圆形舱体双面等离子清洗的制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种圆形舱体双面等离子清洗机,它包括舱体、两块高压极板、射频高压头、治具承载片和支撑架；所述的舱体为一个一端敞开的容置体，在舱体的敞开端上安装有舱门；所述的两块高压极板通过支撑架安装在舱体内，两块高压极板沿舱体的纵向设置且平行相对，两块高压极板的尾端通过铝板连接在一起，射频高压头自舱体底面穿入且射频高压头的穿入端与铝板连接；所述的治具承载片固定在舱体内壁上且位于两块高压极板中间线。由于本实用新型设有两块高压极板，可一次性完成样品的双面等离子清洗，从而大幅降低生产周期，提高生产效率。
【专利说明】圆形舱体双面等离子清洗机
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种等离子清洗设备，特别是涉及一种圆形舱体双面等离子清洗机。
【背景技术】
[0002]目前在一些实验及生产过程中，需要对一些样品的上下表面都进行等离子清洗，而常规圆形舱体等离子清洗机舱体内只安装一块高压极板，因而只能一次性对样品的上表面或下表面进行等离子清洗，当有双面清洗需求时，只能对样品进行二次重复操作，既增加了生产成本及工时，又有可能在样品的翻面过程中造成样品的二次污染。
实用新型内容
[0003]本实用新型的目的在于提供一种生产周期短、生产效率高的圆形舱体双面等离子清洗机。
[0004]为实现上述目的，本实用新型的技术解决方案是:
[0005]本实用新型是一种圆形舱体双面等离子清洗机，它包括舱体、两块高压极板、射频高压头、治具承载片和支撑架；所述的舱体为一个一端敞开的容置体，在舱体的敞开端上安装有舱门；所述的两块高压极板通过支撑架安装在舱体内，两块高压极板沿舱体的纵向设置且平行相对，两块高压极板的尾端通过铝板连接在一起，射频高压头自舱体底面穿入且射频高压头的穿入端与铝板连接；所述的治具承载片固定在舱体内壁上且位于两块高压极板中间线。
[0006]所述的舱体底面设有螺纹孔，射频高压头的螺纹体旋入舱体的螺纹口内。
[0007]本实用新型还包括一清洗治具，该清洗治具放置在治具承载片上。
[0008]采用上述方案后，由于本实用新型设有两块高压极板，可一次性完成样品的双面等离子清洗，从而大幅降低生产周期，提高生产效率。
[0009]下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步的说明。
【专利附图】
【附图说明】
[0010]图1是本实用新型的正向轴测图；
[0011]图2是本实用新型的反向轴测图；
[0012]图3是本实用新型的左侧视图；
[0013]图4是本实用新型的又侧视图；
[0014]图5是本实用新型清洗的立体示意图；
[0015]图6是本实用新型清洗的正视图；
[0016]图7是本实用新型清洗治具的俯视图。
【具体实施方式】
[0017]如图1-图4所示，本实用新型是一种圆形舱体双面等离子清洗机，它包括舱体1、两块高压极板2、射频高压头3、两块治具承载片4、支撑架5、清洗治具6。
[0018]所述的舱体I为一个一端敞开的容置体，在舱体I的敞开端上安装有舱门11，在舱体I的底面设有螺纹孔；所述的两块高压极板2通过支撑架5安装在舱体I内，即，通过螺杆5将高压极板2悬空吊装在舱体I内；两块高压极板2沿舱体I的纵向设置且与上极板平行相对，两块高压极板2的尾端通过铝板7连接在一起，射频高压头3自舱体I底面螺纹孔穿入，射频高压头3的螺纹体螺接在舱体I底面螺纹孔内且射频高压头3的穿入端与铝板7连接。所述的射频高压头3为陶瓷密封的射频高压头，具有永久性不漏气和防漏电击穿等优势。
[0019]所述的两块治具承载片4分别固定在舱体I内壁上且位于两块高压极板2中间线，即，两块治具承载片4之间连线与两块高压极板2的距离相等，以便放置其上的清洗治具6可位于两块高压极板2中间，且便于清洗治具6使用过程中的收取。
[0020]结合图5所示，使用时，在清洗治具6上放置样品10，将放置有样品10的清洗治具6插入舱体1，清洗治具6的两侧边分别搭在两块治具承载片4上，关上舱门11，进行清洗。
[0021]如图图5-图7所示，为实现样品10的等离子双面清洗，本发明同时开发一种针对现有样品的清洗治具6，以方形样品10为例，在样品10放置后可达到样品上下表面清洗部分完全暴漏的要求，最终实现双面等离子清洗。
[0022]本实用新型的重点就在于:设置两块高压极板。
[0023]以上所述，仅为本实用新型较佳实施例而已，两块高压极板的固定方式可有多种，故不能以此限定本实用新型实施的范围，即依本实用新型申请专利范围及说明书内容所作的等效变化与修饰，皆应仍属本实用新型专利涵盖的范围内。
【权利要求】
1.一种圆形舱体双面等离子清洗机，其特征在于:它包括舱体、两块高压极板、射频高压头、治具承载片和支撑架；所述的舱体为一个一端敞开的容置体，在舱体的敞开端上安装有舱门；所述的两块高压极板通过支撑架安装在舱体内，两块高压极板沿舱体的纵向设置且平行相对，两块高压极板的尾端通过铝板连接在一起，射频高压头自舱体底面穿入且射频高压头的穿入端与铝板连接；所述的治具承载片固定在舱体内壁上且位于两块高压极板中间线。
2.根据权利要求1所述的圆形舱体双面等离子清洗机，其特征在于:所述的舱体底面设有螺纹孔，射频高压头的螺纹体旋入舱体的螺纹口内。
3.根据权利要求1所述的圆形舱体双面等离子清洗机，其特征在于:它还包括一清洗治具，该清洗治具放置在治具承载片上。
【文档编号】B08B7/00GK204074631SQ201420371200
【公开日】2015年1月7日 申请日期:2014年7月7日 优先权日:2014年7月7日
【发明者】高峰, 林志峰 申请人:日芯光伏科技有限公司