通过升降单 位7 (参照图4)晶锭I接近锯丝时，锯丝产生偏移D，晶锭I被切割，而且通过根据本发明的 摆动单位9 (参照图9)摆动晶锭I时，晶锭的切割点Cl随着第1驱动块100 (参照图9)改 变。在此，导轮RUR2之间的距离是L，相对于晶锭I切割点Cl的偏移角是0 1、0 2,在导 轮RUR2的两端到切割点Cl的锯丝51长度分别是LUL2,锯丝51的张力是T时，作用负 载F如同下述数学式5。
[0114] [数学式5]
[0115] F=T?(sin9Asin9 2) =T?D((I/V(L^+D2)+1/V(L22+D2))
[0116] 在所述数学式5中，在导轮R1、R2之间的中央施加作用力时，Li=L2 =L/2，力F是 T?D((l/V(L2+D2)) 〇
[0117] 在上述美国专利第4, 646, 710号揭示的数学式1中可以看出，对于一定的移送负 载，根据导轮&、R2之间距离及切割剖面曲率半径的几何学关系中，锯丝偏移D是一定的。 然而，在所述数学式5中可以看出，即使锯丝51的偏移D-定，晶锭I在锯丝51接触的切 害J点C1、C〇、C2 (参照图9)不同，则作用负载F也改变。
[0118] 下述表1是对于导轮RpR2之间的距离为470mm的锯丝51，偏移是IOmm及张力是 40N时，根据切割点位置显示负载变化。
[0119] [表 1]
[0120]
[0122] 图12是根据表1的切割点位置，显示负载变化的图形。
[0123] 参照图12和表1，从导轮R1J2在中央位置235mm处3. 4N的负载作用在切割点，越 向左右移动负载越大。这样，对于切割剖面的曲率半径、接触长度及偏移，切割点位置改变 时，负载产生变化，且负载变大时，会使晶锭I的作用压力，即金刚石与晶锭I的相互作用变 大，便提高晶锭I切割性能。然而，通过根据本发明的摆动单位9摆动晶锭I进行切割时， 晶锭I的切割点向第1驱动块100的移动方向移动，且作用负载F也变大。尤其是，如参照 现有技术1的说明，切割点不在最大摆动角度范围时，在切割剖面的外侧接触长度变长而 降低切割性，但是采用根据本发明的线锯1的摆动单位9时，越向切割剖面的外侧，作用负 载F越大，则金刚石的作用压力变大而提高切割晶锭I的性能。相反的，即使不是以最大摆 动角度来摆动晶锭I，也可以改进切割性。因此，如图所示，可将旋转臂123(参照图4)变 短，有利于实现小型高强性线锯1。
[0124] 而且，利用根据本发明的摆动单位9时，考虑根据所述数学式4的晶锭I的摆动角 速度《及数学式5的作用负载F，由此可以简易完成晶锭的均匀切割。即，虽然在晶锭I 切割剖面P(参照图9)的外侧部分，作用负载F大，切割量多，但晶锭I的角速度co大。而 且，虽然在切割剖面P(参照图9)的中央部分切割量少，但晶锭I的角速度小。如此，根据 本发明的摆动单位9为例，因为形成互补的条件，在切割剖面的外侧部减小速度，在中央部 增加速度时，可以容易完成均匀切割。这样，利用根据本发明的摆动单位9,在所述数学式3 至数学式5可以求得用于以最佳方式切断晶锭I的各个工序条件，即移动距离、摆动角速度 ?及作用负载F，而且只靠第1驱动块100 -个的控制，可以完成所述工序条件，因此控制 变得简单，可以精密控制，并制作高强性结构的摆动单位9,其结构变得更简单，由此非常有 利于设备的小型化。
[0125] 如上所述，对根据本发明的线锯1通过附图更详细更具体的进行了图示及说明， 显然对本发明技术领域中具有通常知识的技术人员应该理解，可以存在多个变更例以改变 位置或配置，或是以同等的结果执行相同功能的多种结构。例如，第1驱动块1〇〇及第2驱 动块110中的一个部件移动锭架120,另一部件以垂直的方向以手动移动；或是，第1驱动 块100垂直第2驱动块110而移动，第2驱动块110向切断平面或晶锭切断方向移动；或 是，设置相互垂直的方向移动的第1驱动块100和第2驱动块110,同时分别或一起移动； 或是，锭架120及/或第2驱动块110和枢轴轴124、125之间以轴承106、116为媒介相互 结合；或是，为使升降块73或驱动块100、110移动，轨道82、86和滑动导向103、113相互突 出或凹陷形成槽形状86a;或是，亦可以形成更多的形状及结构。因此，本发明技术领域中 具有通常知识的技术人员应该理解，根据本发明的摆动单位9可以实施多种变更及变形， 而且本发明的技术范围不应限定在根据本发明例示并说明的实施例来解释，显然应该根据 记载的权利要求书来定义。
【主权项】
1. 一种线锯，其特征在于，包括： 第1驱动块和第2驱动块，向相互垂直的方向移动； 锭架，连接于所述第1驱动块及第2驱动块，以便可以随着第1驱动块和第2驱动块中 至少一个的移动而摆动；以及 升降块，向平行晶锭的切断方向移送所述锭架。2. 根据权利要求1所述的线锯，其特征在于， 所述锭架配置在所述第1驱动块和第2驱动块之间。3. 根据权利要求1所述的线锯，其特征在于， 所述第1驱动块与锯丝行进方向平行地移动；而且 所述第2驱动块与晶锭的切断方向平行地移动。4. 根据权利要求1所述的线锯，其特征在于， 所述锭架与所述第1驱动块及第2驱动块中的至少一个以枢轴轴来连接。5. 根据权利要求1所述的线锯，其特征在于， 所述锭架是通过第1枢轴轴与第1驱动块连接，通过第2枢轴轴与第2驱动块连接；而 且 所述第1枢轴轴和第2枢轴轴之间的距离在晶锭摆动中保持一定。6. 根据权利要求5所述的线锯，其特征在于， 所述第1枢轴轴和第2枢轴轴是在所述锭架的摆动中向相互垂直的方向并进移动。7. 根据权利要求5所述的线锯，其特征在于， 所述第1驱动块及第2驱动块中的任一个部件向平行锯丝行进的方向移动的距离符合 下述数学式3， 〈数学式3> Sy = 1 ? sin a 在此，Sy是移动的距离，1是所述第1枢轴轴和第2枢轴轴的中心距离，以及a是锭架 摆动的角度。8. 根据权利要求1至7中任一项所述的线锯，其特征在于，还包括：至少2个导轮，用 于向导向单方向或双方向行进的锯丝；和 框架，在其上设置所述导论，并设置升降块以便与晶锭切断方向平行地升降，而且， 所述第1驱动块设置在升降块，且所述第2驱动块设置在框架或升降块上。9. 一种线锯，其特征在于，包括： 锭架，保持晶锭；以及 第1枢轴轴和第2枢轴轴，设置在锭架上，以便所述锭架具有第1旋转中心线和第2旋 转中心线而旋转，而且， 所述第1枢轴轴和第2枢轴轴以相互垂直的方向移动，由此使所述锭架摆动。10. -种线锯，其特征在于，包括： 第1驱动块，向平行锯丝行进的方向移动； 锭架，与所述第1驱动块以枢轴轴连接；以及 第2驱动块，随着所述第1驱动块的移动与晶锭的切断方向平行地移动，同时设置在所 述锭架上以便锭架以枢轴轴为中心摆动。11. 一种线锯，其特征在于，包括： 至少2个导轮，设置在框架上用于向导向单方向或双方向行进的锯丝； 升降块，设置在框架上以便与晶锭的切断方向平行地升降； 第1驱动块，设置在升降块以便与锯丝的行进方向平行地移动； 第2驱动块，设置在框架或升降块，以便与晶锭的切断方向平行地移动； 以及 锭架，与第1驱动块及第2驱动块结合，以便随着第1驱动块和第2驱动块中的任一第 1部件移动而摆动。12. 根据权利要求11所述的线锯，其特征在于，包括： 第1轨道，与锯丝的行进方向平行地设置在所述升降块； 第2轨道，与晶锭的切断方向平行地设置在所述框架或升降块； 第1滑动导向，安装在所述第1驱动块，以便随着所述第1轨道移动；以及 第2滑动导向，安装在所述第2驱动块，以便随着所述第2轨道移动。13. 根据权利要求12所述的线锯，其特征在于， 在所述第1轨道及第2轨道上形成突出或槽沟，以便向导所述第1滑动导向及第2滑 动导向移动。
【专利摘要】揭示摆动晶锭I并进行切断的线锯1。这种线锯1包括：第1驱动块100、第2驱动块110及锭架120。第1驱动块100移动时，第2驱动块110向与第1驱动块100的移动方向垂直的方向移动，与此同时锭架120摆动。而且，升降块73向晶锭的切断方向(Z轴方向)移送锭架120时，则与第1驱动块100或第2驱动块(1110)相互独立地移动。由此，不仅可以使晶锭I与升降块73独立地摆动，而且还可以抑制晶锭I向左右移动，而且只靠一个第1驱动块100来控制，由此控制简易结构简单。
【IPC分类】B23D61/18, B26D1/547, B28D1/08
【公开号】CN105121109
【申请号】CN201380072598
【发明人】金亨在, 曺亨镐, 李相直, 金度延, 李泰炅, 朴哲辰
【申请人】韩国生产技术研究院
【公开日】2015年12月2日
【申请日】2013年11月25日
【公告号】EP2783780A1, WO2014157805A1