剥离设备的制作方法

文档序号:12541397阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种剥离设备,其特征在于,用以剥离粘贴于一基板上的一贴合膜,且包括:

一传输装置,用以承载该基板;及

一雷射光源,具有一有效光线区,该雷射光源对该有效光线区内发射雷射光,其中,该传输装置带动该基板至少两次通过该雷射光源的有效光线区,该基板每次通过该有效光线区,该有效光线区没有涵盖该基板的全部。

2.根据权利要求1所述的剥离设备,其特征在于,该传输装置具有一去程传输路径及一回程传输路径,该基板沿着该去程传输路径及该回程传输路径移动,该基板沿该去程传输路径移动,使得该基板的一第一局部通过该雷射光源的有效光线区,该基板沿该回程传输路径移动,使得该基板的一第二局部通过该雷射光源的有效光线区,该第一局部及该第二局部没有完全重叠。

3.根据权利要求2所述的剥离设备,其特征在于,该去程传输路径与该回程传输路径间隔一距离,该雷射光源的有效光线区位于该去程传输路径与该回程传输路径之间。

4.根据权利要求2或3所述的剥离设备,其特征在于,该传输装置包括一气浮台,该去程传输路径及该回程传输路径配置于该气浮台上。

5.一种剥离设备,其特征在于,包括:

一传输装置,具有一去程传输路径及一回程传输路径,该去程传输路径与该回程传输路径间隔一距离;及

一雷射光源,具有一有效光线区,该雷射光源对该有效光线区内发射雷射光,该雷射光源的有效光线区位在该去程传输路径与该回程传输路径之间,且该有效光线区的长度与该距离等长。

6.根据权利要求5所述的剥离设备,其特征在于,该传输装置包括一气浮台,该去程传输路径及该回程传输路径配置于该气浮台上。

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