集成电路生产车间的制作方法

文档序号:12350474阅读:来源:国知局
技术总结
本发明涉及一种集成电路生产车间,所述车间中设有操作台、灯具及除尘系统,所述操作台间隔布置于所述车间中,操作台的上方的车间顶部设有除尘隔腔并间隔安装有悬吊式除尘管,所述除尘隔腔中安装有除尘器,所述悬吊式除尘管为可伸缩管,悬吊式除尘管的下部的伸缩管套上安装有支撑盘,所述支撑盘位于操作台的正上方,支撑盘上安装有多个灯具。本发明中,采用可伸缩的悬吊式除尘管,易于安装和布置,可根据需要灵活调节;灯具巧妙的设置于除尘管上,结构紧凑,保证车间整体布局简单、整洁。

技术研发人员:吕耀安
受保护的技术使用者:无锡宏纳科技有限公司
文档号码:201610867152
技术研发日:2016.09.29
技术公布日:2017.01.04

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