一种切割线张力控制装置的制作方法

文档序号:1859689阅读:191来源:国知局
专利名称:一种切割线张力控制装置的制作方法
技术领域
本实用新型涉及一种切割线张力控制装置,属于晶片生产设备技术领域。
背景技术
目前,背景技术的晶片切割机上的切割线定位,一般采用张力传感器,调整切割线的松紧程度以控制切割线的张力,来获得切割材料的切割面。存在问题是切割线的位置设定相对单一,位置属静态固定,调整幅度小。
实用新型内容本实用新型目的是提供一种切割线张力控制装置,精确定位,动态定位,调节张力的同时保持切割线的稳定性,保证切割质量,解决背景技术中存在的上述问题。本实用新型的技术方案是一种切割线张力控制装置,包含摆杆、拉弹簧、导轮、切割线、张力传感器、伺服电机,摆杆的一端铰接,另一端设置在上下两段拉弹簧之间,拉弹簧张紧导轮,导轮与伺服电机之间通过切割线连接,张力传感器匹配在切割线上。所说的伺服电机包括供线轮伺服电机和收线轮伺服电机。本实用新型通过摆杆的上下摆动,改变拉弹簧的拉力来调整切割线的张力,张力传感器将采集到的切割线的张力信号,控制调整伺服电机转速,使之与切割线的工作相适应,切割线张力加大或缩小再反馈到摆杆,循环动态微调,最终不断保障切割线的张力和切割位置,使得切割线张力适合所切割的晶体材料,实现切割线的精确定位,动态定位。本实用新型的有益效果本实用新型通过动态循环微调控制切割线稳定性,通过摆杆实现切割线的精确定位,动态定位,调节张力的同时保持切割线的稳定性,保证切割质量。
附图1是本实用新型实施例的结构示意图;图中摆杆1、拉弹簧2、导轮3、切割线4、张力传感器5、供线轮伺服电机6、收线轮伺服电机7。
具体实施方式

以下结合附图,通过实施例对本实用新型作进一步说明。一种切割线张力控制装置,包含摆杆1、拉弹簧2、导轮3、切割线4、张力传感器5、 伺服电机,摆杆的一端铰接,另一端设置在上下两段拉弹簧之间,拉弹簧张紧导轮,导轮与伺服电机之间通过切割线连接,张力传感器匹配在切割线上。所说的伺服电机包括供线轮伺服电机6和收线轮伺服电机7。本实用新型通过摆杆的上下摆动,改变拉弹簧的拉力来调整切割线的张力,张力传感器将采集到的切割线的张力信号,控制调整伺服电机转速,使之与切割线的工作相适应,切割线张力加大或缩小再反馈到摆杆,循环动态微调,最终不断保障切割线的张力和切割位置,使得切割线张力适合所切割的晶体材料,实现切割线的精确定位,动态定位。
权利要求1.一种切割线张力控制装置,其特征在于包含摆杆(1)、拉弹簧(2)、导轮(3)、切割线 (4)、张力传感器(5)、伺服电机,摆杆的一端铰接,另一端设置在上下两段拉弹簧之间,拉弹簧张紧导轮,导轮与伺服电机之间通过切割线连接,张力传感器匹配在切割线上。
2.根据权利要求1所述之切割线张力控制装置,其特征在于所说的伺服电机包括供线轮伺服电机(6 )和收线轮伺服电机(7 )。
专利摘要本实用新型涉及一种切割线张力控制装置,属于晶片生产设备技术领域。技术方案是包含摆杆(1)、拉弹簧(2)、导轮(3)、切割线(4)、张力传感器(5)、伺服电机,摆杆的一端铰接,另一端设置在上下两段拉弹簧之间,拉弹簧张紧导轮,导轮与伺服电机之间通过切割线连接,张力传感器匹配在切割线上。本实用新型通过动态循环微调控制切割线稳定性,通过摆杆实现切割线的精确定位,动态定位,调节张力的同时保持切割线的稳定性,保证切割质量。
文档编号B28D5/04GK202045768SQ20112012298
公开日2011年11月23日 申请日期2011年4月25日 优先权日2011年4月25日
发明者张静波, 杨福占, 董秀建 申请人:唐山晶玉科技有限公司
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