自动温控清洗皿的制作方法

文档序号:1548515阅读:215来源:国知局
专利名称:自动温控清洗皿的制作方法
技术领域
本发明涉及蓝宝石晶片清洗的器皿,尤其是一种自动控温和保温的清洗器皿。
背景技术
目前,在石英晶片加工行业,对晶片上的粘着物清洗都采用煤气加热或电加热方 式对清洗器皿进行加热,直至煮沸清洗器皿内的清洗液,实现对晶片进行清洗,上述清洗方 式需不停烧气或始终通电,对加热装置供给热量,当需要停下时,因节能的需要,关闭煤气 或电源,造成清洗器皿内清洗液降温至冷却,当再次清洗使用时,又需要烧煤气或通电,重 复加热,因此上述加热器皿的缺点是能量消耗大,使得生产成本高;同时由于加热器皿不密 闭,会产生大量的气体,既带来环境污染,又恶化工人的工作环境。

发明内容
本发明的目的就是解决晶片清洗器皿因能量消耗大,使用成本高,并产生气体污 染环境的问题。本发明采用的技术方案是自动温控清洗皿,其特征是它包括外槽、位于外槽内的 内槽和加热箱及位于加热箱内的加热装置,所述的加热箱位于内槽的下部,加热装置固定 在加热箱内,所述的外槽与内槽和加热箱之间设有间隙,间隙内充有保温棉,内槽上部设有 对内槽进行密封的封盖,外槽的底部设有底座。采用上述技术方案,内槽为清洗槽,外槽为清洗外壳,内槽内盛放清洗液,当将清 洗液加热至清洗温度后,即可对晶片进行清洗,当不需清洗时,由于保温棉的保温作用,散 失的热量很少,再次清洗时,只需加热很短时间即可实现达到清洗温度。上述的加热装置为红外线加热器。为监控内槽内的温度,所述内槽内设有温度传感器。综上所述,本发明有益效果是一是节省能源,据测算,用煤气时每只清洗器皿每 月平均需15公斤/罐的气10瓶,电加热每只清洗器皿每月平均用电1080度,本发明每月 只需用电360度,节能了能源,降低了成本;同时本发明由于设有温控装置,因此不分产生 过高的温度,从而不会产生过多的气体污染环境。


图1为本发明结构示意图。图中,1、封盖,2、温度传感器,3、内槽,4、保温棉,5、红外线加热器,6、加热箱,7、底
座,8、外槽。
具体实施例方式自动温控清洗皿,如图1所示,它包括外槽8、位于外槽8内的内槽3和加热箱6及 位于加热箱6内的加热装置,加热箱6位于内槽3的下部,加热装置固定在加热箱6内,外槽8与内槽3和加热箱6之间设有间隙,间隙内充有保温棉4,内槽3上部设有对内槽3进 行密封的封盖1,外槽8的底部设有底座7。加热装置为红外线加热器5。内槽3内设有温 度传感器2。
权利要求
1.自动温控清洗皿,其特征是它包括外槽[8]、位于外槽[8]内的内槽[3]和加热箱[6]及位于加热箱[6]内的加热装置,所述的加热箱[6]位于内槽[3]的下部,加热装置固 定在加热箱[6]内,所述的外槽[8]与内槽[3]和加热箱[6]之间设有间隙,间隙内充有 保温棉[4],内槽[3]上部设有对内槽[3]进行密封的封盖[1],外槽[8]的底部设有底座[7]。
2.根据权利要求1所述的自动温控清洗皿,其特征是所述的加热装置为红外线加热器[5]。
3.根据权利要求1或2所述的自动温控清洗皿,其特征是所述内槽[3]内设有温度传 感器[2]。
全文摘要
本发明公开了一种自动温控清洗皿,其特征是它包括外槽[8]、位于外槽[8]内的内槽[3]和加热箱[6]及位于加热箱[6]内的加热装置,所述的加热箱[6]位于内槽[3]的下部,加热装置固定在加热箱[6]内,所述的外槽[8]与内槽[3]和加热箱[6]之间设有间隙,间隙内充有保温棉[4],内槽[3]上部设有对内槽[3]进行密封的封盖[1],外槽[8]的底部设有底座[7]。本发明大大节约了能源,降低了使用成本,并不会产生气体污染环境的问题。
文档编号B08B3/10GK102005368SQ20101026192
公开日2011年4月6日 申请日期2010年8月21日 优先权日2010年8月21日
发明者张学炎 申请人:铜陵市琨鹏光电科技有限公司
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