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集成化探针结构的制作方法
文档序号:15879389
发布日期:2018-11-09 17:37
阅读:
来源:国知局
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集成化探针结构的制作方法
技术特征:
技术总结
根据各种实施例提供的是一种探针结构。该探针结构包括被构造为发出声能的探针。该探针结构还包括位于探针下方并与探针对准的负荷传感器。该探针结构还包括探针套,该探针套包括用于接纳探针和负荷传感器的空腔。
技术研发人员:
罗曼二世·弗洛里斯;马修·赫特;杰勒德·萨利纳斯;迈克尔·科斯塔;马修·西尔维斯特
受保护的技术使用者:
神经系统分析公司
技术研发日:
2017.01.05
技术公布日:
2018.11.09
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