制造柔性导电轨道装置的方法、柔性导电轨道装置和神经刺激系统与流程

文档序号:12281391阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种柔性导电轨道装置(100),包括:

- 远端部分(110),其包括多个电极(112);

- 近端部分(130),其包括多个接触件(132);以及

- 在近端部分与远端部分之间的条带(120),所述条带包括多个导电轨道(122),每一个导电轨道将电极连接到接触件,其中至少导电轨道嵌入在电介质层(34,36)中,所述电介质层嵌入在生物相容聚合物层(18,24)中,其中生物相容聚合物层具有至少一个基本上平坦的外聚合物表面并且其中电介质层具有小于500nm的厚度。

2.权利要求1的柔性导电轨道装置(100),其中电介质层堆叠(34,36)具有小于300nm或者甚至小于250nm的厚度。

3.权利要求1或2的柔性导电轨道装置(100),其中电介质层堆叠(34,36)包括氧化硅、氮化硅和氧化铝或其他无机氧化物中至少一种。

4.前述权利要求中任一项的柔性导电轨道装置(100),进一步包括中心杆,其中柔性导电轨道以成螺旋形方式缠绕在中心杆周围,其中基本上平坦的表面面对中心杆。

5.一种神经刺激和/或神经检测设备(1),包括权利要求1-4中任一项的柔性导电轨道装置(100),其中所述多个电极被布置用于向神经提供信号并且/或者从神经接收信号;并且进一步包括神经刺激和/或检测单元(200)且具有用于接触柔性导电轨道装置的近端部分(130)的相应接触件(132)的多个另外的接触件(202)。

6.一种包括权利要求5的神经刺激和/或神经检测检测设备(1)的助听设备。

7.一种制造柔性导电轨道装置(100)的方法,该柔性导电轨道装置包括包含多个电极(112)的远端部分(110)、包含多个接触件(132)的近端部分(130)以及在远端部分与近端部分之间的条带(120),所述条带包括多个导电轨道(122),每一个导电轨道将电极连接到接触件,该方法包括:

提供衬底(10);

在衬底上形成第一生物相容聚合物层(18);

在低于第一生物相容聚合物的分解温度的温度下,通过原子层沉积,在第一生物相容聚合物层上沉积至少一个电介质层(34);

在所述至少一个电介质层上形成至少一个图案化金属层(14,14’),所述图案化金属层限定电极、接触件和导电轨道中的至少一些;

在低于第一生物相容聚合物的分解温度的温度下,通过原子层沉积,在图案化金属层上沉积至少一个另外的电介质层(36),并且图案化所述另外的电介质层以暴露电极和接触件;

在第二电介质层上形成第二生物相容聚合物层(24)并且图案化第二生物相容聚合物层以暴露电极和接触件;以及。

8.权利要求7的方法,其中原子层沉积步骤在120℃以下执行。

9. 权利要求7或8的方法,其中:

- 通过原子层沉积在第一生物相容聚合物层(18)上沉积至少一个电介质层(34)的步骤包括在第一生物相容聚合物层上沉积第一电介质层以及在第一电介质层上沉积第二电介质层;并且/或者

- 通过原子层沉积在图案化金属层(14,14’)上沉积至少一个另外的电介质层(36)的步骤包括在图案化金属层上沉积第一另外的电介质层以及在第一另外的电介质层上沉积第二另外的电介质层。

10.权利要求7-9中任一项的方法,其中所述至少一个电介质层(34)和/或所述至少一个另外的电介质层(36)单独地从氧化硅、氮化硅、氧化铝或另一无机氧化物中的至少一种中选择。

11.权利要求7-10中任一项的方法,其中所述至少一个电介质层(34)和所述至少一个另外的电介质层(36)中的每一个被沉积至小于100nm的厚度。

12.权利要求7-11中任一项的方法,其中第一生物相容聚合物层(18)和第二生物相容聚合物层(24)中的每一个由电绝缘聚合物构成。

13.权利要求12的方法,其中所述电绝缘聚合物从聚对二甲苯和聚酰亚胺中选择。

14.权利要求7-14中任一项的方法,进一步包括在第一生物相容聚合物层(18)形成之前在衬底(10)上提供释放层(32),并且其中移除所述衬底的步骤包括溶解所述释放层。

15.权利要求7-14中任一项的方法,其中所述方法进一步包括在第二电介质层上形成第二生物相容聚合物层(24)之后移除衬底,以便留下具有基本上平坦表面的第一生物相容层。

16.权利要求7-15中任一项的方法,包括另外的步骤:提供中心细长杆并且以成螺旋形方式将柔性导电轨道缠绕在中心杆周围,其中基本上平坦的表面面对中心杆。

17.权利要求1-5中任一项的柔性导电轨道装置(100),其中该柔性导电轨道装置通过权利要求7-16中任一项的方法制造。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1