专利名称：用于制作光纤预制件的微波装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种用PCVD法制作光纤预制件的微波装置，属于光纤制作设备技术领域。
随着通信业的飞速发展，光纤的需求在不断地增长，光纤技术和光纤制作技术也在不断地发展更新。通常，光纤由带有涂层的玻璃衬底管经高温熔缩成棒，再经拉丝而制成。其中带有玻璃涂层的玻璃衬底管即为光纤预制件，是光纤生产中的一个最重要环节。目前，已存在有几种生产光纤预制件的工艺方法，如MCVD法、、OVD法、VAD法、PCVD法等，PCVD法即微波激活等离子体化学气相沉积法，具有灵活精密的特点，而微波装置则是PCVD法制作设备的核心部分。现在，虽已存在有PCVD法制作设备及其微波装置，但其具体结构尚未见诸于公开文献的报导。
本实用新型的目的在于设计出一种用于制作光纤预制件的微波装置，它不仅能有效实施PCVD法，而且结构简单，成本较低，易于制作。
本实用新型由以下的技术方案来实现包括有微波发生器16、支座架5、安设在支座架上端的微波谐振腔，微波发生器通过波导传输转换装置与微波谐振腔相导通。
按上述方案，微波谐振腔由内、外金属圆筒7、8构成，内金属圆筒7断开为左、右两截，留有轴向间隔9，内、外金属圆筒与两端的环形金属盖板11相联成一体，在外金属圆筒的下方开设有微波进入口14，由此构成一个中部为通孔的筒状微波谐振腔；波导传输转换装置由与微波发生器相联的波导17、波导同轴转换器18和与微波谐振腔相通的同轴线15构成。
本实用新型使用时，将被加工件玻璃衬底管6同轴地穿过微波谐振腔中部的通孔，并由两端支承密封，玻璃衬底管中充有混合气体，微波由微波发生器产生经波导转换装置耦合到微波谐振腔，微波谐振腔中的微波激发玻璃衬底管中的混合气体使之成为等离子体12而产生化学反应，在玻璃衬底管中生成一层致密的、无气泡的、紧密附着的玻璃涂层，当微波谐振腔沿玻璃衬底管轴向相对运行一趟，在玻璃衬底管内壁就生成一层玻璃涂层，一根光纤预制件由玻璃衬底涂上几千层玻璃涂层而制成，通过微波谐振腔沿玻璃衬底管的来回运行即可完成上述任务，玻璃涂层中各层的折射率可以相同，也可以是不同的。
本实用新型的积极效果在于1、能有效实施PCVD法，精密准确地制作出光纤预制件；2、结构设置简单合理，工作可靠性强，故障率低；3、易于生产和制作，制作成本较低。
图1为本实用新型一个实施例的正视结构图。
图2为本实用新型一个实施例的侧视结构图。
以下结合附图进一步说明本实用新型的实施例，包括有微波发生器16、支座架5和微波谐振腔，微波谐振腔安设在支座架的上端，微波发生器通过波导传输转换装置与微波谐振腔相导通，波导传输转换装置包括与微波发生器相联的波导17、波导同轴转换器18和与微波谐振腔相通的同轴线15，微波发生器产生的微波经波导、波导同轴转换器和同轴线耦合到微波谐振腔，微波频率可为2．45GHZ，功率为1-5KW可调，微波谐振腔由同轴线的内、外金属圆筒7、8套接而成，并由两端的环形金属盖板11相固联，中部有轴向通孔，内金属圆筒的中部断开为左、右两截，留轴向间隔9，轴向间隔与开设在外金属圆筒周向下方的微波进入14对应，外金属圆筒8的筒壁内设有冷却水通道13，工作时与冷却水源相连通，在微波谐振腔外包裹有隔热层10，以使其能在高达1200℃的高温中工作，此外，支座架5的下方可与一直线往复运动机构相联，直线往复运动机构包括滑动座4，在滑动座下配置光杆2，滑动座与驱动它移动的齿形带3相联接，齿形点的两端设置有与其相啮合的驱动轮齿1，通过齿形带来拉动滑动座来回移动。
本实施例的工作过程为玻璃衬底管穿过微波谐振空中部的轴向通孔，两端支承并密封，且一端为混合气体进入端，另一端为气体抽出端，玻璃衬底管中的混合气体在微波的作用下成为等离子体，产生化学反应，直线往复运动机构通过支座架带动微波谐振腔来回运行，随着微波谐振腔沿轴向的匀速移动，即可在玻璃衬底管中生成一层有一定折射率的玻璃涂层，多次往复，即可形成多层玻璃涂层，一根光纤预制件要涂几千层。
权利要求1.一种用于制作光纤预制件的微波装置，其特征在于包括有微波发生器(16)、支座架(5)、安设在支座架上端的微波谐振腔，微波发生器通过波导传输转换装置与微波谐振腔相导通。
2.按权利要求1所述的用于制作光纤预制件的微波装置，其特征在于所述的微波谐振腔由内、外金属圆筒(7)、(8)构成，内金属圆筒(7)断开为左、右两截，留有轴向间隔(9)，内、外金属圆筒与两端的环形金属盖板(11)相联成一体，在外金属圆筒的下方开设有微波进入口(14)，由此构成一个中部为通孔的筒状微波谐振腔。
3.按权利要求1或2所述的用于制作光纤预制件的微波装置，其特征在于所述的波导传输转换装置由与微波发生器相联的波导(17)、波导同轴转换器(18)和与微波谐振腔相通的同轴线(15)构成。
4.按权利要求1或2所述的用于制作光纤预制件的微波装置，其特征在于微波频率为2．45GHZ，功率为1-5KW可调。
5.按权利要求2所述的用于制作光纤预制件的微波装置，其特征在于外金属圆筒(8)的筒壁内设有冷却水通道(13)。
6.按权利要求2或5所述的用于制作光纤预制件的微波装置，其特征在于微波谐振腔外包裹有隔热层(10)。
7.按权利要求1或2所述的用于制作光纤预制件的微波装置，其特征在于支座架(5)的下方与一直线往复运动机构相联。
专利摘要本实用新型涉及一种用PCVD法制作光纤预制件的微波装置,它包括有微波发生器、支座架、安设在支座架上端的微波谐振腔,微波发生器通过波导传输转换装置与微波谐振腔相导通。本实用新型不仅能有效实施PCVD法,精确地制作出光纤预制件,而且结构设置简单合理,工作可靠性高,易于制作和生产,制作成本低,实用性强。
文档编号C03B37/018GK2429529SQ00230170
公开日2001年5月9日 申请日期2000年6月16日 优先权日2000年6月16日
发明者高玉桥, 邓都才 申请人:烽火通信科技股份有限公司