(6)涉及第三实施方式的超声波器件
[0079]图10简要示出涉及第三实施方式的超声波器件17a的结构。该超声波器件17b中与第二实施方式相同，分别对第一布线55a、第二布线55b、…第η布线55η分配第一组开口部46、第二组开口部46、…第η组开口部46。在使第一组开口部46、第二组开口部46、…第η组开口部46相互隔开的间隔壁57中，并且在使分配给一个第二导电体32的开口部46相互隔开的间隔壁57中划分出从基板44的背面挖穿的非贯通的空间56。其他的结构与上述的涉及第一实施方式的超声波器件17相同。
[0080](7)涉及第四实施方式的超声波器件
[0081]图11简要示出涉及第四实施方式的超声波器件17c的结构。该超声波器件17c中，与第三实施方式相同，在使分配给一个第二导电体32的开口部46相互隔开的间隔壁57中划分出从基板44的背面挖穿的非贯通的空间56。并且，在使分配给一个第二导电体32的开口部46相互隔开的间隔壁47中划分出从基板44的背面挖穿的非贯通空间66。通过沿着以直角横穿第二导电体32的中心线CL的方向延伸的槽划分空间66。其他的结构与上述的涉及第一实施方式的超声波器件17相同，根据如此结构，信道彼此之间的振动传播被屏蔽，并且即使在相同信道内振动膜24彼此之间的振动传播也被屏蔽。
[0082](8)涉及第五及第六实施方式的超声波器件元件
[0083]另外，不仅可以如第一?第四实施方式所示信道以一维排列，例如也可以如图12及图13所示，信道以二维排列。此时，可以如图12所示，在信道彼此之间的间隔壁57划分出空间67，也可以如图13所示，无论信道的内外，在使开口部46彼此隔开的间隔壁47、57都划分出空间67、68。
[0084](9)涉及其他的实施方式的超声波器件单元
[0085]图14简要示出涉及其他的实施方式的超声波器件单元DVa的结构。超声波器件单元DVa中，在基板44的背面(第二表面)44b结合有声透镜18。结合声透镜18时，在基板44的背面44b层叠声匹配层71。声匹配层71覆盖基板44的背面并配置于开口部46内。声匹配层71在开口部46内与振动膜24接触。声匹配层71与振动膜24无间隙地贴紧。声匹配层71能够使用例如有机硅树脂膜。声匹配层71上层叠声透镜18。声透镜18无间隙地贴紧于声匹配层71的表面。
[0086]与上述相同，在开口部46彼此之间形成间隔壁47、57。间隔壁47、57中能够形成从基板44的背面44b挖穿的非贯通的空间72。空间72可以与上述相同仅形成于间隔壁
57。空间72也可以是槽。空间72内可以配置声匹配层71。由于声匹配层71与基板44具有相互不同的声阻抗，因此振动在声匹配层71和基板44的界面反射。这样，振动的传播被屏蔽。
[0087]在基板44的表面在覆盖膜45上设置背衬材料73。背衬材料73与覆盖膜45的表面之间形成空间。空间内配置压电元件25。背衬材料73通过壁材74被覆盖膜45的表面支撑。壁材74在背衬材料73与覆盖膜45的表面之间维持间隔。壁材74在开口部46的轮廓外侧被基板44支撑。
[0088]此外，虽然如上所述对本实施方式进行了详细说明，但是在实质上不脱离本发明的新事项以及效果的前提下，能够进行多种变形，这对于本领域普通技术人员来说，应该能够容易理解。因此，这种变形例全部都被包含在本发明的范围内。例如，在说明书或附图中，至少一次与更广义或同义的不同的术语一起记载的术语在说明书或附图中的任何地方，都能够被替换为该不同的术语。另外，装置终端12和超声波探测器13、框体16、显示面板15等的结构以及动作不限于在本实施方式中说明过的，能够进行各种变形。
【主权项】
1.一种超声波器件，其特征在于， 具备: 基板，具有第一表面和位于所述第一表面相反一侧的第二表面，并具有被第一壁部间隔开的第一开口部； 第一振动膜，配置于所述基板的所述第一表面，闭塞所述第一开口部；以及 第一压电元件，设置于所述第一振动膜， 所述第一壁部形成有在所述第二表面开口的第一凹部。2.根据权利要求1所述的超声波器件，其特征在于， 所述基板具有第二开口部，所述第二开口部与所述第一开口部通过所述第一壁部间隔开； 所述超声波器件还具备: 第二振动膜，配置于所述基板的所述第一表面，闭塞所述第二开口部； 第二压电元件，设置于所述第二振动膜； 第一布线，与所述第一压电元件连接；以及 第二布线，与所述第一布线通过绝缘体隔开，并与所述第二压电元件连接。3.根据权利要求2所述的超声波器件，其特征在于， 所述基板还具有: 第三开口部，与所述第一开口部通过第二壁部相互间隔开；以及第四开口部，与所述第二开口部通过第三壁部相互间隔开，并且与所述第三开口部通过第四壁部相互间隔开， 所述超声波器件还具备: 第三振动膜和第四振动膜，配置于所述基板的所述第一表面，分别闭塞所述第三开口部和所述第四开口部；以及 第三压电元件和第四压电元件，分别设置于所述第三振动膜和所述第四振动膜， 所述第三压电元件连接于所述第一布线，所述第四压电元件连接于所述第二布线， 所述第四壁部形成有在所述第二表面开口的第二凹部。4.根据权利要求3所述的超声波器件，其特征在于， 在从所述基板的厚度方向观察的俯视观察中，所述第一凹部及所述第二凹部是沿着配置有所述第一开口部和所述第三开口部的列的延伸方向延伸的槽形状。5.根据权利要求4所述的超声波器件，其特征在于， 所述第一凹部及所述第二凹部的深度比所述第一开口部至所述第四开口部中的任一个的深度都小。6.根据权利要求5所述的超声波器件，其特征在于， 在与配置有所述第一开口部和所述第三开口部的列的延伸方向交叉的方向上的所述第一凹部的宽度和所述第二凹部的宽度比所述第一开口部至所述第四开口部中的任一个的宽度都小。7.根据权利要求4所述的超声波器件，其特征在于， 在所述延伸方向上，所述第一凹部及所述第二凹部的长度比所述第一开口部至所述第四开口部中的任一个的长度都小。8.根据权利要求3所述的超声波器件，其特征在于， 所述第二壁部形成有在所述第二表面开口的第三凹部，所述第三壁部形成有在所述第二表面开口的第四凹部。9.根据权利要求8所述的超声波器件，其特征在于， 所述第三凹部及所述第四凹部是沿着分别横穿连接所述第一压电元件与所述第三压电元件的所述第一布线、以及连接所述第二压电元件与所述第四压电元件的所述第二布线的方向延伸的槽形状。10.一种探测器，其特征在于，具备: 权利要求1所述的超声波器件；以及 框体，支撑所述超声波器件。11.一种电子设备，其特征在于，具备: 权利要求1所述的超声波器件；以及 处理装置，与所述超声波器件连接，处理所述超声波器件的输出。12.一种超声波图像装置，其特征在于，具备: 权利要求1所述的超声波器件；以及 显示装置，显示基于所述超声波器件的输出生成的图像。13.一种超声波器件的制造方法，其特征在于，具备: 在具有第一表面和位于所述第一表面相反一侧的第二表面的基板的所述第一表面形成覆盖膜的工序； 在所述覆盖膜上的确定的位置形成第一压电元件及第二压电元件的工序； 形成抗蚀膜的工序，所述抗蚀膜在分别与所述第一压电元件及所述第二压电元件对应的所述基板的所述第二表面的位置，划分出与第一振动膜及第二振动膜的轮廓分别对应的第一空隙及第二空隙，并划分出位于所述第一空隙与所述第二空隙之间的第三空隙；以及从所述基板的所述第二表面开始实施蚀刻处理，形成到达所述覆盖膜的第一开口部及第二开口部，以及在使所述第一开口部及所述第二开口部相互间隔开的壁部形成在所述第二表面开口且未到达所述覆盖膜的凹部的工序。14.根据权利要求13所述的超声波器件的制造方法，其特征在于， 所述第三空隙的宽度比所述第一空隙及所述第二空隙的宽度小。
【专利摘要】本发明涉及超声波器件及其制造方法、探测器及电子设备。该超声波器件能够实现频率与灵敏度的精度高、且降低串扰。超声波器件的基板(44)具有：第一表面及相反侧的第二表面，并具有由壁部(57)相互间隔开的第一开口部(46)及第二开口部(46)。基板(44)的第一表面配置有分别闭塞第一开口部(46)及第二开口部(46)的第一振动膜(24)及第二振动膜(24)。第一振动膜(24)及第二振动膜(24)分别设置有第一压电元件(29、28、32)及第二压电元件(29、28、32)，壁部(57)划分出在基板(44)的第二表面(44b)开口的凹部(56)。
【IPC分类】A61B8/00
【公开号】CN105310721
【申请号】CN201510461519
【发明人】松田洋史
【申请人】精工爱普生株式会社
【公开日】2016年2月10日
【申请日】2015年7月30日
【公告号】US20160033454