一种洁净室抗微振结构的制作方法
【专利摘要】本发明公开了一种洁净室抗微振结构，包括：多个结构立柱、防静电地板、防微振平台结构及OHS运输系统；本发明在普通的地基基础方案中，提出一种设计多变材料和多变刚度结构形式复合协同作业，通过延长振动传递路径，逐级消耗外界振动源传递至振敏对象途中的能量，从而实现了通过基础和结构多级耗能，有效进行微振动控制，从而减小振源对振敏设备产生的不利影响。
【专利说明】
—种洁净室抗微振结构
技术领域
[0001]本发明涉及洁净室抗微振技术领域，具体涉及一种洁净室抗微振结构。
【背景技术】
[0002]随着工业技术和生产的快速发展，对于清洁生产的要求越来越高，尤其是在逐渐成为高端制造业的重要技术支柱的超精密加工领域中，涉及洁净室、洁净车间的施工，但是，目前的洁净室或结晶车间的设计和建设中仅考虑到对温度、湿度以及颗粒污染物等条件的控制，对于微振动的控制却考虑的不多，当前，越来越多的高新产品需要超大规模集成电路(very large scale integrated circuit ,VLSI)技术提供生产制造载体。但VLSI工艺对振动环境要求极为苛刻，当生产环境微振动水平超标，不但会导致产品制造不合格，而且改造过程还会引起巨大的经济损失。
[0003]另外，在VLSI生产过程中，影响振敏设备工作的振源有多种，由于工艺生产技术革新，出现一些新的内部工艺措施如0HS(0ver Hang System悬挂系统)，其产生的振动与以往的震源不同，因此在设计和控制过程需要建立合理有效的抗振结构。OHS是VLSI生产工艺中的一种玻璃基板运输系统，可以作为产品存放架或者作为运输通道为各生产工艺之间提供产品。该运输系统在工作时产生的振动通过悬挂构件和主体结构将振动传递到振敏设备底部，从而影响设备正常作业。所以对VLSI生产过程中的各种振动进行控制以满足产品达标要求成为亟待解决的技术难题。
【发明内容】
[0004]本发明的目的在于提供一种洁净室抗微振结构，用以解决洁净室只能是对温度、湿度以及颗粒污染物等条件进行控制不能抗微振的问题。
[0005]为实现上述目的，本发明提供了一种洁净室抗微振结构，包括:多个结构立柱，每个结构立柱均立于一个弹性块状地基上，弹性块状地基埋在洁净室下面的地基下；防静电地板通过多个隔振支撑安装至隔振地板支撑结构梁上，隔振地板支撑结构梁固定至结构立柱下部;防微振平台结构位于洁净室内地基中间的隔振坑中并与防静电地板和隔振地板支撑结构梁隔开;及OHS运输系统的运行轨道通过多个轨道吊梁吊在结构主梁上，结构主梁固定至结构立柱上，OHS搬运车在运行轨道上运行。
[0006]本发明公开的上述一种洁净室抗微振结构，进一步地，防微振平台结构包括防振台、多个减振器和多个支撑块，防振台水平安装至多个减振器上，每个减振器固定至一个支撑块上，多个支撑块水平安放至隔振坑的底部。
[0007]本发明公开的上述一种洁净室抗微振结构，进一步地，防振台下面安装有增重块。
[0008]本发明公开的上述一种洁净室抗微振结构，进一步地，每个减振器上均安装有振动源实时信息采集模块和微振动控制模块，减振器和振动源实时信息采集模块与微振动控制模块连接。
[0009]本发明公开的上述一种洁净室抗微振结构，进一步地，振动源实时信息采集模块用于实时采集外部振动源的振动信息，并将外部振动源的振动信息输出，微振动控制模块用于接收外部振动源的振动信息，并据此发出相应的控制指令至减振器，以实时控制与防振台相连的减振器做出相应动作，调节防振台的防振状态，使防振台处于最佳防振状态。
[0010]本发明公开的上述一种洁净室抗微振结构，进一步地，隔振地板支撑结构梁下面通过多个减振垫安放至地基上。
[0011]本发明公开的上述一种洁净室抗微振结构，进一步地，防微振平台结构的多个支撑块在洁净室内隔振坑中安放至防微振基础上，防微振基础下面设有多个粧基，多个粧基埋入地基中，防微振基础的一部分埋入地基中。
[0012]本发明公开的上述一种洁净室抗微振结构，进一步地，防微振基础与防静电地板和隔振地板支撑结构梁隔开。
[0013]本发明公开的上述一种洁净室抗微振结构，进一步地，洁净室抗微振结构将传递至防振台的振动的主要传递路径控制为多级耗能传递路径;其中，来自防静电地板的振动的多级耗能传递路径为:振动依次经过防静电地板、隔振支撑、隔振地板支撑结构梁、结构立柱、弹性块状地基、地基、支撑块、减振器和防振台；其中，来自OHS搬运车的振动的多级耗能传递路径为:所述振动依次经过OHS搬运车、运行轨道、结构立柱、弹性块状地基、地基、支撑块、减振器和防振台。
[0014]本发明公开的上述一种洁净室抗微振结构，进一步地，洁净室抗微振结构将传递至防振台的振动的主要传递路径控制为多级耗能传递路径;其中，来自防静电地板的振动的多级耗能传递路径为:振动依次经过防静电地板、隔振支撑、隔振地板支撑结构梁、结构立柱、弹性块状地基、地基、防微振基础、支撑块、减振器和防振台；其中，来自OHS搬运车的振动的多级耗能传递路径为:振动依次经过OHS搬运车、运行轨道、结构立柱、弹性块状地基、地基、防微振基础、支撑块、减振器和防振台。
[0015]本发明具有如下优点:
[0016]本发明公开的一种洁净室抗微振结构，在普通的地基基础方案中，提出一种设计多变材料和多变刚度结构形式复合协同作业，通过延长振动传递路径，逐级消耗外界振动源传递至振敏对象途中的能量，从而实现了通过基础和结构多级耗能，有效进行微振动控制，从而减小振源对振敏设备产生的不利影响。
【附图说明】
[0017]图1是本发明公开的一种洁净室抗微振结构的一个实施例的结构示意图。
[0018]图2是本发明公开的一种洁净室抗微振结构的另一个实施例的结构示意图。
【具体实施方式】
[0019]以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。
[0020]实施例1
[0021 ]如图1所示，本实施例中公开的一种洁净室抗微振结构，包括:多个结构立柱01，每个结构立柱01均立于一个弹性块状地基02上，弹性块状地基02埋在洁净室下面的地基03中，弹性块状地基02的体积及质量越大越有利于隔振;防静电地板04通过多个隔振支撑05安装至隔振地板支撑结构梁06上，隔振地板支撑结构梁06固定至结构立柱01下部，进一步地，隔振地板支撑结构梁06下面通过多个减振垫16安放至地基03上;防微振平台结构位于洁净室内地基中间的隔振坑07中并与防静电地板04和隔振地板支撑结构梁06隔开，这样防止振动直接从防静电地板04和隔振地板支撑结构梁06传递至防微振平台结构，防微振平台结构包括防振台12、多个减振器13和多个支撑块14，防振台12水平安装至多个减振器13上，防振台12下面安装有增重块15，安装增重块15之后，防振台12的质量增大更有利于隔振，每个减振器13固定至一个支撑块14上，多个支撑块14水平安放至隔振坑07的底部;及OHS运输系统的运行轨道08通过多个轨道吊梁09吊在结构主梁10上，结构主梁10固定至结构立柱01上，OHS搬运车11在运行轨道08上运行。
[0022]进一步地，每个减振器13上均安装有振动源实时信息采集模块和微振动控制模块(图中未示出)，减振器13和振动源实时信息采集模块与微振动控制模块连接，振动源实时信息采集模块用于实时采集外部振动源的振动信息，并将外部振动源的振动信息输出，微振动控制模块用于接收外部振动源的振动信息，并据此发出相应的控制指令至减振器13，以实时控制与防振台12相连的减振器13做出相应动作，调节防振台12的防振状态，使防振台12处于最佳防振状态。
[0023]如上所述，本实施例中公开的一种洁净室抗微振结构将传递至防振台12的振动的主要传递路径控制为多级耗能传递路径;其中，来自防静电地板04的振动的多级耗能传递路径为:振动依次经过防静电地板04、隔振支撑05、隔振地板支撑结构梁06、结构立柱O1、弹性块状地基02、地基03、支撑块14、减振器13和防振台12;其中，来自OHS搬运车11的振动的多级耗能传递路径为:所述振动依次经过OHS搬运车11、运行轨道08、结构立柱01、弹性块状地基02、地基03、支撑块14、减振器13和防振台12。
[0024]实施例2
[0025]如图2所示，本实施例中公开的一种洁净室抗微振结构与实施例1中的一种洁净室抗微振结构具有相同的部分，相同部分再此不再赘述，其不同之处在于:防微振平台结构的多个支撑块14不是直接至隔振坑07的底部，而是在洁净室内隔振坑07中安放至防微振基础17上，防微振基础17是一个大型的块状结构，防微振基础17下面设有多个粧基18，多个粧基18埋入地基03中，防微振基础17的一部分埋入地基03中，防微振基础17与防静电地板04和隔振地板支撑结构梁06隔开，这样防止振动直接从防静电地板04和隔振地板支撑结构梁06传递至防微振基础17。
[0026]如上所述，与实施例1相比，本实施例中公开的上述一种洁净室抗微振结构，洁净室抗微振结构将传递至防振台12的主要振动传递路径控制为多级耗能传递路径，并且其主要振动传递路径变得更长，其中，来自防静电地板04的振动的多级耗能传递路径为:振动依次经过防静电地板04、隔振支撑05、隔振地板支撑结构梁06、结构立柱01、弹性块状地基02、地基03、防微振基础17、支撑块14、减振器13和防振台12;其中，来自OHS搬运车的振动的多级耗能传递路径为:振动依次经过OHS搬运车11、运行轨道08、结构立柱O1、弹性块状地基
02、地基03、防微振基础17、支撑块14、减振器13和防振台12。
[0027]虽然，上文中已经用一般性说明及具体实施例对本发明作了详尽的描述，但在本发明基础上，可以对之作一些修改或改进，这对本领域技术人员而言是显而易见的。因此，在不偏离本发明精神的基础上所做的这些修改或改进，均属于本发明要求保护的范围。
【主权项】
1.一种洁净室抗微振结构，其特征在于:所述洁净室抗微振结构包括: 多个结构立柱，每个结构立柱均立于一个弹性块状地基上，所述弹性块状地基埋在洁净室下面的地基中； 防静电地板通过多个隔振支撑安装至隔振地板支撑结构梁上，所述隔振地板支撑结构梁固定至所述结构立柱下部； 防微振平台结构位于洁净室内地基中间的隔振坑中并与所述防静电地板和所述隔振地板支撑结构梁隔开;及 OHS运输系统的运行轨道通过多个轨道吊梁吊在结构主梁上，所述结构主梁固定至所述结构立柱上，所述OHS搬运车在所述运行轨道上运行。2.根据权利要求1所述的洁净室抗微振结构，其特征在于:所述防微振平台结构包括防振台、多个减振器和多个支撑块，所述防振台水平安装至所述多个减振器上，每个减振器固定至一个支撑块上，所述多个支撑块水平安放至隔振坑的底部。3.根据权利要求2所述的洁净室抗微振结构，其特征在于:所述防振台下面安装有增重块。4.根据权利要求2所述的洁净室抗微振结构，其特征在于:所述每个减振器上均安装有振动源实时信息采集模块和微振动控制模块，所述减振器和所述振动源实时信息采集模块与微振动控制模块连接。5.根据权利要求4所述的洁净室抗微振结构，其特征在于:所述振动源实时信息采集模块用于实时采集外部振动源的振动信息，并将所述外部振动源的振动信息输出，所述微振动控制模块用于接收所述外部振动源的振动信息，并据此发出相应的控制指令至减振器，以实时控制与防振台相连的减振器做出相应动作，调节防振台的防振状态，使防振台处于最佳防振状态。6.根据权利要求1所述的洁净室抗微振结构，其特征在于:所述隔振地板支撑结构梁下面通过多个减振垫安放至地基上。7.根据权利要求1所述的洁净室抗微振结构，其特征在于:所述防微振平台结构的多个支撑块在洁净室内隔振坑中安放至防微振基础上，所述防微振基础下面设有多个粧基，所述多个粧基埋入地基中，所述防微振基础的一部分埋入地基中。8.根据权利要求7所述的洁净室抗微振结构，其特征在于:所述防微振基础与防静电地板和隔振地板支撑结构梁隔开。9.根据权利要求1-6中任一项所述的洁净室抗微振结构，其特征在于:所述洁净室抗微振结构将传递至防振台的振动的主要传递路径控制为多级耗能传递路径； 其中，来自防静电地板的振动的多级耗能传递路径为:所述振动依次经过防静电地板、隔振支撑、隔振地板支撑结构梁、结构立柱、弹性块状地基、地基、支撑块、减振器和防振台； 其中，来自OHS搬运车的振动的多级耗能传递路径为:所述振动依次经过OHS搬运车、运行轨道、结构立柱、弹性块状地基、地基、支撑块、减振器和防振台。10.根据权利要求7或8所述的洁净室抗微振结构，其特征在于:所述洁净室抗微振结构将传递至防振台的振动的主要传递路径控制为多级耗能传递路径； 其中，来自防静电地板的振动的多级耗能传递路径为:所述振动依次经过防静电地板、隔振支撑、隔振地板支撑结构梁、结构立柱、弹性块状地基、地基、防微振基础、支撑块、减振器和防振台； 其中，来自OHS搬运车的振动的多级耗能传递路径为:所述振动依次经过OHS搬运车、运行轨道、结构立柱、弹性块状地基、地基、防微振基础、支撑块、减振器和防振台。
【文档编号】E04B1/98GK106088384SQ201610662379
【公开日】2016年11月9日
【申请日】2016年8月12日 公开号201610662379.1, CN 106088384 A, CN 106088384A, CN 201610662379, CN-A-106088384, CN106088384 A, CN106088384A, CN201610662379, CN201610662379.1
【发明人】葛晓婵
【申请人】葛晓婵