专利名称:一种化学品接头结构的制作方法
【专利摘要】本实用新型提供一种化学品接头结构，包括：上接头体，所述上接头体的设定区域具有多个柱体结构；下接头体，所述下结构体具有与所述柱体结构位置相对应的多个凹槽结构；其中，所述上接头体被设定去除了若干个柱体结构，所述下接头体被堵塞体堵住了与所述若干个柱体结构位置相对应的若干个凹槽结构。本实用新型可以使生产线中央供应系统换用桶装化学品时只能换用对应正确的化学品，从根源上防止错误化学品上线的可能，避免了因生产线中央供应系统换用桶装化学品时错误的化学品流入产线，造成生产线停线，产品报废等风险。
【专利说明】一种化学品接头结构
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种半导体制造设备结构，特别是涉及一种化学品接头结构。
【背景技术】
[0002]半导体器件制造是被用于制造芯片，一种日常使用的电气和电子器件中集成电路的处理工艺。它是一系列照相和化学处理步骤，在其中电子电路逐渐形成在使用纯半导体材料制作的芯片上。
[0003]半导体制造在很大程度上是一种与化学有关的工艺过程。高达20%工艺步骤是清洗和晶圆表面的处理。半导体工厂消耗大量的酸、碱、溶剂和水，为达到精确和洁净的工艺，部分成本是由于化学品需要非常高的纯度和特殊反应机理，化学品使用的准确程度往往决定着半导体产品最终的成品率和电学性能，可见，化学品的一些特殊的属性对于半导体工艺存在有非常重要的意义。
[0004]目前大多数桶装化学品采取生产线上的中央供应系统输出，必须严格确保生产线系统输出正确对应的化学品，否则所有使用该化学品管路系统的所有器件都会受到影响，甚至可能造成产线大量停线或者报废。
[0005]现行生产线上的桶装化学品大多以标签信息确认，甚至人工扫条形码(BARCODE)的方式进行操作，但是人为操作仍然存在用错化学品的风险，无法从根源进行杜绝。
[0006]为了解决上述的问题，现在，对于半导体生产线上换用桶装化学品的时候，需要加强标签信息的核对，确保扫条形码(BARCODE)正确才可以上线使用，并要求供应厂商尽量对不同种类的化学品采用具有明显辨识度的包装区分，如不同的桶装化学品采用不同的桶身颜色，或不同的标签形状等，但是，虽然在桶装化学品上增加了辨别标识，在人工操作换桶时，仍然不能完全避免化学品的错误使用。
[0007]鉴于现有技术的以上缺陷，提供一种能够避免因生产线中央供应系统换用桶装化学品时错误的化学品流入产线，造成产线停线，产品报废等风险的新型结构实属必要。
实用新型内容
[0008]鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种化学品接头结构，用于解决现有技术中桶装化学品容易出现错误换用的问题。
[0009]为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种化学品接头结构，包括:
[0010]上接头体，所述上接头体的设定区域具有多个柱体结构；
[0011]下接头体，所述下结构体具有与所述柱体结构位置相对应的多个凹槽结构；
[0012]其中，所述上接头体被设定去除了若干个柱体结构，所述下接头体被堵塞体堵住了与所述若干个柱体结构位置相对应的若干个凹槽结构。
[0013]作为本实用新型的化学品接头结构的一种优选方案，所述上接头体包括位于中部的螺纹凸起结构以及环绕所述螺纹凸起结构的上圆环结构，所述多个柱体结构设置于所述上圆环结构的预设位置。
[0014]进一步地，所述下接头体包括位于中部的螺纹凹陷结构以及环绕所述螺纹凹陷结构的下圆环结构，所述多个凹槽结构设置于所述下圆环结构的预设位置，且所述螺旋凸起结构于螺旋凹陷结构可形成螺纹连接。
[0015]作为本实用新型的化学品接头结构的一种优选方案，所述主体结构及凹槽结构的数量均为6?12个。
[0016]进一步地，所述上接头体被去除的柱体结构的数量为I?11个。
[0017]作为本实用新型的化学品接头结构的一种优选方案，所述上接头体及下接头体的材料包括高密度聚乙烯，所述柱体结构的材料包括聚丙烯。
[0018]作为本实用新型的化学品接头结构的一种优选方案，所述上接头体设置于化学品供应管道输入端口，所述下接头体设置于桶装化学品的输出端口。
[0019]如上所述，本实用新型提供一种化学品接头结构，包括:上接头体，所述上接头体的设定区域具有多个柱体结构；下接头体，所述下结构体具有与所述柱体结构位置相对应的多个凹槽结构；其中，所述上接头体被设定去除了若干个柱体结构，所述下接头体被堵塞体堵住了与所述若干个柱体结构位置相对应的若干个凹槽结构。本实用新型可以使生产线中央供应系统换用桶装化学品时只能换用对应正确的化学品，从根源上防止错误化学品上线的可能，避免了因生产线中央供应系统换用桶装化学品时错误的化学品流入产线，造成生产线停线，产品报废等风险。
【附图说明】
[0020]图1显示为本实用新型的上接头体的主视结构示意图。
[0021]图2显示为本实用新型的上接头体的下视结构示意图。
[0022]图3显示为本实用新型的下接头体的主视结构示意图。
[0023]图4显示为本实用新型的下接头体的上视结构示意图。
[0024]元件标号说明
[0025]10上接头体
[0026]101柱体结构
[0027]102被去除的柱体结构
[0028]103上圆环结构
[0029]104螺纹凸起结构
[0030]20下接头体
[0031]201凹槽结构
[0032]202堵塞体
[0033]203下圆环结构
[0034]204螺纹凹陷结构
【具体实施方式】
[0035]以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。本实用新型还可以通过另外不同的【具体实施方式】加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本实用新型的精神下进行各种修饰或改变。
[0036]请参阅图1?图4。需要说明的是，本实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本实用新型的基本构想，遂图式中仅显示与本实用新型中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。
[0037]如图1?图4所示，本实施例提供一种化学品接头结构，包括:
[0038]上接头体10，所述上接头体10的设定区域具有多个柱体结构101 ;
[0039]下接头体20，所述下结构体具有与所述柱体结构101位置相对应的多个凹槽结构201 ；
[0040]其中，所述上接头体10被设定去除了若干个柱体结构102，所述下接头体20被堵塞体202堵住了与所述若干个柱体结构102位置相对应的若干个凹槽结构201。
[0041]在本实施例中，所述上接头体10设置于化学品供应管道输入端口，所述下接头体20设置于桶装化学品的输出端口。
[0042]作为示例，所述上接头体10包括位于中部的螺纹凸起结构104以及环绕所述螺纹凸起结构104的上圆环结构103，所述多个柱体结构101设置于所述上圆环结构103的预设位置。进一步地，所述下接头体20包括位于中部的螺纹凹陷结构204以及环绕所述螺纹凹陷结构204的下圆环结构203，所述多个凹槽结构201设置于所述下圆环结构203的预设位置，且所述螺旋凸起结构于螺旋凹陷结构可形成螺纹连接。
[0043]作为示例，所述主体结构及凹槽结构201的数量均为6?12个。进一步地，所述上接头体10被去除的柱体结构102的数量为I?11个。
[0044]作为示例，所述上接头体10及下接头体20的材料包括高密度聚乙烯，所述柱体结构101的材料包括聚丙烯。
[0045]如图1?4所示，一个更具体的实施方案如下:
[0046]如图1所示，所述上接头体10包括位于中部的螺纹凸起结构104以及环绕所述螺纹凸起结构104的上圆环结构103，所述螺纹凸起结构104以及所述上圆环结构103为可活动连接，当所述螺纹凸起结构104旋转时，所述上圆环结构103可以保持不动。所述上圆环结构103的下表面上设置有9个柱体结构101，所述的9个柱体结构101分为3组，每组包括3个柱体结构101，其中，如图2所示，位于左上角的第一组柱体结构101中去除了 2个柱体结构102，位于右方的第二组柱体结构101中去除了 I个柱体结构102。
[0047]如图3所示，所述下接头体20包括位于中部的螺纹凹陷结构204以及环绕所述螺纹凹陷结构204的下圆环结构203，所述螺旋凸起结构于螺旋凹陷结构可形成螺纹连接，所述下圆环结构203中设置有9个凹槽结构201，其位置与上圆环结构103中的9个柱体结构101--对应，其中，如图4所示，与所述上圆环结构103中被去除的柱体结构102位置对应的凹陷结构中，设置有堵塞体202将其堵住，这样，只有两个对应的上接头体10与下接头体20才能完成对接。对应于其它的化学品，可以采用去除不同的柱体结构及堵塞不同的凹陷结构完成一一对应，从而避免了因生产线中央供应系统换用桶装化学品时错误的化学品流入产线。
[0048]如上所述，本实用新型提供一种化学品接头结构，包括:上接头体10，所述上接头体10的设定区域具有多个柱体结构101 ;下接头体20，所述下结构体具有与所述柱体结构101位置相对应的多个凹槽结构201 ;其中，所述上接头体10被设定去除了若干个柱体结构102，所述下接头体20被堵塞体202堵住了与所述若干个柱体结构102位置相对应的若干个凹槽结构201。本实用新型可以使生产线中央供应系统换用桶装化学品时只能换用对应正确的化学品，从根源上防止错误化学品上线的可能，避免了因生产线中央供应系统换用桶装化学品时错误的化学品流入产线，造成生产线停线，产品报废等风险。所以，本实用新型有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。
[0049]上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属【技术领域】中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。
【权利要求】
1.一种化学品接头结构，其特征在于，包括: 上接头体，所述上接头体的设定区域具有多个柱体结构； 下接头体，所述下接头体具有与所述柱体结构位置相对应的多个凹槽结构； 其中，所述上接头体被设定去除了若干个柱体结构，所述下接头体被堵塞体堵住了与所述若干个柱体结构位置相对应的若干个凹槽结构。2.根据权利要求1所述的化学品接头结构，其特征在于:所述上接头体包括位于中部的螺纹凸起结构以及环绕所述螺纹凸起结构的上圆环结构，所述多个柱体结构设置于所述上圆环结构的预设位置。3.根据权利要求2所述的化学品接头结构，其特征在于:所述下接头体包括位于中部的螺纹凹陷结构以及环绕所述螺纹凹陷结构的下圆环结构，所述多个凹槽结构设置于所述下圆环结构的预设位置，且所述螺纹凸起结构与螺纹凹陷结构可形成螺纹连接。4.根据权利要求1所述的化学品接头结构，其特征在于:所述柱体结构及凹槽结构的数量均为6?12个。5.根据权利要求4所述的化学品接头结构，其特征在于:所述上接头体被去除的柱体结构的数量为I?11个。6.根据权利要求1所述的化学品接头结构，其特征在于:所述上接头体及下接头体的材料包括高密度聚乙烯，所述柱体结构的材料包括聚丙烯。7.根据权利要求1所述的化学品接头结构，其特征在于:所述上接头体设置于化学品供应管道输入端口，所述下接头体设置于桶装化学品的输出端口。
【文档编号】F16L23-032GK204300564SQ201420581402
【发明者】孙璐, 上官遨宇 [申请人]中芯国际集成电路制造(北京)有限公司