专利名称：稀土透紫外光玻璃的制作方法
技术领域：
本发明涉及电真空制造领域，尤其是指一种稀土透紫外光玻璃。
背景技术：
我国早在上世纪70年代就生产透紫外光玻璃，但其气线、条纹、沙点很多，抗水化学稳定性低，在玻璃厚度为1mm，波长为253.7nm处的紫外光透过率仅有60 70% ;而且，紫外曝光透过率衰减大，抗水化学稳定性较差；直至目前，其质量仍无大的提高，应用仍达不到制造高端真空器件的要求。
发明内容
为了克服现有技术的缺陷，本发明公开了一种应用于UVC波段稀土透紫外光玻璃组分的设计方案，该方案组分按氧化物计重量百分比SiO2为62 65%，Al2O3为3 5%，B2O3 为 22 24%，Na2O 为 5 7%，rare earth 为 0.1 1%，Li2O 为 0.1 1%，ZnO 为
0.1 1%。这使得该玻璃紫外光透过率、紫外曝光透过率以及抗水化学稳定性得以提高。本发明为保证透过率、膨胀系数及满足工艺要求的前提下，玻璃组分中引入稀土元素(rare earth)，予以填充玻璃网络间隙，强化玻璃结构，堵塞离子迁移通道，提高玻璃抗水化学稳定性和抗紫外曝光透过率衰减性能，同时也起到了助熔及净化熔体的作用，改善了工艺性能。本发明稀土透紫外光玻璃在UVC波段的紫外光透过率大于89 90 %，并可直接与难熔金属(钨、钽、钥、铌、铪、铬、钒、锆、钛)及可伐合金封接。该玻璃适用于光电管、光电倍增管、紫外线杀菌及臭氧发生管的玻壳或光窗材料。有益.效果本发明公开了一种稀土透紫外光玻璃，其技术方案组分按氧化物计重量百分比SiO2 为 62 65%，Al2O3 为 3 5%，B2O3 为 22 24%，Na2O 为 5 7%，rare earth 为0.1 I %，Li2O为0.1 I %，ZnO为0.1 I %。其在UVC波段的紫外光透过率大于89 90%，并可直接与难熔金属(钨、钽、钥、铌、铪、铬、钒、锆、钛)及可伐合金封接。其适用于光电管、光电倍增管、紫外线杀菌管、臭氧发生管等的玻壳制造或光窗材料。
具体实施例方式本发明具体实施方案及步骤如下:表I，玻璃组分的具体实施例:
权利要求
1.一种稀土透紫外光玻璃，其特征在于设计方案组分按氧化物计重量百分比SiO2为62 65%，A1203 为 3 5%，B203 为 22 24%，Na20 为 5 7%，rare earth 为 0.1 1%，Li2O 为 0.1 I %，ZnO 为 0.1 I %。
2.根据权利要求1所述的稀土透紫外光玻璃，其特征在于该玻璃组分中引入了稀土元素(rare earth)。
3.根据权利要求1所述的稀土透紫外光玻璃，其特征在于该玻璃在UVC波段的紫外光透过率大于89 90%，并可直接与难熔金属(钨、钽、钥、铌、铪、铬、钒、锆、钛)及可伐合金封接。·
全文摘要
本发明公开了一种稀土透紫外光玻璃，其技术方案组分按氧化物计重量百分比SiO2为62～65％，Al2O3为3～5％，B2O3为22～24％，Na2O为5～7％，rare earth为0.1～1％，Li2O为0.1～1％，ZnO为0.1～1％。其在UVC波段的紫外光透过率大于89～90％，并可直接与难熔金属(钨、钽、钼、铌、铪、铬、钒、锆、钛)及可伐合金封接。其适用于光电管、光电倍增管、紫外线杀菌管、臭氧发生管等的玻壳制造或光窗材料。
文档编号C03C3/095GK103241944SQ20121004031
公开日2013年8月14日 申请日期2012年2月13日 优先权日2012年2月13日
发明者陈醒琴 申请人:陈醒琴