专利名称：液状体配置方法、电光学装置及其制造方法、电子设备的制作方法
技术领域：
本发明涉及采用了液滴喷出法的液状体配置方法、电光学装置及其制造方法、电子设备。
背景技术：
近年来，利用液滴喷出法来形成各种各样的功能性膜的作法备受关注，例如，专利文献1中公开了一种利用了液滴喷出法的液晶显示装置的滤色器制造方法。具体而言，从对基板进行扫描的液滴喷头(下面称作喷头(head))的微细喷嘴喷出含有颜色材料的液状体(液滴)，将液状体配置(描绘)到在该基板上形成的划分区域内，进而通过干燥等使所配置的液状体固化，形成着色膜。
可是会存在下述问题由于所喷出的液状体的量(喷出量)在喷嘴之间存在微小的偏差，所以，基于基板内的区域和所使用的喷嘴的关系，所配置的液状体的量会产生不均(描绘不均)。为了降低这样的描绘不均，专利文献1中针对在结构上容易产生喷出量不均的喷嘴，禁止在描绘中使用。
而且，在专利文献1中，每当将液状体配置到一个划分区域内时，都分为多次扫描，一边按每次扫描错开所使用的喷嘴一边进行液状体的配置。这是因为通过增加每一划分区域所使用的喷嘴数，使喷嘴间的特性差以统计方式分散。
专利文献1特开2003-159787号公报但是，增加每个划分区域所使用的喷嘴数的方法，不利于喷嘴的有效利用，成为招致描绘时间长时间化的原因。
发明内容
本发明为了解决上述课题而提出，其目的在于，提供一种能够在高的喷嘴利用率下以少的不均配置液状体的液状体配置方法、及使用了该液状体配置方法的电光学装置的制造方法、和由该制造方法制造的电光学装置、电子设备。
本发明提供一种液状体配置方法，其在具有由多个喷嘴构成的喷嘴组的喷头相对于基板扫描的情况下，向控制与所述喷嘴连通的液室的压力的压力控制单元提供电脉冲，从该喷嘴喷出液状体，从而将该液状体配置到所述基板，该液状体配置方法包括第一喷出步骤，利用第一所述电脉冲，对所述基板的一个区域内进行所述液状体的喷出；和第二喷出步骤，通过与所述第一喷出步骤相同的所述扫描、相同的所述喷嘴，并利用第二所述电脉冲，对所述一个区域内进行所述液状体的喷出。
而且，优选在所述液状体配置方法中，当将利用所述第一电脉冲进行喷出时的所述喷嘴组内的喷出量的分布幅宽设为a1、将利用所述第二电脉冲进行喷出时的所述喷嘴组内的喷出量的分布幅宽设为a2、将利用所述第一和第二电脉冲双方进行喷出时的所述喷嘴组内的总和的喷出量的分布幅宽设为b时，满足b＜a1+a2。
根据这些发明的液状体配置方法，基于第一电脉冲喷出的液滴(液状体)和基于第二电脉冲喷出的液滴(液状体)可通过同一扫描配置在基板的一个区域内。对于和其他喷嘴相比较的特性偏差而言，这两种液滴即使从同一喷嘴喷出，也表示出相互不同的性质，可以看作以模拟的方式由不同的喷嘴喷出。因此，上述扫描中的喷嘴间喷出量的偏差实质上被分散，能够以少量的不均配置液状体。
并且优选在所述第一和第二电脉冲具备用于对所述液室减压的第一子脉冲、保持所述第一子脉冲的终点的电位的第二子脉冲、和与所述第二子脉冲相接用于对所述液室加压使所述液状体从所述喷嘴喷出的第三子脉冲的所述液状体配置方法中，至少所述第二子脉冲的时间成分在所述第一电脉冲和所述第二电脉冲中不同。
根据本发明的液状体配置方法，由于使得对喷出量偏差分布的依赖性高的第二子脉冲在第一和第二电脉冲之间不同，所以，能够适当地得到上述的效果。
具备本发明的功能性膜的电光学装置，其中包括利用所述液状体配置方法将所述液状体配置于所述基板的工序；和使该被配置的液状体固化而形成功能性膜的工序。
根据本发明的电光学装置的制造方法，由于利用上述的液状体配置方法形成了电光学装置的作为构成要素的功能性膜，所以，可以高效地制造具备在基板上的区域之间不均较少的功能性膜的电光学装置。
本发明提供一种电光学装置，其在具有由多个喷嘴构成的喷嘴组的喷头相对于基板扫描的情况下，向控制与所述喷嘴连通的液室的压力的压力控制单元提供电脉冲，从该喷嘴向所述基板的一个区域喷出液状体，将通过该被喷出的液状体的固化而形成的功能性膜作为构成要素，所述液状体相对于所述一个区域内的喷出分别利用第一和第二电脉冲而进行，利用了所述第一电脉冲的喷出和利用了所述第二电脉冲的喷出基于同一所述扫描、同一所述喷嘴进行。
构成本发明的电光学装置的功能性膜，通过将基于第一电脉冲喷出的液滴(液状体)和基于第二电脉冲喷出的液滴(液状体)由同一扫描配置在基板的一个区域内而形成。对于和其他喷嘴相比较的特性偏差而言，这两种液滴即使从同一喷嘴喷出，也表示出相互不同的性质，可以看作以模拟的方式由不同的喷嘴喷出。因此，上述扫描中的喷嘴间喷出量的偏差实质上被分散，能够以少量的不均配置液状体。即，本发明的电光学装置由于具备膜厚不均少的功能性膜，所以具有高品质。
本发明的电子设备，其中具备所述电光学装置。
由于本发明的电子设备具备上述电光学装置，所以，其优点在于品质高且制造效率高。
图1是表示液滴喷出装置的整体构成的概略图。
图2是表示喷头的喷出面的俯视图。
图3是表示喷喷头模块的内部构造的一个例子的主要部分剖视图。
图4是表示液滴喷出装置的电气构成的框图。
图5是表示驱动信号的一个例子的时序图。
图6(a)、(b)是表示压力控制过程中的喷头模块的内部构造的主要部分剖视图。
图7是表示喷出量在喷嘴列内的分布的一个例子的图。
图8是表示液晶显示装置的主要部分构造的概略剖视图。
图9是表示便携式信息处理装置的概略立体图。
图10(a)是表示第一扫描中的喷头模块相对于基板的扫描位置的俯视图。(b)是表示第二扫描中的喷头模块相对于基板的扫描位置的俯视图。
图11(a)是示意地表示第一扫描中的液状体相对于划分区域的配置位置的俯视图。(b)是示意地表示第二扫描中的液状体相对于划分区域的配置位置的俯视图。
图12是表示变形例1所涉及的驱动信号的构成的时序图。
图13是表示变形例2所涉及的驱动信号的构成的时序图。
图中11a～11c-喷头模块，16a～16f-作为喷嘴组的喷嘴列，17-喷嘴，22-作为与喷嘴连通的液室的腔室，26-作为压力控制单元的压电元件，41R、41G、41B-作为基板的一个区域的划分区域，100-液滴喷出装置，101-基板，103-喷头，250-作为电光学装置的液晶显示装置，261-作为基板的滤色器(CF)基板，263-围堰，264R、264G、264B-作为功能性膜的着色膜，265-作为功能性膜的外涂(OC)膜，266、268-作为功能性膜的电极，300-作为电子设备的便携式信息处理装置，L-液状体，PS_A-第一电脉冲，PS_B-第二电脉冲，p1A、p1B-第一子脉冲，p2A、p2B-第二子脉冲，p3A、p3B-第三子脉冲。
具体实施例方式
下面，根据附图对本发明的优选实施方式进行详细说明。
另外，由于下面叙述的实施方式是本发明的优选具体例，所以，在技术上赋予了优选的各种限定，但只要是在以下的说明中没有特别限定本发明的记载，则本发明的范围不限定于这些方式。而且，在以下的说明所参考的附图中，为了方便图示，有时将部件或部分的纵横比例尺与实际不同地进行了表示。
(液滴喷出装置)首先，参照图1、图2、图3，对本发明所涉及的液滴喷出装置的机械构成进行说明。
图1是表示液滴喷出装置的整体构成的概略图。图2是表示喷头的喷出面的俯视图。图3是表示喷头模块的内部构造的一个例子的主要部分剖视图。
在图1中，液滴喷出装置100具备用于载置基板101的载置台102、进行液状体喷出的喷喷头103、将液状体提供给喷喷头103的液状体供给单元106。喷头103按照能够相对于载置台102沿X轴方向往复移动(主扫描)的方式，经主扫描单元104安装于主体部(未图示)。而且，载置台102按照相对于喷头103能够沿Y轴方向往复移动(副扫描)的方式，经副扫描单元105安装于主体部(未图示)。
液状体供给单元106构成为能够将多种液状体向喷头103供给。作为所使用的液状体，除了水、有机溶剂以及这些的溶液之外，还可以采用在液体中分散了固体微粒的液体等。
如图2所示，在喷头103的相对于载置台102的对置面(喷出面)，安装有多个喷头模块11a、11b、11c，在喷头模块11a～11c中形成有喷嘴17。该喷嘴17沿着与主扫描方向正交的方向(Y轴方向)排列成线状，构成作为喷嘴组的喷嘴列16a～16f。
本实施方式的喷嘴列16a～16f分别由160个喷嘴构成。而且，虽然在喷嘴列16a～16f两端侧存在着带有阴影而图示的喷嘴，但这些喷嘴成为不使用的虚设喷嘴。喷嘴列16a～16f分别成为142μm的喷嘴间距构成，在喷头103沿着X轴方向进行主扫描的情况下，成为相互插补而连续的描绘71μm间距的扫描轨迹的位置关系。
喷头模块11a(对于11b、11c而言也同样)的内部构造如图3所示。即，喷头模块11a具备与每个喷嘴17连通的作为液室的腔室22、和与各腔室22连通的作为喷嘴列16a、16b单位的公共室的贮存器23。腔室22的顶盖部24基于可挠性膜25而可动，基于和顶盖部24接合的作为压力控制单元的压电元件26的驱动，对腔室22内的压力进行控制。
更具体而言，腔室22的压力控制采用提供给压电元件26的电脉冲而进行，通过该压力控制可以从喷嘴17喷出腔室22内的液状体(后面将详细叙述)。而且，通过按每个喷嘴17进行与喷头103的扫描同步发送的电脉冲的供给/非供给的控制，能够在基板101上的任意区域配置(描绘)液状体。
除了喷头模块11a～11c之外，在喷头103上还安装有省略图示的其他喷头模块。该其他喷头模块与种类不同于喷头模块11a～11c的液状体对应设置。
另外，液滴喷出装置的构成不限定于上述的方式，例如，也可以构成为在喷头103的固定下，载置台102沿着XY方向往复移动，还可以构成为在载置台102的固定下，喷头103沿着XY方向往复移动。而且，还可以构成为对喷嘴列16a～16f的喷嘴间距进行变更，使喷嘴列16a～16f的伸长方向相对于Y轴方向而倾斜。
接着，参照图4、图5、图6、图7，对于液滴喷出装置的电气构成和基于电脉冲的液滴喷出进行说明。
图4是表示液滴喷出装置的电气构成的框图。图5是表示驱动信号的一个例子的时序图。图6是表示在压力控制过程中的喷头模块的内部构造的主要部分剖视图。图7是表示喷出量在喷嘴列内的分布的一个例子的图。
在图4中，液滴喷出装置100具备进行扫描控制以及各喷嘴列16a～16f(参照图2)的喷出控制的控制部120。控制部120经由外部接口(I/F)121与主机107连接，而且经由内部I/F122与按各喷嘴列16a～16f而设置的喷头驱动电路131以及主扫描单元104、副扫描单元105连接。
控制部120具备CPU123；作为CPU123的工作存储器或缓冲存储器而发挥功能的RAM124；存储各种控制信息的ROM125；生成时钟信号(CK)的发送电路126；和驱动信号生成电路127，其生成含有电脉冲PS_A、PS_B(参照图5)的驱动信号(COM)。而且，喷头驱动电路131与各喷嘴的压电元件26对应，具备移位寄存器132、锁存电路133、电平移动器(level shifter)134和开关135。
主机107将表示描绘对象面中的液滴配置的所谓位图形式的描绘图案数据传送给控制部120。然后，CPU123解码描绘图案数据，生成每一个喷嘴的作为ON/OFF信息的喷嘴数据。喷嘴数据被串行信号(SI)化，与时钟信号(CK)同步被传送给各移位寄存器132。
传送给移位寄存器132的喷嘴数据在锁存信号(LAT(参照图5))被输入到锁存电路133的时刻被锁存，进而在电平移动器134中被转换为开关135用的门信号。这样一来，在喷嘴信号为“ON”的情况下，开关135打开，向压电元件26提供驱动信号(COM(参照图5))，在喷嘴信号为“OFF”的情况下，开关135关闭。
如图5所示，驱动信号(COM)在以与主扫描同步的定时而设定的一个描绘周期内具有以中间电位被连接的第一电脉冲PS_A和第二电脉冲PS_B。第一和第二电脉冲PS_A、PS_B被连续提供给设定为“ON”的喷嘴的压电元件26，进行对应的腔室22的压力控制。
第一电脉冲PS_A具有从中间电位开始进行充电的第一子脉冲p1A、维持第一子脉冲的终点的电位的第二子脉冲p2A、从第二子脉冲的维持电位开始进行放电的第三子脉冲p3A、维持第三子脉冲的终点的电位的第四子脉冲p4A、和从第四子脉冲的维持电位向中间电位进行充电的第五子脉冲p5A。
如果第一子脉冲p1A被提供给压电元件26，则如图6(a)所示，腔室22的容量被扩张，使得内部的压力降低(减压过程)，液状体L的弯月面Me被拉向喷嘴17的内方。而且，通过第一子脉冲p1A会在包括腔室22的流路系统中引起亥姆霍兹(Helmholtz)谐振，在第二子脉冲p2A提供给压电元件26的期间中，腔室22的容量以及内压随着该亥姆霍兹谐振而振动。接着，如果第三子脉冲p3A被提供给压电元件26，则如图6(b)所示，腔室22的容量缩小，使得内部的压力上升(加压过程)，液状体L被从喷嘴17挤出。然后，被挤出的液状体L作为液滴飞行，配置在基板101(参照图1)上。
通过第三子脉冲p3A而降低的电位电平经过第四子脉冲p4A并基于第五子脉冲p5A而回复到中间电位。第五子脉冲在电位电平回复的基础上，还起到强制抵消由第三子脉冲p3A引起的亥姆霍兹谐振的作用。
第二子脉冲p2A的时间成分t2_A起着对由第一子脉冲p1A引起的亥姆霍兹谐振和由第三子脉冲p3A引起的亥姆霍兹谐振之间的相位差的定时(timing)进行规定的作用。由于根据两者谐振的相位差，通过第三子脉冲p3A而从喷嘴17挤出的液状体的举动会变化，所以，该时间成分t2_A成为与液滴的量(喷出量)和速度相关的重要要素之一。
另外，由于喷出量也会因腔室22周边的结构上偏差和贮存器23与腔室22的位置关系等而受到影响，所以，根据与喷出相关的喷嘴17而具有偏差。图7是针对某一喷嘴列将喷嘴17的排列方向作为横轴，对喷出量的分布进行表示的图，在该实例中，与第一电脉冲PS_A对应的喷出量以a1的分布幅宽(最小值与最大值之差)，表示了在喷嘴列的端部附近相对增多的分布。另外，图7表示从喷嘴列内所有的喷嘴17同时喷出液滴时的喷出量。
紧接着第一电脉冲PS_A而向压电元件26提供的第二电脉冲PS_B具有与第一电脉冲PS_A同样的构成。即，具有从中间电位开始进行充电的第一子脉冲p1B、维持第一子脉冲的终点的电位的第二子脉冲p2B、从第二子脉冲的维持电位开始进行放电的第三子脉冲p3B、维持第三子脉冲的终点的电位的第四子脉冲p4B、和从第四子脉冲的维持电位向中间电位进行充电的第五子脉冲p5B。
子脉冲p1B～p5B的作用与第一电脉冲PS_A中的子脉冲p1A～p5A相同，但是在子脉冲p1A～p5A和子脉冲p1B～p5B中，对于电压、时间的成分而言，局部不同。特别是第一子脉冲p2A的时间成分t2_A与第二子脉冲p2B的时间成分t2_B不同，因此，喷嘴列内的喷出量的分布也表现出不同(参照图7)。即，在该实例中，基于第二电脉冲PS_B的喷出量以a2的分布幅宽(最小值与最大值之差)，表示了在喷嘴列的端部附近相对减少的分布。
如图7所示，喷嘴列内的喷出量分布的倾向，在与第一电脉冲PS_A相关的液滴和与第二电脉冲PS_B相关的液滴之间具有明显的差别，表示了宛如不同喷嘴列那样的性质。因此，如果着眼于作为两液滴总和的喷出量，则与单独的电脉冲相关的喷嘴之间的偏差以统计方式被分散，从而可以认为该偏差实质上被缩小。由此，和单独电脉冲相关的喷出量的分布幅宽a1、a2的单纯和:a1+a2相比，与两液滴总和相关的喷出量的分布幅宽b(最小值与最大值的幅宽)变小。
这样，本实施方式的液滴喷出装置100(参照图1)在一个描绘周期内按对喷出基于多种电脉冲的液滴，针对喷嘴间的喷出量的偏差而言，实现了实质性的降低。
喷出量的偏差分布的倾向，尤其针对第二子脉冲p2A、p2B的时间成分t2_A、t2_B具有强烈的依赖性。但并不是通过该成分的调整就能够实现完全自由的控制，即使在本实施方式中，也是通过以喷头模块单位分别实现t2_A、t2_B以及其他成分的恰当化，来实现减小分布幅宽b的办法。另外，当然在子脉冲的成分最佳化中，也需要对喷嘴列内的平均喷出量和液滴的平均速度、喷出稳定性等进行充分考虑。
(液晶显示装置)下面，参照图8对本发明所涉及的作为电光学装置的一个例子的液晶显示装置进行说明。
图8是表示液晶显示装置的主要部分结构的概略剖视图。
如图8所示，作为电光学装置的液晶显示装置250是无源矩阵型液晶显示装置，具有液晶显示面板260，该液晶显示面板260具备具有多个着色膜264的滤色器基板(CF基板)261、具有多个电极268的对置基板271、和夹持在CF基板261与对置基板271之间的液晶270。由于这样的液晶显示装置250是受光型的显示装置，所以，例如在对置基板271的背面侧具备具有LED元件、EL、冷阴极管等光源的照明装置(省略图示)。另外，本实施方式的液晶显示装置250不限定于此，例如也可以是在对置基板271上具备TFT或TFD等开关元件的有源矩阵型液晶显示装置。
对置基板271例如使用了透明的树脂或玻璃基板，在与CF基板261的对置面侧具有由ITO构成的多个透明电极268。电极268与在对置的CF基板261上设置的由ITO构成的透明电极266正交，沿Y方向延伸。即，液晶显示面板260具有相互对置且正交并配置成栅格状的电极266和电极268。并且，电极266与电极268正交而重合的部分成为显示用的像素区域。
CF基板261例如采用了透明的树脂或玻璃基板，具备以规定的图案形成的遮光膜262、和形成在遮光膜262之上的围堰263。而且，在被遮光膜262以及围堰263划分的划分区域中，具备与R(红色)、G(绿色)、B(蓝色)对应的着色膜264、和覆盖着色膜264与围堰263的作为平坦化层的OC(外涂)膜265。电极266形成在OC膜265上。另外，为了确保与电极266的密接性，也可以在OC膜265之上进一步形成SiO2等的薄膜。
液晶显示面板260隔着间隔部件272以规定的间隔对置配置这样的CF基板261和对置基板271，并通过未图示的密封材料在两基板261、271之间对液晶270进行密封。在基板261、271的液晶270的封入面侧，设置有使液晶270的分子沿规定方向取向的取向膜267、269。
另外，在液晶显示面板260的前面侧和背面侧的表面，通常设置有使入射或出射的光偏转的偏振板、或用于改善视角等的作为光学功能性薄膜的相位差薄膜等，但这里省略了这些部件。
遮光膜262通过以Cr、Ni、Al等不透明的金属或这些金属的氧化物等化合物为材料，并利用气相法和光刻法而制造在CF基板261上。
围堰263可以通过在形成有遮光膜262的CF基板261上基于辊涂法或旋涂法形成了厚度约2μm的感光性树脂层之后，利用光刻法实施图案形成而得到。
作为功能性膜的着色膜264B、264G、264R可以利用上述的液滴喷出装置，通过将含有与B、G、R对应的三种颜色材料(有机颜料)的液状体(着色液)分别配置到由围堰263划分的划分区域内，并通过干燥等使所配置的液状体固化(膜化)(液滴喷出法)而形成。另外，与液状体的配置相关的详细工序将在后面进行叙述。
作为功能性膜的OC膜265除了能够利用含有透明丙烯酸系树脂的液状体，并通过旋涂法、偏置印刷而形成之外，还能够通过液滴喷出法而形成。
作为功能性膜的电极266、268除了可以采用气相法以及光刻法形成之外，还可以采用Au、Ag、Pt等金属微粒的分散液并通过液滴喷出法而形成。
作为功能性膜的取向膜267、269可以在利用上述的液滴喷出装置100图案配置含有聚酰亚胺树脂等的液状体而形成了树脂膜之后，通过抛光处理赋予取向性而形成。
(电子设备)
下面参照图9，对本发明所涉及的作为电子设备的一个例子的便携式信息处理装置进行说明。
图9是表示便携式信息处理装置的概略立体图。
如图9所示，作为电子设备的便携式信息处理装置300具备具有输入用的键盘301的信息处理装置主体303、和显示部302。显示部302采用了上述的液晶显示装置250。另外，作为搭载液晶显示装置250的电子设备的其它实例，有移动电话、手表等。
(液状体配置方法)接着，参照图5、图10、图11，对本发明的液状体配置方法举例说明与CF基板上的着色膜的形成相关的实例。
图10(a)、(b)分别是表示第一扫描和第二扫描中的喷头模块相对于基板的扫描位置的俯视图。图11(a)、(b)分别是示意地表示第一扫描和第二扫描中的液状体相对于划分区域的配置位置的俯视图。
在图10中，液状体向CF基板261上的配置(描绘)通过利用液滴喷出装置100(参照图1)，交替地反复进行喷头模块11a～11c的主扫描和CF基板261的规定量移动(副扫描)而进行。例如，在第一扫描(图10(a))中从喷头模块11c的喷嘴、在第二扫描(图10(b))中从喷头模块11b的喷嘴对CF基板261上的区域40分别进行液滴(液状体)的喷出。
如图11所示，在CF基板261上，作为由围堰263划分的一个区域的划分区域41R、41G、41B沿扫描方向(XY轴方向)被规则地设置。这里，划分区域41R、41G、41B分别是用于形成R(红色)、G(绿色)、B(蓝色)着色膜264(参照图8)的划分区域，在成为液晶显示装置250(参照图8)的状态下，构成所谓条纹型像素排列。
液滴(液状体)的喷出与喷嘴列的扫描位置同步地进行，在本实施方式中，根据划分区域41R、41G、41B的主扫描方向(X轴方向)的排列间距P，设定驱动信号(图5)的描绘周期。在表示与R(红色)对应的液滴(液状体)的配置位置的图11的例子中，液滴在与划分区域41R上的扫描位置对应的描绘周期被喷出，在与划分区域41G、41B上的扫描位置对应的描绘周期液滴不被喷出(非驱动)。另外，对于和围堰263相关的位置的喷嘴而言，与描绘周期无关，不喷出液滴(非驱动)。
在第一扫描(图11(a))中，对一个划分区域41R，通过相互邻接的两个喷嘴，首先进行基于第一电脉冲PS_A(图5)的液滴(由A表示)的喷出(第一喷出步骤)，接着，进行基于第二电脉冲PS_B(图5)的液滴(由B表示)的喷出(第二喷出步骤)。进而，在第二扫描(图11(b))中，对上述一个划分区域41R，通过与第一扫描不同的两个喷嘴，首先进行基于第一电脉冲PS_A(图5)的液滴(由A表示)的喷出(第一喷出步骤)，接着，进行基于第二电脉冲PS_B(图5)的液滴(由B表示)的喷出(第二喷出步骤)。
预先对CF基板261的表面实施基于O2等离子处理等的亲液化处理，使得第一扫描和第二扫描中所喷出(配置)的液滴在划分区域41R、41G、41B内润湿扩展。此时，基于第一扫描的液滴的配置位置和基于第二扫描的液滴的配置位置沿Y轴方向仅偏移喷嘴扫描间距的大约一半距离，以使液滴在划分区域41R、41G、41B内均匀地润湿扩展。
如上所述，基于第一电脉冲PS_A(图5)而喷出的液滴(由A表示)和基于第二电脉冲PS_B(图5)而喷出的液滴(由B表示)，通过同一扫描而被配置在一个划分区域内。对于和其他喷嘴相比较的喷出量的偏差而言，这两种液滴(由A、B表示)即使从同一喷嘴喷出，也表示出相互不同的性质(参照图7)，可以看作以模拟的方式由不同的喷嘴喷出。因此，喷嘴间喷出量的偏差实质上被分散，能够以少量的不均配置液状体。
而且，由于在第一扫描和第二扫描中利用相互不同的喷嘴向一个划分区域喷出液滴，所以，喷嘴间喷出量的偏差被进一步分散，能够以更少的不均配置液状体。
这样一来，具备经过这样的过程而形成的着色膜264R、264G、264B(参照图8)的液晶显示装置、以及具备该液晶显示装置的便携式信息处理装置具有高品质。
(变形例1)接着，以和先前的实施方式的不同点为中心，参照图12对实施方式的变形例1进行说明。
图12是表示变形例1的驱动信号的构成的时序图。
在该变形例1的驱动信号(COM)中，第一电脉冲PS_A和第二电脉冲PS_B被设定为不同的描绘周期，相互交替排列配置。这样，第一电脉冲PS_A和第二电脉冲PS_B可以不必设定为同一描绘周期。另外，当利用该驱动信号(COM)向CF基板上配置液状体时，由于对一个划分区域喷出两个描绘周期份的液滴，所以，需要准备与之对应的描绘图案数据。
(变形例2)接着，以和先前的实施方式的不同点为中心，参照图13对实施方式的变形例2进行说明。
图13是表示变形例2的驱动信号的构成的时序图。
该变形例2的驱动信号(COM)在一个描绘周期内包括连续的两个第一电脉冲PS_A、PS_A和连续的两个第二电脉冲PS_B、PS_B。这样，第一电脉冲PS_A和第二电脉冲PS_B也可以不交替排列配置。另外，当利用该驱动信号(COM)向CF基板上进行液状体的配置时，由于每个喷嘴向一个划分区域喷出四个液滴(一个描绘周期份)，所以，通过一次扫描可以完成向该一个划分区域内的液状体配置。
本发明不限定于上述的实施方式。
例如，作为利用上述的描绘方法而形成的功能性膜的其他实例，例如可举出有机EL显示装置中的发光膜、等离子显示装置中的荧光膜、或在电路部分利用的导电膜(导电布线)与高电阻膜(电阻元件)等。
而且，在上述实施方式中将通过两种电脉冲而喷出的液滴配置到CF基板上的划分区域内，但也可以采用对更多种类的电脉冲进行组合的方式。
另外，各实施方式的各种构成可以通过对它们进行适当组合或省略、或者与未图示的其他构成组合而形成。
权利要求
1.一种液状体配置方法，在具有由多个喷嘴构成的喷嘴组的喷头相对于基板扫描的情况下，向控制与所述喷嘴连通的液室的压力的压力控制单元提供电脉冲，从该喷嘴喷出液状体，从而将该液状体配置到所述基板，该液状体配置方法包括第一喷出步骤，利用第一所述电脉冲，对所述基板的一个区域内进行所述液状体的喷出；和第二喷出步骤，通过与所述第一喷出步骤相同的所述扫描、相同的所述喷嘴，并利用第二所述电脉冲，对所述一个区域内进行所述液状体的喷出。
2.根据权利要求1所述的液状体配置方法，其特征在于，当将利用所述第一电脉冲进行喷出时的所述喷嘴组内的喷出量的分布幅宽设为a1、将利用所述第二电脉冲进行喷出时的所述喷嘴组内的喷出量的分布幅宽设为a2、将利用所述第一和第二电脉冲双方进行喷出时的所述喷嘴组内的总和的喷出量的分布幅宽设为b时，满足b＜a1+a2。
3.根据权利要求1或2所述的液状体配置方法，其特征在于，所述第一和第二电脉冲具有用于对所述液室减压的第一子脉冲、保持所述第一子脉冲的终点的电位的第二子脉冲、和与所述第二子脉冲相接用于对所述液室加压使所述液状体从所述喷嘴喷出的第三子脉冲，至少所述第二子脉冲的时间成分在所述第一电脉冲和所述第二电脉冲中不同。
4.一种电光学装置的制造方法，其中包括利用权利要求1～3中任意一项所述的液状体配置方法将所述液状体配置到所述基板的工序；和使该被配置的液状体固化而形成功能性膜的工序，该电光学装置将所述功能性膜作为构成要素。
5.一种电光学装置，其在具有由多个喷嘴构成的喷嘴组的喷头相对于基板扫描的情况下，向控制与所述喷嘴连通的液室的压力的压力控制单元提供电脉冲，从该喷嘴向所述基板的一个区域喷出液状体，将通过该被喷出的液状体的固化而形成的功能性膜作为构成要素，所述液状体相对于所述一个区域内的喷出分别利用第一和第二电脉冲进行，利用了所述第一电脉冲的喷出和利用了所述第二电脉冲的喷出，基于同一所述扫描、同一所述喷嘴进行。
6.一种电子设备，其中具备权利要求5所述的电光学装置。
全文摘要
本发明提供一种能够在高的喷嘴利用率下以少的不均配置液状体的液状体配置方法、及使用了该液状体配置方法的电光学装置的制造方法、和由该制造方法制造的电光学装置、电子设备。在各扫描中，对一个划分区域(41R)，首先通过相互邻接的两个喷嘴进行基于第一电脉冲的液滴(由A表示)的喷出，接着，进行基于第二电脉冲的液滴(由B表示)的喷出。对于和其他喷嘴相比较的喷出量的偏差而言，由于这两种液滴即使从同一喷嘴喷出，也表示出相互不同的性质，因此，可以看作以模拟的方式由不同的喷嘴喷出。
文档编号G02F1/133GK101037041SQ20071008574
公开日2007年9月19日 申请日期2007年3月8日 优先权日2006年3月15日
发明者加藤刚, 北原强 申请人:精工爱普生株式会社