液状体的描绘方法、滤色器及有机el元件的制造方法

专利名称：液状体的描绘方法、滤色器及有机el元件的制造方法
技术领域：
本发明涉及使用液滴喷出法的包含功能性材料的液状体的描绘方法、
滤色器的制造方法、有机EL元件的制造方法。
背景技术：
作为使用液滴喷出法的液状体的描绘方法，知道的是如下描绘方法
(描绘系统)根据记录介质中存储的数据， 一边使功能液滴喷头相对于 工件相对地移动， 一边从在该功能液滴喷头上列设的多个喷嘴有选择地喷 出功能液滴，由此，在工件上的l个以上的芯片形成区域中进行描绘(专 利文献l)。
在所述描绘方法中，根据记录介质中存储的各喷嘴的喷出图案数据， 对工件喷出描绘功能液滴。
至少根据有关工件上的芯片形成区域的配置的芯片信息、有关芯片形 成区域中的像素的排列的像素信息、有关各喷嘴相对于工件的配置的喷嘴 信息，生成所述喷出图案数据。
此外，作为检测所喷出的功能液滴的喷落位置的方法，知道的是能简 单并且迅速地检测从液滴喷头的喷嘴喷出的液滴喷落在被检査物上而取 得的点的位置偏移的点偏移检测方法和点偏移检测装置(专利文献2)。特开2003-275650号公报特开2006-130383号公报
在工件上将包含功能性材料的液状体作为液滴喷出从而形成由功能 性材料构成的膜图案时，需要使从喷嘴喷出的液滴以高位置精度喷落在工 件上。可是，即使使用所述描绘方法，在工件和功能液滴喷头的相对移动 中，如果在多个喷嘴和工件的相对位置中存在"偏移"，液滴就有可能不喷 落在基于所述喷出图案数据的所希望的位置。
作为产生这样的"偏移"的要因，可列举多个喷嘴的配置精度、所述相 对移动的移动精度等。
为了修正或校正这样的"偏移"，考虑使用所述点偏移检测方法和点偏 移检测装置。可是，由于对工件以外的被检查物喷出液滴，所以存在产生 液状体的浪费的问题。

发明内容
本发明是考虑所述的问题而提出的，其目的在于，提供在节省液状体 的浪费的同时，能以高位置精度喷落液滴的液状体的描绘方法、滤色器的
制造方法、有机EL元件的制造方法。
本发明提供一种液状体的描绘方法，其与工件和多个喷嘴向第一方向 的相对移动同步，在所述工件上对在所述第一方向和与所述第一方向正交 的第二方向由隔壁部划分的多个像素区域，从所述多个喷嘴将包含功能性 材料的液状体作为液滴喷出，形成像素构成要素，所述液状体的描绘方法
的特征在于，包括第一喷出工序，其对每个所述像素区域喷出至少一滴 所述液滴；喷落观察工序，其观察、拍摄被喷出所述液滴的所述像素区域； 运算工序，其运算在被拍摄的所述像素区域中，所述隔壁部和所述液滴的 喷落位置的所述第一方向的距离和所述第二方向的距离；配置信息修正工 序，其对在每个所述像素区域将规定数的所述液滴作为点配置的配置信息 中的所述工件和所述多个喷嘴的相对位置，根据所述第一方向的距离和所 述第二方向的距离，修正所述配置信息；第二喷出工序，其根据被修正的 所述配置信息，喷出所述液滴。
根据该方法，在运算工序中，运算第一喷出工序中喷出的液滴的喷落 位置与隔壁部的第一方向和第二方向的距离。因此，根据计测结果能取得 从多个喷嘴对工件喷出液滴时的第一方向和第二方向的喷落位置信息。液 滴的喷落位置精度反映工件和多个喷嘴的相对移动的相对位置精度。因 此，在配置信息修正工序中，根据所述第一方向的距离和所述第二方向的 距离，修正工件和多个喷嘴的相对位置，由此能形成为反映了实际的液滴 的喷落状态的配置信息。因此，在第二喷出工序中，能以高位置精度使液 滴喷落在像素区域内。进而，与为了取得液滴的喷落位置信息，而对工件以外的被喷出物喷出液滴的情况相比，在第一喷出工序中，对工件的像素 区域喷出至少一滴液滴，所以能节省液状体的浪费。即，能提供在节省液 状体的浪费的同时，以高位置精度使液滴喷落的液状体的描绘方法。
优选，在所述第一喷出工序中，在所述多个像素区域中对与所述第二 方向平行的假想中心线上喷出至少一滴所述液滴，在所述运算工序中，根 据被拍摄的所述隔壁部求出所述假想中心线，运算所求出的所述假想中心 线和所述液滴的喷落位置的所述第一方向的距离。
根据该方法，在运算工序中，运算在第一喷出工序中喷出的液滴的喷 落位置和假想中心线的第一方向的距离。因此，该第一方向的距离运算相 对于所希望的喷落位置的实际的第一方向的偏移量。因此，根据运算结果 能容易地修正在第一方向的多个喷嘴相对于工件的相对位置。
优选，在所述第一喷出工序中，划分为所述相对移动的往动和复动， 对所述像素区域喷出至少一滴所述液滴。根据该方法，在第一喷出工序中， 划分为相对移动的往动和复动而喷出液滴，所以在运算工序中，能取得与 往动和复动对应的液滴的喷落位置信息。因此，在第二喷出工序中，能与 工件和多个喷嘴的相对移动的往动和复动对应，以高位置精度使液滴喷 落。
此外，也可以在所述第一喷出工序中，选择所述多个喷嘴中与所述像 素区域有关的离得最远的两个喷嘴，分别喷出一滴所述液滴。对工件上喷 出液滴时，如果喷落的液滴彼此之间浸润扩散而相接，则有可能由于表面 张力而合为一体。如果液滴合为一体，在运算工序中，就难以运算正确的喷落位置。根据本方法，在像素区域内，2个液滴隔开而喷落，所以能稳 定取得液滴的喷落位置信息。
优选，在所述喷落观察工序中，在至少一次所述相对移动中，观察与 所述多个喷嘴有关的所述像素区域。根据该方法，即使不观察对全部像素 区域喷出的液滴的喷落位置，也能高效取得与多个喷嘴对应的液滴的喷落位置信息。
优选，在所述配置信息中，从将对所述像素区域赋予的必要量的所述 液状体换算为所述液滴而得到的数除去在所述第一喷出工序中喷出的所 述液滴的数，来设定所述规定数。根据本方法，能进一步节省液状体的浪 费，可对像素区域赋予必要量的液状体作为液滴。
所述多个喷嘴由在与所述相对移动的方向交叉的方向排列的多个喷 嘴列构成，在所述配置信息修正工序中，根据所述第一方向的距离和所述 第二方向的距离，修正所述配置信息中的所述工件和所述多个喷嘴列的相 对位置。根据该方法，在配置信息中，能修正各喷嘴列相对于工件的相对 位置。
此外，也可以所述多个喷嘴列由具有至少一列喷嘴列的多个喷头构 成，在所述配置信息修正工序中，根据所述第一方向的距离和所述第二方 向的距离，修正所述工件和所述多个喷头的相对位置。根据该方法，在配 置信息中，能修正各喷头相对于工件的相对位置。
也可以所述多个喷头划分为多个头组件而被搭载，在所述配置信息修 正工序中，根据所述第一方向的距离和所述第二方向的距离，修正所述工 件和所述多个头组件的相对位置。根据该方法，在配置信息中，能修正各 头组件相对于工件的相对位置。
所述配置信息包含从所述喷嘴喷出所述液滴的能量产生机构的喷出 定时，在所述配置信息修正工序中，根据所述第一方向的距离，改变并修 正产生喷落位置偏移的所述喷嘴列的所述喷出定时。根据该方法，用能量 产生机构的喷出定时这一软件方法，对各喷嘴列修正第一方向即相对移动 方向的液滴的喷落位置。因此，与在硬件上对产生喷落位置偏移的喷嘴列 进行位置调整的情况相比，能简便地调整。
此外，也可以所述配置信息包含从所述喷嘴喷出所述液滴的能量产生 机构的喷出定时，在所述配置信息修正工序中，根据所述第一方向的距离， 改变并修正产生喷落位置偏移的所述喷头的所述喷出定时。根据该方法， 用能量产生机构的喷出定时这一软件方法，对各喷头修正第一方向即相对 移动方向的液滴的喷落位置。因此，与在硬件上对产生喷落位置偏移的喷 头进行位置调整的情况相比，能简便地调整。
本发明提供一种滤色器的制造方法，其是在衬底上划分形成的多个像 素区域中具有至少三色的着色层的滤色器的制造方法，其特征在于，包括: 描绘工序，其使用所述发明的液状体的描绘方法，对所述多个像素区域喷
出描绘包含着色层形成材料的至少三色的液状体；固化工序，其将喷出描绘的所述液状体固化，形成所述至少三色的着色层。
根据该方法，使用能在节省液状体的浪费的同时，以高位置精度使液 滴喷落的液状体的描绘方法，所以将必要量的液状体作为液滴，赋予各像 素区域，能制造具有所需要的光学特性的滤色器。
也可以在所述第一喷出工序中，在被赋予同色的所述液状体的所述像 素区域中，在与所述第二方向平行的假想中心线上将一色的所述液状体的 液滴喷出至少一滴。根据该方法，在第一喷出工序中，喷出一色的液状体， 所以能进一步节省液状体的浪费而制造滤色器。
本发明提供一种有机EL元件的制造方法，其是在衬底上划分形成的 多个像素区域中至少具有发光层的有机EL元件的制造方法，其特征在于，包括描绘工序，其使用所述发明的液状体的描绘方法，对所述多个像素 区域喷出描绘包含发光层形成材料的液状体；固化工序，其将喷出描绘的 所述液状体固化，形成所述发光层。
根据本方法，使用能在节省液状体的浪费的同时，以高位置精度使液 滴喷落的液状体的描绘方法，所以将必要量的液状体作为液滴，赋予各像 素区域，能制造具有所需要的光学特性的有机EL元件。


图1是表示液滴喷出装置的结构的概略立体图。
图2 (a)和(b)是表示液滴喷头的构造的概略图。
图3 (a)和(b)是表示头组件的液滴喷头的配置的概略俯视图。
图4是表示液滴喷出装置的控制系统的框图。
图5是表示喷出控制的细节的框图。
图6是表示喷出控制的控制信号的图。
图7是表示液晶显示装置的构造的概略分解立体图。
图8是表示母衬底的概略俯视图。
图9 (a) ~ (e)是表示滤色器的制造方法的概略剖视图。 图10 (a)和(b)是表示描绘工序的工件和头组件的相对配置的概略 俯视图。图11是表示液状体的描绘方法的流程图。
图12 (a)和(b)是表示第一喷出工序的液滴的配置的概略俯视图。
图13是表示喷落观察方法的概略俯视图。
图14 (a)和(b)是表示第二喷出工序的液滴的配置的概略俯视图。
图15是表示有机EL显示装置的要部构造的概略剖视图。
图16 (a) ~ (f)是表示作为有机EL元件的发光元件部的制造方法的 概略剖视图。
图17 (a) (c)是表示像素的配置的概略俯视图。 图中9一头组件；50—作为喷头的液滴喷头；52—喷嘴；52a、 52b、 60—喷嘴列；59—作为能量产生机构的振子；80R、 80G、 80B—包含着色 层形成材料的液状体；100R、 100G、 100B—包含发光层形成材料的液状 体；501—作为衬底的对置衬底；505—滤色器；505R、 505G、 505B—着 色层；601—作为衬底的元件衬底；603—作为有机EL元件的发光元件部； 617R、 617G、 617B—发光层；618—隔壁部；A—着色区域和发光层形成
区域；CL一假想中心线；D—液滴；W—作为工件的母衬底。
具体实施例方式
(实施方式1)
本发明的实施方式以在衬底上的多个作为像素区域的着色区域中具 有多色着色层的滤色器的制造方法为例进行说明。着色层是像素构成要 素，从多个喷嘴对多个着色区域将包含作为功能性材料的着色层形成材料 的液状体作为液滴喷出而形成。
首先，根据图1 图6，说明能将液状体作为液滴喷出描绘的液滴喷出
装置。图1是表示液滴喷出装置的结构的概略立体图。
如图1所示，液滴喷出装置10具有使作为工件的母衬底W在主扫
描方向(X轴方向)移动的工件移动机构20;使液滴喷头50 (参照图2) 在副扫描方向(Y轴方向)移动的头移动机构30。
工件移动机构20具有一对导轨21、沿着一对导轨21移动的移动台 22、在移动台22上安放通过作为旋转机构的e台6配置的母衬底W的设 置台5。移动台22通过设置在导轨21的内部的气动滑板和直线电机(未 图示)在主扫描方向移动。设置台5能吸附固定母衬底W，并且通过e台6能使母衬底W内的基准轴正确地与主扫描方向、副扫描方向一致。
头移动机构30具有一对导轨31、沿着一对导轨31移动的2个移动台 32、 33。在移动台32设置通过旋转机构7吊设的滑架8。在滑架8安装有 搭载了多个液滴喷头50的头组件9。此外，设置用于对液滴喷头50供给液状体的液状体供给机构(未图示)、用于进行多个液滴喷头50的电驱动 控制的头驱动器48 (参照图4)。移动台32使滑架8在Y轴方向移动，使头组件9相对于母衬底W相对配置。
在移动台33搭载作为摄像机构的摄像机12。摄像机12例如具有CCD等摄像元件，通过移动台33在Y轴方向移动，观察、拍摄喷落在母衬底W的表面上的液滴的喷落状态。根据需要，也可以在移动台33设置对被拍摄体进行照明的照明装置。
液滴喷出装置10除了所述的结构，还在面对多个液滴喷头50的位置配置进行头组件9上搭载的多个液滴喷头50的喷嘴的堵塞的消除、喷嘴面的异物或污染的除去等维护的维护机构，不过省略了图示。
图2是表示液滴喷头的构造的概略图。图2 (a)是概略分解立体图， 图2 (b)是表示喷嘴部的构造的剖视图。如图2 (a)和(b)所示，液滴喷头50是具有喷出液滴D的多个喷嘴52的喷嘴板51、具有将多个喷嘴52分别连通的腔55划分的隔壁54的腔板53、具有与各腔55对应的作为能量产生机构的振子59的振动板58依次层叠并接合的构造。
腔板53具有划分与喷嘴52连通的腔55的隔壁54，并且具有用于对该腔55填充液状体的流路56、57。流路57由喷嘴板51和振动板58夹持，形成的空间实现贮存液状体的贮存器的作用。
液状体从液状体供给机构通过配管供给，通过振动板58上设置的供给孔58a而贮存在贮存器中后，通过流路56向各腔55填充。
如图2 (b)所示，振子59是由压电元件59c、夹着压电元件59c的 一对电极59a、 59b构成的压电元件。从外部对一对电极59a、 59b作用驱动电压脉冲，从而使接合的振动板58变形。由此，由隔壁54划分的腔55 的体积增加，液状体从贮存器吸引到腔55。然后，如果驱动电压脉冲的作用结束，振动板58就恢复原状，对填充的液状体加压。由此，成为从喷嘴52能将液状体作为液滴D喷出的构造。通过控制向压电元件59c作用的驱动电压脉冲，能对各喷嘴52进行液状体的喷出控制。
液滴喷头50并不局限于具有压电元件。也可以是具有通过静电吸附 使振动板58变位的电机械变换元件的液滴喷头、或具有将液状体加热而 从喷嘴52作为液滴D喷出的电热变换元件的液滴喷头。
图3 (a)和(b)是表示头组件的液滴喷头的配置的概略俯视图。具 体而言，图3 (a)是从与设置台5对置的一侧观察的图，图3 (b)是配 置多个头组件时的概略俯视图。
如图3 (a)所示，将喷出不同种类的液状体的3个液滴喷头50作为 一个组，4个头组50A、 50B、 50C、 50D在作为第一方向的主扫描方向(X 轴方向)和作为第二方向的副扫描方向(Y轴方向)上分别2组配置在头 板9a上。液滴喷头50具有将180个喷嘴52以大致等间隔Pl(大致140pm) 排列的2个喷嘴列52a、 52b。喷嘴列52a和喷嘴列52b在副扫描方向以大 致偏移等间隔Pl的一半的状态配置。即，如果从主扫描方向观察，就成 为360个喷嘴52以喷嘴间隔P2 (大致70nm)配置的状态。以下，将360 个喷嘴52的列作为喷嘴列60。
在头组50A和头组50B中，各液滴喷头50将喷嘴列60分别在副扫 描方向偏移其全长(P2x360)的l/3而配置。此外，从主扫描方向观察， 喷出同一种类的液状体的液滴喷头50 (例如头Rl和头R2)配置为喷嘴列 60隔开喷嘴间隔P2在副扫描方向连续。在头组50C和头组50D中也为同 样的液滴喷头50的配置。进而，在头组50B和头组50C中从主扫描方向 观察，位置最接近的喷出同一种类的液状体的液滴喷头50 (例如头R2和 头R3)的喷嘴列60的间隔为(P2x360) x2+P2。
如图3 (b)所示，按照母衬底W的尺寸，在副扫描方向配置多个头 组件9时，相邻的2个头板9a的间隔Ll设定为从主扫描方向观察位置最 接近的喷出同一种类的液状体的液滴喷头50 (例如头R4和头R5)的喷嘴 列60的间隔为(P2x360) x2+P2。
如果使用这样的头组件9，反复进行向X轴方向的主扫描和向Y轴方 向以(P2x360) x2+P2的间隔移动的副扫描，就能对副扫描方向连续的描 绘范围喷出3种不同的液状体。
下面，说明液滴喷出装置10的控制系统。图4是表示液滴喷出装置
的控制系统的框图。液滴喷出装置10的控制系统具有液滴喷头50、工件 移动机构20、具有驱动头移动机构30等的各种驱动器的驱动部46、控制 包含驱动部46的液滴喷出装置10的控制部4。此外，具有连接摄像机12 的图像处理部49。
驱动部46具有分别驱动控制工件移动机构20和头移动机构30的各 直线电机的移动用驱动器47、喷出控制液滴喷头50的头驱动器48和驱动 控制维护机构的各维护用组件的维护用驱动器(省略图示)。
控制部4具有CPU41、 ROM42、 RAM43、 P-CON44，它们彼此通过 总线45连接。在P-CON44连接上位运算机H。ROM42具有存储由CPU41 处理的控制程序等的控制程序区域、和存储用于进行描绘动作或功能恢复 处理等的控制数据等的控制数据区域。
RAM43具有存储用于对母衬底W进行描绘的描绘数据的描绘数据存 储部、存储母衬底W和各液滴喷头50 (实际上，喷嘴列52a、 52b)的位 置数据的位置数据存储部等各种存储部，作为用于控制处理的各种作业区 域使用。在P-CON44连接驱动部46的各种驱动器等或图像处理部49，构 成并装入补充CPU41的功能并且用于处理与周边电路的接口信号的逻辑 电路。因此，P-CON44将来自上位运算机11的各种指令原封不动或者加 工后取入总线45，并且与CPU41联动，将从CPU41等对总线45输出的数据或控制信号原封不动或者加工后对驱动部46输出。
然后，CPU41按照ROM42内的控制程序，通过P-CON44输入各种 检测信号、各种指令、各种数据等，处理RAM43内的各种数据后，通过 P-CON44对驱动部46等输出各种控制信号，由此控制液滴喷出装置10 全体。例如CPU41控制液滴喷头50、工件移动机构20和头移动机构30， 使头组件9和母衬底W相对配置，与头组件9和母衬底W的相对移动同 步，从各液滴喷头50的多个喷嘴52对母衬底W将液状体作为液滴D喷 出而进行描绘。这时，将与母衬底W向X轴方向的移动同步而喷出液状 体称作主扫描，将使搭载多个液滴喷头50的头组件9在Y轴方向移动称 作副扫描。本实施方式的液滴喷出装置10组合主扫描和副扫描而重复多 次，由此能喷出描绘液状体。主扫描不限于母衬底W相对于液滴喷头50 向一个方向的移动，也能使母衬底W往复进行。
此外，CPU41驱动头移动机构30，使移动台33向Y轴方向移动，使 搭载的摄像机12与母衬底W相对。然后，观察并且拍摄液滴D喷落的母 衬底W的表面。相对于母衬底W移动摄像机12而观察的位置信息由上 位运算机ll生成，作为观察坐标预先对RAM43输入。图像处理部49通 过P-CON44与上位运算机11连接。上位运算机11能将摄像机12拍摄、 由图像处理部49变换的图像信息在显示部(省略图示)显示，操作员能 确认液滴D的喷落状态。
图像处理部49将拍摄的图像变换为作为图像信息的位图数据。CPU41 能从该位图数据运算液滴D的喷落位置或喷落直径。将运算结果对 RAM43写入。关于细节，在后面描述的液状体的描绘方法中说明。
下面，参照图5、图6，说明液滴喷头的喷出控制方法。图5是表示 喷出控制的细节的框图。如图5所示，控制部4除了 CPU41、 ROM42、 RAM43、 P-CON44、总线45之外，还具有生成驱动信号(COM)的驱动 信号生成电路71、生成时钟信号(CK)的拨号电路72。头驱动器48具 有移位寄存器73、闩锁电路74、电平移动二极管75、开关76，能对液滴 喷头50的各喷嘴52所对应的振子有选择地作用驱动信号(COM)。
上位运算机11向控制部4传送作为在描绘对象面中将液滴D作为点 D配置的控制数据的配置信息。配置信息包含多个喷嘴52对母衬底W的 相对喷出位置、喷出液滴D的喷嘴52的选择、液滴D的喷出次数、喷出 液滴D时的驱动条件。而且，控制部4根据这些控制数据，按各喷嘴列单 位，如以下那样生成喷嘴数据信号(SI)或驱动信号(COM)。
即CPU41将控制数据解码，生成包含各喷嘴的ON/OFF信息的喷嘴 数据。此外，驱动信号生成电路71根据CPU41算出的喷嘴数据，进行驱 动信号(COM)的设定和生成。
将喷嘴数据串行信号化而得到的喷嘴数据信号(SI)与时钟信号(CK) 同步，向移位寄存器73传送，分别存储各喷嘴52的ON/OFF信息。然后， 由CPU41生成的闩锁信号(LAT)对各闩锁电路74输入，由此锁住喷嘴 数据。锁住的喷嘴数据由电平移动二极管75放大，在喷嘴数据为"ON"时， 对开关76供给规定的电压。此外，在喷嘴数据为"OFF'时，不向开关76 供给电压。
于是，由电平移动二极管75升压的电压对开关76供给的期间，对振 子59作用驱动信号(COM)，从喷嘴52喷出液滴D (参照图2)。
与头组件9和母衬底W的相对移动(主扫描)同步，如图6所示那 样周期性进行这样的喷出控制。
图6是表示喷出控制的控制信号的图。如图6所示，驱动信号(COM) 为具有放电脉冲201、充电脉冲202、放电脉冲203的一连串的脉冲组 200-1、 200-2…由中间电位204连接的结构。而且，通过一个脉冲组，如 以下那样喷出一个液滴D。
即通过放电脉冲201，使电位电平上升，并且将液状体向腔55 (参照 图2 (b))内拉入。接着，通过陡峭的充电脉冲202，将腔55内的液状体 急剧地加压，从喷嘴52压出液状体而液滴化(喷出)。最后，通过放电脉 冲203，使下降的电位电平返回中间电位204，并且抵消由充电脉冲202 产生的腔55的内的压力振动(固有振动)。
驱动信号(COM)的电压成分Vc、 Vh或时间成分(脉冲的倾斜或脉 冲之间的连接间隔等)等是与喷出量或喷出稳定性等非常有关的参数，需 要预先适当的设计。这时，考虑液滴喷头50的固有频率特性，闩锁信号 (LAT)的周期设定为20kHz。此外，主扫描的液滴喷头50和母衬底W 的相对移动速度(这时，使设置台5在X轴方向移动的移动速度)设定为 200mm/秒。因此，如果喷出分辨率为相对移动速度除以闩锁周期而得到的 值，喷出分辨率的单位就变为10pm。即能用喷出分辨率的单位对各喷嘴 52设定喷出定时。还有，如果闩锁信号的产生定时将设置在移动台22上 的编码器(省略图示)所输出的脉冲作为基准，就能用移动分辨率(这时， 大约lpm)的单位控制喷出定时。
根据液滴喷出装置10，能对各液滴喷头50的各喷嘴52或者各喷嘴列 52a、 52b，改变喷出量、喷出定时，将液状体作为液滴D喷出。例如，如 果主扫描的工件和各液滴喷头50 (实质上，喷嘴列52a、 52b)的相对位 置从设计上的位置偏移，喷出的液滴D就从所希望的喷落位置偏移喷落。 关于这样的喷落位置的偏移中向主扫描方向的偏移，通过对各喷嘴列52a、 52b改变喷出定时，能修正。换言之，对各液滴喷头50能修正。作为基于 液滴喷出装置10的结构的喷落位置偏移的要因，考虑到头组件9的各液
滴喷头50的配置精度、头组件9相对于滑架8的配置精度、设置滑架8 的移动台32向Y轴方向的移动精度、设置台5向X轴方向的移动精度等。 还有，从喷嘴52喷出的液滴D的飞行弯曲所引起的喷落位置偏移并不一 定在一定的方向稳定地产生，所以从提高喷落位置精度的观点出发，要求 另外的应对。例如，可列举不选择多个喷嘴52中产生飞行弯曲的喷嘴52 而进行喷出的方法。
因此，液滴喷出装置10能通过头移动机构30使头组件9与母衬底W 相对，与基于工件移动机构20的主扫描同步，从头组件9中设置的合计 12个液滴喷头50将液状体作为液滴D以高位置精度喷出。
下面，说明使用本实施方式的液滴喷出装置10的滤色器的制造方法。 首先，简单说明作为具有滤色器的电光装置的液晶显示装置。图7是表示 液晶显示装置的概略分解立体图。
如图7所示，液晶显示装置500具有TFT (Thin Film Transistor)透过 型的液晶显示面板520、对液晶显示面板520进行照明的照明装置516。 液晶显示面板520包括具有着色层的滤色器505的对置衬底501、具有在 像素电极510连接3端子中的一个的TFT元件511的元件衬底508、由对 置衬底501和元件衬底508夹持的液晶(省略图示)。此外，在成为液晶 显示面板520的外面侧的对置衬底501和元件衬底508的表面配置使透过 的光偏转的上偏振片514和下偏振片515。
对置衬底501由透明的玻璃等材料构成，在夹着液晶的表面侧具有将 多个作为像素区域的着色区域划分为矩阵状的作为隔壁部的堤504、在划 分的多个着色区域设置的RGB三色的着色层505R、 505G、 505B。堤504 包括由Cr等具有遮光性的金属或者其氧化膜构成的称作黑矩阵的下层堤 502、和形成在下层堤502之上(在图中向下)的由有机化合物构成的上 层堤503。此外，对置衬底501具有作为覆盖由堤504划分的着色层505R、 505G、 505B的平坦化层的保护层(OC层)506、覆盖OC层506而形成 的由ITO (Indium Tin Oxide)等透明导电膜构成的对置电极507。使用后 面描述的滤色器的制造方法，制造滤色器505。
元件衬底508同样由透明的玻璃等材料构成，在夹着液晶的表面侧具 有隔着绝缘膜509形成为矩阵状的像素电极510、与各像素电极510对应 形成的多个TFT元件511。 TFT元件511的3端子中与像素电极510不连 接的其他2端子在彼此绝缘的状态下与包围像素电极510而配置为格子状 的扫描线512和数据线513连接。
照明装置516作为光源，使用白色的LED、 EL、冷阴极管等，如果 具有能将来自这些光源的光向液晶显示面板520射出的导光板或漫射板、 反射板等结构，就可以是任意的结构。
还有，在夹着液晶的对置衬底501和元件衬底508的表面分别形成用 于使液晶的分子在一个方向排列的取向膜，但是省略了图示。此外，上偏 振片514和下偏振片515也可以与为了改善视角依存性而使用的相位差薄 膜等光学功能性薄膜组合。液晶显示面板520中，作为有源元件，并不局 限于TFT元件，也可以是具有TFD (Thin Film Diode)元件的结构，如果 是至少在一衬底具有滤色器的结构，就可以是构成像素的电极彼此交叉地 配置的无源型的液晶显示装置。
将具有滤色器505的对置衬底501矩阵状划分形成为多个的母衬底W 和同样将元件衬底508矩阵状划分形成为多个的母衬底夹着液晶而接合的 构造体在规定的位置切断而取出，由此制造所述液晶显示装置500。
图8是表示母衬底的概略俯视图。如图8所示，在母衬底W，将一个 液晶显示装置500的滤色器505 (参照图7)的形成区域作为1芯片区域， 9个芯片区域C1 C9设置为矩阵状。在各芯片区域C1 C9中，在Y轴方 向，同色的着色区域A排列为条纹状。
<滤色器的制造方法>
图9 (a) ~ (e)是表示滤色器的制造方法的概略剖视图。具有所述的 三色的着色层505R、 505G、 505B的滤色器505的制造方法具有在对置衬 底501的表面形成堤504的工序、将由堤504划分的着色区域A进行表面 处理的工序。此外，具有在使用液滴喷出装置10进行了表面处理的着色 区域A将包含着色层形成材料的三种(三色)液状体作为液滴D喷出描 绘的描绘工序、将描绘的液状体干燥而形成着色层505R、 505G、 505B的 作为固化工序的成膜工序。还具有覆盖堤504和着色层505R、 505G、 505B 而形成OC层506的工序、覆盖OC层506而形成由ITO构成的透明的对 置电极507的工序。
在形成堤504的工序中，如图9(a)所示，首先在对置衬底501上形 成作为黑矩阵的下层堤502。下层堤502的材料能使用例如Cr、 Ni、 Al 等不透明的金属、或者这些金属的氧化物等化合物。作为下层堤502的形 成方法，在对置衬底501上用蒸镀法或溅射法形成由所述材料构成的膜。 按照选定了保证遮光性的膜厚的材料而设定膜厚即可。例如，如果是Cr， 优选100 200nm。然后，通过光刻法，用抗蚀剂覆盖与开口部520a (参照 图7)对应的部分以外的膜表面，使用与所述材料对应的酸等蚀刻液，蚀 刻膜。由此，形成具有开口部502a的下层堤502。
接着，在下层堤502上形成上层堤503。作为上层堤503的材料，能
使用丙烯酸类的感光性树脂材料。此外，感光性树脂材料优选具有遮光性。 作为上层堤503的形成方法，可列举如下方法例如在形成有下层堤502 的对置衬底501的表面用辊涂法或旋涂法涂敷感光性树脂材料，使其干燥， 形成大约2pm的感光性树脂层；然后，将以与着色区域A对应的尺寸设 置有开口部的掩模与对置衬底501在规定的位置对置并曝光、显影，由此 形成上层堤503。由此，在对置衬底501上形成将多个着色区域A划分为 矩阵状的堤504。然后进入表面处理工序。
在表面处理工序中，进行以02为处理气体的等离子体处理和以氟类 气体为处理气体的等离子体处理。即对着色区域A进行亲液处理，然后对 由感光性树脂构成的上层堤503的表面(包含壁面)进行疏液处理。然后， 进入描绘工序。
在描绘工序中，如图9 (b)所示，在表面处理后的着色区域A，分别 将对应的液状体80R、 80G、 80B作为液滴D喷出。液状体80R包含R(红 色)的着色层形成材料，液状体80G包含G (绿色)的着色层形成材料， 液状体80B包含B (蓝色)的着色层形成材料。在液滴喷出装置10的液 滴喷头50填充液状体80R、 80G、 80B。然后，进行根据将液滴D作为点 在着色区域A中配置的配置信息，使头组件9和母衬底W相对移动，从 各液滴喷头50将液状体80R、 80G、 80B向着色区域A喷出的主扫描。各 液状体80R、 80G、 80B使用后面描述的液状体的描绘方法喷出，所以按 照着色区域A的面积，赋予必要量。
接着在成膜工序中，如图9 (c)所示， 一并将喷出描绘的各液状体
80R、 80G、 80B干燥，除去溶剂成分，形成着色层505R、 505G、 505B。作为干燥方法，理想的是能将溶剂成分均质地干燥的减压干燥等方法。然 后，进入OC层形成工序。
在OC层形成工序中，如图9 (d)所示，覆盖着色层505R、 505G、 505B和上层堤503而形成OC层506。作为OC层506的材料，能使用透 明的丙烯酸类树脂材料。作为形成方法，可列举旋涂法、胶版印刷等方法。 OC层506是为了缓和形成有着色层505R、 505G、 505B的对置衬底501 的表面的凹凸，使以后在该表面成膜的对置电极507平坦化而设置的。此 外，为了确保与对置电极507的紧贴性，可以在OC层506之上还形成Si02 等的薄膜。然后，进入透明电极形成工序。
在透明电极形成工序中，如图9 (e)所示，使用溅射法或蒸镀法在真 空中将ITO等透明电极材料成膜，覆盖OC层506而在整个面上形成对置 电极507。
图10 (a)和(b)是表示描绘工序的工件和头组件的相对配置的概略 俯视图。表示与母衬底W的尺寸对应而配置2个头组件9的情况。还有， 图中表示各液滴喷头50的四边形的Y轴方向的宽度表示与该液滴喷头50 的有效喷嘴列60的全长对应的描绘宽度Iw。
如图10 (a)所示，控制部4驱动头移动机构30的直线电机，使移动 台32移动，使头组件9与母衬底W相对。然后在主扫描时，头组50D的 头B4将母衬底W的全部描绘区的Y轴方向的端定位为可描绘的位置。此 夕卜，相邻的头组件9的间隔Ll由头移动机构30调整为(P2x360) x2+P2。
控制部4驱动工件移动机构20的直线电机，使设置台5上安放的母 衬底W在X轴方向(主扫描方向)移动，与此同步，从各液滴喷头50喷 出不同种类的液状体。由此，如果头B3和头B4第一次能描绘的描绘宽度 为宽度Eb!，则在副扫描方向隔开了 (P2x360) x2+P2的间隔的宽度Eb! 的分割描绘区域中，喷出与在B列中排列的着色区域A对应的液状体80B。 在其他不同种类的液状体80R、 80G的喷出中也是同样的。
接着，如图IO (b)所示，控制部4进行使各头组件9在副扫描方向 移动距离(P2x360) x2+P2的改行动作。然后，再进行基于主扫描的扫描 动作。如果头B3和头B4的液滴喷头50能描绘的描绘宽度为宽度Eb2，则因为宽度Eb2=宽度Eb1=(P2x360) x2+P2，所以，如果至少进行2次 主扫描，就能在母衬底W的全部描绘区域中喷出不同的液秋体80R、 80G、 80B。在母衬底W的全部描绘区域的Y轴方向的端，产生用头G4、头R4 无法描绘的区域。如果控制部4驱动头移动机构30，重复使各头组件9 移动的副扫描和基于主扫描的描绘动作。由此，最大限度利用多个液滴喷 头50的描绘宽度，对全部描绘区域的着色区域A没有偏差地喷出不同种 类的液状体80R、 80G、 80B。
在所述的描绘工序中，大致同时喷出三色的液状体80R、 80G、 80B。 在这样的描绘方法中，要求使必要量的各液状体80R、 80G、 80B作为液 滴D以高位置精度喷落在对应的着色区域A。例如，如果从喷嘴52喷出 的液滴D未喷落在本来应该喷落的着色区域A，而喷落在应该赋予其他不 同液状体的着色区域A，则不同种类的液状体彼此混合，产生所谓的混色。 这样的喷出不良情况影响滤色器505的制造成品率。此外，在液晶显示装 置500，具有成为混色的着色层505R、 505G、 505B的像素成为颜色不均 等的不良像素。考虑了这样的问题，形成了本发明的液状体的描绘方法。
<液状体的描绘方法>
下面，根据图11 图14，说明本实施方式的液状体的描绘方法。图11 是表示液状体的描绘方法的流程图。
如图11所示，本实施方式的液状体的描绘方法具有喷出喷落观察 用的液滴D的第一喷出工序(步骤S1);观察被喷出液滴D的着色区域A 的喷落观察工序(步骤S2);根据取得的液滴D的喷落位置信息，修正在 各着色区域A将液滴D作为点配置的配置信息的配置信息修正工序(步 骤S3);根据被修正的配置信息，喷出液滴D的第二喷出工序(步骤S4)。
图12 (a)和(b)是表示第一喷出工序的液滴的配置的概略俯视图。 在图11的步骤S1中，如图12 (a)所示，对绿色(G)的各着色区域A 喷出一滴液状体80G的液滴D。这时，进行喷出控制，使得液滴D喷落 在与同色的着色区域A的Y轴方向平行的假想中心线CL上。由此，液滴 D不在X轴方向偏移地喷落，所以能减少与堤504接触而破坏喷落形状。
为了以高精度取得液滴的喷落位置信息，可以划分为主扫描的往动和 复动，尽可能将液滴D隔开喷落。因此，选择与邻接的着色区域A有关的喷嘴列52a、 52b中最远离的喷嘴N1和喷嘴N8，划分为主扫描的往动 和复动，喷出液滴D1和液滴D2。这时，1次主扫描使头组件9不进行改 行动作而往复移动。当然，根据由堤504划分的着色区域A的尺寸和喷嘴 52的喷嘴间隔，喷出液滴D1、 D2的喷嘴52的选择是不同的。这些液滴 Dl和液滴D2的配置使用上位运算机11，预先作为位图数据生成。
此外，如图12 (b)所示，也可以在同色的各着色区域A的假想中心 线CL上喷出2滴液滴D。这时，选择与邻接的着色区域A有关的喷嘴列 52a、 52b中分别远离的喷嘴N1和喷嘴N4、喷嘴N6和喷嘴N8，划分为 主扫描的往动和复动，喷出液滴D3、液滴D4、液滴D5、液滴D6。由此， 在以后的喷落观察工序中，至少观察一个着色区域A即可。然后，进入步 骤S2。
图11的步骤S2是喷落观察工序。在步骤S2中，控制部4驱动头移 动机构30的直线电机，将摄像机12与被喷出液滴D的着色区域A相对 而使移动台33移动。如图12 (a)所示，至少拍摄液滴D1和液滴D2喷 落的着色区域A。图像处理部49将拍摄的图像变换为位图。CPU41从堤 504的位图求出假想中心线CL。此外，从表示液滴D1的喷落形状的位图 求出作为喷落位置的喷落中心。运算所求出的假想中心线CL和喷落中心 的X轴方向的距离xl。此外，运算液滴D1的喷落中心和堤504的内壁的 距离yl。液滴D2时也同样运算求出x2和y2。将运算结果存储到RAM43。
如图12 (b)所示，对着色区域A喷出2滴的液滴D时也同样。对液 滴D3，求出距离x3和距离y3。对液滴D4，求出距离x4和距离y4。对 液滴D5，求出距离x5和距离y5。对液滴D6，求出距离x6和距离y6。
图
12 (a)和 (b)中的各液滴D1、 D2、 D3、 D4、 D5、 D6的配置， 换言之，表示喷出各液滴D1、 D2、 D3、 D4、 D5、 D6的喷嘴52相对于母 衬底W的相对位置。进而，划分为主扫描的往动和复动而进行喷出，因 此表示实际的喷落位置精度。还有，实际上，喷落后的液滴在着色区域A 内浸润扩散为平面视图中的大致圆形，所以即使在拍摄之前经过一段时 间，也能通过图像处理导出喷落中心。
这时，在步骤S1的第一喷出工序中，对绿色(G)的着色区域A喷 出液状体80G的液滴D。如图10所示，在头组件9配置12个液滴喷头50。因此，为了根据喷落位置信息来修正主扫描的各液滴喷头50和母衬 底W的相对位置，优选在至少一次主扫描中，在喷出描绘的宽度Eb,的分 割描绘区中求出液滴D的喷落位置。另一方面，如果在宽范围中进行喷落 观察，则引起生产性的下降。因此，对观察喷落在哪个着色区域A中的液 滴D的情况进行具体说明。图13是表示喷落观察的方法的概略俯视图。
如图13所示，在本实施方式的喷落观察工序中，观察与一个头组中 在主扫描方向位于中央的喷出液状体80G的液滴喷头50有关的着色区域 A。更具体而言，例如观察在头组50D的头G4中，位于喷嘴列52a、 52b 的大致中央的喷嘴52通过主扫描而有关的着色区域A。由此，能高效取 得液滴D1和液滴D2的喷落位置信息。其他头组50A、 50B、 50C中也同 样。此外，使用多个头组件9时，与各头组对应而预先确定喷落观察的着 色区域A的坐标。能使用上位运算机11，根据主扫描的各液滴喷头50 (实 际上，喷嘴列52a、 52b)的配置信息，生成这样的观察坐标。然后，进入 步骤S3。
图11的步骤S3是配置信息修正工序。在步骤S3中，根据在步骤S2 中求出的距离x、 y，对将必要量的液状体作为规定数的液滴D、在着色区域A作为点配置的配置信息中的相对于母衬底W的各液滴喷头50 (喷嘴 列52a、 52b)、头组件9的相对位置进行修正。
作为修正方法，可列举修正主扫描的头组件9和母衬底W的相对喷出开始位置的方法。在第二喷出工序中，使2个头组件9改行动作，所以也包括在副扫描方向修正喷出开始位置。这些是在硬件上使用工件移动机 构20和头移动机构30来弥补所谓的喷出开始位置的方法。
除了所述的弥补方法，关于主扫描方向的喷落位置偏移的修正，可列举改变驱动作为能量产生机构的振子59的喷出定时的软件方法。由此， 能修正头组件9上搭载的各液滴喷头50或者各喷嘴列52a、 52b的喷落位置偏移。
还有，通过原封不动地使用距离x进行统计处理，能将主扫描方向的偏移作为修正值使用。根据配置信息的喷嘴52的位置信息，运算副扫描方向的偏移。因此，并不局限于距堤504的内壁的距离y，作为距由堤504划分的着色区域A的边界线的距离，可以从作为图像信息的位图求出。由 此，不易受堤504的形成精度影响。然后，进入步骤S4。
图11的步骤S4是第二喷出工序。图14 (a)和(b)是表示第二喷出 工序的液滴的配置的概略图。在步骤S4中，首先如图14 (a)所示，在头 组件9和母衬底W的主扫描的往动中，例如选择喷嘴列52a、 52b中与红 色(R)的着色区域A有关的喷嘴N1、 N2、 N3、 N4、 N6、 N7、 N8，分 别进行5次喷出。然后，如图14 (b)所示，在沿副扫描方向偏移的头组 件9和母衬底W的主扫描的复动中，选择喷嘴列52a、 52b中与红色(R) 的着色区域A有关的喷嘴N1、 N2、 N3、 N5、 N6、 N7、 N8，分别进行5 次喷出。由此，在同色的着色区域A喷落合计35滴液滴D。在其他绿色 (G)的着色区域A和蓝色(B)的着色区域A中也同样。根据在步骤S3 中修正的配置信息，进行这样的液滴D的配置。
如图12 (a)所示，在步骤S1的第一喷出工序中，在绿色(G)的着 色区域A，先喷出一滴液滴，所以合计的液滴数变为36滴，但是不易变 为喷出不均。此外，如图12 (b)所示，在对着色区域A先喷出2滴液滴 D时等想严格地赋予必要量的液状体时，在第二喷出工序中，预先从对各 着色区域A喷出的液滴D的规定数预先去掉第一喷出工序中喷出的液滴D
的数而改变配置信息的喷出次数。
根据这样的液状体的描绘方法，根据在第二喷出工序中被修正的配置 信息而喷出液滴D，所以能以高位置精度喷落在着色区域A。此外，能将 必要量的液状体作为液滴D，对各着色区域A稳定地赋予。
还有，理想的是在液滴喷出装置10的工作开始时或更换液滴喷头50 或头组件9之后实施这样的液状体的描绘方法。如果一次修正配置信息， 则以后也可以根据被修正的配置信息而反复进行第二喷出工序。
进而，在第一喷出工序中喷出喷落观察用的液滴D的喷嘴52中，产
生漏喷出或飞行弯曲等喷出不良情况时，当然选择其他喷嘴52。 所述实施方式1的效果如下所述。 (1)所述实施方式1的液状体的描绘方法在第一喷出工序中，对绿 色(G)的着色区域A的假想中心线CL上喷出一滴喷落观察用的液滴D。 从在喷落观察工序中取得的着色区域A的图像信息，运算求出相对于液滴 D的喷落中心，与假想中心线CL的距离x和与堤504的距离y。在配置信息修正工序中，根据距离x、 y，修正配置信息的母衬底W和作为多个 喷嘴的喷嘴列52a、 52b (喷嘴列60)的相对位置。在第二喷出工序中， 根据被修正的配置信息，喷出液滴D。因此，能使液滴D以高位置精度喷 落在着色区域A。与对母衬底W以外的被喷出物喷出液滴D而取得喷落 位置信息的情况相比，直接对母衬底W喷出，所以不浪费液状体。
(2) 在所述实施方式1的液状体的描绘方法中，在第一喷出工序中， 划分为主扫描的往动和复动，对各着色区域A喷出喷落观察用的液滴D。 因此，能与往动和复动对应而取得液滴D的喷落位置信息。根据该喷落位 置信息来修正配置信息，所以在第二喷出工序中，能以更高位置精度使液 滴D喷落。
(3) 在所述实施方式1的液状体的描绘方法中，在第二喷出工序中， 能将去掉了在第一喷出工序中喷出的液滴D的数之后的规定数的液滴D 向对应的着色区域A喷出而修正配置信息，所以能不浪费地对着色区域A 赋予必要量的液状体。
(4) 所述实施方式的滤色器505的制造方法使用所述实施方式的液 状体的描绘方法，喷出三色的液状体80R、 80G、 80B。因此，能将必要量 的液状体作为液滴D而没有浪费且高位置精度地喷落在着色区域A，能制 造具有所希望的光学特性的滤色器505。此外，如果使用具有该滤色器505 的对置衬底501，则能提供具有美观的显示质量的液晶显示装置500。
(实施方式2)
下面，作为应用了所述实施方式1的液状体的描绘方法的其他实施方 式，说明具有发光层的有机EL元件的制造方法。
首先，简单说明具有有机EL元件的有机EL显示装置。图15是表示 有机EL显示装置的要部构造的概略剖视图。如图15所示，有机EL显示 装置600包括具有作为有机EL元件的发光元件部603的元件衬底601 、 与元件衬底601隔开空间622密封的密封衬底620。此外，在元件衬底601 上具有电路元件部602，发光元件部603在电路元件部602上重叠形成， 由电路元件部602驱动。在发光元件部603，在作为像素区域的发光层形 成区域A中形成三色的发光层617R、 617G、 617B，成为条纹状。元件衬 底601将与三色的发光层617R、 617G、 617B对应的3个发光层形成区域
A作为1组像素，该像素在元件衬底601的电路元件部602上配置为矩阵 状。有机EL显示装置600将来自发光元件部603的发光向元件衬底601 侧射出。
密封衬底620由玻璃或金属构成，通过密封树脂与元件衬底601接合， 在密封的内侧的表面粘贴吸气剂621。吸气剂621吸收侵入元件衬底601 和密封衬底620之间的空间622中的水或氧，防止发光元件部603由于侵 入的水或氧而劣化。还有，也可以省略该吸气剂621。
元件衬底601在电路元件部602上具有多个作为像素区域的发光层形 成区域A，包括划分多个发光层形成区域A的隔壁部618、形成在多个发 光层形成区域A中的电极613、层叠在电极613上的空穴注入/输送层617a。 此外，包括发光元件部603，该发光元件部603具有对多个发光层形成区 域A内赋予包含发光层形成材料的3种液状体而形成的发光层617R、 617G、 617B。隔壁部618由下层堤618a和实质上划分发光层形成区域A 的上层堤618b构成，下层堤618a向发光层形成区域A的内侧伸出地设置， 为了防止电极613和各发光层617R、 617G、 617B直接接触而引起电短路，由Si02等无机绝缘材料形成。
元件衬底601例如由玻璃等透明的衬底构成，在元件衬底601上形成 由氧化硅膜构成的基底保护膜606，在该基底保护膜606上形成由多晶硅 构成的岛状的半导体膜607。在半导体膜607，通过高浓度P离子注入， 形成源区域607a和漏区域607b。还有，未导入P离子的部分成为沟道区 域607c。进而形成覆盖基底保护膜606和半导体膜607的透明的栅绝缘膜 608，在栅绝缘膜608上形成由Al、 Mo、 Ta、 Ti、 W等构成的栅电极609， 在栅电极609和栅绝缘膜608上形成透明的第一层间绝缘膜611a和第二 层间绝缘膜611b。栅电极609设置在与半导体膜607的沟道区域607c对 应的位置。此外，形成贯通第一层间绝缘膜611a和第二层间绝缘膜611b 而分别与半导体膜607的源区域607a、漏区域607b连接的接触孔612a、 612b。然后，在第二层间绝缘膜611b上，由ITO (Indium Tin Oxide)等 构成的透明的电极613构图配置为规定形状(电极形成工序)， 一接触孔 612a与该电极613连接。此外，另一接触孔612b与电源线614连接。这 样，在电路元件部602形成与各电极613连接的驱动用的薄膜晶体管615。还有，在电路元件部602也形成保持电容和开关用的薄膜晶体管，但是在 图15中省略它们的图示。
发光元件部603具有作为阳极的电极613、依次层叠在电极613上的 空穴注入/输送层617a、各发光层617R、 617G、 617B (总称为发光层Lu)、 覆盖上层堤618b和发光层Lu而层叠的阴极604。由空穴注入/输送层617a 和发光层Lu构成激励发光的功能层617。还有，如果用透明的材料构成 阴极604、密封衬底620和吸气剂621，则能使从密封衬底620侧发光的 光射出。
有机EL显示装置600具有连接在栅电极609上的扫描线(省略图示) 和连接在源区域607a上的信号线(省略图示)，如果根据传递到扫描线的 扫描信号，开关用的薄膜晶体管(省略图示)变为导通，则这时的信号线 的电位保持在保持电容，按照该保持电容的状态，确定驱动用的薄膜晶体 管615的导通和断开状态。然后，通过驱动用的薄膜晶体管615的沟道区 域607c，电流从电源线614流到电极613，电流再通过空穴注入/输送层 617a和发光层Lu流到阴极604。发光层Lu按照流过它的电流量而进行发 光。有机EL显示装置600通过这样的发光元件部603的发光机理，能显 示所希望的文字和图像等。
〈有机EL元件的制造方法>
下面，根据图16说明作为本实施方式的有机EL元件的发光元件部的 制造方法。图16 (a) ~ (f)是表示作为有机EL元件的发光元件部的制造 方法的概略剖视图。还有，在图16 (a) ~ (f)中，形成在元件衬底601 上的电路元件部602省略图示。
本实施方式的发光元件部603的制造方法具有在元件衬底601的多 个发光层形成区域A所对应的位置形成电极613的工序；一部分挂在电极 613上而形成下层堤618a，再在下层堤618a上实质上划分发光层形成区 域A而形成上层堤618b的隔壁部形成工序。此外，具有对由上层堤618b 划分的发光层形成区域A进行表面处理的工序；对表面处理后的发光层形 成区域A赋予包含空穴注入/输送层形成材料的液状体，喷出描绘空穴注 入/输送层617a的工序；将喷出的液状体干燥，形成空穴注入/输送层617a 的工序。此外，具有对形成有空穴注入/输送层617a的发光层形成区域A迸行表面处理的工序；对表面处理后的发光层形成区域A喷出描绘包含 发光层形成材料的3种液状体的描绘工序；将喷出的3种液状体干燥，形成发光层Lu的固化工序。还具有覆盖上层堤618b和发光层Lu而形成 阴极604的工序。
在电极(阳极)形成工序中，如图16 (a)所示，在己经形成有电路 元件部602的元件衬底601的发光层形成区域A所对应的位置形成电极 613。作为形成方法，例如可列举如下方法在元件衬底601的表面使用 ITO等透明电极材料，在真空中用溅射法或者蒸镀法形成透明电极膜，然 后，用光刻法只留下必要的部分而进行蚀刻，形成电极613。此外，也可 以是如下方法用光致抗蚀剂先覆盖元件衬底601，将形成电极613的区 域开口而进行曝光和显影，然后，在开口部形成ITO等透明电极膜，除去 残存的光致抗蚀剂。然后，进入隔壁部形成工序。
在隔壁部形成工序中，如图16 (b)所示，覆盖元件衬底601的多个 电极613的一部分而形成下层堤618a。作为下层堤618a的材料，使用作 为无机材料的绝缘性的Si02 (氧化硅)。作为下层堤618a的形成方法，例 如可列举如下方法与之后形成的发光层Lu对应，使用抗蚀剂等遮蔽各 电极613的表面，然后将被遮蔽的元件衬底601放入真空装置中，将Si02 作为靶或原料，进行溅射或真空蒸镀，由此形成下层堤618a。抗蚀剂等的 遮蔽以后剥离。还有，下层堤618a由Si02形成，所以其膜厚如果是200nm 以下，就具有足够的透明性，即使之后层叠空穴注入/输送层617a和发光 层Lu，也不阻碍发光。
接着，以实质上划分各发光层形成区域A的方式在下层堤618a上形 成上层堤618b。作为上层堤618b的材料，希望是对包含后面描述的发光 层形成材料的3种液状体IOOR、 IOOG、 100B的溶剂具有耐久性的材料， 进而优选通过以氟类气体作为处理气体的等离子体处理能疏液化的例如 丙烯酸树脂、环氧树脂、感光性聚酰亚胺等有机材料。作为上层堤618b 的形成方法，例如可列举如下方法在形成有下层堤618a的元件衬底601 的表面，用辊涂法或旋涂法涂敷感光性的所述有机材料并干燥，形成厚度 大约2pm的感光性树脂层，然后，使以与发光层形成区域A对应的尺寸 设置有开口部的掩模与元件衬底601在规定位置相对，进行曝光、显影，
由此形成上层堤618b。由此，形成具有下层堤618a和上层堤618b的隔板 部618。然后，进入表面处理工序。
在表面处理发光层形成区域A的工序中，首先将02气体作为处理气 体，对形成有隔板部618的元件衬底601的表面进行等离子体处理。由此， 使电极613的表面、下层堤618a的伸出部和上层堤618b的表面(包含壁 面)活性化，进行亲液处理。接着，将CF4等氟类气体作为处理气体，进 行等离子体处理。由此，只在由有机材料即感光性树脂构成的上层堤618b 的表面，氟类气体反应，进行疏液处理。然后，进入空穴注入/输送层形成 工序。
在空穴注入/输送层形成工序中，如图16 (c)所示，对发光层形成区 域A赋予包含空穴注入/输送层形成材料的液状体90。作为赋予液状体90 的方法，使用图1的液滴喷出装置10。从液滴喷头50喷出的液状体90 作为液滴D喷落在元件衬底601的电极613上并浸润扩散。液状体90按 照发光层形成区域A的面积，将必要量作为液滴D喷出。然后，进入干 燥和成膜工序。
在干燥和成膜工序中，例如用灯退火等方法加热元件衬底601，使液 状体90的溶剂成分干燥、除去，在电极613的由下层堤618a划分的区域 形成空穴注入/输送层617a。在本实施方式中，作为空穴注入/输送层形成 材料，使用了PEDOT (Polyethylene DioxyThiophene:聚二氧乙基塞吩)。 还有，这时，在各发光层形成区域A形成由相同材料构成的空穴注入/输 送层617a，但是也可以与之后形成的发光层Lu对应，在各发光层形成区 域A改变空穴注入/输送层617a的材料。然后进入接着的表面处理工序。
在接着的表面处理工序中，使用所述空穴注入/输送层形成材料而形成 了空穴注入/输送层617a时，其表面相对于3种液状体100R、 100G、 100B 具有疏液性，所以对至少发光层形成区域A的区域内再次进行表面处理使 其具有亲液性。作为表面处理的方法，涂敷3种液状体100R、 100G、 100B 中使用的溶剂并干燥。作为溶剂的涂敷方法，可列举喷雾法、旋涂法等方 法。然后，进行发光层Lu的描绘工序。
在发光层Lu的描绘工序中，如图16 (d)所示，使用液滴喷出装置 10，从多个液滴喷头50对多个发光层形成区域A赋予包含发光层形成材料的3种液状体100R、 IOOG、 IOOB。液状体100R包含形成发光层617R (红色)的材料，液状体100G包含形成发光层617G (绿色)的材料，液 状体100B包含形成发光层617B (蓝色)的材料。各液状体100R、 IOOG、 100B向发光层形成区域A的赋予使用所述实施方式1的液状体的描绘方 法进行。在第二喷出工序中，使用被修正的配置信息，进行各液状体IOOR、 IOOG、 IOOB的喷出。因此，必要量的各液状体IOOR、 IOOG、 100B对分 别对应的发光层形成区域A作为液滴D以高位置精度喷出。然后，进入 固化工序。
在固化工序中，如图16(e)所示，将喷出描绘的各液状体IOOR、 IOOG、 100B的溶剂成分干燥除去，在各发光层形成区域A的空穴注入/输送层 617a层叠各发光层617R、 617G、 617B而成膜化。作为喷出描绘有各液状 体100R、 IOOG、 100B的元件衬底601的干燥方法，优选能使溶剂的蒸发 速度大致一定的减压干燥。然后，进入阴极形成工序。
在阴极形成工序中，如图16 (f)所示，覆盖元件衬底601的各发光 层617R、 617G、 617B和上层堤618b而形成阴极604。作为阴极604的形 成材料，优选组合Ca、 Ba、 Al等金属或LiF等氟化物使用。特别优选在 靠近发光层617R、 617G、 617B的一侧形成功函数小的Ca、 Ba、 LiF的膜， 在远离的一侧形成功函数大的Al等的膜。此外，在阴极604上可以层叠 Si02、 SiN等保护层。由此，能防止阴极604的氧化。作为阴极604的形 成方法，可列举蒸镀法、溅射法、CVD法等。特别是在能防止发光层617R、 617G、 617B的热引起的损伤上，优选蒸镀法。
这样形成的元件衬底601 ，向对应的发光层形成区域A赋予必要量的 液状体IOOR、 IOOG、 IOOB，具有成膜化后的膜厚大致一定的各发光层 617R、 617G、 617B。
所述实施方式2的效果如下所述。
(1)在所述实施方式2的发光元件部603的制造方法中，在发光层 Lu的描绘工序中，使用所述实施方式1的液状体的描绘方法，在元件衬 底601的发光层形成区域A，将必要量的各液状体IOOR、 IOOG、 IOOB作 为液滴D喷出。因此，能制造具有成膜化后的膜厚大致一定的各发光层 617R、 617G、 617B的发光元件部603。
(2)如果使用由所述实施方式2的发光元件部603的制造方法制造 的元件衬底601，则由于各发光层617R、 617G、 617B的膜厚大致一定， 所以各发光层617R、 617G、 617B的电阻大致一定。因此，如果由电路元 件部602对发光元件部603作用驱动电压使其发光，则能降低各发光层 617R、 617G、 617B的电阻不均引起的发光不均或亮度不均等。即能提供 发光不均或亮度不均少、具有美观的显示质量的有机EL显示装置600。
以上，说明了本发明的实施方式，但是对于所述实施方式，能在不脱 离本发明宗旨的范围内加以各种变形。例如，所述实施方式以外的变形例 如下所述。
(
变形例1)在所述实施方式1的液状体的描绘方法中，在第一喷出 工序中，在绿色(G)的着色区域A将液状体80G作为液滴D喷出，但 是并不局限于此。也可以对各色的着色区域A将喷落观察用的液滴D喷 出。通过喷出各液状体80R、 80G、 80B的各液滴喷头50，能进行正确的 喷落位置的修正。
(变形例2)在所述实施方式l的液状体的描绘方法中，在第一喷出 工序中，在着色区域A的与Y轴方向平行的假想中心线CL上喷出液滴D， 但是并不局限于此。如果在喷落的液滴D，能将堤504作为基准来运算与 液滴D相对于X轴方向和Y轴方向的喷落位置的距离，则能取得喷落位 置信息。
(变形例3)在所述实施方式1的液滴喷出装置10中，头组件9的液 滴喷头50的配置并不局限于此。例如，可以相对于主扫描方向(X轴方 向)交叉地配置喷嘴列60。
(变形例4)在所述实施方式1的滤色器505的制造方法中，着色层 并不局限于三色。例如，在RGB三色加上其它颜色的多色滤色器的制造 方法也能应用所述实施方式1的液状体的描绘方法。
(变形例5)在所述实施方式1的滤色器505的制造方法和所述实施 方式2的作为有机EL元件的发光元件部603的制造方法中，像素的配置 并不局限于此。图17 (a) ~ (c)是表示像素的配置的概略俯视图。图17 (a)所示的条纹方式当然能应用所述实施方式1的液状体的描绘方法， 即使是图17 (b)的镶嵌方式或图17 (c)的三角方式的配置也能应用所
述实施方式1的液状体的描绘方法。
(变形例6)能应用所述实施方式1的液状体的描绘方法的设备的制
造方法并不局限于滤色器或有机EL元件的制造方法。例如，在衬底上划 分形成的各像素区域中所形成的开关元件或其布线部、像素电极等的制造 方法也能应用所述实施方式1的液状体的描绘方法。
权利要求
1.一种液状体的描绘方法，其与工件和多个喷嘴向第一方向的相对移动同步，在所述工件上对在所述第一方向和与所述第一方向正交的第二方向由隔壁部划分的多个像素区域，从所述多个喷嘴将包含功能性材料的液状体作为液滴喷出，形成像素构成要素，所述液状体的描绘方法的特征在于，包括第一喷出工序，其对每个所述像素区域喷出至少一滴所述液滴；喷落观察工序，其观察、拍摄被喷出所述液滴的所述像素区域；运算工序，其运算在被拍摄的所述像素区域中，所述隔壁部和所述液滴的喷落位置的所述第一方向的距离和所述第二方向的距离；配置信息修正工序，其对在每个所述像素区域将规定数的所述液滴作为点配置的配置信息中的所述工件和所述多个喷嘴的相对位置，根据所述第一方向的距离和所述第二方向的距离，修正所述配置信息；第二喷出工序，其根据被修正的所述配置信息，喷出所述液滴。
2. 根据权利要求1所述的液状体的描绘方法，其特征在于， 在所述第一喷出工序中，在所述多个像素区域中对与所述第二方向平行的假想中心线上喷出至少一滴所述液滴，在所述运算工序中，根据被拍摄的所述隔壁部求出所述假想中心线， 运算所求出的所述假想中心线和所述液滴的喷落位置的所述第一方向的 距离。
3. 根据权利要求1或2所述的液状体的描绘方法，其特征在于， 在所述第一喷出工序中，划分为所述相对移动的往动和复动，对所述像素区域喷出至少一滴所述液滴。
4. 根据权利要求2所述的液状体的描绘方法，其特征在于，在所述第一喷出工序中，选择所述多个喷嘴中与所述像素区域有关的 离得最远的两个喷嘴，分别喷出一滴所述液滴。
5. 根据权利要求1~4中的任意一项所述的液状体的描绘方法，其特 征在于， 在所述喷落观察工序中，在至少一次所述相对移动中，观察与所述多 个喷嘴有关的所述像素区域。
6. 根据权利要求1~5中的任意一项所述的液状体的描绘方法，其特 征在于，在所述配置信息中，从将对所述像素区域赋予的必要量的所述液状体 换算为所述液滴而得到的数除去在所述第一喷出工序中喷出的所述液滴 的数，来设定所述规定数。
7. 根据权利要求1~6中的任意一项所述的液状体的描绘方法，其特 征在于，所述多个喷嘴由在与所述相对移动的方向交叉的方向排列的多个喷 嘴列构成，在所述配置信息修正工序中，根据所述第一方向的距离和所述第二方 向的距离，修正所述配置信息中的所述工件和所述多个喷嘴列的相对位 置。
8. 根据权利要求7所述的液状体的描绘方法，其特征在于， 所述多个喷嘴列由具有至少一列喷嘴列的多个喷头构成， 在所述配置信息修正工序中，根据所述第一方向的距离和所述第二方向的距离，修正所述工件和所述多个喷头的相对位置。
9. 根据权利要求8所述的液状体的描绘方法，其特征在于， 所述多个喷头划分为多个头组件而被搭载，在所述配置信息修正工序中，根据所述第一方向的距离和所述第二方 向的距离，修正所述工件和所述多个头组件的相对位置。
10. 根据权利要求7所述的液状体的描绘方法，其特征在于， 所述配置信息包含从所述喷嘴喷出所述液滴的能量产生机构的喷出定时，在所述配置信息修正工序中，根据所述第一方向的距离，改变并修正 产生喷落位置偏移的所述喷嘴列的所述喷出定时。
11. 根据权利要求8所述的液状体的描绘方法，其特征在于， 所述配置信息包含从所述喷嘴喷出所述液滴的能量产生机构的喷出定时，在所述配置信息修正工序中，根据所述第一方向的距离，改变并修正 产生喷落位置偏移的所述喷头的所述喷出定时。
12. —种滤色器的制造方法，其是在衬底上划分形成的多个像素区域 中具有至少三色的着色层的滤色器的制造方法，其特征在于，包括描绘工序，其使用权利要求1 11中的任意一项所述的液状体的描绘 方法，对所述多个像素区域喷出描绘包含着色层形成材料的至少三色的液状体；固化工序，其将喷出描绘的所述液状体固化，形成所述至少三色的着 色层。
13. 根据权利要求12所述的滤色器的制造方法，其特征在于， 在所述第一喷出工序中，在被赋予同色的所述液状体的所述像素区域中，在与所述第二方向平行的假想中心线上将一色的所述液状体的液滴喷 出至少一滴。
14. 一种有机EL元件的制造方法，其是在衬底上划分形成的多个像 素区域中至少具有发光层的有机EL元件的制造方法，其特征在于，包括:描绘工序，其使用权利要求1~11中的任意一项所述的液状体的描绘 方法，对所述多个像素区域喷出描绘包含发光层形成材料的液状体； 固化工序，其将喷出描绘的所述液状体固化，形成所述发光层。
全文摘要
本发明提供一种能节省液状体的浪费并且能以高位置精度使液滴喷落的液状体的描绘方法、滤色器的制造方法、有机EL元件的制造方法。本发明的液状体的描绘方法包括喷出喷落观察用的液滴的第一喷出工序(步骤S1)；观察被喷出液滴的像素区域的喷落观察工序(步骤S2)；根据取得的液滴的喷落位置信息，修正在各像素区域将液滴作为点配置的配置信息的配置信息修正工序(步骤S3)；根据被修正的配置信息，喷出液滴的第二喷出工序(步骤S4)。
文档编号B41J2/07GK101204875SQ2007101993
公开日2008年6月25日 申请日期2007年12月17日 优先权日2006年12月20日
发明者木下丰太郎 申请人:精工爱普生株式会社