一种Pm-147碳化硅缓变肖特基同位素电池及其制造方法与流程

文档序号:16189053发布日期:2018-12-08 05:30阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
一种Pm‑147碳化硅缓变肖特基同位素电池,包括衬底,衬底下方设置N型欧姆接触电极,衬底上部设置第一N型SiC外延层,第一N型SiC外延层上部设置第二N型SiC外延层,在第二N型SiC外延层的顶部设有若干肖特基电极,在第二N型SiC外延层的顶部除去肖特基电极的区域设有SiO2钝化层,在SiO2钝化层的上方设有Pm‑147放射性同位素源。本发明的Pm‑147碳化硅肖特基同位素电池采用两层掺杂浓度不同的N型层替代常规的N型,通过在辐照生载流子的扩散区中引入电场,将载流子的扩散运动转变成扩散运动和漂移运动的结合,有利于减少辐照生载流子的复合损耗,从而提升电池的输出功率。

技术研发人员:张林;程鸿亮;胡笑钏
受保护的技术使用者:长安大学
技术研发日:2018.02.08
技术公布日:2018.12.07
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