激光剥离设备的制作方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种激光剥离设备，包括激光器及设于激光器下方的载具，所述载具包括底座和置于底座上、用于承载待剥离产品的承载装置，所述承载装置的承载面中部形成有用于容置所述待剥离产品的下凹空间，所述下凹空间的尺寸大于所述待剥离产品，以使待剥离产品置于所述下凹空间内时与承载装置的内壁间留有空隙，所述底座上开设有贯穿底座的第一吸附孔，所述承载装置上开设有第二吸附孔，所述第二吸附孔一端与所述第一吸附孔连通、另一端与下凹空间的侧面连通。本实用新型能够使激光剥离过程中产生的粉尘(particle)先后通过第二吸附孔和第一吸附孔后被排出，有效降低粉尘对产品的污染，提高产品良率。
【专利说明】激光剥离设备
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及使用激光进行处理和制造的设备，特别是涉及一种激光剥离设备。
【背景技术】
[0002]制造柔性显示器需要用到激光剥离，以柔性OLED显示器为例，一般需要在硬质基板上形成柔性衬底基板，在柔性衬底基板上制备OLED显示元件，之后再采用激光照射扫描方法将柔性衬底基板和硬质基板剥离。
[0003]激光剥离的过程中会产生粉尘(particle)，如果不能及时清除会导致产品良率降低。
实用新型内容
[0004]本实用新型的目的在于提供一种具除尘功能的激光剥离设备。
[0005]一种激光剥离设备，包括激光器及设于激光器下方的载具，所述载具包括底座和置于底座上、用于承载待剥离产品的承载装置，所述承载装置的承载面中部形成有用于容置所述待剥离产品的下凹空间，所述下凹空间的尺寸大于所述待剥离产品，以使待剥离产品置于所述下凹空间内时与承载装置的内壁间留有空隙；所述底座上开设有贯穿底座的第一吸附孔，所述承载装置上开设有第二吸附孔，所述第二吸附孔一端与所述第一吸附孔连通、另一端与下凹空间的侧面连通。
[0006]在其中一个实施例中，所述承载装置包括位于下凹空间边缘且向承载装置中部水平延伸的承接边，所述承接边悬空设置以与下凹空间的底面存在间隙，所述第二吸附孔从上至下贯通所述承接边；所述承载装置的侧边开设有连通所述第二吸附孔和第一吸附孔的吸附通道。
[0007]在其中一个实施例中，所述底座开设有吸附槽，所述第一吸附孔一端与所述吸附槽连通，所述承载装置的底面形成有尺寸与所述吸附槽相匹配的凸条，使得所述承载装置能够通过凸条卡合于所述吸附槽内，所述吸附通道一端从所述凸条的底面穿出、另一端连通至所述下凹空间。
[0008]在其中一个实施例中，所述吸附槽在所述底座的两侧各设有一条。
[0009]在其中一个实施例中，所述激光剥离设备包括多个所述承载装置，每个承载装置的边长相等但下凹空间的尺寸各不相同、以适配不同尺寸的待剥离产品。
[0010]在其中一个实施例中，还包括设于所述底座上的升降柱，用于升降所述承载装置。
[0011]在其中一个实施例中，所述底座和承载装置为方形。
[0012]在其中一个实施例中，所述底座还包括设于底座四角的L形卡位件，用于对所述承载装置进行固定并卡紧。
[0013]在其中一个实施例中，所述L形卡位件与承载装置接触的侧面为斜面。
[0014]在其中一个实施例中，所述承载装置还包括尺寸调节件，用于调节所述下凹空间的尺寸。
[0015]上述激光剥离设备，开设有第一吸附孔和第二吸附孔，并且承载装置的内壁与待剥离产品间留有空隙。如此一来，在给激光剥离设备配备吸真空装置后能够形成气流通道，使激光剥离过程中产生的粉尘(particle)先后通过第二吸附孔和第一吸附孔后被排出。
【专利附图】
【附图说明】
[0016]通过附图中所示的本实用新型的优选实施例的更具体说明，本实用新型的上述及其它目的、特征和优势将变得更加清晰。在全部附图中相同的附图标记指示相同的部分，且并未刻意按实际尺寸等比例缩放绘制附图，重点在于示出本实用新型的主旨。
[0017]图1是本实用新型一实施例中载具的结构示意图；
[0018]图2是沿图1中A-A线的剖视图；
[0019]图3是图2中B区域的局部放大图；
[0020]图4是另一实施例中载具的结构示意图；
[0021]图5是配备有适用于小尺寸待剥离产品的承载装置的载具示意图。
【具体实施方式】
[0022]为了便于理解本实用新型，下面将参照相关附图对本实用新型进行更全面的描述。附图中给出了本实用新型的首选实施例。但是，本实用新型可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本实用新型的公开内容更加透彻全面。
[0023]需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“竖直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。
[0024]除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的【技术领域】的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
[0025]本实用新型提供一种激光剥离设备，包括激光器及设于激光器下方的载具。图1是本实用新型一实施例中载具的结构示意图，载具包括底座10和置于底座10上、用于承载待剥离产品200的承载装置20。在本实施例中，底座10和承载装置20均为方形结构。可以理解的，在其他实施例中，底座10和承载装置20也可以为其他形状。承载装置20的承载面中部形成有用于容置待剥离产品200的下凹空间21。下凹空间21的尺寸大于待剥离产品200，以使待剥离产品200置于下凹空间21内时与承载装置20的内壁(即承载装置20与下凹空间21交界处的侧壁)间留有空隙。底座10上开设有贯穿底座10的第一吸附孔13，承载装置20上开设有第二吸附孔23。第二吸附孔23 —端与第一吸附孔13连通，另一端与下凹空间21的侧面连通。在本实施例中，第一吸附孔13在底座10的两侧各开设有一排，第二吸附孔23同样在承载装置20的两侧各开设一排。在其他实施例中也可以采用与上述实施例不同的吸附孔分布方式，例如在底座10和承载装置20的四边都开设一排吸附孔。
[0026]上述激光剥离设备，开设有第一吸附孔13和第二吸附孔23，并且承载装置20的内壁与待剥离产品200间留有空隙，以使第二吸附孔23能够露于外界而不被待剥离产品200给盖住。如此一来，在给激光剥离设备配备吸真空装置后能够形成气流通道，使激光剥离过程中产生的粉尘(particle)先后通过第二吸附孔23和第一吸附孔13后被排出，有效降低粉尘对广品的污染，能够提尚广品良率。
[0027]图2是沿图1中A-A线的剖视图，图3是图2中B区域的局部放大图。在该实施例中，承载装置20包括自其内壁向承载装置20中部水平延伸的承接边22以承接粉尘，并且保护柔性屏不被划伤或形成斑点。承接边22为悬空设置，以与下凹空间21的底面存在间隙27。在本实施例中，第二吸附孔23从上至下贯通承接边22，承载装置20的侧边开设有连通第二吸附孔23和第一吸附孔13的吸附通道25。间隙27向上连通至第二吸附孔23及待剥离产品200与承载装置20的内壁间的空隙，向下连通至吸附通道25和第一吸附孔13，相比需要在承载装置20挖出一条吸附通道的方案，设置间隙27便于装置的制造加工。
[0028]底座10上还开设有吸附槽11，吸附槽11与第一吸附孔13连通。承载装置20的底面形成有尺寸与吸附槽11相匹配的凸条26，使得承载装置20能够通过凸条26卡合于吸附槽11内。吸附通道25 —端从凸条26的底面穿出、另一端连通至下凹空间21 (在其中一个实施例中是连通至间隙27)。设置吸附槽11及与其配对的凸条26，除了能更稳固地固定承载装置20外，还加强了气流通道的密封性，增强了除尘效果。且该结构可以使维护人员能够更方便地分别对承载装置20和底座10进行清洁。
[0029]在进行激光剥离时，产生的粉尘依次通过第二吸附孔23 ( —部分粉尘是直接通过间隙27)—间隙27 —吸附通道25 —第一吸附孔13排出载具，最终利用真空吸附将粉尘排除。
[0030]图4是另一实施例中载具的结构示意图，该实施例中底座10还包括设于其上的升降柱12，用于升降承载装置20，以配合机械臂取放待剥离产品。在本实施例中升降柱12的数量为3个，在其他实施例中也可以设置其他数量的升降柱。
[0031]底座10还包括设于底座四角的4个L形卡位件14，用于对承载装置20进行固定并卡紧。L形卡位件14与承载装置20接触的侧面为斜面，在本实施例中斜面的倾角为60
度左右。
[0032]为了适应多尺寸的待剥离产品，可以为一套激光剥离设备配备多个承载装置，这些承载装置的边长相等(即外轮廓是相同的)，但下凹空间的尺寸各不相同，这样就能适配不同尺寸的待剥离产品。图5是配备有适用于小尺寸待剥离产品的承载装置的载具示意图。在其中一个实施例中，承载装置还包括尺寸调节件，通过尺寸调节件来调节下凹空间的尺寸，以适应不同尺寸的待剥离产品。
[0033]以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。
【权利要求】
1.一种激光剥离设备，包括激光器及设于激光器下方的载具，所述载具包括底座和置于底座上、用于承载待剥离产品的承载装置，其特征在于，所述承载装置的承载面中部形成有用于容置所述待剥离产品的下凹空间，所述下凹空间的尺寸大于所述待剥离产品，以使待剥离产品置于所述下凹空间内时与承载装置的内壁间留有空隙；所述底座上开设有贯穿底座的第一吸附孔，所述承载装置上开设有第二吸附孔，所述第二吸附孔一端与所述第一吸附孔连通、另一端与下凹空间的侧面连通。
2.根据权利要求1所述的激光剥离设备，其特征在于，所述承载装置包括位于下凹空间边缘且向承载装置中部水平延伸的承接边，所述承接边悬空设置以与下凹空间的底面存在间隙，所述第二吸附孔从上至下贯通所述承接边；所述承载装置的侧边开设有连通所述第二吸附孔和第一吸附孔的吸附通道。
3.根据权利要求2所述的激光剥离设备，其特征在于，所述底座开设有吸附槽，所述第一吸附孔一端与所述吸附槽连通，所述承载装置的底面形成有尺寸与所述吸附槽相匹配的凸条，使得所述承载装置能够通过凸条卡合于所述吸附槽内，所述吸附通道一端从所述凸条的底面穿出、另一端连通至所述下凹空间。
4.根据权利要求3所述的激光剥离设备，其特征在于，所述吸附槽在所述底座的两侧各设有一条。
5.根据权利要求1所述的激光剥离设备，其特征在于，所述激光剥离设备包括多个所述承载装置，每个承载装置的边长相等但下凹空间的尺寸各不相同、以适配不同尺寸的待剥离产品。
6.根据权利要求1所述的激光剥离设备，其特征在于，还包括设于所述底座上的升降柱，用于升降所述承载装置。
7.根据权利要求1所述的激光剥离设备，其特征在于，所述底座和承载装置为方形。
8.根据权利要求7所述的激光剥离设备，其特征在于，所述底座还包括设于底座四角的L形卡位件，用于对所述承载装置进行固定并卡紧。
9.根据权利要求8所述的激光剥离设备，其特征在于，所述L形卡位件与承载装置接触的侧面为斜面。
10.根据权利要求1所述的激光剥离设备，其特征在于，所述承载装置还包括尺寸调节件，用于调节所述下凹空间的尺寸。
【文档编号】H01L21/02GK204257594SQ201420744697
【公开日】2015年4月8日 申请日期:2014年12月1日 优先权日:2014年12月1日
【发明者】王燕锋, 李素华, 刘祥超, 杨硕, 刘成, 王宝友 申请人:昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司, 昆山国显光电有限公司