一种金刚石线切割机的张力稳定装置的制作方法

文档序号:16839563发布日期:2019-02-12 21:23阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种金刚石线切割机的张力稳定装置,其特征是,包括牵引辊、传动辊;牵引辊、传动辊带动金刚石线在单晶或多晶的硅棒上切割,金刚石线运行轨道上设有两个张力调节辊,张力调节辊的轴的两端部均支承在轴承座上,轴的两端轴承座均处于能够伸缩的弹性轨道的动轨上;动轨的弹性轨道内的结构是,轨道内设有弹簧。

2.根据权利要求1所述的金刚石线切割机的张力稳定装置,其特征是,两只传动辊分别安装于能压缩和能伸长的弹性轨道。

3.根据权利要求1所述的金刚石线切割机的张力稳定装置,其特征是,在金刚石线所在的张力调节辊辊轮上设置力矩传感器。

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