一种柔性显示面板及其制造方法、以及柔性显示装置的制造方法
【专利摘要】本发明公开了一种柔性显示面板及其制造方法、以及柔性显示装置，一种柔性显示面板，包括阵列基板，以及设置在阵列基板上的有机发光层，阵列基板包括至少两个柔性基板层，至少两个柔性基板层的弹性模量沿着远离有机发光层的方向呈梯度逐渐变小。在应力集中区域，靠近有机发光层柔性基板层的弹性模量较大，无法发生形变，而远离有机发光层柔性基板层的弹性模量较小，进而在应力作用下优先发生形变，应力于远离有机发光层柔性基板层释放后，对靠近有机发光层柔性基板层不会产生影响，进而保护了有机发光层，避免发生有机发光层产生断裂或者暗点。
【专利说明】
一种柔性显示面板及其制造方法、以及柔性显示装置
技术领域
[0001]本发明实施例涉及显示技术领域，尤其涉及一种柔性显示面板及其制造方法，以及柔性显示装置。【背景技术】
[0002]柔性显示面板，是一种可弯曲变形的显示装置，带有柔性显示面板的柔性显示器通常具有方便携带、重量轻、不易摔碎等优点。
[0003]现有的柔性显示面板，其制作步骤通常包括:在玻璃基板上涂覆耐热的柔性基板层;于柔性基板层之上制作形成有机发光层;剥离玻璃基板以使玻璃基板与柔性基板层分离。现有技术中，通常采用激光剥离方式分离柔性基板层与玻璃基板。
[0004]在制造加工过程中，因环境因素等等，往往容易导致柔性显示面板表面或内部出现异物，如图1所示，于玻璃基板背面存在异物1'或柔性基板层与玻璃基板之间存在异物2' 状态下，激光照射过程中，其异物阻碍激光对该区域的柔性基板层与玻璃基板之间粘结剂的充分照射，进而未被充分照射区域(异物存在区)所对应的柔性基板层与玻璃基板之间的粘结未被完全“割断”，在后续的剥离玻璃基板过程中，容易导致异物存在区对应的柔性基板层和有机发光层损坏，甚至使柔性基板层和有机发光层发生断裂，进而破坏整个柔性显示面板的显示效果。
【发明内容】
[0005]本发明提供一种柔性显示面板及其制作方法，以及柔性显示装置，以避免在显示面板在激光剥离过程中损坏有机发光层。
[0006]—方面，本发明提供一种柔性显示面板，其中，包括一阵列基板，以及设置在所述阵列基板上的有机发光层，所述阵列基板包括至少两个柔性基板层，所述至少两个柔性基板层的弹性模量沿着远离所述有机发光层的方向呈梯度逐渐变小。
[0007]另一方面，一种柔性显示装置，其中，包括上述任一项所述的柔性显示面板。
[0008]再一方面，一种柔性显示面板的制作方法，其中，
[0009]提供一阵列基板；
[0010]于所述阵列基板之上形成一有机发光层；
[0011]其中，所述阵列基板包括至少两个柔性基板层，所述至少两个柔性基板层的弹性模量沿着远离所述有机发光层方向呈梯度逐渐变小。
[0012]与现有技术相比，本发明的有益效果在于:
[0013]本发明通过在柔性显示面板上设置至少两个柔性基板层，所述至少两个柔性基板层的弹性模量沿着远离所述有机发光层的方向呈梯度逐渐变小。解决了在剥离过程中因异物的存在，因应力无法于水平方向继续释放，进而转化为垂直方向的释放导致柔性基板形变的技术问题。在应力集中区域，因靠近有机发光层的柔性基板层的弹性模量较大，无法发生形变，而远离有机发光层柔性基板层的弹性模量较小，进而在应力作用下发生优选发生形变，应力于远离有机发光层柔性基板层完全释放后，对靠近有机发光层柔性基板层不会产生影响，进而保护了有机发光层，避免有机发光层发生断裂，即在显示状态下不会产生暗点。【附图说明】
[0014]图1为现有技术中存在异物的柔性显示面板的结构示意图；
[0015]图2是本发明实施例提供的一种的柔性显示面板的结构示意图；
[0016]图3是本发明实施例提供的另一种的柔性显示面板的结构示意图；
[0017]图4是本发明实施例提供的再一种的柔性显示面板的结构示意图；
[0018]图5是本发明实施例还提供一种柔性显示面板的结构示意图；
[0019]图6是本发明实施例提供的一种柔性显示面板的制造方法的流程示意图；
[0020]图7是本发明实施例提供的另一种柔性显示面板的制造方法的流程示意图。【具体实施方式】
[0021]下面结合附图和实施例对本发明作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本发明，而非对本发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本发明相关的部分而非全部结构。
[0022]继续如图1所示，发明人经过仔细研究发现，异物存在区所对应的柔性基板层易发生形变或断裂，其主要原因在于，在剥离玻璃基板过程中，异物存在区转化为应力集中点， 具体原因为异物的存在导致剥离过程中形成的应力在水平方向释放受阻，进行于异物存在区形成了应力集中点。为了使玻璃基板与柔性基板层完全剥离，当应力集中点的应力于水平方向无法释放时，通常会转化为垂直方向的进行应力释放，垂直方向的应力释放时，因玻璃基板的弹性模量远远大于柔性基板层的弹性模量(玻璃基板的弹性模量通常大于70Gpa， 柔性基板层的弹性模量通常为8?9Gpa)，进而导致柔性基板层发生形变，当柔性基板层所承受的应力大于其最大应变力时，则柔性基板层发生断裂现象，进而产生暗点。
[0023]针对上述发现，发明人通过以下实施例解决上述技术问题。
[0024]图2为本发明实施例提供的一种柔性显示面板的结构示意图，本实施例可适用于柔性显示装置或搭载有该柔性显示面板的终端设备情况，柔性显示面板具体结构为:
[0025]包括一阵列基板1，以及设置在所述阵列基板1上的有机发光层2,所述阵列基板1 包括至少两个柔性基板层11，所述至少两个柔性基板层的弹性模量沿着远离所述有机发光层的方向呈梯度逐渐变小。
[0026]具体的，本发明实施例中，其中各层柔性基板层的弹性模量可以是均匀的，不同层的柔性基板的弹性模量是不同的，并且沿着远离有机发光层的方向，不同层的柔性基板层的弹性模量呈梯度逐渐变小;或者还可以是对于每一层柔性基板层，弹性模量也是均沿着远离所述有机发光层的方向呈梯度逐渐变小。
[0027]该种柔性显示面板在剥离过程中，阵列基板与硬质基板在剥离过程中形成应力释放，通常异物区域为应力释放的集中点，应力传递至应力集中点时，因异物的存在，应力无法于水平方向继续释放，进而应力会转化为垂直方向的释放，应力垂直方向释放过程中，因顶层柔性基板层(靠近有机发光层)弹性模量较大，无法发生形变(即应力在弹性模量较大的柔性基板层所能承受的应变力较大，不易发生形变)，而底层的柔性基板层(远离有机发光层)的弹性模量较小，进而在应力作用下优先发生形变，应力于底层柔性基板层被释放后，对顶层的柔性基板层不会产生影响，进而保护了顶层柔性基板层及顶层柔性基板层以上的有机发光层，进而避免在有机发光层产生断裂或者暗点。
[0028]本实施例的技术方案，通过采用弹性模量较小的柔性基板层进行应力的释放，解决了存在异物状态下，激光剥离产生形变及暗点的技术问题，提高了激光剥离的稳定性。 [〇〇29] 在上述技术方案的基础上，可选地，所述柔性基板层11的材料为聚酰亚胺，聚酰亚胺为有机高分子材料。耐高温达400°C，采用聚酰亚胺制成的柔性基板层，在激光照射过程中，能够保证柔性基板层的稳定性，不会因高温激光照射而发生熔化，提高了柔性显示面板的耐高温性。
[0030]在上述技术方案的基础上，可选地，所述柔性基板层11的厚度沿着所述柔性基板层的层叠方向呈梯度变化。进一步地，靠近所述有机发光层的柔性基板层的厚度小于远离所述有机发光层的柔性基板层的厚度，通过厚度的调整以使柔性基板层释放与该厚度相匹配的应力，远离有机发光层的柔性基板层的厚度较大时，可以释放更多应力，缓解更多形变。
[0031]图3为本发明实施例提供的另一种柔性显示面板的结构示意图所示，以两个柔性基板层为例，所述阵列基板1包括第一柔性基板层101和第二柔性基板层102,所述第一柔性基板层101位于所述有机发光层2和所述第二柔性基板层102之间;所述第一柔性基板层101 的弹性模量大于5GPa，所述第二柔性基板层102的弹性模量小于lGPa。本实施方式中，第一柔性基板层101的弹性模量远远大于第二柔性基板层102的弹性模量，在应力释放过程中， 第二柔性基板层102优先发生形变，进而保证第一柔性基板层101处于稳定状态，即保证第一柔性基板层101之上的有机发光层2处于稳定状态。进一步的，本实施方式中，其中第一柔性基板层101的弹性模量可取的范围为5?15GPa，若第一柔性基板层101的弹性模量取值大于15GPa，则可能影响柔性显示面板的柔性，而若第一柔性基板层101的弹性模量取值小于 5GPa，则第一柔性基板层101也容易发生形变，就会影响位于该第一柔性基板层101上有机发光层2的稳定性。
[0032]可选地，所述第一柔性基板层101的厚度为1?lOwn，所述第二柔性基板层102的厚度为10?20wii。通过增加第二柔性基板层102的厚度，用以使得第二柔性基板层102释放更多的应力。，但该第二柔性基板层102的厚度过厚，一是会浪费柔性基板材料，二是会导致柔性显示面板的厚度太厚，不利于显示面板轻薄化的设计，对于第一柔性基板层101厚度，若厚度太厚，也会存在上述问题，但该第一柔性基板层101仍需保证有一定强度，因此，将其厚度范围设置为1?lOym。
[0033]图4为本发明实施例提供的另一种柔性显示面板的结构示意图，应用于被需要释放的应力较大的状态下，所述阵列基板1包括第三柔性基板层103、第四柔性基板层104以及第五柔性基板层105,所述第三柔性基板层103靠近所述有机发光层，所述第五柔性基板层 105远离所述有机发光层，所述第四柔性基板层104位于所述第三柔性基板层103和第五柔性基板层105之间；所述第三柔性基板层103的弹性模量大于5GPa，可选地，所述第四柔性基板层104的弹性模量为1?5GPa，所述第五柔性基板层105的弹性模量小于lGPa。所述第三柔性基板层103的厚度1?5mi，所述第四柔性基板层104的厚度为5?l〇Mi，所述第五柔性基板层105的厚度为10?20mi。[〇〇34]本实施例中，阵列基板包括三层柔性基板层，分别为第三柔性基板层103、第四柔性基板层104、第五柔性基板层105,其中第三柔性基板层103的弹性模量大于5GPa，可选地， 第四柔性基板层104的弹性模量为1?5GPa，第五柔性基板层105的弹性模量小于lGPa，柔性基板层的弹性模量呈梯度减小，在应力释放过程中，第五柔性基板层105优先发生形变，于第五柔性基板层105发生形变后，其应力没有得到完全释放，则通过第四柔性基板层104继续释放，经过第四柔性基板层104二次释放应力以使应力被完全释放，保证第三柔性基板层 103处于稳定状态。[〇〇35]进一步的，本实施方式中，其中第三柔性基板层103的弹性模量可取的范围为5? 15GPa，若第三柔性基板层103的弹性模量取值大于15GPa，则可能影响柔性显示面板的柔性，而若第三柔性基板层103的弹性模量取值小于5GPa，则第三柔性基板层103也容易发生形变，就会影响位于该第三柔性基板层103上有机发光层2的稳定性。[〇〇36]另外，所述第五柔性基板层105的厚度为10?20mi。通过相对增加所述第五柔性基板层105厚度，用以使得第五柔性基板层105释放更多的应力，但该第五柔性基板层105的厚度过厚，一是会浪费柔性基板材料，二是会导致柔性显示面板的厚度太厚，不利于显示面板轻薄化的设计，对于第三柔性基板层103和厚度，若厚度太厚，也会存在上述问题，但该第三柔性基板层103仍需保证有一定强度，因此，将其厚度范围设置为1?5wii。[〇〇37]需要说明的是，当需要被释放的应力较大时，还可以继续增加柔性基板层的数量， 以保证与有机发光层接触的柔性基板层处于稳定状态，至于柔性基板层的具体数量，此处不做限定，可根据实际操作增加。
[0038]图5为本发明实施例提供的另一种柔性显示面板的结构示意图，应用于被需要释放的应力较大的状态下，与上述实施例涉及的技术方案不同的是，本实施例通过在两个相邻的柔性基板层之间设置一应力缓解层以实现较大应力的释放。[〇〇39]具体的；一种柔性显示面板，其特征在于，包括一阵列基板1，以及设置在所述阵列基板1上的有机发光层2,所述阵列基板1包括至少两个柔性基板层11，所述至少两个柔性基板层11的弹性模量沿着远离所述有机发光层2的方向呈梯度逐渐变小，其中至少一个设置在两个相邻的所述柔性基板层11之间的应力缓解层3。进一步地，所述应力缓解层3的弹性模量小于lGpa，或所述应力缓解层3的厚度为1?lOwii。优选地，所述应力缓解层3包括有机材料，较佳地，所述有机材料为聚乙烯、聚萘二甲酸乙二醇酯、或聚对苯二甲酸乙二醇酯、或聚甲基丙烯酸甲酯中的至少一种。
[0040]本实施例的技术方案，通过在两个柔性基板层11之间设置一应力缓解层，于远离有机发光层2的柔性基板层11不能完全释放应力时，通过应力缓解层继续释放压力，应力无法被传递至靠近有机发光层2的柔性基板层11，避免在剥离过程中靠近有机发光层2的柔性基板层11发生形变，保证了靠近有机发光层2的柔性基板层11稳定了，相当于保证了有机发光层2的稳定性。
[0041]于上述实施例基础之上，还包括，所述应力缓解层的弹性模量小于任意一个所述柔性基板层11的弹性模量，应力缓解层的弹性模量最小，即当应力传递至应力缓解层时，应力缓解层优先发生形变，即应力在柔性基板层11尚未发生作用时，在应力缓解层能立即被释放，设置弹性模量最小的应力缓解层，除了具有保护靠近有机发光层2的柔性基板层11发生形变的作用外，还可以在应力适当的情况下，保证所有柔性基板层11避免发生形变的有效果。[〇〇42]本发明同时提供一种柔性显示装置，其中，包括上述任一项的柔性显示面板。柔性显示装置的工作原理同上，此处不做赘述。[〇〇43]图6为本发明实施例提供的一种柔性显示面板的制作方法的流程图。
[0044]—种柔性显示面板的制作方法，其中柔性电路板的结构可以参见图2所示，具体包括，
[0045]S101、提供一阵列基板，其中，所述阵列基板包括至少两个柔性基板层，所述至少两个柔性基板层的弹性模量沿着远离所述有机发光层方向呈梯度逐渐变小；
[0046]S102、于所述阵列基板之上形成一有机发光层。
[0047]通过上述方法制成柔性显示面板:在剥离过程中，阵列基板与硬质基板在剥离过程中形成应力释放，通常异物区域为应力释放的集中点，应力传递至应力集中点时，因异物的存在，应力无法于水平方向继续释放，进而应力会转化为垂直方向的释放，应力垂直方向释放过程中，因顶层柔性基板层(靠近有机发光层)弹性模量较大，无法发生形变(即应力在弹性模量较大的柔性基板层所能承受的应变力较大，不易发生形变)，而底层的柔性基板层 (远离有机发光层)的弹性模量较小，进而在应力作用下优先发生形变，应力于底层柔性基板层被释放后，对顶层的柔性基板层不会产生影响，进而保护了顶层柔性基板层及顶层柔性基板层以上的有机发光层，进而避免在有机发光层产生断裂或者暗点。
[0048]本实施例的技术方案，通过采用弹性模量较小的柔性基板层进行应力的释放，解决了存在异物状态下，激光剥离产生形变及暗点的技术问题，提高了激光剥离的稳定性。
[0049]进一步可选的，靠近所述有机发光层的柔性基板层的厚度小于远离所述有机发光层的柔性基板的厚度。通过调整柔性基板层的厚度调整柔性基板层的弹性模量。
[0050]进一步可选的，本实施方案以两层柔性基板层为例，具体地，所述阵列基板包括第一柔性基板层和第二柔性基板层，所述第一柔性基板层位于所述有机发光层和所述第二柔性基板层之间；所述第一柔性基板层的弹性模量大于5GPa，所述第二柔性基板层的弹性模量小于lGPa。本实施方式中，第一柔性基板层的弹性模量远远大于第二柔性基板层的弹性模量，在应力释放过程中，第二柔性基板层优先发生形变，进而保证第一柔性基板层处于稳定状态，即保证第一柔性基板层之上的有机发光层处于稳定状态。进一步的，本实施方式中，其中第一柔性基板层的弹性模量可取的范围为5?15GPa，若第一柔性基板层的弹性模量取值大于15GPa，则可能影响柔性显示面板的柔性，而若第一柔性基板层的弹性模量取值小于5GPa，则第一柔性基板层也容易发生形变，就会影响位于该第一柔性基板层上有机发光层的稳定性。[0051 ]进一步可选的，本实施方案中，所述阵列基板包括三层柔性基板层，具体地，所述阵列基板包括第三柔性基板层、第四柔性基板层以及第五柔性基板层，所述第三柔性基板层靠近所述有机发光层，所述第五柔性基板层远离所述有机发光层，所述第四柔性基板层位于所述第三柔性基板层和第五柔性基板层之间；所述第三柔性基板层的弹性模量大于 5GPa，所述第四柔性基板层的弹性模量为1?5GPa，所述第五柔性基板层的弹性模量小于 lGPa〇[〇〇52]柔性基板层的弹性模量呈梯度减小，在应力释放过程中，第五柔性基板层优先发生形变，于第五柔性基板层发生形变后，其应力没有得到完全释放，则通过第四柔性基板层释放，经过第四柔性基板层二次释放应力后，通常应力得以完全释放，保证第三柔性基板层处于稳定状态。
[0053]进一步的，本实施方式中，其中第三柔性基板层的弹性模量可取的范围为5? 15GPa，若第三柔性基板层的弹性模量取值大于15GPa，则可能影响柔性显示面板的柔性，而若第三柔性基板层103的弹性模量取值小于5GPa，则第三柔性基板层也容易发生形变，就会影响位于该第三柔性基板层上有机发光层的稳定性。[〇〇54]需要说明的是，当需要被释放的应力较大时，还可以继续增加柔性基板层的数量， 通过多个柔性基板层对应力做逐渐衰退的传递，以保证与有机发光层接触的柔性基板层处于稳定状态，至于柔性基板层的具体数量，此处不做限定，可根据实际操作增加。
[0055]图7为本发明实施例提供的另一种柔性显示面板的制作方法的流程示意图，与上述实施例不同的是，本实施例在两个相邻的所述柔性基板层之间的设置一应力缓解层，通过应力缓解层对较大的应力进行释放，无需太多的柔性基板层对应力做逐渐衰退传递即可实现应力的释放。[〇〇56] 一种柔性显示面板的制作方法，其中，具体步骤包括:[〇〇57]步骤S201、提供一阵列基板，其中，所述阵列基板包括至少两个柔性基板层，所述至少两个柔性基板层的弹性模量沿着远离所述有机发光层方向呈梯度逐渐变小；[〇〇58]步骤S202、于所述阵列基板之上形成一有机发光层。[〇〇59]其中，步骤S201中，于两个相邻的所述柔性基板层之间的设置一应力缓解层。于远离有机发光层的柔性基板层不能完全释放应力时，通过应力缓解层继续释放压力，应力无法被传递至靠近有机发光层的柔性基板层，避免在剥离过程中靠近有机发光层的柔性基板层发生形变，保证了靠近有机发光层的柔性基板层稳定了，相当于保证了有机发光层的稳定性。
[0060]进一步可选的，所述应力缓解层的弹性模量小于任意一个所述柔性基板层的弹性模量。应力缓解层的弹性模量最小，即当应力传递至应力缓解层时，应力缓解层优先发生形变，即应力在柔性基板层尚未发生作用时，在应力缓解层能立即被释放，设置弹性模量最小的应力缓解层，除了具有保护靠近有机发光层的柔性基板层发生形变的作用外，还可以在应力适当的情况下，保证所有柔性基板层发生形变的有益效果。
[0061]虽然本发明的各个方面在独立权利要求中给出，但是本发明的其它方面包括来自所描述实施方式的特征和/或具有独立权利要求的特征的从属权利要求的组合，而并非仅是权利要求中所明确给出的组合。
[0062]这里所要注意的是，虽然以上描述了本发明的示例实施方式，但是这些描述并不应当以限制的含义进行理解。相反，可以进行若干种变化和修改而并不背离如所附权利要求中所限定的本发明的范围。[〇〇63]注意，上述仅为本发明的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解， 本发明不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、 重新调整和替代而不会脱离本发明的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本发明进行了较为详细的说明，但是本发明不仅仅限于以上实施例，在不脱离本发明构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本发明的范围由所附的权利要求范围决定。
【主权项】
1.一种柔性显示面板，其特征在于，包括一阵列基板，以及设置在所述阵列基板上的有 机发光层，所述阵列基板包括至少两个柔性基板层，所述至少两个柔性基板层的弹性模量 沿着远离所述有机发光层的方向呈梯度逐渐变小。2.根据权利要求1所述的柔性显示面板，其特征在于，所述柔性基板层的材料为聚酰亚胺。3.根据权利要求1所述的柔性显示面板，其特征在于，所述柔性基板层的厚度沿着所述 柔性基板层的层叠方向呈梯度变化。4.根据权利要求3所述的柔性显示面板，其特征在于，靠近所述有机发光层的柔性基板 层的厚度小于远离所述有机发光层的柔性基板层的厚度。5.根据权利要求1所述的柔性显示面板，其特征在于，所述阵列基板包括第一柔性基板 层和第二柔性基板层，所述第一柔性基板层位于所述有机发光层和所述第二柔性基板层之 间；所述第一柔性基板层的弹性模量大于5GPa，所述第二柔性基板层的弹性模量小于lGPa。6.根据权利要求5所述的柔性显示面板，其特征在于，所述第一柔性基板层的厚度为1 ?lOym，所述第二柔性基板层的厚度为10?20wii。7.根据权利要求1所述的柔性显示面板，其特征在于，所述阵列基板包括第三柔性基板 层、第四柔性基板层以及第五柔性基板层，所述第三柔性基板层靠近所述有机发光层，所述 第五柔性基板层远离所述有机发光层，所述第四柔性基板层位于所述第三柔性基板层和第 五柔性基板层之间；所述第三柔性基板层的弹性模量大于5GPa，所述第四柔性基板层的弹 性模量为1?5GPa，所述第五柔性基板层的弹性模量小于lGPa。8.根据权利要求7所述的柔性显示面板，其特征在于，所述第三柔性基板层的厚度1?5 Mi，所述第四柔性基板层的厚度为5?lOym，所述第五柔性基板层的厚度为10?20wii。9.根据权利要求1?5任意一项所述的柔性显示面板，其特征在于，还包括:至少一个设 置在两个相邻的所述柔性基板层之间的应力缓解层。10.根据权利要求9所述的柔性显示面板，其特征在于，所述应力缓解层包括有机材料。11.根据权利要求10所述的柔性显示面板，其特征在于，所述有机材料为聚乙烯、聚萘 二甲酸乙二醇酯、或聚对苯二甲酸乙二醇酯、或聚甲基丙烯酸甲酯中的至少一种。12.根据权利要求11所述的柔性显示面板，其特征在于，所述应力缓解层的弹性模量小 于任意一个所述柔性基板层的弹性模量。13.根据权利要求9所述的柔性显示面板，其特征在于，所述应力缓解层的弹性模量小 于lGPa。14.根据权利要求9所述的柔性显示面板，其特征在于，所述应力缓解层的厚度为1?10 ym〇15.—种柔性显示装置，其特征在于，包括权利要求1?14任一项所述的柔性显示面板。16.—种柔性显示面板的制作方法，其特征在于，提供一阵列基板；于所述阵列基板之上形成一有机发光层；其中，所述阵列基板包括至少两个柔性基板层，所述至少两个柔性基板层的弹性模量 沿着远离所述有机发光层方向呈梯度逐渐变小。17.根据权利要求16所述的柔性显示面板的制作方法，其特征在于，靠近所述有机发光层的柔性基板层的厚度小于远离所述有机发光层的柔性基板的厚度。18.根据权利要求16所述的柔性显示面板的制作方法，其特征在于，所述阵列基板包括 第一柔性基板层和第二柔性基板层，所述第一柔性基板层位于所述有机发光层和所述第二 柔性基板层之间；所述第一柔性基板层的弹性模量大于5GPa，所述第二柔性基板层的弹性 模量小于lGPa。19.根据权利要求16所述的柔性显示面板的制作方法，其特征在于，所述阵列基板包括 第三柔性基板层、第四柔性基板层以及第五柔性基板层，所述第三柔性基板层靠近所述有 机发光层，所述第五柔性基板层远离所述有机发光层，所述第四柔性基板层位于所述第三 柔性基板层和第五柔性基板层之间；所述第三柔性基板层的弹性模量大于5GPa，所述第四 柔性基板层的弹性模量为1?5GPa，所述第五柔性基板层的弹性模量小于lGPa。20.根据权利要求16?19任一项所述的柔性显示面板的制作方法，还包括，于两个相邻 的所述柔性基板层之间的设置一应力缓解层。21.根据权利要求20所述的柔性显示面板的制作方法，其特征在于，所述应力缓解层的 弹性模量小于任意一个所述柔性基板层的弹性模量。
【文档编号】H01L51/00GK105977277SQ201610293386
【公开日】2016年9月28日
【申请日】2016年5月5日
【发明人】蔡雨
【申请人】上海天马微电子有限公司, 天马微电子股份有限公司