一种线性闭锁阀的制作方法
【专利摘要】本发明公开了一种线性闭锁阀，属于玻璃真空镀膜【技术领域】。该线性闭锁阀，用于玻璃镀真空膜溅射腔室，包括壳体、提升机构和门板，所述门板位于所述壳体中，且与所述壳体外的提升机构连接，所述两块门板之间安装有超薄气缸，所述提升机构可带动所述门板移动，所述超薄气缸可推动所述门板紧靠所述壳体内壁，将所述两个溅射腔室从接口处隔离。本发明通过提升机构带动门板，并有门板间的超薄气缸推动门板紧靠壳体内壁，将溅射室隔离，保证了溅射室维修时不用全部通入空气，方便维修，提高了效率。
【专利说明】一种线性闭锁阀
【技术领域】
[0001]本发明涉及玻璃真空镀膜【技术领域】，特别涉及一种用于玻璃镀真空膜生产线的线性闭锁阀。
【背景技术】
[0002]玻璃镀真空膜生产线溅射腔室之间一般是连通的，没有隔离机构。在维修其中一个腔室时，所有腔室都一同通入空气。这样所有溅射室重新工作前都要抽气，需要花较长的时间抽气。
【发明内容】
[0003]为了解决目前玻璃镀真空膜生产线溅射腔室之间连通，没有隔离，导致维修不方便的问题，现提供了一种线性闭锁阀。具体技术方案如下:
[0004]一种线性闭锁阀，用于玻璃镀真空膜溅射腔室，包括壳体、提升机构和门板，所述门板位于所述壳体中，且与所述壳体外的提升机构连接，所述两块门板之间安装有超薄气缸，所述提升机构可带动所述门板移动，所述超薄气缸可推动所述门板紧靠所述壳体内壁，将所述溅射腔室隔离。
[0005]优选的，所述壳体包括上壳体和下壳体；所述提升机构包括制动电机和螺旋丝杠，所述制动电机带动所述螺旋丝杠转动上升和下降，所述螺旋丝杠通过悬挂轴连接所述门板。
[0006]优选的，所述两块门板上安装有用于所述门板回位的回位弹簧。
[0007]优选的，所述门板上设有真空密封条。
[0008]优选的，所述制动电机和所述螺旋丝杠之间通过锥齿轮副和传动轴来传递动力，所述传动轴连接所述锥齿轮副。
[0009]优选的，还包括控制机构，所述控制机构包括接近传感器、控制所述制动电机的限位开关和气动阀组，所述提升机构上设有上下接近传感器和上下限位开关，在壳体中预设有上下止点，并与所述上下接近传感器对应，所述上下限位开关设置作用点在所述上下接近传感器作用点的外面，所述气动阀组通过气动管线连接螺旋丝杠中设置的通气孔，所述通气孔和所述超薄气缸连通。所述气动阀组控制气缸的充压缩空气或抽真空。
[0010]优选的，所述螺旋丝杠外设有波纹管，所述波纹管连接所述壳体。
[0011 ]优选的，所述气动阀组为两位三通换向阀。
[0012]与现有技术相比，上述技术方案提供的线性闭锁阀具有以下优点:通过提升机构带动门板，并有门板间的超薄气缸推动门板紧靠壳体内壁，将溅射室隔离，保证了溅射室维修时不用全部通入空气，方便维修，提高了效率。
【专利附图】
【附图说明】
[0013]为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0014]图1是本发明实施例中提供的线性闭锁阀剖面结构图；
[0015]图2是本发明实施例中提供的门板工作状态示意图；
[0016]图3是本发明实施例中提供的门板结构示意图。
[0017]附图中，各标号所代表的组件列表如下:
[0018]I锥齿轮副，2螺旋丝杆，3传动轴，4电磁制动电机，5中心锥齿轮，6焊接波纹管，7上壳体，8下壳体，9两位三通阀组，10气动管线，11接近传感器，12限位开关，13悬挂轴，14超薄气缸，15门板。
【具体实施方式】
[0019]为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明实施方式作进一步地详细描述。
[0020]如图1和图2所示，本发明实施例提供了一种线性闭锁阀，用于玻璃真空膜镀溅射腔室，包括壳体、提升机构和门板15,门板15位于壳体中，且与壳体外的提升机构连接,两块门板15之间安装有超 薄气缸14，提升机构可带动门板15移动，超薄气缸14可推动门板15紧靠壳体内壁，将派射腔室隔离。其中，壳体包括上壳体7和下壳体8 ;提升机构包括制动电机4和螺旋丝杠2,制动电机4带动螺旋丝杠2转动上升和下降，螺旋丝杠2通过悬挂轴13连接门板15。两块门板15上安装有用于门板15回位的回位弹簧。门板15上设有真空密封条。制动电机4和螺旋丝杠2之间通过锥齿轮副I和传动轴3来传递动力，传动轴3连接锥齿轮副I。
[0021 ] 线性闭锁阀还包括控制机构，控制机构包括接近传感器11、控制制动电机的限位开关12和气动阀组9，提升机构上设有上下接近传感器11和上下限位开关12，在壳体中预设有上下止点，并与上下接近传感器11对应，上下限位开关12作用点分别设置在上下接近传感器11作用点外面，气动阀组9通过气动管线10连接螺旋丝杠2中设置的通气孔，通气孔和超薄气缸14连通。气动阀组控制气缸的充压缩空气或抽真空。螺旋丝杠2外设有波纹管6，波纹管6连接壳体。气动阀组9为两位三通换向阀。
[0022]下面简单描述本发明实施例的工作过程。
[0023]当两个溅射室有隔离需要时:开动电磁制动电机4，电机4带动中心的锥齿轮5旋转。中心锥齿轮5通过传动轴3将动力传递给螺旋丝杠2。螺旋丝杆2旋转,螺旋丝杆2下端通过悬挂轴13连接着门板系统15。螺旋丝杠2下降，带动门板系统15—同下降。下降到下止点，接近传感器11起作用(限位开关12起接近传感器去作用时的保护作用)，使电机4停止旋转。无论动和静。密封波纹管6和壳体起着密封作用。下止点是预设好的位置。在这个位置，门板15推开。能够有效的将两个溅射室隔离。门板15推开过程。两位三通阀9换向阀组将压缩空气接通。压缩空气经压缩空气管路、丝杆2中开的通气孔，进入门板15之间的超薄气缸14。超薄气缸14在压缩空气的推动下将两个门板15向两边撑开。将门板15顶在阀体内壁上，门板15上的密封圈起着有效的密封作用，将两个溅射室彻底隔离开。同时线性闭锁阀内部通入大气。大气压起着加强隔离的作用。当一侧的溅射室维修结束时，该溅射室封闭，开始抽真空，同时线性闭锁阀内部同时抽真空，当线性闭锁阀内部和维修后的溅射室，还有刚刚隔离的溅射室压力相同时，两位三通阀9换向将通压缩空气卸载，门板15离开阀体内壁了，溅射室之间连通。然后使两位三通阀9换向超薄气缸14内部抽真空。目的是使超薄气缸14内的压力与阀体内的压力接近。此时，回位弹簧起作用，让门板15复位。门板15复位后，开动电磁制动电机4,带动螺旋丝杠2上升，当门板上升到上止点时,接近传感器11起作用。使电机4停止转动。
[0024]本发明实施例通过隔离并封闭两个相邻的真空溅射室，以允许其中一个或两个可以放入大气，打开进行维修。隔离的另一部分溅射腔室能短期或长期保持真空状态。维修好的溅射室工作前只需要单独抽气。这样抽气的时间大大缩短，较原来全部腔室抽气的时间少一半以上。不仅可以提高设备的有效工作时间，而且降低了真空泵组的功率，达到节约社会资源的目的。
[0025]以上所述仅为本发明的较佳实施例，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任 何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
【权利要求】
1.一种线性闭锁阀，用于玻璃镀真空膜溅射腔室，其特征在于，包括壳体、提升机构和门板，所述门板位于所述壳体中，且与所述壳体外的提升机构连接，所述两块门板之间安装有超薄气缸，所述提升机构可带动所述门板移动，所述超薄气缸可推动所述门板紧靠所述壳体内壁，将所述溅射腔室隔离。
2.根据权利要求1所述的线性闭锁阀，其特征在于，所述壳体包括上壳体和下壳体；所述提升机构包括制动电机和螺旋丝杠，所述制动电机带动所述螺旋丝杠转动上升和下降，所述螺旋丝杠通过悬挂轴连接所述门板。
3.根据权利要求1所述的线性闭锁阀，其特征在于，所述两块门板上安装有用于所述门板回位的回位弹簧。
4.根据权利要求1所述的线性闭锁阀，其特征在于，所述门板上设有真空密封条。
5.根据权利要求2所述的线性闭锁阀，其特征在于，所述制动电机和所述螺旋丝杠之间通过锥齿轮副和传动轴来传递动力，所述传动轴连接所述锥齿轮副。
6.根据权利要求2所述的线性闭锁阀，其特征在于，还包括控制机构，所述控制机构包括接近传感器、限位开关和气动阀组，所述提升机构上设有上下接近传感器和上下限位开关，在壳体中预设有上下止点，并与所述上下接近传感器对应，所述上下限位开关作用点分别设置在所述上下接近传感器作用点外面，所述气动阀组通过气动管线连接螺旋丝杠中设置的通气孔，所述通气孔和所述超薄气缸连通，所述气动阀组控制气缸的充压缩空气或抽真空。
7.根据权利要求2所述的线性闭锁阀，其特征在于，所述螺旋丝杠外设有波纹管，所述波纹管连接所述壳体。
8.根据权利要求6所述的线性闭锁阀，其特征在于，所述气动阀组为两位三通换向阀。
【文档编号】C03C17/00GK103964699SQ201310034356
【公开日】2014年8月6日 申请日期:2013年1月29日 优先权日:2013年1月29日
【发明者】沈双宇 申请人:上海北玻镀膜技术工业有限公司, 上海北玻玻璃技术工业有限公司, 洛阳北方玻璃技术股份有限公司