多级洁净系统的制作方法

文档序号:23331826发布日期:2020-12-18 13:22阅读:76来源:国知局
多级洁净系统的制作方法

本实用新型涉及了洁净技术领域,具体的是一种多级洁净系统。



背景技术:

本部分的描述仅提供与本实用新型公开相关的背景信息,而不构成现有技术。

洁净室是目前常用的一种除尘设备,其常用于例如半导体、科学研究设备、无尘生产车间等环境,其具有低水平的环境污染物,例如灰尘、空气微生物、气溶胶客气等污染物,更确切地说,洁净室具有可控的污染水平。

但是目前的洁净系统基本只能作为单级使用,为了配合局部工序高洁净度的要求,需要对整个系统进行洁净度的调节,工程成本大,且周期长。

应该注意,上面对技术背景的介绍只是为了方便对本实用新型的技术方案进行清楚、完整的说明,并方便本领域技术人员的理解而阐述的。不能仅仅因为这些方案在本实用新型的背景技术部分进行了阐述而认为上述技术方案为本领域技术人员所公知。



技术实现要素:

为了克服现有技术中的缺陷,本实用新型实施例提供了一种多级洁净系统,其采用第一洁净机构和第二洁净机构配合使用,在满足整体洁净度要求的同时,能够满足局部高洁净度的要求,且对接方便,结构优化。

本申请实施例公开了:一种多级洁净系统,包括第一洁净机构和第二洁净机构,

第一洁净机构,所述第一洁净机构包括风淋室、与所述风淋室连通的洁净室;

第二洁净机构,所述第二洁净机构位于所述洁净室内,所述第二洁净部包括帘幕部和除尘部,所述帘幕部包括支架、围设在所述支架上的多个帘幕件,位于所述支架至少一个侧壁上的所述帘幕件的下端高于所述支架的下端,从而能够形成半密封空间,所述半密封空间的下端具有与所述洁净室连通的缺口;所述除尘部包括负离子风扇,所述负离子风扇用于产生朝向所述支架下端流动的洁净气流,所述洁净气流能够通过所述缺口流动至所述洁净室内,从而使得所述半密封空间与洁净室之间形成循环气流,

其中,所述第一洁净机构的洁净等级小于所述第二洁净机构的洁净等级。

进一步地,位于所述支架侧壁上的所述帘幕件在上下方向上延伸的长度可调节,从而形成用于对接设备的对接口。

进一步地,所述帘幕件包括分别沿上下方向延伸的第一本体和第二本体,所述第一本体和所述第二本体依次设置且可拆卸连接。

进一步地,所述第一本体的下端处设置有子贴,所述第二本体的上端处设置有能够粘接所述子贴的母贴。

进一步地,包括滚轮部,所述滚轮部包括多个固定设置在所述支架下端处的自锁滚轮。

进一步地,所述负离子风扇设置在所述支架的上端处,且沿上下方向移动设置。

进一步地,每个所述支架的侧壁对应多个沿水平方向依次设部分重叠设备的所述帘幕件。

进一步地,所述帘幕件采用透明软塑料材质制成。

进一步地,所述负离子风扇采用增压式负离子风扇。

借由以上的技术方案,本实用新型的有益效果如下:

1、本申请中通过设置的第一洁净机构和第二洁净机构,采用第一洁净机构和第二洁净机构配合使用,在满足整体洁净度要求的同时,能够满足局部高洁净度的要求,且对接方便,结构优化;

2、本申请通过设置的帘幕部,所述支架和帘幕件之间形成半密封空间,能够与外部空间初步半隔绝,进而降低外部的灰尘、漂浮物等杂质进入,从而现对于外部空间来说,具有较好的洁净度。

为让本实用新型的上述和其他目的、特征和优点能更明显易懂,下文特举较佳实施例,并配合所附图式,作详细说明如下。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型实施例中的整体装置结构示意图;

图2是本实用新型实施例中的第二洁净机构的结构示意图;

图3是本实用新型实施例中的帘幕件的结构示意图。

以上附图的附图标记:1、风淋室;2、洁净室;3、第二洁净机构;4、除尘部;5、支架;6、帘幕部;7、缺口;8、子贴;9、母贴;10、自锁滚轮;61、第一本体;62、第二本体。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

需要说明的是,在本实用新型的描述中,术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的和区别类似的对象,两者之间并不存在先后顺序,也不能理解为指示或暗示相对重要性。此外,在本实用新型的描述中,除非另有说明,“多个”的含义是两个或两个以上。

结合图1至图3所示,本实施例中公开了一种多级洁净系统,包括第一洁净机构和第二洁净机构3。采用第一洁净部和第二洁净部配合使用,在满足整体洁净度要求的同时,能够满足局部高洁净度的要求,且对接方便,结构优化。

本实施方式中,所述第一洁净机构包括风淋室1、与所述风淋室1连通的洁净室2。上述的设置方式,在操作人员需要进入洁净室2内是,在经过所述风淋室1除尘后,能够将身上携带的外部杂质去除,进而保证所述洁净室2内的洁净度。并且,所述洁净室2能够能够保证较大的生产空间具有一定的洁净度。

本实施方式中,所述第二洁净机构3位于所述洁净室2内,实现双从化净化空间,实用性和适用性较强。其中,优选地,所述第一洁净机构的洁净等级小于所述第二洁净机构3的洁净等级。

本实施方式中,所述帘幕部6包括支架5、围设在所述支架5上的多个帘幕件。本申请中的所述支架5整体呈矩形体,多个所述帘幕件设置在所述支架5的四个侧壁上。优选地,四个所述支架5侧壁所对应的所述帘幕件的下端均高于所述支架5的下端,从而使得所述支架5的下端与地面之间具有与外部连通的缺口7,也使得所述支架5和帘幕件之间形成半密封空间。上述的半密封空间的设置,能够与外部空间初步半隔绝,进而降低外部的灰尘、漂浮物等杂质进入,从而现对于外部空间来说,具有较好的洁净度。

上述设置方式中,所述帘幕件采用透明软塑料材质制成,且每个所述支架5的侧壁对应多个沿水平方向依次设部分重叠设置的所述帘幕件。通过上述的设置方式,一方面能够起到半密封的作用,另一方面,操作人员能够从任一侧所述支架5的侧壁进入半密封空间,结构设计优化。

本实施方式中,所述除尘部4包括负离子风扇,优选地,所述负离子风扇采用增压式负离子风扇。上述的设置方式,所述负离子风扇产生的负离子能够较好地净化半封闭空间内的空气,进一步提高半封闭空间内的洁净度;另一方面,所述负离子风扇还可以消除空气中的异味,从而为操作人员提供较好地工作环境,增强操作人员工作的舒适性。所述负离子风扇能够沿上下方向移动,满足不同的出风速度要求。

上述的设置方式,所述增压式负离子风扇固定设置在所述支架5的上端面上,且所述增压负离子风扇能够产生朝向所述支架5下端流动的洁净气流,所述洁净气流能够通过所述缺口7流动至所述半密封空间的外部,从而使得所述半密封空间与外部之间形成循环气流。上述的设置方式,在保证空气流通的同时,能够实时保证半密封空间内的洁净度,设计优化。

本实施方式中,位于所述支架5侧壁上的所述帘幕件在上下方向上延伸的长度可调节,从而形成用于对接设备的对接口。具体地,所述帘幕件包括分别沿上下方向延伸的第一本体61和第二本体62,所述第一本体61和所述第二本体62依次设置且可拆卸连接。所述第一本体61的下端处设置有子贴8,所述第二本体62的上端处设置有能够粘接所述子贴8的母贴9。上述的设置方式,可根据对接设备的高度,调整第一本体61和第二本体62的长度,当对接时,直接将第二本体62拆除即可,操作便捷可靠。

本实施方式中,该机构还包括滚轮部,所述滚轮部包括多个固定设置在所述支架5下端处的自锁滚轮10。由于设置体积较大,一般采用移动支架5以配合设备。通过自锁滚轮10的设置,移动较为便捷,且在移动到位时,通过自锁,可使得所述支架5相对设备之间的位置相对固定。

本实用新型中应用了具体实施例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述,以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的方法及其核心思想;同时,对于本领域的一般技术人员,依据本实用新型的思想,在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处,综上所述,本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。

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