框架或升降块；第1滑动导向， 安装在所述第1驱动块，以便随着所述第1轨道移动；以及第2滑动导向，安装在所述第2 驱动块，以便随着所述第2轨道移动。在此，在所述第1轨道及第2轨道上形成突出或槽沟， 以便向导第1滑动导向及第2滑动导向移动较好。
[0029] 根据这种构成，与升降块的移动毫无关系的，在锯丝的行进方向上晶锭不需左右 并进移动而可以摆动，而且通过一个驱动块可以避免晶锭摆动及左右并进移动，由此结构 及控制变得简易。
【附图说明】
[0030] 图1是采用根据本发明的晶锭摆动单位的线锯整体构成的示意正视图。
[0031] 图2是采用根据本发明的摆动单位的线锯的详细正视图。
[0032] 图3是采用根据本发明的摆动单位的线锯侧面图。
[0033] 图4是采用根据本发明的摆动单位的线锯部分截面图。
[0034] 图5是采用根据本发明的摆动单位的线锯平面图。
[0035] 图6是可以采用根据本发明的摆动单位的一例，显示滑动导向的斜视图。
[0036] 图7是可以采用根据本发明的摆动单位的一例，显示锭架的部分分离斜视图。
[0037] 图8是切开图4的A-A线显示的根据本发明的线锯截面图。
[0038] 图9是在根据本发明的线锯中，用于说明晶锭摆动的图面，图9的（a)是晶锭沿着 锯丝向右侧摆动的状态截面图，图（b)是晶锭位于中央的状态截面图，以及图（C)是晶锭沿 着锯丝向左侧摆动的状态截面图。
[0039] 图10是通过根据本发明的第1驱动块的定速控制，对于摆动角度显示角速度变化 的图形。
[0040] 图11是根据晶锭切割点的变化，用于说明负载变化的概念图。
[0041] 图12是根据在锯丝接触的晶锭切割点的变化，显示负载变化的图形。
[0042] [附图标记说明]
[0043] I:晶锭 R1，R2:导轮
[0044] 1 :线锯 3 :框架
[0045] 5:晶锭切断单位 7 :晶锭升降单位
[0046] 9:晶锭摆动单位 31 :基座框架
[0047] 33 :支柱 35 :升降导轨
[0048] 37 :移送螺丝 39 :移送马达
[0049] 51 :据丝 53 :据丝移送机构
[0050] 71 :滑块 73 :升降块
[0051] 80 :摆动框架 82 :第1轨道
[0052] 85 :侧台面 86 :第2轨道
[0053] 100 :第1驱动块 103 :第1滑动导向
[0054] 110:第2驱动块 113:第2滑动导向
[0055] 120:锭架 121 :晶锭安装器
[0056] 123 :旋转臂 124 :第1枢轴轴
[0057] 125 :第2枢轴轴 140 :摆动马达
[0058] 144 :小齿轮 146 :齿条
[0059] 160 :晶锭固定单位161 :工作板
[0060] 163 :虚拟梁
【具体实施方式】
[0061] 在采用根据本发明的摆动单位的线锯中，对术语的意义进行说明。在根据本发明 的摆动单位的说明中使用的"切断平面"是指，由锯丝切断晶锭的平面，与晶锭的切断方向 平行，并垂直于锯丝行进方向的平面。而且关于根据本发明的摆动单位的说明及显示，晶锭 切断方向是Z轴方向，锯丝行进方向是Y轴方向，以及垂直切断平面的方向是X轴方向，而 且左边或左侧、或者右边或右侧是指在Y轴方向上的左边或左侧、或者右边或右侧，上面或 上侧、或者下面或下侧是指在Z轴方向上的上面或上侧、或者下面或下侧，前方或前面、或 者后方或后面是指在X轴方向上前方或前面、或者后方或后面。
[0062] 以下结合附图，以根据本发明的较佳实施例，对线锯进行详细的说明。
[0063] 图1是采用根据本发明的晶锭摆动单位的线锯整体构成的示意正视图。
[0064] 参照图1，线锯1包括在框架3上设置的切断单位5、升降单位7及摆动单位9。在 此，除了所述摆动单位9和升降单位7以外，与公知的现有线锯相互相同。
[0065] 所述切断单位5包括导轮RUR2,锯丝51及锯丝移送机构53。所述导轮RUR2是 由2个形成一对相互平行的设置在框架3上，并由马达驱动。优选地，在其外周面形成导沟 (未图示）时，锯丝51被圆滑地导向切断区域。
[0066] 所述锯丝移送机构53包括送出卷筒11、导向滑轮13、张力滑轮15及卷取卷筒17。 如公知所示，在送出卷筒11卷绕长50~IOOkm的锯丝51，通过马达11-1从送出卷筒11解 下锯丝51经过多个导向滑轮13,经过张力滑轮15,经过附着有张力测定用称重传感器19 的导向滑轮，依序卷挂在导轮R1、R2的导沟上形成锯丝列，在经过多个导向滑轮13,通过附 着有称重传感器19的导向滑轮，经过张力滑轮15'，锯丝51卷绕在借马达17-1旋转的卷取 卷筒17上。而且，内置张力臂21及编码器的马达20、20'振动张力滑轮15、15'，由此锯丝 51以一定的张力卷绕在导轮R1、R2上。这种锯丝移送机构53是由控制单位（未图示）控 制，用于切割晶锭I的锯丝51在导轮R1、R2之间具有一定的张力以300~1200m/min的速 度向单方向或向双方向往复行进，接着向行进的锯丝51移送晶锭I，由此按相当于锯丝之 间间隔的厚度被切断制作成晶片。
[0067] 所述锯丝51可以使用碳含量0. 8~0. 9质量％、直径80~180ym的钢琴钢丝。 而且，在所述锯丝51上，可以电镀像金刚石一样的研磨剂直接附着在锯丝51，或与冷却用 切割加工液一起以泥浆形态提供给锯丝51。此时，所述切割加工液可以将水作为主成分，或 是可以混合其它本发明领域中公知的切割剂，且通过栗（未图示）经过具有电磁阀的管道 (未图示）及喷嘴23提供给锯丝51。
[0068] 图2是采用根据本发明的摆动单位的线锯的详细正视图，而且图3是采用根据本 发明的摆动单位的线锯侧面图。
[0069] 参照图2和图3,框架3具备安装导轮RUR2的基座框架31，和从所述基座框架31 以向上突出的形状配置的支柱33。
[0070] 在所述基座框架31上，导轮RUR2的主轴53是由轴承55承轴。而且，在所述支 柱33上，向Z轴方向（晶锭的切断方向）配置2个升降轨道35以便升降单位7移动，并为 了向移送螺丝37 (参照图4)传达动力，设置与减速器38连接的升降马达39。在所述减速 器38的轴端安装有驱动滑轮38a，并在移送螺丝37 (参照图4)的轴端安装有从动滑轮37a， 而且作为传动手段在所述驱动滑轮38a和从动滑轮37a上围绕着同步带34。
[0071] 所述升降单位7包括滑动导向71、升降块73及摆动框架80。为使所述滑动导 向71在升降轨道35上下移动，以4个为一组一体设置在升降块73上，而且，为使升降块 73向Z方向移动，移送螺丝37设置在升降块73上。在此，所述滑动导向71可以夹在燕尾 (dovetail)槽而具有在升降轨道35上滑动的结构，或是具有滚动轴承在升降轨道35上作 为无粘滑现象（Stickslide)地移动的轴承导向（参照图6)，亦可以由本发明的技术领域 中其它已公知使用的多种形状、结构或其组合构成。
[0072] 所述摆动框架80是根据本发明的一较佳实施例，是用于说明并显示摆动单位9， 显然根据摆动单位9的构成及结构其形状及结构也可以采取多种变形，只是作为实施根据 本发明的摆动单位9的较佳实施例，摆动框架80在其下侧设置摆动单位9,并开放以便形成 摆动空间，而且包括基本台面81和侧台面85,整体上形成
截面形状。
[0073] 所述基本台面81是从升降块73向前方曲折突出的形状，在其底面向Y轴方向设 置两个第1轨道82。而且，在所述基本台面设置与减速器142连接的摆动马达140,并在所 述减速器142的输出端设置有小齿轮144。
[0074] 所述侧台面85是从升降块73向下侧突出延长的形状，在其正面向Z轴方向设置 第2轨道86。如此在摆动框架80安装摆动单位9,由控制单位（未图示）驱动升降马达39 时，通过移送螺丝37的旋转及升降单位7的上下移动，摆动单位9也一起移动。
[0075] 图4是采用根据本发明的摆动单位的线锯部分截面图。
[0076] 参照图3及图4,根据本发明观点的摆动单位9包括：第1驱动块110和第2驱动 块110,向相互垂直的方向移动；锭架120,连接于所述第1驱动块100及第2驱动块110， 以便可以随着第1驱动块1〇〇和第2驱动块110中至少一个的移动而摆动。而且，根据本 发明另一观点的摆动单位9可以包括：第1驱动块100,向平行锯丝51行进的方向移动；锭 架120,与所述第1驱动块100以枢轴轴124连接；以及第2驱动块11