0,随着所述第1驱动 块100的移动与晶锭I的切断方向平行地移动，同时设置在所述锭架120上以便锭架120 摆动。尤其是，根据本发明又一观点的线锯1包括：锭架120,保持晶锭I;以及第1枢轴轴 124和第2枢轴轴125,设置在锭架120上，以便所述锭架120具有第1旋转中心线Hl和第 2旋转中心线H2而旋转，而且所述第1枢轴轴124和第2枢轴轴125以相互垂直的方向移 动，由此可以使所述锭架摆动。如此，根据本发明的摆动单位可以实施为多种实施例及变形 例，只是作为一较佳实施例，以下进行更具体更详细的说明，为了便于说明及理解，将摆动 框架80或摆动单位9区分为单位部件或部分，边命名或标示，边图示并说明。
[0077] 参照图3及图4,所述第1驱动块100具有本体块IOOa和叶片块100b，整体上形 成在两端向下面曲折的
截面形状。
[0078] 图5是采用根据本发明的摆动单位的线锯平面图。
[0079] 参照图4及图5,在所述本体块IOOa的上面设置夹在第1轨道82可向Y轴方向 移动的4个第1滑动导向103。而且，在所述本体块IOOa的上部中央设置与小齿轮144联 动可以向Y轴方向移动的齿条146。由此，驱动摆动马达140时，与小齿轮144结合的齿条 146向Y轴方向移动，因此第1滑动导向103可以沿着第1轨道82移动，第1驱动块100在 基本台面81向Y轴方向移动。在此，图中的一例所示的是通过齿条146和小齿轮144的相 互联动，第1驱动块100可以向锯丝行进方向（Y轴方向）移动，所述第1驱动块100可以 采取更多的结构，例如，参照图4的说明一样，用于移动升降块73的同步带34传动及移送 螺丝37的构成，对本发明具有通常知识的技术人员而言，显然亦可以采取本发明技术领域 中其它公知的多种形状或结构以及其组合。
[0080] 图6是可以采用根据本发明的摆动单位的一例，显示滑动导向的斜视图。
[0081] 参照图4和图6,在第2驱动块110上以一体固定第2滑动导向113,在第2滑动 导向113上可旋转地安装以轴承（未图示）承轴的3个滚轮114。各个滚轮114是滑轮形 状，其轴心在Z轴上偏心距离e而相互错开地配置。
[0082] 而且，在第2轨道86上设置槽86a收容滚轮114,以便滚轮114向Z轴方向移动， 在第2轨道86的内部两侧以Z轴方向固定设置圆筒状的侧轨87。根据这种构成，滚轮114 在侧轨87上进行滚动运动，则第2滑动导向113及第2驱动块110可向Z轴方向移动。在 此，参照图6的说明显示，第2滑动导向113和第2轨道86可以使第2驱动块向Z轴方向 移动的一例，而且，如上所述一样，所述第2滑动导向113是夹在燕尾（dovetail)槽而在第 2轨道86上滑动，或是具有其它滚动轴承在第2轨道86上作为无粘滑现象（stickslide) 地移动的轴承导向，如此，可由本发明技术领域中公知或实施的多种形状及结构构成。另 外，在其变形例中，对具有本发明通常知识的技术人员而言，显然变更与第2驱动块110以 一体形成的第2滑动导向113的形状，可以是无滚轮114的收容在第2轨道86的槽86a中 向Z轴方向移动的构成。
[0083] 图7是可以采用根据本发明的摆动单位的一例，显示锭架的部分分离斜视图。
[0084] 参照图4和图7,锭架120包括晶锭安装器121和旋转臂123,整体上形成"1 "截 面形状。此时，锭架120是以两个旋转中心线H1、H2为基准进行旋转。在此，旋转中心线 Hl、H2是连接旋转中心点的虚拟线，两个旋转中心线Hl、H2垂直于切断平面，相互平行，并 位于相互间保持一定距离的位置。而且，在各个旋转中心线H1、H2具备枢轴轴124、125时， 锭架120可以以旋转中心线Hl、H2或枢轴轴124、125为中心旋转。根据图示的一例，锭架 120配置在第1驱动块100和第2驱动块110之间，所述第1枢轴轴124以一体附着在晶锭 安装器的两端并以轴承106为媒介设置在第1驱动块100,即叶片块IOOb上，而且所述第2 枢轴轴125以一体附着在旋转臂123并以轴承116为媒介设置在第2驱动块110上。
[0085] 图8是切开图4的A-A线显示的根据本发明的线锯截面图。
[0086] 参照图4和图8,第1驱动块100移动时，第2驱动块110上下移动，同时锭架120 进行摆动。即，锭架120与第1枢轴轴124及第2枢轴轴125以一体附着，当第1驱动块 100移动时，第1枢轴轴124以第1旋转中心线Hl为基准进行旋转运动，同时与第1驱动块 100 -起向Y轴方向进行并进运动，而且，第2枢轴轴125以第2旋转中心线H2为基准进 行旋转运动，同时与第2驱动块110 -起向Y轴方向进行并进运动。由此，锭架120是以第 1枢轴轴124为摆动中心轴，并以第1枢轴轴124和锯丝51之间的距离为摆动半径而摆动 晶锭I。此时，第2枢轴轴125只向Z轴方向进行并进移动，并在第2枢轴轴125的中心形 成只向Z轴方向进行并进运动的一个枢轴点，当所述枢轴点位于晶锭I的中心时，在切断平 面上可以形成无左右移动只进行上下移动的晶锭I摆动。在此，作为第1驱动块100和第 2驱动块110中至少一个在移动，从而锭架120进行摆动的一例，列举第1驱动块100移动 的一例，及与锭架120结合的2个枢轴轴124、125进行旋转运动和并进运动，从而锭架120 摆动的一例。显然对具有本发明通常知识的技术人员而言，其它可以是枢轴轴124、125以 一体附着在驱动块100、110,并以轴承为媒介与锭架120结合，或是2个枢轴轴124、125中 只任何一个在锭架120成一体，另一个在驱动块100、110中的任何一个成一体，并以轴承为 媒介驱动块100、110和锭架120相互连接的多种结构，而且在本发明相关领域中亦可以采 取更多公知的形状及结构。另外，作为所述锭架120的一例，说明了以"1 "形状形成的锭 架120,但是对本发明技术领域中具有通常知识的技术人员而言，显然根据本发明通过向相 互垂直的方向移动的驱动块100、110,或是枢轴轴124、125可以摆动锭架120的形状及结构 不能限定在某种一定的形状及结构，在本发明的技术领域中不仅可以采取公知的多种形状 及结构，而且还可以形成其多种变形例。
[0087] 优选地，所述锭架120是在晶锭I的切断工序中固定保持晶锭I，相对于锯丝51作 为更坚固地保持晶锭I的方案，再具备晶锭固定单位160。
[0088] 参照图7和图8,晶锭固定单位160可以使用工作板161和虚拟梁163。所述工作 板161是将附着在虚拟梁163的晶锭I固定在晶锭安装器121，虚拟梁163是用于保持晶 锭I被切断后分割成单张的薄晶片。如公知所示，所述虚拟梁163可由玻璃、碳、合成树脂 或陶瓷等的材料组成，并以蜡或环氧树脂（Epoxy)系列的粘着剂附着在工作板161和晶锭 I。而且，所述工作板161固定在晶锭安装器121上，图示的一例如公知所示，其显示工作板 161上形成的燕尾（DOVETAIL)和晶锭安装器121上形成的燕尾槽相互成对夹住，并以螺 栓165对燕尾施压固定在燕尾槽，亦可由其它公知的液压装置将工作板161结合在晶锭安 装器121上。
[0089] 以下，以电镀金刚石锯丝为一例，根据本发明的一较佳实施例，对具有摆动单位的 线锯相关的晶锭切断工序进行简单的说明。
[0090] 参照图3和图4,首先，为了切断晶锭I，锭架120上配置晶锭I，在导轮RUR2之 间以适度张力和速度行进锯丝51，并启动升降单位7。所述升降单位7的升降马达39是根 据软件由控制单位（未图示）驱动，当所述升降马达39驱动时，通过相互连接的减速器38 及移送螺丝37,升降块73及晶锭I向Z方向下降接近锯丝51，则附着在锯丝51的金刚石 与晶锭I相互作用，按一定的切入深度切割晶锭I。以1次切入深度切割晶锭I后，由控制 单位将升降块73按切入深度再下降后启动摆动单位9。所述摆动单位9的摆动马达140是 根据软件由控制单位驱动，当所述升降马达39驱动时，通过相互连接的减速器142、小齿轮 144及齿条146,第1驱动块100向Y轴方向（参照图5)移动，根据第1驱动块100在Y轴 方向上（参照图5)向左右移动1次，锭架120及晶锭I进行摆动由金刚石按切入深度切割 晶锭I。之后，通过升降单位7和摆动单位9的反复动作，晶锭I被切断成多个薄晶片，完成 晶锭切断工序后，将升降块73向上提升，从晶锭安装器121拆卸固定单位160后，如公知所 示通过现有的方式从虚拟梁163 (参照图7)分离单张晶片，然后进行后续工序，如晶片倒角 工序、抛光工序或镜面工序等工作。
[0091] 接着，对根据本发明的摆动单位9的动作进行更详细的说明。在此，为了便于说明 及理解，对电镀金刚石锯丝，圆形截面晶锭及根据本发明的摆动单位9,以第2枢轴轴125位 于晶锭I中心的线锯1为例进行说明，同样的，亦可以采用其它公知如金刚石一样的研磨剂 以泥浆的形态供应给锯丝51