支撑托架的制作方法

文档序号:14755406发布日期:2018-06-22 22:17阅读:152来源:国知局
支撑托架的制作方法

本实用新型涉及半导体晶体制备领域,尤其涉及一种支撑托架。



背景技术:

在磷化铟或者砷化镓等半导体晶体生长时,多晶料需放入一开口石英管内,然后将装好料的开口石英管放进可移动的烤炉内,开口石英管管口连接真空机组抽真空。当真空值达到要求后,烤炉升温加热烤料。烤料完成后降温,之后将烤炉移开,露出开口石英管。用氢氧气焊枪将开口石英管和石英帽焊接在一起形成一密封石英管,封住石英帽管口,使多晶料在密封石英管内处于高真空状态,满足后续晶体生长的要求。

在烤炉的移动过程中,烤炉对石英帽的支撑不稳,石英帽会晃动,且焊完后还需移动烤炉将密封石英管放回炉膛内保温。经过两次移动,开口石英管与石英帽之间的焊接焊道易形成裂纹,这些裂纹会对密封石英管内的真空度造成较严重的影响。

因此,有必要设计一种支撑托架以解决上述技术问题。



技术实现要素:

本实用新型的目的在于克服上述技术问题,提出一种支撑效果好的支撑托架。

为实现前述目的,本实用新型采用如下技术方案:一种支撑托架,其包括依次固定连接的一转动手轮、一螺杆、一旋转夹头、一支撑件,所述螺杆被一固定件固定,所述固定件包括一基板、一套管、将套管固定在基板上的一支撑板,所述螺杆套设于套管内,所述转动手轮能够通过转动调节螺杆与套管的相对位置。

作为本实用新型的进一步改进,所述基板上开设有若干螺孔,所述螺孔通过与螺钉的配合将基板固定于外物上。

作为本实用新型的进一步改进,所述套管呈圆环状,所述支撑板上形成一凹形缺口,所述套管与凹形缺口契合并固定连接。

作为本实用新型的进一步改进,所述支撑件上表面包括一凹形圆弧部。

作为本实用新型的进一步改进,所述固定件还包括设于支撑板两侧的两加强筋。

作为本实用新型的进一步改进,所述转动手轮包括一个把手。

本支撑托架在石英帽需要支撑时,能够提供稳定的支撑,石英管与石英帽之间的焊接焊道免于因烤炉的移动而产生裂纹,也就不会对密封石英管的真空度造成影响。

附图说明

图1为本实用新型支撑托架的整体结构示意图。

图2为本实用新型支撑托架的固定件的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例对技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1、2,一种支撑托架100,用于支撑石英帽200,支撑托架100包括依次固定连接的一转动手轮110、一螺杆120、一旋转夹头130、一支撑件140,螺杆120被一固定件150固定,固定件150包括一基板151、一套管152、将套管152固定在基板151上的一支撑板153。

转动手轮110能够通过转动调节螺杆120与套管152的相对位置,在本实施例中,转动手轮110包括一个把手111,把手111便于操作者手动转动该转动手轮110。

螺杆120套设于套管152内,螺杆120的一端固定在转动手轮110上,螺杆120的另一端与旋转夹头130连接。

旋转夹头130和支撑件140通过固定连接实现联动,旋转夹头130能够平面转动以调整支撑件140的姿态。

在本实施例中,基板151上开设有若干螺孔151a,螺孔151a通过与螺钉151b的配合将基板151固定于外物——支架300上。在其他实施例中,基板151还能以焊接等其他方式与支架300固定连接。

在本实施例中,套管152呈圆环状,支撑板153上形成一凹形缺口153a,套管152与凹形缺口153a契合并固定连接。

在本实施例中,支撑件140上表面包括一凹形圆弧部141,凹形圆弧部141与石英帽200契合,在石英帽200需要支撑时,转动手轮110能够通过转动调节螺杆120与套管152的相对位置使得支撑件140和凹形圆弧部141升高直至紧贴石英帽200进行支撑,在石英帽200不需要支撑时,则逆向操作。

在本实施例中,固定件150还包括设于支撑板153两侧的两加强筋154。

在其他实施例,本支撑托架100还可以用于其他部件的支撑。

本支撑托架100在石英帽200需要支撑时,能够提供稳定的支撑,石英管与石英帽200之间的焊接焊道免于因烤炉的移动而产生裂纹,也就不会对密封石英管的真空度造成影响。

尽管为示例目的,已经公开了本实用新型的优选实施方式,但是本领域的普通技术人员将意识到,在不脱离由所附的权利要求书公开的本实用新型的范围和精神的情况下,各种改进、增加以及取代是可能的。

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