透明导电性层叠体及具备透明导电性层叠体的触摸面板的制作方法

本发明的技术涉及透明导电性层叠体及具备透明导电性层叠体的触摸面板。

背景技术：

近年，作为电子设备的输入器件，广泛使用静电容方式的触摸面板。投影型静电容方式的触摸面板具有用于对静电容的变化进行检测的2个电极。2个电极经由透明的基板对置。通过对在基板上所成膜的透明的导电膜进行图案形成来形成这些电极。

作为电极而在基板上成膜的透明的导电膜的材料，代表性的有氧化铟锡(ITO)。将ITO在基板上进行成膜的方法为干式的真空成膜。但是，ITO的主成分即铟为稀有金属而担心其稳定供给，此外，还存在欠缺弯曲性这样的问题。并且，其制造方式还需要高价的真空成膜机，产生成本变高这样的问题。

近年，鉴于上述问题，ITO代替材料开始出现，将导电性高分子、碳纳米管、金属加工为纤维状或者网格状而形成导电膜。这些ITO代替材料中有的能够分散到水或有机溶剂中，如果使用这些则能够将其分散液以湿式涂敷到基材表面上，能够期待大量生产、降低成本。在这其中，使金属成为纤维状或者网格状而形成导电膜的基材，就能够得到与ITO同等的电阻值及光学特性这一点，被视为代替ITO的有力材料。

将纤维状金属作为导电膜而制作的触摸面板，虽然正常地进行动作，但是当投入到高温高湿的环境中时，就会产生触摸位置误识别、静电容值降低这样的故障，产生相对于高温高湿的环境不具有耐久性这样的问题。作为误动作的原因，为构成电极的纤维状金属产生迁移。迁移为如下现象：当在高温高湿下对电极施加电压时，由于水分的存在而使形成电极的金属在阳极侧离子化并向阴极侧的电极移动，当在阴极处接受电子时，金属析出，所析出的金属在绝缘物的表面上以树状、桥状、云状这样的形状成长。当该成长物到达阳极侧时，产生短路，成为不良。作为触摸面板而使用的基材为，多根棒状或者菱形状的电极并列地排列，相邻的电极之间通过蚀刻而绝缘。为了使该基材作为触摸面板而驱动，而对各电极形成引绕布线，经由柔性印刷电路板(FPC)并通过IC电路，对各电极施加电压而进行驱动。由于对各电极施加有电压，因此产生电位差的相邻的电极彼此在高温下受到水分的影响而产生构成电极的纤维状金属的迁移，产生静电容的降低、电极的短路，作为触摸面板不能够正常地动作。

为了解决该问题，存在遮挡水分而避免产生迁移这样的技术。例如，在专利文献1中，通过设置遮水层来使水分不进入，来避免产生迁移。但是，由于层增加，因此产生触摸面板的厚度增加、材料增加、工序增加这样的问题，会导致成本变高。

此外，静电容式触摸面板的构成传感器部的驱动电极及传感电极，由透明导电膜(透明电极)构成，且通常与金属布线(布线部)连接。这种触摸面板记载于专利文献2。在专利文献2记载的触摸面板中，在引出布线的两端设置有虚拟引出布线，虚拟引出布线以成为非选择的检测布线的规定电位的方式被连接。

在这种触摸面板中，为了对布线部、传感器部从外部噪声受到的影响进行屏蔽，一般从上方或者下方覆盖布线部，或者在布线部的外侧设置接地电极。接地电极在与驱动电极配置于相同层的情况下，形成为与传感电极的布线重叠、或者位于其外周部。此外，接地电极在与传感电极配置于相同层的情况下，形成为与驱动电极的布线重叠、或者位于其外周部。

在这样的情况下，在接地电极与驱动电极或者传感电极之间产生一定方向的电场，因此，根据驱动电极或者传感电极所使用的透明导电膜的材料，会产生如下那样的问题：产生由离子迁移引起的透明导电膜的碎裂，或者透明导电膜与接地电极之间短路。特别是在高温高湿下可能产生离子迁移。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2013－097932号公报

专利文献2：日本特开2010－257178号公报

技术实现要素：

发明要解决的课题

本发明是鉴于上述课题而进行的，其目的在于提供在高温高湿下不产生误动作的透明导电性层叠体及具备透明导电性层叠体的触摸面板。

此外，其目的在于，提供能够抑制在驱动电极或者传感电极与接地电极之间产生一定方向的电场的透明导电性层叠体及具备透明导电性层叠体的触摸面板。

用于解决课题的手段

用于解决上述课题的本发明的一个方面为一种透明导电性层叠体，具备：透明基材；以及透明电极层，层叠于透明基材的一面或者两面，含有树脂，透明电极层包括具有纤维状金属的多个导电区域、以及非导电区域，透明电极层的厚度为30nm以上150nm以下。

此外，本发明的另一方面为具备上述透明导电性层叠体的触摸面板。

发明效果

根据本发明的技术的透明导电性层叠体，能够提供一种触摸面板，不易产生由迁移引起的电极间的短路，在高温高湿的气氛中不产生误动作，耐久性提高。

此外，能够提供一种触摸面板，提供采用在驱动电极或者传感电极与接地电极之间不产生一定方向的电场的触摸传感器的电极构造，由此抑制驱动电极或者传感电极与接地电极之间的离子迁移，可靠性优良。

附图说明

图1是表示第一实施方式的透明导电性层叠体的截面图。

图2是表示第二实施方式的透明导电性层叠体的截面图。

图3是表示第三实施方式的透明导电性层叠体的截面图。

图4是将实施方式的导电区域形成为网眼状时的平面图。

图5是将实施方式的导电区域形成为带状时的平面图。

图6是表示对实施方式的透明电极层的2个相邻导电区域施加了电压的情况的图。

图7是表示实施方式的触摸面板的截面图。

图8是表示实施方式的透明导电性层叠体的制造工序的图，且是表示基板的表面侧的金属层的形成工序的图。

图9是表示实施方式的透明导电性层叠体的制造工序的图，且是表示基板的表面侧的透明导电层的形成工序的图。

图10是表示实施方式的透明导电性层叠体的制造工序的图，且是表示基板的背面侧的透明导电层的形成工序的图。

图11是表示实施方式的透明导电性层叠体的制造工序的图，且是表示抗蚀剂的形成工序的图。

图12是表示实施方式的透明导电性层叠体的制造工序的图，且是表示曝光工序的图。

图13是表示实施方式的透明导电性层叠体的制造工序的图，且是表示显影工序的图。

图14是表示实施方式的透明导电性层叠体的制造工序的图，且是表示蚀刻工序的图。

图15是表示实施方式的透明导电性层叠体的制造工序的图，且是表示抗蚀剂的除去工序的图。

图16是实施方式的触摸面板的截面图。

图17是实施方式的触摸面板的平面图。

图18是实施方式及实施例的触摸面板的截面图。

图19是实施方式及实施例的触摸面板的平面图。

图20是比较例的触摸面板的平面图。

图21是比较例的触摸面板的平面图。

具体实施方式

参照附图，对本发明的实施方式的透明导电性层叠体、触摸面板及透明导电性层叠体的制造方法进行说明。在本实施方式中，透明导电性层叠体为触摸面板的构成部件之一。

[透明导电性层叠体的构成]

图1表示第一实施方式的透明导电性层叠体的截面图。如图1所示，透明导电性层叠体10具备透明的基板11(透明基材)、形成于基板11的表面(图1的纸面上方。以下相同)的透明电极层12a、以及形成于基板11的背面(图1的纸面下方。以下相同)的透明电极层12b。2个透明电极层12a、12b夹着基板11而对置。透明电极层12a是第一透明电极层的一个例子，透明电极层12b是第二透明电极层的一个例子。

图2表示第二实施方式的透明导电性层叠体的截面图。如图2所示，透明导电性层叠体20具备透明的基板11a、形成于基板11a的表面的透明电极层12a、透明的基板11b、以及形成于基板11b的表面的透明电极层12b，并具有将基板11a与透明电极层12b贴合的粘接层23。

图3表示第三实施方式的透明导电性层叠体的截面图。如图3所示，透明导电性层叠体30具备透明的基板11a、形成于基板11a的表面的透明电极层12a、透明的基板11b、以及形成于基板11b的表面的透明电极层12b，并具有将基板11a与基板11b贴合的粘接层23。

参照图1对透明导电性层叠体的构成进行说明。

作为基板11，例如使用玻璃、树脂薄膜。树脂薄膜所使用的树脂为，只要所形成的薄膜具有在成膜工序及后续工序中基板所要求的强度、且表面的平滑性良好即可，没有限定。作为基板11所使用的材质，例如能够例举碱石灰玻璃、聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)、聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚对苯二甲酸丁二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚碳酸酯、聚醚砜、聚砜、聚芳酯、环状聚烯烃、或者聚酰亚胺等。基板11为了实现透明导电性层叠体10的薄型化并且保持基板11的挠性，如果是玻璃则优选为50μm以上1mm以下，如果是树脂薄膜，则考虑到部件的薄型化和层叠体的挠性而优选为10μm以上200μm以下。基板11a、11b也同样。此外，在将使用基板11制造的触摸面板配置在显示器的前面来使用的情况下，基板11需要具有较高的透明性，而优选使用全透光率为85％以上的基板。

基板11也可以含有各种添加剂、稳定剂。作为添加剂、稳定剂，例如能够列举防带电剂、可塑剂、润滑剂、或者易粘合剂等。为了提高层叠于基板11的层与基板11之间的紧贴性，也可以作为前处理而对基板11实施电晕处理、低温等离子体处理、离子轰击处理或者药剂处理等。基板11a、11b也同样。

透明电极层12a由层叠于基板11的后述的树脂形成，具有多个导电区域13a及多个非导电区域14a。同样，透明电极层12b具有多个导电区域13b及多个非导电区域14b。

导电区域13a、13b通过在形成透明电极层12a、12b的树脂中包含金属制的纳米线等纤维状金属来形成。作为纤维状金属，例如使用金、银、铜或者钴等。导电区域13a、13b所包含的纤维状金属，在导电区域13a、13b内相互接触，由此，导电区域13a、13b具有导电性。另一方面，非导电区域14a、14b在透明电极层12a、12b中不含有纤维状金属、或者几乎不含有。

透明电极层12a例如形成为沿X方向延伸的多个导电区域13a在与X方向正交的Y方向上隔开间隔地并列设置的图案。非导电区域14a是多个导电区域13a之间的区域，且与表示导电区域13a分别绝缘。与透明电极层12a对置的透明电极层12b例如形成为沿Y方向延伸的多个导电区域13b在X方向上隔开间隔地并列设置的图案。非导电区域14b是多个导电区域13b之间的区域，且与表示导电区域13b分别绝缘。导电区域13a、13b分别例如形成为图4所示那样的网眼状、图5所示那样的带状。此外，各图所示的截面图，为了便于表示各导电区域及各非导电区域的构成，在基板的两面使导电区域的并列设置方向为相同方向而表示。

导电区域13a、13b分别能够与通过电流的变化对形成于导电区域13a、13b的静电容的变化进行检测的、未图示的电路连接。当人的手指等接近导电区域13a、13b时，静电容变化。基于检测到该静电容的变化这一情况，来判定人的手指等的接触位置，得到二维的位置信息。

此外，透明电极层12a含有树脂。同样，透明电极层12b也含有树脂。透明电极层12a、12b由树脂形成，由此能够抑制纤维状金属从导电区域13a、13b脱离，并且使透明导电性层叠体10的机械强度提高，纤维状金属得到保护而耐久性提高。

作为形成透明电极层12a、12b的树脂，不特别限定，但优选具有透明性、适度的硬度及机械强度的树脂。作为具体的例子，优选使用以可期待三维交联的3官能以上的丙烯酸酯为主成分的单体或交联性低聚物等光固化性树脂。

作为3官能以上的丙烯酸酯单体，例如，优选使用三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、异氰脲酸EO改性三丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、双季戊四醇三丙烯酸酯、双季戊四醇四丙烯酸酯、双季戊四醇五丙烯酸酯、双季戊四醇六丙烯酸酯、二三羟甲基丙烷四丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、聚酯丙烯酸酯等，特别优选使用异氰脲酸EO改性三丙烯酸酯及聚酯丙烯酸酯的任一种。这些丙烯酸酯单体可以单独使用，也可以同时采用2种以上的单体。此外，除了这些3官能以上的丙烯酸酯以外，还能够同时采用环氧丙烯酸酯、聚氨酯丙烯酸酯、多元醇丙烯酸酯等丙烯酸系树脂。

作为交联性低聚物，优选使用聚酯(甲基)丙烯酸酯、聚醚(甲基)丙烯酸酯、聚氨酯(甲基)丙烯酸酯、环氧(甲基)丙烯酸酯、或者硅酮(甲基)丙烯酸酯等丙烯酸低聚物。作为具体的例子，能够列举聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、双酚A环氧丙烯酸酯、聚氨酯的二丙烯酸酯、甲酚酚醛清漆型环氧(甲基)丙烯酸酯等。

在形成透明电极层12a、12b的树脂中，也可以混合聚合引发剂等添加剂。

在作为聚合引发剂而添加光聚合引发剂的情况下，作为自由基引发型的光聚合引发剂，能够列举安息香、安息香甲醚、安息香乙醚、安息香异丙醚、苄基甲基缩酮等安息香及其烷基醚类，苯乙酮、2,2-二甲氧基-2-苯基苯乙酮、1-羟基环己基苯基酮等苯乙酮类，甲基蒽醌、2-乙基蒽醌、2-戊基蒽醌等蒽醌类，噻吨酮、2，4－二乙基噻吨酮、2，4－异丙基噻吨酮等噻吨酮类，苯乙酮二甲基缩酮、苄基二甲基缩酮等苯甲酮类，苯甲酮、4,4-二甲基氨基二苯甲酮等二苯甲酮类，或者，偶氮化合物等。这些光聚合引发剂可以单独使用，也可以将2种以上的聚合引发剂混合使用。并且，这些光聚合引发剂能够与三乙醇胺、甲基二乙醇胺等叔胺、2-二甲基氨基乙基安息香酸、4-二甲基氨基安息香酸乙酯等安息香酸衍生物等光引发助剂等组合使用。

透明电极层12a、12b的厚度只要是能够保持纤维状金属的耐久性且金属不脱落的厚度即可，不特别限定。但是，当透明电极层12a、12b过厚时，金属被树脂覆盖而导电性变低。根据这些理由，透明电极层12a、12b的厚度优选为30nm以上150nm以下。

此外，透明导电性层叠体10优选为，设为150℃而放置30分钟的情况下的热收缩率为0.5％以下。只要热收缩率在上述范围内，则能够抑制由于在制造工序中施加的热而使透明导电性层叠体10收缩。作为其结果，能够抑制透明电极层12a与透明电极层12b之间产生图案的位置偏移。

此外，透明导电性层叠体10也可以在基板11与透明电极层12a之间、基板11与透明电极层12b之间具备其他层。作为其他层，例如能够列举用于提高基板11与透明电极层12a、12b之间的紧贴性的层、用于加强透明导电性层叠体10的机械强度的层等。

在基板11的单面或者两面也可以形成有树脂层2。树脂层2特别是在基板11使用塑料材料时形成，为了使基板11、透明电极层12a、12b具有机械强度而设置。作为树脂层2所使用的树脂，不特别限定，但优选具有透明性、适度的硬度及机械强度的树脂。具体地说，优选为以可期待三维交联的3官能以上的丙烯酸酯为主成分的单体或者交联性低聚物那样的光固化性树脂。

作为3官能以上的丙烯酸酯单体，优选使用三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、异氰脲酸EO改性三丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、双季戊四醇三丙烯酸酯、双季戊四醇四丙烯酸酯、双季戊四醇五丙烯酸酯、双季戊四醇六丙烯酸酯、二三羟甲基丙烷四丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、聚酯丙烯酸酯等。特别优选为异氰脲酸EO改性三丙烯酸酯及聚酯丙稀酸酯。这些可以单独使用，也可以同时采用2种以上。此外，除了这些3官能以上的丙烯酸酯以外，也能够同时采用环氧丙烯酸酯、聚氨酯丙烯酸酯、多元醇丙烯酸酯等所谓的丙烯酸系树脂。

作为交联性低聚物，优选使用聚酯(甲基)丙烯酸酯、聚醚(甲基)丙烯酸酯、聚氨酯(甲基)丙烯酸酯、环氧(甲基)丙烯酸酯、硅酮(甲基)丙烯酸酯等丙烯酸低聚物。具体地说，能够使用聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、双酚A环氧丙烯酸酯、聚氨酯的二丙烯酸酯、甲酚酚醛清漆型(甲基)丙烯酸酯等。

树脂层2也可以除此以外还含有粒子、光聚合引发剂等添加剂。

作为向树脂层2添加的粒子，能够使用有机或者无机的粒子，但如果考虑到透明性，则优选使用有机粒子。作为有机粒子，能够使用由丙烯酸树脂、聚苯乙烯树脂、聚酯树脂、聚烯烃树脂、聚酰胺树脂、聚碳酸酯树脂、聚氨酯树脂、硅树脂及含氟树脂等构成的粒子。

粒子的平均粒径根据树脂层2的厚度而不同，但由于模糊等外观上的理由，使用作为下限而优选为2μm以上、更优选为5μm以上、作为上限而优选为30μm以下、更优选为15μm以下的厚度。此外，粒子的含有量也由于同样的理由，优选相对于树脂为0.5重量％以上5重量％以下。

在添加光聚合引发剂的情况下，作为自由基产生型的光聚合引发剂，存在安息香、安息香甲醚、安息香乙醚、安息香异丙醚、苄基甲基缩酮等安息香及其烷基醚类，苯乙酮、2,2-二甲氧基-2-苯基苯乙酮、1-羟基环己基苯基缩酮等苯乙酮类，甲基蒽醌、2-乙基蒽醌、2-戊基蒽醌等蒽醌类，噻吨酮、2，4－二乙基噻吨酮、2，4－异丙基噻吨酮等噻吨酮类，苯乙酮二甲基缩酮、苄基二甲基缩酮等苯甲酮类，4,4-二甲基氨基二苯甲酮等二苯甲酮类及偶氮化合物等。这些能够单独使用或者作为2种以上的混合物使用，并且能够与三乙醇胺、甲基二乙醇胺等叔胺、2-二甲基氨基乙基安息香酸、4-二甲基氨基安息香酸乙酯等安息香酸衍生物等光引发助剂等组合使用。

上述光聚合引发剂的添加量，相对于主成分的树脂为0.1重量％以上5重量％以下，优选为0.5重量％以上3重量％以下。在低于下限值时，树脂层2(硬涂层)的固化不充分而不优选。此外，在超过上限值的情况下，树脂层2(硬涂层)产生黄变、或者耐久性降低，因此不优选。用于使光固化型树脂固化的光，为紫外线、电子线或者伽马射线等，在电子线或者伽马射线的情况下，不必须含有光聚合引发剂、光引发助剂。作为这些线源，能够使用高压水银灯、氙气灯、金属卤化物灯、加速电子等。

此外，树脂层2的厚度不特别限定，但优选为0.5μm以上15μm以下的范围。此外，树脂层2的折射率优选与基板11的折射率相同或近似，优选为1.45以上1.75以下程度。

在树脂层2的形成方法中，为了涂敷使主成分即树脂等溶解于溶剂的涂液，能够使用利用了模具式涂布机、帘流涂布机、辊涂机、逆转辊涂布机、凹版涂布机、刮刀涂布机、棒涂布机、旋涂机和微凹版涂布机等涂布机的公知的涂敷方法。

关于溶剂，只要能够将上述主成分的树脂等溶解即可，不特别限定。具体地说，作为溶剂，能够列举乙醇、异丙醇、异丁醇、苯、甲苯、二甲苯、丙酮、甲基乙酮、甲基异丁酮、醋酸乙酯、醋酸正丁酯、醋酸异戊酯、乳酸乙酯、甲基纤维素、乙基纤维素、丁基纤维素、甲基纤维素醋酸酯和丙二醇单甲醚醋酸酯等。这些溶剂可以单独使用1种，可以将2种以上混合。

此外，在通过蚀刻等方法对透明电极层12a、12b进行了图案形成的情况下，可以形成光学调整层，以便图案难以通过目视观察来识别。光学调整层为，将具有规定折射率的无机氧化物或有机化合物作为材料，以单层或者多层来形成薄膜。光学调整层通过对透明导电膜存在的区域和不存在的区域的透射率、反射率、色调等进行调整，由此能够赋予图案不可视性。

并且，在透明电极层12a、12b、光学调整层的下层，能够设置金属、金属氧化物、树脂、硅烷偶联剂等的紧贴层。

为了对透明电极层12a、12b进行保护、并且使其具有机械强度，能够设置固化膜。作为固化膜所使用的树脂，不特别限定，但优选为具有透明性、适度的硬度及机械强度的树脂。具体地说，优选以可期待三维交联的3官能以上的丙烯酸酯为主成分的单体或者交联性低聚物那样的光固化性树脂，能够使用与树脂层2同样的材料来形成。固化膜的形成方法也能够使用与树脂层2同样的方法。

形成于透明电极层12a、12b的多个导电区域13a、13b分别被保持绝缘。各导电区域均优选为如下的状态：在相邻的2个导电区域中，在高温高湿的气氛(例如，温度60℃，湿度90％RH)下施加了电压的状态下，相邻的2个导电区域间的绝缘被保持240小时以上。为了对该状态进行评价，能够如图6所示那样，在导电区域13a、13b中通过银糊剂等制作布线40a，并将其与施加电压的装置54连接。通过对流动的电流值进行测定、并将其换算为电阻值，由此能够判定相邻的2个导电区域13a、13b的绝缘状态。作为在高温高湿的气氛下施加电压、并按照时间单位对电流值、电阻值进行测定的装置，优选使用线间绝缘评价装置等。作为相邻的2个导电区域13a、13b之间的绝缘被保持的状态而设定为240小时以上的原因为，作为一般的基准，在电子器件的环境试验中，如果240小时以上没有变化则能够保持品质。此外，作为绝缘被保持的状态，优选电阻值为10⁹Ω以上。

此外，在对相邻的2个导电区域13a、13b在高温高湿的气氛下施加了电压的状态下绝缘被保持240小时以上的状态，取决于在相邻的2个导电区域13a、13b之间的非导电区域14a、14b中残留的纤维状金属的状态。导电区域13a、13b和非导电区域14a、14b通过蚀刻法等形成，导电区域13a、13b通过纤维状金属彼此接触而发挥导电性。一方的非导电区域14a、14b即使残留有纤维状金属，但如果纤维状金属被切断而不具有接触部位，那么也没有导电性。但是，即使未示出导电性，若非导电区域14a、14b中残留的纤维状金属量较多，则当在高温高湿的气氛下对导电区域13a、13b施加电压时，非导电区域14a、14b中残留的纤维状金属促进金属的成长而容易产生迁移，而在相邻的2个导电区域13a、13b之间流动电流，绝缘电阻值降低。因此，为了在对相邻的2个导电区域13a、13b在高温高湿的气氛下施加了电压的状态下2个电极间的绝缘被保持240小时以上，而优选使非导电区域14a、14b中不残留纤维状金属，并优选实施满足上述优选的蚀刻条件。纤维状金属的残留状态能够通过光学显微镜等进行确认。

为了使非导电区域14a、14b中不残留纤维状金属，而优选透明电极层12a、12b的厚度为30nm以上150nm以下。若超过150nm，则蚀刻的进展变慢，即使非导电区域14a、14b被电绝缘，残留的纤维状金属的量也会变多。如果比30nm薄，则不能够起到保护金属层的作用，而如上所述那样不能够保持纤维状金属的耐久性。

为了设为在对相邻的2个导电区域13a、13b在高温高湿的气氛下施加了电压的状态下绝缘被保持240小时以上的状态，还可以扩大相邻的2个导电区域13a、13b之间的距离。但是，若使距离较长，则会产生成为触摸面板时的尺寸变大、图案的不可视这样的问题，因此距离优选处于50μm以上500μm以下的范围。

为了评论在对相邻的2个导电区域13a、13b在高温高湿的气氛下施加了电压的状态下绝缘被保持240小时以上的状态，还优选通过保护构件等覆盖导电区域13a、13b。在实际的触摸面板中，电极被罩层、显示面板等覆盖，并没有露出。为了在与该状态类似的状态下进行评价，优选通过保护构件等覆盖电极。作为保护构件，能够列举涂敷固化性树脂、或者经由粘接材料来贴合薄膜这样的方法。

如图7所示，在导电区域13a、13b中还形成有用于对使其作为触摸面板驱动的IC电路进行连接的引绕布线40a、40b。并且，在基板11的表面侧的透明电极层12a上，经由粘合层41而层叠有由玻璃等构成的罩层50等，而构成了触摸面板51。罩层50的表面成为人的手指等的接触面。并且，在基板11的背面侧的透明电极层12b上层叠有液晶面板等显示面板52，由触摸面板51和显示面板52构成显示装置53。

[透明导电性层叠体的制造方法]

参照图8～图15，作为代表例对图1所示的透明导电性层叠体10的制造方法进行说明。

如图8所示，首先，在基板11的表面上形成金属层16a。金属层16a通过将分散有纤维状金属的溶液涂敷到基板11上来形成。使纤维状金属分散的溶剂，优选为水，或者醇系、具体地说为甲醇、乙醇、异丙醇等亲水性较高的溶剂。这些溶剂可以单独使用，也可以同时采用2种以上的溶剂。

作为金属层16a的形成方法，能够使用旋涂法、辊涂法、棒涂法、浸涂法、凹版涂布法、帘涂布法、模具式涂布法、喷涂法、刮涂法或混合涂布法等涂敷方法，丝网印刷法、喷印法、喷墨印刷法、凸版印刷法、凹版印刷法、平版印刷法等印刷方法等公知方法。

如图9所示，接下来，在金属层16a的上涂敷含有形成透明电极层12a的树脂的构成材料的溶液，而形成由金属层16a和树脂构成的透明导电层17a。作为使树脂的构成材料溶解的溶剂，只要是能够将上述主成分的丙烯酸酯溶解的溶剂即可，不特别限定。作为溶剂的具体例子，能够列举乙醇、异丙醇、异丁醇、苯、甲苯、二甲苯、丙酮、甲基乙酮、甲基异丁酮、醋酸乙酯、醋酸正丁酯、醋酸异戊酯、乳酸乙酯、甲基纤维素、乙基纤维素、丁基纤维素、甲基纤维素醋酸酯或者丙二醇单甲醚醋酸酯等。这些溶剂可以单独使用，也可以同时采用2种以上的溶剂。向金属层16a上涂敷的含有树脂的溶液，还浸透到金属层16a包含的纤维状金属的间隙中。涂敷方法使用与之前例示的金属层16a的形成方法同样的公知方法。涂敷方法与金属层16a的形成方法可以是相同方法，也可以是不同方法。

如图10所示，接下来，在基板11的背面形成金属层16b。金属层16b通过与金属层16a同样的方法来形成。然后，在金属层16b上涂敷含有形成透明电极层12b的树脂的构成材料的溶液，而形成由金属层16b和树脂构成的透明导电层17b。透明导电层17b通过与透明导电层17a同样的方法来形成。此外，金属层16a是第一金属层的一个例子，金属层16b是第二金属层的一个例子。此外，透明导电层17a是第一透明导电层的一个例子，透明导电层17b是第二透明导电层的一个例子。

接着，为了在透明导电层17a、17b形成导电区域13a、13b和非导电区域14a、14b，而实施图案形成。作为图案形成方法，如果是基于光刻的湿式蚀刻、基于激光的干式蚀刻等能够进行图案形成的方法，则能够使用任意的方法。作为一个例子，在以下表示基于光刻的方法。

如图11所示，接下来，在基板11的表面侧，在透明导电层17a的面上形成抗蚀剂18a，在基板11的背面侧，在透明导电层17b的面上形成抗蚀剂18b。

作为抗蚀剂18a、18b，可以使用负型的抗蚀剂，也可以使用正型的抗蚀剂。抗蚀剂18a、18b使用公知的材料，抗蚀剂18a、18b通过公知的方法形成。

如图12所示，接下来，在对抗蚀剂18a、18b照射光的2个光源21a、21b之间，配置形成有抗蚀剂18a、18b的层叠体。在基板11的表面侧，在抗蚀剂18a与光源21a之间，从接近抗蚀剂18a的一方起，依次配置有具有与透明电极层12a的导电区域13a的图案相对应的图案的掩膜19a、以及将特定波长的光遮断的光学滤波器20a。在基板11的背面侧，在抗蚀剂18b与光源21b之间，从接近抗蚀剂18b的一方起，依次配置有具有与透明电极层12b的导电区域13b的图案相对应的图案的掩膜19b、以及将特定波长的光遮断的光学滤波器20b。

然后，从光源21a对抗蚀剂18a照射光而抗蚀剂18a被曝光，并且，从光源21b对抗蚀剂18b照射光而抗蚀剂18b被曝光。抗蚀剂18a的曝光与抗蚀剂18b的曝光可以依次进行，也可以同时进行。但是，在同时进行的情况下，需要将对光进行吸收的层插入到一方的透明电极层与另一方的透明电极层之间，以使一方的透明电极层的图案不会映入到另一方的透明电极层。对光进行吸收的层可以是使基板11具有光吸收功能，也可以是将光吸收层插入基板11与透明电极层12a、12b之间的方法。

如图13所示，接下来，在抗蚀剂18a、18b为负型的情况下，通过显影液除去抗蚀剂18a、18b的未感光的部分。或者，在抗蚀剂18a、18b为正型的情况下，通过显影液除去抗蚀剂18a、18b的感光了的部分。由此，在抗蚀剂18a、18b形成与掩膜19a、19b相对应的图案。即，在抗蚀剂18a、18b形成作为透明电极层12a、12b中的导电区域13a、13b的图案而设定的图案。

如图14所示，接下来，与抗蚀剂18a的图案相应地，透明导电层17a的露出部分被蚀刻，与抗蚀剂18b的图案相应地，透明导电层17b的露出部分被蚀刻。蚀刻方法使用将层叠体向酸、碱浸渍等公知方法。由此，在透明导电层17a、17b中未被抗蚀剂18a、18b覆盖的部分，由于纤维状金属腐蚀而金属层16a、16b被除去，树脂残留。作为其结果，在透明导电层17a、17b中，在未被抗蚀剂18a、18b覆盖的部分形成非导电区域14a、14b，被抗蚀剂18a、18b覆盖的部分成为导电区域13a、13b。由此，透明导电层17a所含有的金属层16a被进行图案形成而形成透明电极层12a。此外，透明导电层17b所包含的金属层16b被进行图案形成而形成透明电极层12b。

如图15所示，接下来，除去抗蚀剂18a、18b。由此，得到透明导电性层叠体10。

图2所示的透明导电性层叠体20为，在基板11a的表面形成金属层16a，在金属层16a涂敷含有形成透明电极层12a的树脂的构成材料的溶液而形成透明导电层17a。此外，在基板11b的表面形成金属层16b，在金属层16b涂敷含有形成透明电极层12b的树脂的构成材料的溶液而形成透明导电层17b。然后，分别经过与之前的图8～图15所示的工序同样的工序，在基板11a、11b的单侧分别制作透明电极层12a、12b。然后，基板11a的背面侧与透明电极层12b经由粘接层23贴合，而制造出透明导电性层叠体20。作为粘接层23所使用的树脂，能够列举丙烯酸系树脂、硅系树脂或者橡胶系树脂等。粘接层23优选使用缓冲性及透明性优良的树脂。

图3所示的透明导电性层叠体30为，在基板11a的表面形成金属层16a，在金属层16a涂敷含有形成透明电极层12a的树脂的构成材料的溶液而形成透明导电层17a。此外，在基板11b的表面形成金属层16b，在金属层16b涂敷含有形成透明电极层12b的树脂的构成材料的溶液而形成透明导电层17b。然后，基板11a的背面与基板11b的背面通过粘接层23贴合。之后，经过与之前的图8～图15所示的工序同样的工序，制造出透明导电性层叠体30。作为粘接层23所使用的树脂，能够列举丙烯酸系树脂、硅酮系树脂或者橡胶系树脂等。粘接层23优选使用缓冲性、透明性优良的树脂。

[触摸面板的构成]

图16及图18是本发明的实施方式的触摸面板100、200的截面的一个例子。图16示出了对触摸面板100的平面图进行表示的图17的线A的位置的截面。图18示出了对本发明的实施方式的触摸面板200的平面图进行表示的图19的线B的位置的截面。图16至图19是表示触摸面板的一部分的附图。

触摸面板100、200至少具备：基板11、11a、11b；由图案形成出的导电区域13a构成的多个驱动电极3；由图案形成出的导电区域13b构成的多个传感电极4；与导电区域13a、13b连接的金属布线8、9；透明粘接层7；以及传感器罩1。驱动电极3与传感电极4夹着基板11而相互配置于不同层并交叉。各驱动电极3形成为线状，与设置于相同层的各金属布线8连接。各传感电极4形成为线状，与设置于相同层的各金属布线9连接。

在图16所示的触摸面板100中，驱动电极3与传感电极4形成于不同基板11的相同侧(在图16中为上侧)。在图18所示的触摸面板200中，驱动电极3与传感电极4相对于相同的基板11而形成于相互不同侧。

在触摸面板100、200中，全部的驱动电极3所排列的区域成为第一传感器区域，全部的传感电极4所排列的区域成为第二传感器区域。此外，从触摸面板100、200的厚度方向观察时，对第一传感器区域与第二传感器区域重叠的区域增加了驱动电极3或者传感电极4的排列间距的一半而得的区域成为触摸传感器有效区域。

触摸面板100、200还具备接地电极6和辅助电极5。

接地电极6具有接地电位。接地电极6与驱动电极3或者传感电极4中的一方的电极配置于相同层，并形成于比一方的电极所排列的传感器区域靠外侧。如图17及图19所示，接地电极6在基板11的单面沿着其外周配置。

辅助电极5形成为线状。辅助电极5形成于与接地电极6配置在相同层的驱动电极3或者传感电极4中最接近接地电极6的电极(位于最外部的导电区域13a、13b)与接地电极6之间。辅助电极5由导电材料构成，与上述最接近接地电极6的驱动电极3或者传感电极4始终处于等电位。在触摸面板100、200中，辅助电极5设置在传感电极4的外侧，并连接为在最外部的传感电极4的选择时及非选择时成为等电位。

辅助电极5也可以位于比构成与辅助电极5设置于不同层的驱动电极3或者传感电极4的导电区域13a、13b的最外部更靠外侧。此外，辅助电极5位于比触摸传感器有效区域更靠外侧。辅助电极5在比与辅助电极5设置于不同层的驱动电极3或者传感电极4所排列的传感器区域更靠外侧，和与辅助电极5形成于不同层的驱动电极3或者传感电极4所连接的金属布线8或者9交叉。与辅助电极5为不同层的设置在与辅助电极5重叠的位置处的驱动电极3、传感电极4或者金属布线8、9的宽度(形成于比触摸传感器有效区域更靠外侧的导电区域13a、13b的宽度)，也可以小于500μm。此外，辅助电极5的宽度也可以小于1mm。此外，辅助电极5也可以至少包含金属纳米线，金属纳米线也可以被树脂层覆盖。此外，辅助电极5也可以包括金属电极。此外，驱动电极3及/或传感电极4的未与金属布线8、9连接的端部也可以由金属材料覆盖。

在如图18所示的触摸面板200那样，在一个基板11的单面上形成驱动电极3、在另一个单面上形成传感电极4的情况下，也可以在基板11中与传感器罩1侧相反一侧设置保护层22。形成保护层22的目的是在于得到机械强度、环境耐性，以对驱动电极3或者传感电极4、以及与驱动电极3连接的金属布线8或者与传感电极4连接的金属布线9进行保护。作为保护层22所使用的树脂，不特别限定，但优选为具有透明性的树脂。具体地说，优选以可期待三维交联的3官能以上的丙烯酸酯为主成分的单体或者交联性低聚物那样的光固化性树脂，能够使用与树脂层2同样的材料来形成。保护层22的形成方法也能够使用与树脂层2同样的方法。

构成驱动电极3及传感电极4的导电区域13a、13b在作为触摸面板传感器使用时，设为矩形状或者金刚石型等的图案状而使用。导电区域13a、13b与金属布线8或者9连接，经由该金属布线8或者9与能够感测电压变化的电压变化感测电路连接。当人的手指等隔着传感器罩1接近检测电极即传感电极4时，整体的静电容变化，因此电路的电压变动，而能够进行接触位置的判定。导电区域13a、13b的图案由一系列的驱动电极3的列、传感电极4的列构成。通过将各驱动电极3的列及各传感电极4的列分别与电压变化感测电路电连接，由此能够得到二维的位置信息。

金属布线8、9、辅助电极5及接地电极6分别能够使用金属。作为金属，能够使用铁、钴、镍、铜、锌、锰、铝、钛、钌、铑、钯、银、锇、铱、铂、金，但是从导电性的观点，优选使用铜、银、锰、铝、钛、或者它们的层叠体。

该金属的电极5、6或者金属布线8、9的形成方法及图案形成方法，除了作为干式法而能够使用真空蒸镀法、溅射等物理的气相析出法、CVD法那样的化学的气相析出法以外，还能够通过对金属的纳米粒子进行涂敷、烧结来形成。图案形成能够使用蚀刻、剥离、或者直接印刷金属糊剂或金属墨的网版印刷、喷墨、凹版胶印、凸版印刷、凹版印刷、压印等方法。

在任一个方法中，都能够适当地选择与基板11的耐热性及耐药剂性等加工性能相匹配的条件。

触摸面板100、200在构成驱动电极3或者传感电极4的导电区域13a、13b和与导电区域13a、13b形成于相同层的接地电极6之间，设置由导电材料构成的辅助电极5。辅助电极5位于比驱动电极3或者传感电极4更靠外侧，因此配置于比触摸传感器有效区域更靠外侧。即，在通常的使用方法中，辅助电极5配置于传感器罩1的边框的下方。辅助电极5由透明导电材料或者金属材料构成，与相同层的驱动电极3或者传感电极4中的位于传感器面板的最外部的电极之间电短路，与该最外部的驱动电极3或者传感电极4始终为等电位。作为布线设计，如图17及图19所示，最优选使用将金属布线9与辅助电极5进行连接的方法，但不限于此，也可以将想设为等电位的金属布线8或者9及辅助电极5分别与LSI芯片连接，通过LSI芯片以成为等电位的方式发送信号。

在图16及图18中，接地电极6及辅助电极5与传感电极4形成于相同层。辅助电极5在多个传感电极4中最接近接地电极6的传感电极4与接地电极6之间，沿着与这些电极4、6相同的方向，与这些电极4、6隔开间隔地配置。

此外，在将接地电极6及辅助电极5与驱动电极3形成于相同层的情况下，辅助电极5在多个驱动电极3中最接近接地电极6的驱动电极3与接地电极6之间，沿着与这些电极3、6相同的方向，与这些电极3、6隔开间隔地配置。

触摸面板100、200通过辅助电极5与位于传感器区域的最外部的驱动电极3或者传感电极4始终成为等电位，由此能够抑制在接地电极6与驱动电极3或者传感电极4之间产生一定方向的电场。作为其结果，能够抑制从驱动电极3或者传感电极4朝向接地电极6产生的离子迁移的发生，能够提供环境耐性更优良的触摸面板100、200。特别是，在使用了将容易产生离子迁移的银、铜作为材料的导电区域13a、13b的情况下，效果较大。

如图16及图18所示，辅助电极5可以和与辅助电极5位于不同层的金属布线8或者9重叠地配置，也可以和与辅助电极5位于不同层的驱动电极3或者传感电极4重叠地配置。但是，辅助电极5与位于不同层的电极3、4或者布线8、9形成电容，因此为了将其影响抑制为最小，需要尽量减小重叠面积。因此，辅助电极5的宽度优选小于1mm，与辅助电极5重叠配置而与辅助电极5位于不同层的金属布线8、9、驱动电极3或者传感电极4的宽度，优选小于500μm。

也可以是，在驱动电极3及/或传感电极4的端部、且是未与金属布线8、9连接一侧的端部，形成由金属覆盖的端部覆盖电极12。在图19中，传感电极4的未与金属布线9连接的端部，被端部覆盖电极12覆盖。端部覆盖电极12能够使用铜、银、锰、铝、钛、或者它们的层叠体等金属材料，此外还能够使用ITO等透明导电材料。

驱动电极3及传感电极4作为电容感测传感器起作用。如图18所示，驱动电极3及传感电极4可以配置在一个基板11的两面，也可以如图16所示那样，设置于不同的基板11，经由透明粘接层7贴合而上下地配置。由导电区域13a、13b构成的驱动电极3及传感电极4，分别与金属布线8、9连接，并与对导电区域13a、13b的上部电极与下部电极之间的电容变化进行检测的电路连接，由此作为静电容式的触摸传感器进行动作。触摸传感器最终经由透明粘接层7与传感器罩1贴合，由此能够制作触摸面板。传感器罩1可以为玻璃，也可以是对表面进行了硬涂加工的树脂、塑料原料的片材。在使用玻璃的情况下，优选使用通过对钠玻璃中的钠离子进行离子交换而进行了化学强化的强化玻璃。

在触摸面板100、200中也是，导电区域13a、13b分别被保持绝缘。各导电区域均优选为如下状态，即，在相邻的2个导电区域中，在高温高湿的气氛(例如，温度60℃，湿度90％RH)下施加了电压的状态下相邻的2个导电区域间的绝缘被保持240小时以上的状态。作为绝缘被保持的状态，优选为电阻值为10⁹Ω以上。

实施例

以下表示本发明的实施例，但本发明的技术范围不限定于这些实施例。

(实施例1)

在PET基板(75μm)上的单侧涂敷UV固化树脂，并在其上通过模具式涂布法形成由纤维状金属构成的金属层。接下来，将以丙烯酸单体为主成分的溶液通过微凹版涂布法以成为膜厚70nm的方式进行涂敷，通过UV照射使其固化而得到透明导电层。在PET基板的相反侧也通过同样的方法来形成金属层、透明导电层。接下来，通过光刻法涂敷负型抗蚀剂，在基于UV照射的固化后，进行基于盐酸(0.1％)的蚀刻，利用氢氧化钠溶液(1％)进行抗蚀剂剥离，进行图案形成，制作出多个带状的导电区域。在带状的导电区域的各个中，使用以环氧树脂及银为基础的导电性糊剂，通过丝网印刷法形成引绕布线，得到透明电极层的膜厚为70nm的透明导电性层叠体。对所得到的透明导电性层叠体的相邻的导电区域施加5V的电压，并投入到温度60℃、湿度90％的环境下，使用线间绝缘评价装置进行了按照时间单位的电阻值的测定。测定实施到500个小时。进而，将2个透明导电性层叠体经由粘接层贴合，使用粘合剂来贴合玻璃制的罩材，对IC控制电路进行连接而制作触摸面板，在温度60℃、湿度90％的环境下继续进行动作试验，并按照时间单位来确认触摸位置及检测位置。

(比较例1)

在PET基板(75μm)上的单侧涂敷UV固化树脂，并在其上通过模具式涂布法形成由纤维状金属构成的金属层。接下来，将以丙烯酸单体为主成分的溶液通过微凹版涂布法以干膜厚成为300nm的方式进行涂敷，通过UV照射使其固化而得到透明导电层。同样，在PET基板的相反侧也通过同样的方法来形成金属层、透明导电层。接下来，通过光刻法对负型抗蚀剂进行涂敷，在基于UV照射的固化后，进行基于盐酸(0.1％)的蚀刻，通过氢氧化钠溶液(1％)进行抗蚀剂剥离，进行了图案形成。对此，使用以环氧树脂及银为基础的导电性糊剂通过丝网印刷法来形成引绕布线，得到透明电极层的膜厚为300nm的透明导电性层叠体。对所得到的透明导电性层叠体的相邻的导电区域施加5V的电压，并投入温度60℃、湿度90％的环境下，进行了按照时间单位的电阻值的测定。测定实施到500个小时。进而，将2个该透明导电性层叠体经由粘接层贴合，并且使用粘接剂来贴合玻璃制的罩材，使IC控制电路连接而制作触摸面板，在温度60℃、湿度90％环境下继续进行动作试验，按照时间单位来确认触摸位置及检测位置。

表1表示实施例1和比较例1的测定结果。

在实施例1中，在从投入到温度60℃、湿度90％的环境起经过240小时之后，相邻的导电区域的电阻值为10⁹Ω以上，绝缘被保持。并且，在500小时之后，电阻值也未降低，绝缘被保持。另一方面，在比较例1中，在投入到温度60℃、湿度90％的环境之后，相邻的导电区域间的电阻值逐渐降低，在150小时后的时刻成为5.0×10⁴Ω，随着时间进一步经过，电阻值降低。此外，在将比较例1的基板通过光学显微镜进行观察得知，在非导电区域中存在金属的树状物。此外，在使用实施例1及比较例1的透明导电性层叠体来制作了触摸面板时，在实施例1中正常地识别触摸，但在比较例1中与进行了触摸的位置不同的部位被检测为触摸，成为触摸误识别。根据以上的结果，确认到，实施例1的透明导电性层叠体即使长时间投入高温高湿下，也不产生误动作。

[表1]

*1 150小时后的值

(实施例2)

制作了具有与图18同样的层构成的触摸面板200。图19是表示触摸面板200的电极部的平面图，沿着B线观察截面的示意图为图18。作为基板11而使用PET(125μm)，在两面上对添加了20wt％的UV吸收剂的UV固化性透明丙烯酸树脂进行了微凹版涂布之后，进行干燥、UV固化，由此将树脂层2以5μm的厚度形成于基板11的两面。在所得到的基材的两面上，作为透明电极层12a、12b的材料，以方阻成为100Ω/□的方式通过狭缝模具式涂布对银纳米线进行涂布而形成透明电极层12a、12b，同样将UV固化性透明丙烯酸树脂以130nm的厚度进行涂布而形成固化膜。

对于在两面形成了透明电极层12a、12b的基材，在通过光刻、利用干膜光致抗蚀剂进行了曝光·显影之后，进行蚀刻及抗蚀剂剥离，由此将单面的导电区域13a作为驱动电极3、将另一方的面的导电区域13b作为传感电极4进行了图案形成。在光刻时，光致抗蚀剂的显影利用碳酸钠水溶液来进行，通过氯化铁溶液对银纳米线进行蚀刻，通过氢氧化钠水溶液将抗蚀剂剥离。此外，通过网版印刷形成银糊剂图案，并以90℃加热30分种，由此在基材的两面形成金属布线8、9。此时，在与传感电极4相同的层，通过银糊剂与图19同样地形成辅助电极5。辅助电极5的宽度设为100μm。此外，在与传感电极4相同的层，还形成接地电极6。此外，以覆盖传感电极4的端部的方式，与图19同样地形成端部覆盖电极12。

在通过以上得到的包含透明导电性层叠体的基材上，层叠75μm厚的透明粘接层7，在最表面贴合0.55mm厚的化学强化后的传感器罩1，由此得到触摸面板200。

将金属布线8、9经由挠性印刷电路基板与驱动LSI连接，来进行触摸面板200的动作确认。作为其结果，能够良好地进行手指的接触的感测及坐标位置的检测。使所得到的触摸面板在温度60℃、湿度90％的环境中动作了240小时之后，从环境试验机中取出，与上述同样地进行了动作确认，结果，能够同样良好地进行手指的接触的感测及坐标位置的检测。

(比较例2)

制作了具有与图20同样的层构成的触摸面板300。图21是表示触摸面板300的电极部的平面图，沿着C线观察截面的示意图为图20。

除了未在与传感电极4相同的层设置辅助电极5以外，与实施例2同样地制作了触摸面板300。

刚制作好的触摸面板300良好地动作，能够进行手指的接触的感测及坐标位置的检测。但是，在使所得到的触摸面板300在温度60℃、湿度90％的环境下动作了240小时之后，从环境试验机取出，与上述同样地进行了动作确认，结果，触摸传感器外周部的触摸感测性能显著降低。在传感电极4与接地电极6之间构成传感电极4的导电区域13b的银纳米线产生了离子迁移。

根据以上的评价结果，确认到：通过设置辅助电极5，能够抑制驱动电极3或者传感电极4与接地电极6之间的离子迁移，能够提供可靠性优良的触摸面板。

工业上的可利用性

本发明的透明导电性层叠体及具备透明导电性层叠体的触摸面板，能够作为静电容式触摸面板使用，并能够作为智能手机、平板电脑、笔记本PC等的前面所配置的用户界面等进行利用。

符号的说明

1 传感器罩

2 树脂层

3 驱动电极

4 传感电极

5 辅助电极

6 接地电极

7 透明粘接层

8 金属布线(驱动电极)

9 金属布线(传感电极)

10、20、30 透明导电性层叠体

11、11a、11b 基板(透明基材)

12a、12b 透明电极层

13a、13b 导电区域

14a、14b 非导电区域

16a、16b 金属层

17a、17b 透明导电层

18a、18b 抗蚀剂

19a、19b 掩膜

20a、20b 光学滤波器

21a、21b 光源

22 保护层

23 粘接层

40a、40b 布线

41 粘合层

50 罩层

51 触摸面板

52 显示面板

53 显示装置

54 电压施加装置