埋在坩埚附近的二氧化锆保温砂中,通过捣实的锆砂固定。(参见发明专利:CN02104314.0)两种方式各有优缺点:方式一具有安装简单方便,更换快捷等优点,但使用过程中由于线圈的振动和上保温罩开裂等影响,热偶容易发生松动、摇摆甚至移位现象,造成测温不准甚至热偶损坏;方式二热偶填埋在紧致的锆砂中,热偶松动、摇摆现象基本杜绝了,但热偶安装固定较繁琐,而且在晶体生长过程中,锆砂在反复升降温后变得更加密实,容易结块,特别是发生爬料现象时,热偶测温头部与结块的锆砂和爬料粘结在一起,容易造成热偶变形甚至损坏。


【发明内容】

[0003]本发明要解决的问题是既要保证热偶在安装使用过程中不发生松动、摇摆和移位现象,又要解决热电偶使用过程中容易损坏等问题,同时满足热偶安装固定易于标准化、便捷性。
[0004]为解决上述问题,本发明公开一种热偶安装固定系统,固定系统包含热偶与热偶固定支架。热偶固定支架由固定立柱(I)、套管固定件(2)、热偶套管(3)和固定销(4)和热偶套管固定螺丝(5)五个部件组成。固定立柱(I)底部有一较长的螺纹孔,用于固定整个安装支架以及调整支架的高度,立柱上部侧面有一通孔,顶部有一小孔贯穿侧通孔,作为固定销孔;热偶套管固定件有一圆槽,用于热偶套管安装,固定销用于将热偶套管固定件(2)与固定立柱(I)紧固。所述热偶可以是钼铑30-钼铑6 (B型),钼铑10-钼(S型),铱铑或钨铼热偶。所述热偶套管(2)的材质为非金属陶瓷材料,可以是碳化硅,石英,刚玉或氧化锆,形状可以是两孔、四孔或一端封闭的棒状。所述热偶套管(2)的材质为非金属陶瓷材料,可以是碳化硅,石英,刚玉或氧化锆,形状可以是两孔、四孔或一端封闭的棒状。所述套管固定件(3)的圆槽开口可以全开也可半开,与热偶套管固定时可采用绝缘螺丝旋紧式或绝缘胶布捆绕方式固定。所述固定立柱(1),套管固定件(3),固定销(4)和热偶固定螺丝(5)均为塑料绝缘材质,优选为聚四氟乙烯(PTFE),尼龙(PA)或亚克力(PMMA)等。

【专利附图】

【附图说明】
[0005]图1为本发明热偶固定支架部件图图2为本发明的安装固定效果图
图3为本发明的实施应用示意图图中,1、固定立柱,2、套管固定件,3、热偶套管,4、固定销,5、热偶套管固定螺丝,6、热偶。

【具体实施方式】
[0006]下面结合附图和【具体实施方式】对本发明进行详细说明。
[0007]先将固定立柱(I)从线圈固定柱顶端旋入,调节至合适高度,热偶(6)从热偶套管
(3)穿入,然后将整根热偶套管(3)装入套管固定件(2)的圆槽中,再将套管固定件(2)插入固定立柱(I)的侧面通孔中,将套管固定件(2)的固定孔与立柱顶部的小孔调整到同轴心,嵌入固定销(4),调节热偶测温头与坩埚合适距离后旋紧热偶套管固定螺丝(5),稳妥起见,再用绝缘胶布将热偶套管(3)与套管固定件(2)缠绕几圈,最后将热偶正负极导线同炉内的热偶补偿导线相连,完成热偶安装固定过程。如附图3所示。当晶体生长上炉或下炉时,只需将固定立柱(I)旋转一角度,热偶安装支架可整体旋转,十分便捷。而需更换热偶时,只需将热偶套管取出,穿入新热偶后重新装入即可。
【权利要求】
1.一种提拉法晶体生长热电偶固定系统,包括测温热偶和热偶固定支架,热偶固定支架由固定立柱(I)、热偶套管(2)、套管固定件(3)、固定销(4)和热偶套管固定螺丝(5)五部分组成,其特征在于:固定立柱(I)底部有一较长的螺纹孔,用于固定整个安装支架以及调整支架的高度,立柱上部侧面有一通孔,顶部有一小孔贯穿侧通孔,作为固定销孔;热偶套管固定件有一圆槽,用于热偶套管安装,固定销用于将热偶套管固定件(2)与固定立柱(I)紧固。
2.根据权利要求书I所述的一种提拉法晶体生长热电偶固定系统,其特征在于所述热偶可以是钼铑30-钼铑6 (B型),钼铑10-钼(S型),铱铑或钨铼热偶。
3.根据权利要求书I所述的一种提拉法晶体生长热电偶固定系统,其特征在于所述热偶套管(2)的材质为非金属陶瓷材料,可以是碳化硅,石英,刚玉或氧化锆,形状可以是两孔、四孔或一端封闭的棒状。
4.根据权利要求书I所述的一种提拉法晶体生长热电偶固定系统,其特征在于所述套管固定件(3)的圆槽开口可以全开也可半开,与热偶套管固定时可采用绝缘螺丝旋紧式或绝缘胶布捆绕方式固 定。
5.根据权利要求书I所述的一种提拉法晶体生长热电偶固定系统,其特征在于所述固定立柱(1),套管固定件(3),固定销(4)和热偶固定螺丝(5)均为塑料绝缘材质,优选为聚四氟乙烯(PTFE),尼龙(PA)或亚克力(PMMA)。
【文档编号】C30B15/00GK104164700SQ201410352353
【公开日】2014年11月26日 申请日期:2014年7月24日 优先权日:2014年7月24日
【发明者】曾宪林, 王昌运, 陈伟 申请人:福建福晶科技股份有限公司
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