一种方便调节载物板的硅片修复机的制作方法

文档序号:18911361发布日期:2019-10-19 02:48阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型公开了一种方便调节载物板的硅片修复机,包括底板和活动板。本实用新型通过设置有调节装置,通过第二电机带动螺纹杆转动,使得活动块在凹槽内可以左右运动,活动块带动连接板运动使得横轴在横板里左右运动,实现载物板的左右运动功能;通过设置有液压缸,通过液压缸推动活动板运动,可以使得竖板在竖轴上运动,实现载物板的前后运动的功能;通过设置有第一电机,若需修复圆形的硅片,第二电机带动螺纹杆转动,使得连接板中心与主轴之间的水平距离等于圆形硅片的半径,通过第一电机带动固定板转动,使得载物板可以转动,完成对圆形硅片的修复。

技术研发人员:王军
受保护的技术使用者:嘉兴斯密斯机械设备有限公司
技术研发日:2018.11.28
技术公布日:2019.10.18

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