像素观察和描绘系统、液状体描绘方法、滤色器和有机el元件的制法的制作方法

专利名称：像素观察和描绘系统、液状体描绘方法、滤色器和有机el元件的制法的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种观察通过液滴喷出法所形成的像素的像素观察系统、 采用了液滴喷出法的描绘系统、液状体的描绘方法、滤色器的制造方法、 有机EL元件的制造方法。
背景技术：
作为与液滴喷出法有关的像素观察系统，公知有一种点偏移检测方法 以及点偏移检测装置，能够简单且迅速地检测从液滴喷头的喷嘴喷出的液 滴滴落于被检査物而得到的点的位置偏移(专利文献l)。
并且，作为采用了液滴喷出法的描绘系统，公知有一种基于保存在记 录介质上的数据， 一边使功能液滴喷头相对于工件相对移动一边从该功能 液滴喷头中排列的多个喷嘴使功能液滴选择性地喷出，从而在工件上的一 个以上的芯片形成区域进行描绘的描绘系统(专利文献2)。
在上述描绘系统中，基于保存在记录介质中的各喷嘴的喷出图案数据， 对工件喷出描绘功能液滴。
上述喷出图案数据是至少基于与工件上的芯片形成区域的配置有关的 芯片信息、与芯片形成区域中的像素的排列有关的像素信息、和与各喷嘴 相对工件的配置有关的喷嘴信息而生成的。
采用液滴喷出法在工件上形成滤色器等像素构成要素时，需要从喷嘴 稳定地喷出液滴。然而，有时会产生喷嘴的堵塞或所喷出的液滴的滴落位 置偏移的飞行弯曲等不良情况，导致难以始终稳定地进行喷出。在上述专 利文献l中，在液滴喷出装置中安装点偏移检测装置有利于产品成品率的 提高。然而，实际上有关在向上述专利文献2这样的描绘系统中导入时的 有效导入方法还未被提出。
专利文献1:特开2006—130383号公报
专利文献2:特开2003—275650号公报

发明内容
本发明鉴于上述课题而实现，其目的在于提供一种能够早期发现因液 状体的喷出不良情况而导致的不良像素的像素观察系统、描绘系统、液状 体的描绘方法、滤色器的制造方法、有机EL元件的制造方法。
本发明的像素观察系统对与基板和多个喷嘴的相对移动同步地从多 个喷嘴向基板上的多个像素区域喷出含有功能性材料的液状体而形成的
像素进行观察，包括存储部，其至少存储表示多个喷嘴的液状体的喷出
状态的喷嘴信息、和在相对移动中按每个像素区域所涉及的喷嘴的配置信
息；坐标生成部，其基于喷嘴信息和配置信息，生成基板上的观察坐标； 和观察部，其观察位于由坐标生成部生成的观察坐标处的像素区域；坐标 生成部生成在至少一次相对移动中多个喷嘴所涉及的像素区域的坐标，作 为观察坐标。
采用该结构，坐标生成部生成在至少一次相对移动中多个喷嘴所涉及 的像素区域的坐标作为观察坐标。因此，即使不观察所有的像素区域，如 果对位于该观察坐标的像素区域进行观察，也能够早期发现因产生喷出不 良情况的不良喷嘴而形成的不良像素。即，能够进行有效率的像素的观察。
在上述喷嘴信息包含产生喷出不良情况的不良喷嘴的信息时，优选坐 标生成部生成在不良喷嘴所涉及的像素区域上加上其周边的像素区域后 的坐标作为观察坐标。这样，便能够进行更有效率的像素的观察。
上述不良喷嘴的信息包含堵塞喷嘴、滴落位置偏移喷嘴以及喷出量 异常喷嘴中的至少一个。这样，便能够早期发现因堵塞喷嘴、滴落位置偏 移喷嘴以及喷出量异常喷嘴中的至少一个而引起的喷出不均的不良像素。
上述观察部具备摄像机构、和将通过摄像机构摄像的图像变换成图 像信息的图像处理部。这样，便能够采用通过图像处理部所变换的图像信 息正确地对不良喷嘴进行确定。
优选还具备喷嘴信息生成部，将液状体作为液滴从多个喷嘴向滴落观 察用被喷出物上喷出，通过摄像机构对滴落的液滴进行摄像，并基于通过 图像处理部对所得到的图像进行变换后的图像信息来生成喷嘴信息。 采用该结构，在喷嘴信息生成部中，基于表示滴落在滴落观察用被喷 出物上的液滴的滴落状态的图像信息来生成喷嘴信息。由于将液滴喷出在 滴落观察用被喷出物上，因此能够正确掌握因喷嘴的堵塞产生的不喷出、 当然还有滴落位置偏移或喷出量异常的喷嘴信息。
优选上述滴落观察用被喷出物是记录纸。由此，与使液滴滴落在基板 上的情况相比，不易受到所滴落的表面的界面张力的影响，能够更加正确 地掌握因喷嘴的堵塞引起的不喷出、当然还有滴落位置偏移或喷出量异常 的喷嘴信息。
优选与基板和多个喷嘴的多次相对移动同步地喷出描绘液状体，存储 部中存储按每次相对移动的配置信息。在将液状体与基板和多个喷嘴之间 的多次相对移动同步地喷出时，在各相对移动中基板上的每个像素区域所 涉及的喷嘴未必相同。采用该结构，由于存储部中保存有按每次相对移动 的配置信息，因此能够确切地生成与实际的液状体的喷出描绘对应的观察 坐标。
并且，优选在上述存储部中按相对移动的往动和往动来保存配置信 息。在将液状体分为基板与多个喷嘴之间的往动和复动喷出时，在往动时 判断为产生喷出不良情况的不良喷嘴，在复动时未必会导致喷出不良情 况。尤其飞行弯曲，因弯曲方向与相对移动的方向之间的关系因而滴落位 置偏移的程度会改变。采用该结构，由于在相对移动中每个像素区域所涉 及的喷嘴的配置信息按往动和复动来保存，因此分为往动和复动能够更加 确切地确定不良喷嘴。
本发明的描绘系统的特征在于具备液滴喷出装置，其将含有功能性 材料的液状体作为液滴从多个喷嘴向基板上的多个像素区域喷出；和上述
本发明的像素观察系统。
采用该结构，由于具备能够早期发现因液状体的喷出不良情况引起的 不良像素的像素观察系统，因此能够将来自像素观察系统的不良像素的信 息反映在液状体的喷出描绘中。即，能够提供一种液状体的喷出不良情况 少、且具有稳定的喷出品质的描绘系统。
本发明的描绘系统还包括统一控制部，其对液滴喷出装置和像素观察 系统进行统一控制，在通过像素观察系统得到了不良像素信息的情况下，
统一控制部基于不良像素信息对不良喷嘴进行确定，并按照停止从不良喷 嘴喷出液滴、从不良喷嘴以外的其它喷嘴喷出不足部分的液滴的方式，对 液滴喷出装置进行控制。
采用该结构，统一控制部能够基于通过像素观察系统所获得的不良像 素信息对不良喷嘴进行确定，能够不采用不良喷嘴而将所需量的液状体作 为液滴赋予到每个像素区域。
另外，还包括统一控制部，其对液滴喷出装置和像素观察系统进行统 一控制，在通过像素观察系统得到了不良像素信息的情况下，统一控制部 基于不良像素信息对作为不良喷嘴的滴落位置偏移喷嘴或喷出量异常喷 嘴进行确定，并按照对从该喷嘴喷出液滴的驱动条件进行变更的方式对液 滴喷出装置进行控制。
采用该结构，由于与滴落位置偏移喷嘴或者喷出量异常喷嘴对应，变 更该喷嘴的驱动条件，因此即使采用被确定为不良喷嘴的该喷嘴也能够赋 予每个像素区域所需量的液状体作为液滴。
本发明的液状体的描绘方法，与基板和多个喷嘴的相对移动同步地从 多个喷嘴向基板上的多个像素区域喷出含有功能性材料的液状体而形成 多个像素，该液状体的描绘方法包括观察坐标生成工序，基于表示从多 个喷嘴喷出的液状体的喷出状态的喷嘴信息、和在相对移动中按每个像素 区域涉及的喷嘴的配置信息，生成基板上的观察坐标；描绘工序，基于配 置信息，将液状体作为液滴从多个喷嘴向多个像素区域进行喷出描绘；观 察工序，对被喷出描绘的位于基板的观察坐标处的像素区域进行观察；和 修正工序，在观察工序中检测到不良像素的情况下，对成为不良像素的像 素区域所涉及的不良喷嘴进行确定，并修正配置信息；在观察坐标生成工 序中，生成在至少一次相对移动中多个喷嘴所涉及的像素区域的坐标，作 为观察坐标。
通过采用该方法，在观察坐标生成工序中，生成至少在一次相对移动 中多个喷嘴所涉及的像素区域的坐标作为观察坐标。因此，与观察所有的 像素区域的情况相比，能够早期发现因产生喷出不良情况的不良喷嘴而形 成的不良像素。另外，在修正工序中，对不良喷嘴进行确定并修正每个像 素区域所涉及的喷嘴的配置信息。因而，能够在描绘工序中基于修正后的
配置信息进行液状体的喷出描绘。因此，能够提供一种通过早期发现不良 像素降低喷出不良情况，并能够将所需量的液状体作为液滴赋予每个像素 区域的液状体的描绘方法。
优选还包括喷嘴信息更新工序，基于被确定的不良喷嘴的信息，对喷 嘴信息进行更新。采用该方法，由于随着不良喷嘴的确定来更新喷嘴信息， 因此基于最新的喷嘴信息生成观察坐标，降低对不良像素的忽略。
另外，当喷嘴信息含有不良喷嘴的信息时，在观察坐标生成工序中， 生成在不良喷嘴所涉及的像素区域上加上其周边的像素区域后的坐标，作 为观察坐标。由于因不良喷嘴引起的形成不良像素的概率高，因此能够更 加有效率地发现不良像素。
上述不良喷嘴的信息包含堵塞喷嘴、滴落位置偏移喷嘴以及喷出量 异常喷嘴中的至少一种喷嘴信息。采用该方法，能够早期发现因堵塞喷嘴、 滴落位置偏移喷嘴以及喷出量异常喷嘴中的至少一方引起的成为喷出不 均的不良像素。
优选本发明的描绘方法还包括滴落状态检查工序，将液状体作为液滴 从多个喷嘴向检查用被喷出物上喷出，测量液滴的滴落直径以及滴落位置 偏移，喷嘴信息包含滴落直径以及滴落位置偏移的尺寸信息。采用该方法， 由于喷嘴信息包含在滴落状态检査工序中得到的滴落直径以及滴落位置 偏移的尺寸信息，因此能够确切地对每个像素区域涉及的喷嘴的配置信息 进行修正。
在滴落状态检查工序中，使多个喷嘴与检查用被喷出物相对移动，并 按照分为相对移动的往动和复动而使液滴分别滴落到假想的直线上的方 式对多个喷嘴进行喷出控制。采用该方法，能够掌握在相对移动的往动和 复动中滴落状态的变动。即，能够更加确切地对喷嘴的配置信息进行修正。
优选上述滴落观察用被喷出物是记录纸。采用该方法，与使液滴滴落 基板上的情况相比，不易受到所滴落的表面的界面张力的影响，能够更加 正确地掌握因喷嘴的堵塞引起的不喷出、当然还有滴落位置偏移或喷出量 异常的喷嘴信息。
上述配置信息包含喷出液滴的喷嘴的选择信息，在上述修正工序中， 按照不选择不良喷嘴，而选择不良喷嘴以外的喷嘴并喷出不足的那部分量
的上述液滴的方式修正配置信息。采用该方法，不采用不良喷嘴也能够赋 予每个像素区域所需量的液状体作为液滴。
上述配置信息按多个喷嘴的每一个包含喷出液滴的驱动条件，在修正 工序中，作为不良喷嘴确定滴落位置偏移喷嘴或喷出量异常喷嘴，并改变 从滴落位置偏移喷嘴或者喷出量异常喷嘴喷出液滴的驱动条件，由此对配 置信息进行修正。采用该方法，在修正工序中，由于对应滴落位置偏移喷 嘴或者喷出量异常喷嘴，变更该喷嘴的驱动条件，因此即使采用被确定作 为不良喷嘴的该喷嘴也能够赋予每个像素区域所需量的液状体作为液滴。
本发明的滤色器的制造方法在基板上划分形成的多个像素区域上具 有至少三色的着色层，该滤色器的制造方法包括描绘工序，利用权利要 求12 20中任一项的液状体的描绘方法，向多个像素区域喷出描绘包含
至少三色的着色层形成材料的液状体；和固化工序，使被喷出描绘的液状
体固化，形成至少三色的着色层。
采用该方法，由于采用能够降低喷出不良情况，并将所需量的液状体 作为液滴赋予每个像素区域的液状体的描绘方法，因此能够高成品率地制 造具备在固化后具有所希望的光学特性的至少三色着色层的滤色器。
本发明的有机EL元件的制造方法，在基板上划分形成的多个像素区 域上至少具有发光层，该有机EL元件的制造方法包括描绘工序，利用 权利要求12 20中任一项的液状体的描绘方法，向多个像素区域喷出描 绘含有发光层形成材料的液状体；和固化工序，使被喷出描绘的液状体固 化，形成发光层。
根据该方法，由于采用能够降低喷出不良情况，并赋予每个像素区域 所需量的液状体作为液滴的液状体的描绘方法，因此能够高成品率地制造 在固化后因喷出不良情况而引起的发光不均或亮度不均等较少的有机EL 元件。


图1是表示描绘系统的结构的概略图。
图2是表示液滴喷出装置的结构的概略立体图。
图3 (a)以及(b)是表示液滴喷头的结构的概略图。
图4是表示喷头单元中的液滴喷头的配置的概略立体图。
图5是表示液滴喷出装置的控制系统的框图。
图6是表示喷出控制的详细情况的框图。
图7是表示喷出控制的控制信号的图。
图8是表示液晶显示装置的结构的概略分解立体图。
图9 (a) (e)是表示滤色器的制造方法的概略剖面图。
图IO是表示液状体的描绘方法的流程图。
图11 (a) (d)是说明滴落状态检查工序的概略图。
图12 (a)以及(b)是像素区域的液滴配置的一例的概略俯视图。
图13 (a)是表示喷嘴的配置信息的表，(b)是表示喷嘴信息的表。
图14是表示像素区域的观察方法的概略俯视图。
图15是表示有机EL显示装置的要部结构的概略剖面图。
图16是表示作为有机EL元件的发光元件部的制造方法的概略剖面图。
图中l一描绘系统，2 —像素观察系统，3 —观察部，IO —液滴喷出 装置，ll一作为统一控制部和坐标生成部以及喷嘴信息生成部的上位计算 机，14 —存储部，15 —作为摄像机构的相机，18—作为滴落观察用被喷出 物的记录纸，49一图像处理部，52 —喷嘴，80R、 80G、 80B —含有着色层 形成材料的液状体，100R、 100G、 100B —含有发光层形成材料的液状体， 501 —作为基板的对置基板，505—滤色器，505R、 505G、 505B—着色层， 601 —作为基板的元件基板，603 —作为有机EL元件的发光元件部，617R、 617G、 617B —发光层，A—作为像素区域的着色区域以及发光层形成区域， D—液滴，W—作为工件的母基板。
具体实施例方式
(第一实施方式)
本发明的实施方式，以在基板上的作为多个像素区域的着色区域中具 有多种颜色的着色层的滤色器的制造方法为例进行说明。着色层用于构成 像素，通过在多个像素区域将含有作为功能性材料的着色层形成材料的液 状体作为液滴进行喷出描绘而形成。在将上述液状体作为液滴进行喷出描
绘时，采用如下的描绘系统。
(像素观察系统以及描绘系统) 图1为表示描绘系统的结构的概略图。如图1所示，本实施方式的描 绘系统1具备将液状体作为液滴进行喷出描绘的液滴喷出装置10、具有 对喷出描绘了液状体的像素区域进行观察的观察部3的像素观察系统2、
和作为统一控制液滴喷出装置10和像素观察系统2的统一控制部的上位
计算机ll。
观察部3具备作为对像素区域进行观察并摄像的摄像机构的相机
15、将通过相机15所摄像的图像变换成图像信息的图像处理部49。相机 15具备例如CCD等的摄像元件，可识别所捕捉的图像的颜色。这些相机 15、图像处理部49搭载在液滴喷出装置10中。另外，上位计算机11侧 也可以具备图像处理部49。
上位计算机11上连接有将对液滴喷出装置10进行控制的控制程序 或控制数据等控制信息输入的键盘等输入部12、可显示控制信息的显示部 13、保存控制信息的存储部14。存储部14也可以是内置于上位计算机11 中的硬盘等存储装置或存储器、或者外置的服务器。
上位计算机11不仅能够将控制程序或控制数据等控制信息向液滴喷 出装置10送出，还能够修正这些控制信息。并且，存储部14中，保存有 表示液状体的喷出状态的喷嘴信息、和在基板上的像素区域喷出描绘液状 体时按每个像素区域的喷嘴52的配置信息。上位计算机ll，具有基于喷
嘴信息和配置信息生成基板上的观察坐标的观察坐标生成部的功能。并 且，具有对过去的喷嘴信息进行修正并生成新的喷嘴信息的喷嘴信息生成 部。
这种情况下，像素观察系统2包含这些上位计算机11、输入部12、 显示部13、和存储部14。
接着，针对液滴喷出装置10基于图2 图7进行说明。图2为表示液 滴喷出装置的结构的概略立体图。
如图2所示，液滴喷出装置10具备工件移动机构20，其使作为工 件的母基板W向主扫描方向(X轴方向)移动；和喷头移动机构30，其 使液滴喷头50 (参照图3)在副扫描方向(Y轴方向)移动。
工件移动机构20具备 一对导轨21、沿着一对导轨21移动的移动台 22、和放置工作台5，其在移动台22上载置经由作为旋转机构的e工作台 6配置的母基板W。移动台22通过在导轨21的内部设置的气动输送器(air slide)和线性马达(未图示)在主扫描方向移动。放置工作台5可吸附固 定母基板w，并且可通过e工作台6使母基板W内的基准轴与主扫描方向、 副扫描方向准确地对应。
喷头移动机构30具备 一对导轨31、和沿着一对导轨31移动的两个 移动台32、 33。移动台32上设置有经由旋转机构7吊设的托架(carriage) 8。在托架8中安装有搭载了多个液滴喷头50的喷头单元9。并且，设置 有用于向液滴喷头50供给液状体的液状体供给机构(未图示)、和用于对 多个液滴喷头50进行电驱动控制的喷头驱动器48 (参照图5)。移动台32 使托架8向Y轴方向移动并使喷头单元9相对母基板W对置配置。
移动台33中搭载有相机15。相机15能够通过移动台33而在Y轴方 向移动并对从液滴喷头50喷出并滴落于母基板W的表面的液滴的滴落状 态进行观察且摄像。也可以根据需要在移动台33中具备对被摄体进行照 明的照明装置。
液滴喷出装置10除上述结构外，还省略图示了在面对多个液滴喷头 50的位置配置的维修机构，该维修机构用于进行消除搭载在喷头单元9 中的多个液滴喷头50的喷嘴堵塞、去除喷嘴面的异物或污垢等的维修。
图3为表示液滴喷头的结构的概略图。该图(a)为概略分解立体图， 该图(b)为表示喷嘴部的结构的剖面图。如图3 (a)以及(b)所示，液 滴喷头50构成为将具有喷出液滴D的多个喷嘴52的喷嘴板51、具有 对分别连通多个喷嘴52的空腔55进行划分的隔壁54的空腔板53、和具 有作为与各空腔55对应的能量产生机构的振动器59的振动板58依次层 叠并接合的结构。
空腔板53具有对与喷嘴52连通的空腔55进行划分的隔壁54，并且 具有用于向该空腔55填充液状体的流路56、 57。流路57由喷嘴板51和 振动板58夹持，所形成的空间实现储存液状体的储藏室的作用。
液状体从液状体供给机构通过配管而供给，通过设置在振动板58上 的供给孔58a储存在储藏室之后，通过流路56填充到各空腔55中。
如图3 (b)所示，振动器59是一种由压电元件59c、和夹持压电元 件59c的一对电极59a、 5%组成的压电元件。通过从外部向一对电极59a、 59b施加驱动电压脉冲，从而使被接合的振动板58变形。这样由隔壁54 划分的空腔55的体积增加，液状体被从储藏室向空腔55吸引。而且，一 旦结束驱动电压脉冲的施加，则振动板58恢复原状，对所填充的液状体 加压。这样，形成一种能够从喷嘴52喷出液状体作为液滴D的结构。通 过对向压电元件59c施加的驱动电压脉冲进行控制，从而能够对各个喷嘴 52进行液状体的喷出控制。
液滴喷头50并非限于具备压电元件(piezo-electric element)。也可以 具备通过静电吸附使振动板58变位的电气机械变换元件，或者具备对液 状体进行加热并从喷嘴52使之喷出作为液滴D的电热变换元件。
图4为表示喷头单元中的液滴喷头的配置的概略俯视图。详细来说， 是从与母基板W对置的一侧看的图。
如图4所示，喷头单元9具备配置了多个液滴喷头50的喷头板9a。 在喷头板9a中，搭载有由三个液滴喷头50组成的喷头组50A、和同样由 三个液滴喷头50组成的喷头组50B的总计六个液滴喷头50。这时，喷头 组50A的喷头Rl(液滴喷头50)和喷头组50B的喷头R2 (液滴喷头50) 喷出同种液状体。在其它喷头Gl和喷头G2、喷头Bl和喷头B2中也同 样。即，成为可喷出三种不同液状体的结构。
各液滴喷头50具有由以基本相同间隔(大约140pm的喷嘴间距)配 置的多个(180个)喷嘴52组成的喷嘴列52a。喷嘴52的直径大约20pm。 设由一个液滴喷头50可描绘的描绘宽度为L。，将其作为喷嘴列52a的有 效长度。以后，所谓喷嘴列52a是指由180个喷嘴52构成。
这时，喷头R1和喷头R2，按照从主扫描方向(X轴方向)看相邻的 喷嘴列52a (喷嘴列1A和喷嘴列1B)在与主扫描方向正交的副扫描方向 (Y轴方向)上间隔一个喷嘴间距而连续的方式，在主扫描方向排列配置。 因此，喷出同种液状体的喷头R1和喷头R2的有效描绘宽度L1成为描绘 宽度Lo的2倍。在喷头G1和喷头G2、喷头B1和喷头B2中，也同样在
主扫描方向排列配置。
另外，设置在液滴喷头50中的喷嘴列52a，并非限于1列。例如，如
果将多个喷嘴列52a相互错开排列，则实质喷嘴间距变窄，可实现高精细 地喷出液滴D。
接着，针对液滴喷出装置10的控制系统进行说明。图5为表示液滴 喷出装置的控制系统的框图。液滴喷出装置10的控制系统具备具有对 液滴喷头50、工件移动机构20、喷头移动机构30等进行驱动的各种驱动 器的驱动部46、包含驱动部46并对液滴喷出装置10进行控制的控制部4。 并且，具备相机15所连接的图像处理部49。
驱动部46具备对工件移动机构20以及喷头移动机构30的各线性 马达分别进行驱动控制的移动用驱动器47、对液滴喷头50进行喷出控制 的喷头驱动器48、对维修机构的各维修用单元进行驱动控制的维修用驱动 器(省略图示)。
控制部4具备CPU41、 ROM42、 RAM43、和P—CON44，它们经由 总线45相互连接。P—CON44上连接有上位计算机11。 ROM42具有对 由CPU41所处理的控制程序等进行存储的控制程序领域、和对用于执行 描绘动作或功能恢复处理等的控制数据等进行存储的控制数据区域。
RAM43具有存储用于在母基板W上进行描绘的描绘数据的描绘数 据存储部、和对母基板W以及液滴喷头50 (实际为喷嘴列52a)的位置 数据进行存储的位置数据存储部等各种存储部，作为用于进行控制处理的 各种作业区域而使用。P—CON44上连接有驱动部46的各种驱动器等或 图像处理部49，构成用于对CPU41的功能进行辅助并且对与周边电路之 间的接口信号进行处理的逻辑电路并嵌入P—CON44中。因此，P—CON44 将来自上位计算机11的各种指令等直接或者加工后取入总线45中，并且 与CPU41连动，将从CPU41等向总线45输出的数据或控制信号直接或 者加工后向驱动部46输出。
而且，CPU41根据ROM42内的控制程序，经由P—CON44输入各种 检测信号、各种指令、各种数据等，在对RAM43内的各种数据等进行处 理之后，经由P—CON44向驱动部46等输出各种控制信号，从而对液滴 喷出装置IO整体进行控制。例如，CPU41对液滴喷头50、工件移动机构 20以及喷头移动机构30进行控制，使液滴喷头50和母基板W对置配置， 并且与液滴喷头50和母基板W之间的相对移动同步，从各液滴喷头50的多个喷嘴52将液状体作为液滴向母基板W喷出进行描绘。这种情况下， 将与母基板W向X轴方向的移动同步地喷出液状体称作主扫描，将使搭 载有多个液滴喷头50的喷头单元9在Y轴方向移动称作副扫描。本实施 方式的液滴喷出装置10通过对主扫描和副扫描进行组合并重复多次从而 能够对液状体进行喷出描绘。主扫描并非限于母基板W相对液滴喷头50 向一个方向的移动，还能够使母基板W往返来进行。
另外，CPU41对喷头移动机构30进行驱动而使移动台33在Y轴方 向移动，使所搭载的相机15与母基板W对置。并且，对滴落母基板W的 表面的液滴的状态进行观察同时摄像。相对母基板W来移动相机15而观 察到的位置信息，作为由上位计算机11生成的观察坐标被预先输入到 RAM43。图像处理部49经由P—CON44与上位计算机11连接。上位计 算机11能够将相机15所摄像并由图像处理部49变换后的图像信息显示 在显示部13上，操作者便能够确认液滴的滴落状态。
,图像处理部49将所摄像的液滴的滴落状态变换成位图数据。CPU41 根据该位图数据运算液滴的滴落位置偏移量或滴落直径。运算结果被写入 RAM43。并且几乎同时作为喷嘴信息向上位计算机11送出并保存在存储 部14中。在喷嘴52产生堵塞而未喷出液滴的情况下，也同样进行图像识 别，并作为喷嘴信息保存在存储部14中。详细情况后述。
接着，参照图6、图7针对液滴喷头的喷出控制方法进行说明。图6 为表示喷出控制的详细情况的框图。如图6所示，控制部4除CPU41、 ROM42、 RAM43、 P—CON44、总线45之夕卜，还具备生成驱动信号(COM) 的驱动信号生成电路71、生成时钟信号(CK)的产生电路72。喷头驱动 器48具备移位寄存器73、锁存电路74、电平移动器75、和开关76, 构成为能够向与液滴喷头50的各喷嘴52对应的振动器59选择性地施加 驱动信号(COM)。
上位计算机11将表示描绘对象面中的液滴的配置的控制数据作为喷 嘴52的配置信息向控制部4传送。配置信息包含多个喷嘴52相对母基板 W的相对喷出位置、喷出液滴的喷嘴52的选择、液滴的喷出次数、和喷 出液滴时的驱动条件。并且，控制部4基于这些控制数据，以每个喷嘴列 为单位按照以下方式生成喷嘴数据信号(SI)或驱动信号(COM)。 艮卩，CPU41对控制数据进行解码并生成含有每个喷嘴52的ON/OFF 信息的喷嘴数据。并且，驱动信号生成电路71基于CPU41算出的喷嘴数 据进行驱动信号(COM)的设置以及生成。
对喷嘴数据进行串行信号化后的喷嘴数据信号(SI)与时钟信号(CK) 同步地被传送给移位寄存器73，并分别存储每个喷嘴52的ON/OFF信息。 并且，通过将由CPU41所生成的锁存信号(LAT)输入各锁存电路74， 从而对喷嘴数据进行锁存。被锁存的喷嘴数据通过电平移动器75进行放 大，当喷嘴数据为"ON"时，将规定的电压提供给开关76。并且，当喷 嘴数据为"OFF"时，不进行向开关76的电压供给。
这样，在将由电平移位器75进行升压后的电压提供给开关76期间， 向振动器59施加驱动信号(COM)，液滴D从喷嘴52喷出(参照图3)。
这样的喷出控制是与喷头单元9和母基板W之间的相对移动(主扫 描)同步地如图7所示那样周期性地进行。
图7为表示喷出控制的控制信号的图。如图7所示，驱动信号(COM) 构成为用中间电位204将具有放电脉冲201、充电脉冲202、放电脉冲 203的一连串的脉冲组200—1、 200—2…连接的结构。并且，通过一个脉 冲组按照如下这样喷出一个液滴。
艮P，通过放电脉冲201使电位电平上升，并且将液状体引入空腔55 内(参照图3 (b))。接着，通过急剧的充电脉冲202对空腔55内的液状 体急剧加压，将液状体从喷嘴52挤出并进行液滴化(喷出)。最后，通过 放电脉冲203使降下的电位电平返回到中间电位204，并且取消由充电脉 冲202所产生的空腔55内的压力振动(固有振动)。
驱动信号(COM)中的电压成分Vc、 Vh或时间成分(脉冲的倾斜度 或脉冲间的连接间隔等)等，是与喷出量或喷出稳定性等密切相关的参数， 需要预先进行适当的设计。这种情况下，锁存信号(LAT)的周期，在考 虑液滴喷头50的固有频率特性之后设定为20kHz。并且，将主扫描中的 液滴喷头50与母基板W之间的相对移动速度(这种情况下，使放置工作 台5在X轴方向移动的移动速度)设定为200mm/秒。因此，如果将喷出 分解能力设为用相对移动速度来除锁存周期而获得，则喷出分解能力的单 位变成10jam。即，能够以喷出分解能力为单位对每个喷嘴52设定喷出时
刻。换言之，能够在母基板W的表面上以10pm为单位的喷出间隔配置液 滴D。另外，如果对锁存脉冲的产生时刻以移动台22所具备编码器(省 略图示)所输出的脉冲为基准，则还能够以移动分解能力为单位控制喷出 时刻。
通过采用这样的液滴喷出装置10，能够对液滴喷头50的每个喷嘴52 改变喷出量、喷出时刻并将液状体作为液滴喷出。例如，在即使通过维修 机构对液滴喷头50进行维修也会产生不能恢复的飞行弯曲的喷嘴52的情 况下，通过改变对该喷嘴52的喷出控制的方法，从而能够对因飞行弯曲 而导致的滴落位置的偏移进行修正。
并且，由于通过上位计算机11对像素观察系统2与液滴喷出装置10 统一控制，因此，在喷嘴信息中包含作为不良喷嘴的堵塞喷嘴、滴落位置 偏移喷嘴、喷出量异常喷嘴的情况下，还可不选择这些会产生喷出不良情 况的不良喷嘴，而选择其它正常的喷嘴使液状体喷出。
因此，这样的描绘系统1借助喷头移动机构30使喷头单元9与母基 板W对置，能够与工件移动机构20的主扫描同步，从喷头单元9所具备 的合计6个液滴喷头50以较高的位置精度将所需量的液状体作为液滴进 行喷出。
接着，针对采用了本实施方式的描绘系统1的滤色器的制造方法进行 说明。首先，针对具有滤色器的电光学装置的液晶显示装置简单进行说明。 图8为表示液晶显示装置的构造的概略分解立体图。
如图8所示，液晶显示装置500具备TFT (Thin Film Transistor)透 射型液晶显示面板520、和对液晶显示面板520进行照明的照明装置516。 液晶显示面板520具备包括具有着色层的滤色器505的对置基板501、 具有三个端子中的一个与像素电极510连接的TFT元件511的元件基板 508、由对置基板501和元件基板508夹持的液晶(省略图示)。并且，在 处于液晶显示面板520的外面侧的对置基板501与元件基板508的表面， 配置有使透射的光偏转的上偏光板514和下偏光板515。
对置基板501由透明的玻璃等材料构成，具备将在夹持液晶的表面 侧作为多个像素区域的着色区域划分为矩阵状的作为隔壁部的围堰504、 和在被划分的多个着色区域的RGB三色着色层505R、 505G、 505B。围
堰504由下层围堰502和上层围堰503构成，其中，下层围堰502由Cr 等具有遮光性的金属或者其氧化膜组成，被称作黑矩阵，上层围堰503由 在下层围堰502上(在图中向下)形成的有机化合物构成。并且，对置基 板501具备将围堰504和由围堰504划分的着色层505R、 505G、 505B 覆盖的作为平坦化层的覆盖涂层(OC层)506、和按照将OC层506覆盖 的方式形成的ITO (Indium Tin Oxide)等透明导电膜构成的对置电极507。 滤色器505利用后述的滤色器的制造方法制造。
元件基板508由相同的透明玻璃等材料构成，具备在夹持液晶的表 明侧隔着绝缘膜509形成矩阵状的像素电极510、与像素电极510对应形 成的多个TFT元件511。 TFT元件511的三个端子中没有与像素电极510 连接的另外两个端子，在相互绝缘的状态下与按照包围像素电极510的方 式配置成栅格状的扫描线512和数据线513连接。
照明装置516采用白色的LED、 EL、冷阴极管作为光源，只要具备 能够将来自这些光源的光向液晶显示面板520射出的导光板或散射板、反 射板等结构即可。
另外，在夹持液晶的对置基板501和元件基板508的表面，分别形成 用于使液晶分子排列在一个方向上的取向膜，但省略图示。并且，上偏光 板514和下偏光板515也可以组合有以改善视角依赖性为目的而采用的相 位差薄膜等光学功能性薄膜。液晶显示面板520作为有源元件并非限于 TFT元件，也可以具有TFD (Thin Film Diode)元件，进一步只要在至少 一方基板上具备滤色器，则可以是按照构成像素的电极相互交差的方式配 置的无源(passive)型液晶显示装置。
上述液晶显示装置500按照将夹持液晶而接合的结构体在规定的位置 切断并取出的方式制造，夹持液晶的双方为将具备滤色器505的对置基板 501以矩阵状划分为多个区域而形成的母基板、和同样将元件基板508以 矩阵状划分为多个区域而形成的母基板。
(滤色器的制造方法)
图9 (a) (e)是表示滤色器的制造工序的概略剖面图。具有上述 这样的三色着色层505R、 505G、 505B的滤色器505的制造方法包括在
对置基板501的表面形成围堰504的工序、对由围堰504划分的着色区域 A进行表面处理的工序。并且包括在采用描绘系统1进行表面处理后的 着色区域A将包含着色层形成材料的三种(三色)液状体作为液滴D进 行喷出描绘的描绘工序、和使所描绘的液状体干燥来形成着色层505R、 505G、 505B的作为固化工序的成膜工序。进而，还包括按照将围堰504 和着色层505R、 505G、 505B覆盖的方式形成OC层506的工序、和按照 将OC层506进行覆盖的方式形成由ITO构成的透明的对置电极507的工 序。
在形成围堰504的工序中，如图9 (a)所示，首先，在对置基板501 上形成作为黑矩阵的下层围堰502。下层围堰502的材料，可以采用例如 Cr、 Ni、 Al等不透明金属或者这些金属氧化物等的化合物。作为下层围堰 502的形成方法，采用蒸镀法或者溅射法在对置基板501上形成由上述材 料构成的膜。膜厚只要根据所选定的材料来设定能保持遮光性的膜厚即 可。例如，如果是Cr，则优选100 200nm。并且，通过光刻法用抗蚀剂 将与开口部502a (参照图8)对应的部分以外的膜表面覆盖，采用与上述 材料对应的酸等蚀刻液对膜进行蚀刻。这样便形成具有开口部502a的下 层围堰502。
接着，在下层围堰502上形成上层围堰503。作为上层围堰503的材 料，可以采用丙烯系感光性树脂材料。并且，感光性树脂材料优选具有遮 光性。作为上层围堰503的形成方法，优选采用辊涂(rolll coat)法或旋 涂法在例如形成了下层围堰502的对置基板501的表面涂敷感光性树脂材 料，使之干燥并形成厚度大约2pm的感光性树脂层。并且，列举如下方 法，即通过使以与着色区域A对应的大小设置了开口部的掩模在规定的位 置与对置基板501对置、并对其进行曝光/显影，从而形成上层围堰503。 这样，便在对置基板501上形成将多个着色区域A划分为矩阵状的围堰 504。然后进入到表面处理工序。
在表面处理工序中，进行将02作为处理气体的等离子处理和将氟气 作为处理气体的等离子处理。即，对着色区域A进行亲液处理，随后对由 感光性树脂构成的上层围堰503的表面(包含壁面)进行疏液处理。然后， 进入到描绘工序。 在描绘工序中，如图9 (b)所示，在被表面处理后的各着色区域A， 分别将对应的液状体80R、 80G、 80B作为液滴D进行喷出描绘。液状体 80R包含R (红色)的着色层形成材料，液状体80G包含G (绿色)的着 色层形成材料，液状体80B包含B (蓝色)的着色层形成材料。在液滴喷 出装置10的液滴喷头50中填充各液状体80R、 80G、 80B。然后，基本上 与基于作为像素区域的着色区域A所涉及的喷嘴52的配置信息使喷头单 元9与母基板W相对移动的主扫描同步，将各液状体80R、 80G、 80B从 各液滴喷头50向着色区域A喷出。各液状体80R、 80G、 80B，根据着色 区域A的面积赋予所需量。
接着，在成膜工序中，如图9 (c)所示，对所喷出描绘的各液状体 80R、 80G、 80B—并进行干燥，除去溶剂成分后将各着色层505R、 505G、 505B成膜。作为干燥方法，优选可均匀干燥溶剂成分的减压干燥等方法。 然后，进入到OC层形成工序。
在OC层形成工序中，如图9(d)所示，按照将各着色层505R、 505G、 505B与上层围堰503覆盖的方式形成OC层506。作为OC层506的材料， 可以采用透明的丙烯系树脂材料。作为形成方法，列举旋涂、胶版(offset) 印刷等方法。OC层506被设置为用于对形成了着色层505R、 505G、 505B 的对置基板501的表面的凹凸进行缓和，之后对膜贴在其表面的对置电极 507进行平坦化。并且，为了确保与对置电极507之间的密接性，也可以 在OC层506上进一步形成Si02等薄膜。然后，进入到透明电极形成工序。
在透明电极形成工序中，如图9 (e)所示，采用溅射法或蒸镀法在真 空中形成ITO等透明电极材料，按照将OC层506覆盖的方式在整个面形 成对置电极507。
在上述描绘工序中，采用描绘系统l，几乎同时喷出描绘三种不同的 液状体80R、 80G、 80B。在这样的描绘方法中，实现将所需量的液状体稳 定地向对应的着色区域A喷出。例如，如果喷嘴52的堵塞或喷出的液滴 D的喷出量变动，则在着色区域A变成喷出不均。如果从喷嘴52喷出的 液滴D因飞行弯曲而导致没有滴落到本来应滴落的着色区域A，而滴落到 应赋予其它不同液状体的着色区域A，则不同种类的液状体彼此混合而产 生所谓的混色。另外，这些喷出不良情况会影响滤色器505的制造中的成
品率。并且，在液晶显示装置500中，具有喷出不均或混色的着色层505R、 505G、 505B的像素成为颜色不均等不良像素。从而，必须极力防止这些 喷出不良情况的发生。
在每个喷头单元9中，配置两个填充了同种(同色)液状体的液滴喷 头50，从合计360个喷嘴52喷出同种液状体的液滴D。由于每次产生液 滴D的喷出不良情况时，都通过维修机构实施各液滴喷头50的维修，因 此难以停止母基板W的流动从而提高滤色器505的制造中的生产性。本 发明的液状体的描绘方法，就是考虑这样的问题而发明的。
(液状体的描绘方法) 关于本实施方式的液状体的描绘方法，基于图10 图14进行说明。 图IO为表示液状体的描绘方法的流程图。如图10所示，本实施方式的液 状体的描绘方法，包括对从多个喷嘴52喷出的液滴D的滴落状态进行检 查的工序(步骤S1)。包括将在滴落状态检查工序中得到的检查结果作 为喷嘴信息写入存储部14的工序(步骤S2)、和生成与喷嘴信息中包含的 不良喷嘴对应的像素列表的工序(步骤S3)。还包括根据所生成的像素 列表生成观察坐标的工序(步骤S4)、基于喷嘴52的配置信息向母基板 W喷出描绘液状体的工序(步骤S5)、和对所喷出描绘的像素进行观察的 工序(步骤S6)。包括根据像素的观察结果判断是否为不良像素的工序 (步骤S7)、和检测到不良象素时对配置信息进行修正的修正工序(步骤 S8)。
图11 (a) (d)是说明滴落状态检查工序的概略图。图10的滴落 状态检查工序(步骤Sl)中，如图11 (a)所示，在液滴喷出装置10的 放置工作台5 (参照图2)上载置记录纸18作为滴落观察用被喷出物。同 种(同色)液状体的液滴D按照从各液滴喷头50的喷嘴52沿Y轴方向 滴落在假设的直线上的方式喷出。具体来说，控制部4使喷头单元9与放 置工作台5相对移动，在主扫描方向(X轴方向)上，通过改变各喷嘴列 52a的喷出时刻从而使之滴落在直线上。然后，利用相机15对滴落在记录 纸18上的液滴D的滴落状态进行观察。例如，如果在从喷出红色(R) 的液状体80R的喷嘴列1A和喷嘴列1B中喷出液滴D且喷出状态不存在
不良情况，则液滴D会滴落在直线上。并且，如果液滴D的喷出量在各
喷嘴52中是基本同等的，则滴落的各液滴D的滴落直径几乎相同。
如图ll (b)所示，例如，如果喷嘴列1A的某个喷嘴52产生堵塞， 则液滴D不会喷出。SP，由于液滴D空着间隙滴落在记录纸18上，因此 能够对堵塞喷嘴进行检测(确定)。
如图11 (c)所示，例如，在喷嘴列1A和喷嘴列1B中，如果是在主 扫描方向产生飞行弯曲的喷嘴52，则所喷出的液滴D滴落在从直线上偏 离的位置。通过对这样的滴落状态进行摄像并进行图像处理，则CPU41 能够对偏移量AX1、 AX2进行运算并检测(确定)滴落位置偏移喷嘴。当 然，滴落位置并非限于X轴方向(主扫描方向)，也可以斜向偏移。从而， 偏移量分为X轴方向的偏移量和Y轴方向的偏移量计算。并且，从产生 飞行弯曲的喷嘴52喷出的液滴D的滴落位置偏移，根据液滴喷头50 (多 个喷嘴52)与被喷出物之间的相对移动方向在偏移量上也会改变。因此， 使记录纸18在主扫描方向上相对搭载了液滴喷头50的喷头单元9往复运 动，液滴按照往动和复动分别在不同的直线上滴落的方式喷出并观察滴落 状态。
如图11 (d)所示，例如，如果喷嘴列1A中存在喷出量过多的喷嘴 52，则滴落直径D1过大。如果在喷嘴列1B中存在喷出量过少的喷嘴52， 则滴落直径D2过小。通过对这样的滴落状态进行摄像并进行图像处理， 便能够对喷出量异常喷嘴进行检测(确定)。另外，当滴落直径极小时， 确定为堵塞喷嘴。然后，进入到步骤S2。
在图10的步骤S2中，上位计算机11将在步骤S1中得到的作为不良 喷嘴的堵塞喷嘴、滴落位置偏移、喷出量异常喷嘴的信息作为喷嘴信息写 入存储部14。然后，进入到步骤S3。
在图10的步骤S3中，上位计算机ll读入保存在存储部14中的喷嘴 信息，从而通过主扫描生成与不良喷嘴相关的像素列表(换言之着色区域 A的列表)。然后，进入到步骤S4。
在图10的步骤S4中，上位计算机11基于喷嘴信息、喷嘴52的配置 信息和由步骤S3所得到的像素列表，至少生成在涉及不良喷嘴的着色区 域A上加上其周边的着色区域A后的坐标作为观察坐标。当然，如果没
有检测到不良喷嘴，则生成与主扫描中的各喷嘴列52a的配置对应的默认 的观察坐标。然后，迸入到步骤S5。
在图10的步骤S5中，在液滴喷出装置10中配置母基板W，使母基 板W与喷头单元9相对移动，并从各液滴喷头50向多个着色区域A喷出 各液状体80R、 80G、 80B作为液滴D。
图12为表示像素区域的液滴配置的一例的概略俯视图。详细来说， 该图(a)为表示主扫描中的往动时的液滴配置的概略俯视图，该图(b) 表示主扫描中的复动时的液滴配置的概略俯视图。
如图12 (a)所示，例如，在使喷头单元9与母基板W在主扫描方向 (X轴方向)相对移动期间喷出液滴D，使之滴落到通过围堰504划分的 作为像素区域的着色区域A。这种情况下，往动时，在喷出红色(R)液 状体80R的喷嘴列1A的喷嘴Nl 喷嘴N3所涉及的着色区域A，分别进 行三次喷出，使之滴落9滴液滴D。在喷嘴N4 N6中也同样。并且，如 图12 (b)所示，在复动时，按照滴落在先前滴落的液滴D之间的方式对 喷头单元9进行副扫描而使喷嘴列1A的位置偏移，从涉及着色区域A的 喷嘴N1和喷嘴N2分别进行三次喷出，进而使之滴落6滴液滴D。这样， 在着色区域A进行两次主扫描使之滴落合计15滴液滴D。在其它不同颜 色(G、 B)的着色区域A也同样。着色区域A所涉及的喷嘴52的数量， 当然会因着色区域A的大小和母基板W上的配置、喷嘴52的喷嘴间距或 喷嘴列52a相对着色区域A的相对位置而不同。
图12 (a)以及(b)表示液滴D的配置，而不是表示实际的滴落状 态。换言之，表示主扫描的往动和复动中的每个着色区域A的喷嘴52的 配置。
图13 (a)为表示喷嘴的配置信息的表，该图(b)是表示喷嘴信息的 表。如图12 (a)以及(b)所示的液滴D的配置，基于如图13 (a)所示 的喷嘴52的配置信息。配置信息包括着色区域A的像素No、喷嘴No、 喷嘴选择("1"选择、"0"非选择)、喷出次数、驱动电压、喷出时刻的 信息。并且，将配置信息分为往动的扫描1和复动的扫描2。这种情况下, 这样的配置信息是按照每个液状体80R、 80G、 80B，即按照每种颜色预先 生成的。驱动电压在如图7所示的Vc、 Vh的电压设定为标准时设为"l"。通过改变电压设定从而液滴D的喷出量产生改变，因此使不同的电压设定 的大小与其它数值联系起来。对喷出时刻将标准值设为"1"，将分为超前 情况和延迟情况的不同喷出时刻的设定与其它数值联系起来。
例如，像素No.为lR的着色区域A所涉及的喷嘴No为"3"的喷嘴 52，在往动的扫描l时被选择，以标准的驱动电压和喷出时刻进行三次喷 出。在复动的扫描2中，如图12 (b)所示，由于围堰504中涉及喷嘴52，
因此没有选择。
如图13 (b)所示，这种情况下，喷嘴信息包含喷嘴52的堵塞、滴落 位置(偏移量)、滴落直径的信息。这些信息是通过之前的步骤Sl获得的， 并被存储在存储部14中。例如，输入堵塞的有无，"1"为有，"0"为无。 滴落位置被区分为X轴方向和Y轴方向的偏移量，并且在相对扫描方向 沿相同方向偏移时输入"+ "，沿相反方向偏移时输入"一"。这时，以喷 出分解能力为单位(10nm)输入偏移量。从而，例如表示喷嘴No为"3" 的喷嘴52所喷出的液滴D在扫描方向偏移40pm滴落。表示喷嘴No为"6" 的喷嘴52所喷出的液滴D在与扫描方向相反的方向偏移2(Hxm滴落。
这种情况下，滴落直径将以规定的喷出量喷出液滴D的情况作为标 准，分为相对标准量为过大和过小的两种大小。这样便与使喷出量改变的 之前的驱动电压的设定电平联系起来。因此，也并非限于过大和过小两种 大小，进一步也可以使设定电平增减。将符合的情况作为"1"，不符合的 情况作为"0"。从而，都是"0"时，表示标准的滴落直径。
即使根据这样的喷嘴52的配置信息进行液状体的喷出描绘，在产生 喷出不良情况的喷嘴52所涉及的着色区域A的像素中，也未必产生颜色 不均或混色的不良像素。作为其理由，考虑有例如因母基板W的伸缩或 围堰504的形成位置精度而导致着色区域A的位置精度产生偏差。并且， 尤其在滤色器的制造中，由于视觉灵敏度因每种颜色而不同，因此存在颜 色不均或混色显著的像素(颜色)。在图10的步骤S6中，通过对实际被 喷出描绘了各液状体80R、 80G、 80B的母基板W进行观察，从而能够确 切地检测不良像素、进而确定不良喷嘴。
图14为表示像素区域的观察方法的概略俯视图。如图14所示，例如， 在母基板W上，将一个液晶显示装置500中的滤色器505的配置区域作
为一个芯片区域，将9个芯片区域C1 C9配置成矩阵状。在各芯片区域 C1 C9中在Y轴方向将同色的着色区域A排列成矩阵状。这种情况下， 作为对作为母基板W的像素区域的着色区域A进行观察的方法，上位计 算机11除生成默认的观察坐标之外，还追加生成产生喷出不良情况的不 良喷嘴的信息、和基于该配置信息的观察坐标。观察坐标、即观察区域， 是按每个芯片区域C1 C9而设置的。
上位计算机11向控制部4发送控制信号，使移动台33和母基板W相 对移动，使相机15向每个芯片区域C1 C9的观察区域移动。这时，从芯 片区域C1开始，以芯片区域C2、 C3、 C6、 C5、 C4的顺序观察默认的观 察区域。然后，观察在芯片区域C4、 C5、 C6中追加的观察区域，接着， 以芯片区域C9、 C8、 C7的顺序观察默认的观察区域，结束一连串的像素 观察工序。
另外，观察的方法并非限定于此，在没有不良喷嘴的信息的情况下， 只要对至少进行一次主扫描的多个喷嘴52所涉及的三色着色区域A进行 观察即可。并且，在存在不良喷嘴的信息的情况下，由于因不良喷嘴而引 起形成不良像素(着色层)的概率很高，因此只要观察基于芯片区域C4、 C5、 C6的不良喷嘴的信息而追加的观察区域即可。按照这样，可有效率 且有效果地进行观察。观察扫描线路只要设定基于观察区域的设定能够有 效率地进行观察的线路即可。然后，进入到步骤S7。
在图10的步骤S7中，判定各芯片区域C1 C9的观察区域是否存在 不良像素。如果存在颜色不均或混色的不良像素，则不良像素的坐标根据 观察坐标而确定。然后，进入到步骤S8。
在图10的步骤S8中，根据不良像素的信息(不良的内容、坐标)对 不良像素所涉及的喷嘴52迸行确定，将其作为不良喷嘴对配置信息进行 修正。
作为喷嘴52的配置信息的修正方法，有不选择不良喷嘴，而选择其 它正常的喷嘴52，按照将不足的液滴D喷出的方式进行修正的方法。并 且，有在因滴落位置偏移而产生混色的情况下，按照使从不良喷嘴喷出的 液滴D的滴落位置滴落到原本的位置的方式，改变驱动条件中的喷出时刻 的方法。列举在因滴落直径过大或过小的喷出量异常喷嘴而产生颜色不均 的情况下，改变驱动条件中的驱动电压的设定的方法。进而，在一个着色 区域A中涉及喷出不良情况的内容不同的多个不良喷嘴的情况下，也可以 将这些方法组合采用。这样的修正采用上述计算机11并利用保存在存储
部14中的喷嘴信息和配置信息进行。
在确定出新的不良喷嘴的情况下，返回步骤S2对喷嘴信息进行更新。 因此，步骤S2还能实现作为喷嘴信息更新工序的功能。
采用这样的液状体的描绘方法，即使对所有作为像素区域的着色区域 A进行观察，通过基于上位计算机11所生成的观察坐标(观察区域)进 行观察，从而也能够早期发现不良像素，对不良喷嘴进行确定并确切地对 喷出描绘所采用的喷嘴52的配置信息进行修正。
上述第一实施方式的效果如下。
(1) 上述第一实施方式的像素观察系统2，通过相机15对在记录纸 18上分为往动和复动喷出的液滴D的滴落状态进行观察/摄像，并对作为 不良喷嘴的堵塞喷嘴、滴落位置偏移喷嘴、喷出量异常喷嘴进行确定。将 这些不良喷嘴的信息作为喷嘴信息保存在存储部14中。上位计算机11基 于该喷嘴信息与实际上向母基板W喷出描绘液状体时的喷嘴52的配置信 息，在默认的观察坐标中加上涉及不良喷嘴的像素区域(着色区域A)的 坐标生成观察坐标。基于该观察坐标，对采用相机15实际喷出描绘的母 基板W进行观察/摄像。由于因产生喷出不良情况的不良喷嘴而引起产生 不良像素的概率很高，因此与对所有的像素区域进行观察的情况相比，能 够早期发现不良像素。
(2) 上述实施方式的描绘系统1具备上述像素观察系统2和上述 液滴喷出装置10、对这些系统以及装置进行统一控制的上位计算机11， 因此能够早期发现不良像素，对喷嘴52的配置信息确切地进行修正，能 够按母基板W的每个像素区域(着色区域A)将所需量的液状体作为液 滴进行喷出描绘。即，能够反映喷嘴信息并有效率且有效果地喷出描绘液 状体。
(3) 上述第一实施方式的液状体的描绘方法，采用具备上述像素观 察系统2的上述描绘系统，由滴落状态检查工序获得喷嘴信息。在观察工 序中，对位于基于喷嘴信息和配置信息所生成的观察坐标的像素区域(着
色区域A)进行观察，并获得不良像素(不良着色层)的信息。在修正工
序中，根据所得到的不良像素的信息重新对不良喷嘴进行确定并修正配置 信息。并且，基于所确定后的不良喷嘴的信息对喷嘴信息进行更新。因此， 能够早期发现不良像素降低因喷出不良情况而导致的不良像素的产生，按
每个像素区域(着色区域A)喷出描绘所需量的液状体作为液滴。
(4)上述第一实施方式的滤色器的制造方法，由于采用上述液状体 的描绘方法，因此能够早期发现不良像素，降低因喷出不良情况而导致的 不良像素的产生，将所需量的液状体80R、 80G、 80B作为液滴D向对应 的每个着色区域A喷出。因此，在成膜工序中得到具有大约一定膜厚的着 色层505R、 505G、 505B。并且，能够高成品率地制造降低了颜色不均或 混色的滤色器505。如果采用具备该滤色器505的对置基板501，能够得 到具有所希望的光学特性的液晶显示装置500。
(第二实施方式)
接着，作为应用了第一实施方式的描绘系统和液状体的描绘方法的其 它实施方式，针对具有发光层的有机EL元件的制造方法进行说明。
首先，针对具有有机EL元件的有机EL显示装置进行说明。图15为 表示有机EL显示装置的要部结构的概略剖面图。如图15所示，有机EL 显示装置600具备具有作为有机EL元件的发光元件部603的元件基板 601、与元件基板601隔着空间622被封住的密封基板620。并且，元件基 板601在其上具备电路元件部602，发光元件部603在电路元件部602上 重叠形成，由电路元件部602驱动。在发光元件部603上，在作为像素区 域的发光层形成区域A中形成三色发光层617R、 617G、 617B，成为条纹 状。元件基板601将与三色发光层617R、 617G、 617B对应的三个发光层 形成区域A作为一组象素，将该像素矩阵状配置在元件基板601的电路元 件部602上。有机EL显示装置600将来自发光元件部603的发光向元件 基板601侧射出。
密封基板620由玻璃或金属构成，经由密封树脂结合在元件基板601 上，在被密封的内侧的表面上贴附有收气(getter)剂621。收气剂621吸 收浸入元件基板601与密封基板620之间的空间622的水或者氧，防止发
光元件部603因浸入的水或者氧而劣化。另外，也可以省略该收气剂621。 元件基板601在电路元件部602上具有作为多个像素区域的发光层形 成区域A，具备对多个发光层形成区域A进行划分的隔壁部618、和在 多个发光层形成区域A形成的电极613、和层叠在电极613上的空穴注入 /输送层617a。并且，具备发光元件部603，其具有在多个发光层形成区域 A内赋予含有发光层形成材料的三种液状体而形成的发光层617R、 617G、 617B。隔壁部618由对下层围堰618a和发光层形成区域A进行实质划分 的上层围堰618b构成，下层围堰618a按照向发光成形成区域A的内侧突 出的方式设置，为了防止电极613与各发光层617R、 617G、 617B直接接
触而电短路，因此采用Si02等无机绝缘材料形成。
元件基板601由例如玻璃等透明基板组成，在元件基板601上形成有 由硅氧化膜构成的基底保护膜606，在该基底保护膜606上形成有由多晶 硅构成的岛状半导体膜607。在半导体膜607上，通过高浓度P离子注入 而形成有源区域607a以及漏区域607b。另外，未导入P离子的部分成为 沟道区域607c。进而，形成将基底保护膜606以及半导体膜607覆盖的透 明栅绝缘膜608，在栅绝缘膜608上形成由Al、 Mo、 Ta、 Ti、 W等构成 的栅电极609，在栅电极609以及栅绝缘膜608上形成透明的第一层间绝 缘膜611a和第二层间绝缘膜611b。栅电极609被设置在与半导体膜607 的沟道区域607c对应的位置。并且，贯通第一层间绝缘膜611a和第二层 间绝缘膜611b形成有分别与半导体膜607的源区域607a、漏区域607b连 接的接触孔(contact hole) 612a、 612b。并且，在第二层间绝缘膜611b 上，将由ITO (Indium Tin Oxide)等构成的透明电极613图案形成为规定 形状并配置(电极形成工序)， 一方的接触孔612a与该电极613连接。并 且，另一方的接触孔612b与电源线614连接。这样，在电路元件部602 形成与各电极613连接的驱动用的薄膜晶体管615。另外，在电路元件部 602中，还形成保持电容器和开关用的薄膜晶体管，但在图15中省略其图
不o
发光元件部603具备作为阳极的电极613、在电极613上依次层叠 的空穴注入/输送层617a、各发光层617R、 617G、 617B (总称为发光层 Lu)、和按照将上层围堰618b以及发光层Lu覆盖的方式层叠的阴极604。
由空穴注入/输送层617a和发光层Lu构成激励发光的功能层617。另夕卜， 如果由透明的材料构成阴极604和密封基板620以及收气剂621，便能够 从密封基板620侧将发出的光射出。
有机EL显示装置600具有与栅电极609连接的扫描线(省略图示) 和与源区域607a连接的信号线(省略图示)，如果借助向扫描线传递的扫 描信号使开关用的薄膜晶体管(省略图示)导通，则此时的信号线的电位 被保持在保持电容中，根据该保持电容的状态，确定驱动用的薄膜晶体管 615的导通/截止状态。然后，电流经由驱动用的薄膜晶体管615的沟道区 域607c从电源线614向电极613流动，进而经由空穴注入/输送层617a和 发光层Ln电流向阴极604流动。发光层Lu根据其中流动的电流量而发光。 有机EL显示装置600采用这样的发光元件部603的发光机理便能够显示 所希望的文字或图像等。
(有机EL元件的制造方法)
接着，针对作为本实施方式的有机EL元件的发光元件部的制造方法 基于图16进行说明。图16 (a) (f)为表示发光元件部的制造方法的 概略剖面图。在图16 (a) (f)中，对形成在元件基板601上的电路元 件602省略图示。
本实施方式的发光元件部603的制造方法包括在元件基板601的与 多个发光层形成区域A所对应的位置形成电极613的工序；和以一部分与 电极613对应的方式形成下层围堰618a，进而在下层618a上按照对发光 层形成区域A进行实质划分的方式形成上层围堰618b的隔壁部形成工序。 另外，包括执行由上层围堰618b所划分的发光层形成区域A的表面处 理的工序；向被表面处理后的发光层形成区域A赋予包含空穴注入/输送 层形成材料的液状体而喷出描绘空穴注入/输送层617a的工序；和使所喷 出的液状体干燥而形成空穴注入/输送层617a的工序。另外，包括执行 形成空穴注入/输送层617a的发光层形成区域A的表面处理的工序；在被 表面处理后的发光层形成区域A喷出描绘包含发光层形成材料的三种液 状体的描绘工序；和使所喷出的三种液状体干燥而形成发光层Lu的固化 工序。进而，按照将上层围堰618b和发光层Lu覆盖的方式形成阴极604 的工序。在电极(阳极)形成工序中，如图16 (a)所示，在已形成电路元件 部602的元件基板601的与发光层形成区域A对应的位置形成电极613。 作为形成方法，例如在元件基板601的表面采用ITO等透明电极材料在真 空中利用溅射法或蒸镀法形成透明电极膜。可列举之后采用光刻法按照仅 剩下所需要的部分的方式进行蚀刻形成电极613的方法。另外，用光致抗 蚀剂先覆盖元件基板601，然后按照使形成电极613的区域开口的方式进 行曝光/显影。并且，也可以是在开口部形成ITO等透明电极膜，并除去 残存的光致抗蚀剂的方法。然后，进入到隔壁部形成工序。
在隔壁部形成工序中，如图16 (b)所示，按照将元件基板601的多 个电极613的一部分覆盖的方式形成下层围堰618a。作为下层围堰618a 的材料，采用作为无机材料的绝缘性Si02 (氧化硅)。作为下层围堰618a 的形成方法，例如，与之后形成的发光层Lu对应，采用抗蚀剂等对各电 极613的表面进行屏蔽(masking)。另外，列举将屏蔽处理后的元件基板 601投入真空装置中，通过将Si02作为靶或者元件进行溅射或者真空蒸镀 处理，从而形成下层围堰618a的方法。抗蚀剂等的掩模在之后会剥离。 另夕卜，下层围堰618a是采用Si02形成的，因此如果其膜厚为200nm以下， 则具有足够的透明性，之后即使层叠空穴注入/输送层617a和发光层Lu， 也不会妨碍发光。
接着，按照对各发光成形成区域A进行实质划分的方式在下层围堰 618a上形成上层围堰618b。作为上层围堰618b的材料，优选相对包含后 述的发光层形成材料的三种液状体100R、 100G、 100B的溶剂具有耐久性 的材料，进而，通过将氟系气体作为处理气体的等离子处理便能够进行疏 液化处理，例如，优选丙烯酸树脂、环氧树脂、感光性聚酰亚胺等这样的 有机材料。作为上层围堰618b的形成方法，例如在形成了下层围堰618a 的元件基板601的表面采用辊涂法或旋涂法涂敷感光性的上述有机材料， 使之干燥后形成厚度大约2iim的感光性树脂层。另外，列举使以与发光 层形成区域A对应的大小设置开口部的掩模与元件基板601在规定的位置 对置后进行曝光/显影，从而形成上层围堰618b的方法。这样，便形成具 有下层围堰618a和上层围堰618b的隔壁部618。然后，进入到表面处理 工序。
在对发光层形成区域A进行表面处理的工序中，首先将02气体作为
处理气体对形成了隔壁部618的元件基板601的表面进行等离子处理。这 样使电极613的表面、下层围堰618a的突出部以及上层围堰618b的表面 (含壁面)活性化并进行亲液化处理。接着，将CF4等氟系气体作为处理 气体进行等离子处理。这样仅在由作为有机材料的感光性树脂构成的上层 围堰618b的表面氟系气体发生反应而被疏液处理。然后，向空穴注入/输 送层形成工序。
在空穴注入/输送层形成工序中，如图16 (c)所示，向发光层形成区 域A赋予含有空穴注入/输送层形成材料的液状体90。作为赋予液状体90 的方法，采用图2的液滴喷出装置10。从液滴喷头50喷出的液状体90， 作为液滴D滴落于元件基板601的电极613并润湿扩张。液状体90根据 发光层形成区域A的面积喷出需要量作为液滴D。然后，进入到干燥/成 膜工序。
在干燥/成膜工序中，采用例如灯退火(lamp anneal)等方法对元件基 板601进行加热，从而使液状体90的溶剂成分干燥并去除，在由电极613 的下层围堰618a划分的区域形成空穴注入/输送层617a。在本实施方式中， 作为空穴注入/输送层形成材料，采用PEDOT (Polyethylene Dioxy Thiophene:聚亚乙基二氧基噻吩)。另外，这时，虽然在各发光层形成区 域A形成由同一材料构成的空穴注入/输送层617a，但对应之后形成的发 光层Lu也可以按每个发光层形成区域A改变空穴注入/输送层617a的材 料。然后，进入到接下来的表面处理工序。
在接下来的表面处理工序中，在采用上述空穴注入/输送层形成材料形 成空穴注入/输送层617a时，由于其表面相对三种液状体IOOR、 IOOG、 100B具有疏液性，因此按照至少使发光层形成区域A内的区域内再次具 有亲液性的方式进行表面处理。作为表面处理的方法，涂敷三种液状体 IOOR、 IOOG、 100B中所采用的溶剂并干燥。作为溶剂的涂敷方法，列举 喷涂法(Spmy Coat)、旋涂法等方法。然后，进入到发光层Lu的描绘工 序。
在发光层Lu的描绘工序中，如图16 (d)所示，采用描绘系统1从 多个液滴喷头50向多个发光层形成区域A赋予含有发光层形成材料的三 种液状体100R、 100G、 100B。液状体100R含有形成发光层617R(红色) 的材料，液状体IOOG含有形成发光层617G (绿色)的材料，液状体100B 含有形成发光层617B (蓝色)的材料。向发光层形成区域A赋予各液状 体100R、 IOOG、 IOOB，是釆用上述第一实施方式的液状体的描绘方法进 行的。这种情况下，各液状体100R、 IOOG、 IOOB其自身的颜色识别是很 困难的。因此，作为用相机15观察液滴D的滴落状态的方法，采用放出 紫外线的照明装置。从而，由于滴落后的液滴D被紫外线激励而发光，因 此能够观察滴落状态并摄像。在滴落状态检查工序中获得多个喷嘴52的 喷嘴信息，并对位于基于该喷嘴信息和喷嘴52的配置信息所生成的坐标 位置的发光层形成区域A (像素区域)进行观察。判定是否为不良像素并 对配置信息进行修正。从而，降低喷出不良情况并向分别对应的发光层形 成区域A喷出描绘所需量的各液状体100R、 IOOG、 IOOB作为液滴D。然 后，进入到固化工序。
在固化工序中，如图16(e)所示，使喷出描绘的各液状体IOOR、 IOOG、 100B的溶剂成分干燥后去除，按照在各发光层形成区域A的空穴注入/输 送层617a层叠各发光层617R、 617G、 617B的方式进行成膜化。作为喷 出描绘各液状体100R、 IOOG、 100B的元件基板601的干燥方法，优选能 使溶剂的蒸发速度保持几乎恒定的减压干燥。然后，进入到阴极形成工序。
在阴极形成工序中，如图16 (f)所示，按照将元件基板610的各发 光层617R、617G、617B与上层围堰618b的表面覆盖的方式形成阴极604。 作为阴极604的材料，优选将Ca、 Ba、 Al等金属或LiF等氟化物组合采 用。尤其优选在与发光层617R、 617G、 617B近的一侧形成功函数小的 Ca、 Ba、 LiF的膜，在与发光层617R、 617G、 617B远的一侧形成功函数 大的A1等的膜。并且，也可以在阴极604上层叠SiO2、 SiN等保护层。 按照这样便能够防止阴极604的氧化。作为阴极604的形成方法，列举蒸 镀法、溅射法、CVD法等。尤其，在能够防止因发光层617R、 617G、 617B 的热量而产生的损伤这一点上，优选蒸镀法。
按照这样制造的元件基板601 ，向对应的发光层形成区域A赋予所需 量的液状体100R、 IOOG、 IOOB，具有成膜化后的膜厚几乎保持恒定的各 发光层617R、 617G、 617B。
上述第二实施方式的效果如下。
(1) 在上述第二实施方式的发光元件部603的制造方法中，在发光 层Lu的描绘工序中，采用上述第一实施方式的描绘系统1和液状体的描 绘方法，向元件基板601的发光成形成区域A喷出描绘各液状体IOOR、 IOOG、 100B作为液滴D。因此，能够成品率高且生产率高地制造具有成 膜化后的膜厚几乎保持恒定的各发光层617R、 617G、 617B的发光元件部 603。
(2) 如果采用通过上述第二实施方式的发光元件部603的制造方法 制造的元件基板601，则由于各发光层617R、 617G、 617B的膜厚几乎恒 定，因此每个发光层617R、 617G、 617B的电阻几乎成为恒定。从而，在 通过电路元件部602向发光元件部603施加驱动电压并使之发光时，会降 低因每个发光层617R、 617G、 617B的电阻不均而导致的发光不均或亮度 不均等。即，能够提供一种发光不均或亮度不均等少、具有外观良好的显 示品质的有机EL显示装置600。
以上，虽然针对本发明的实施方式作了说明，但对于上述实施方式， 在不脱离本发明的主旨范围内还可以加以各种变形。例如，上述实施方式 以外的变形例如下。 (变形例1)
在上述第一实施方式的描绘系统1中，像素观察系统2的结构并非限 定于此。例如，也可以是根据母基板W的大小、或芯片区域的面数设置 多台相机15的结构。这样，便能够更加迅速地进行观察。另外，也可以 是不在喷头移动机构30的移动台33中搭载相机15，而是以可在Y轴方 向移动的状态装备相机15。 (变形例2)
在上述第一实施方式的描绘系统l以及液状体的描绘方法中，在记录 纸18上滴落液滴D的方法，并非限于在放置工作台5上载置记录纸18的 方法。例如，也可以设置在Y轴方向载置记录纸18的其它工作台，使该 工作台可在X轴方向移动。因此，能够与向母基板W的喷出描绘并行地 使液滴D喷出记录纸18上。 (变形例3)
上述第一实施方式的液状体的描绘方法并非限定于此。例如，滴落状 态检査工序(步骤S1)，也可以不是在每次处理一块母基板W时实施。也
可以将多块母基板W作为一次制造Lot，在作业开始时或作业过程中、由 维修机构进行液滴喷头50的维修之后定期进行。能够使生产效率进一步 提高。
(变形例4)
在上述第一实施方式的滤色器的制造方法以及上述第二实施方式的 有机EL元件的制造方法中，着色区域A以及发光层形成区域A的配置， 并非限定于条纹方式。即使是三角方式、镶嵌方式的配置，也能够应用上 述第一实施方式的液状体的描绘方法。另外，并非限定于三色的着色层 505R、 505G、 505B，在RGB三色中添加其它颜色的多色滤色器的制造方 法中也能够应用。 (变形例5)
可应用上述第一实施方式的液状体的描绘方法的设备的制造方法，并 非限定于滤色器的制造方法、有机EL元件的制造方法。例如，在图8的 液晶显示装置500或图15的有机EL显示装置600中，关于按每个像素区 域形成的开关元件的制造方法或像素电极的制造方法也能够应用。
权利要求
1、一种像素观察系统，其对与基板和多个喷嘴的相对移动同步地从所述多个喷嘴向所述基板上的多个像素区域喷出含有功能性材料的液状体而形成的像素进行观察，该像素观察系统包括存储部，其至少存储表示所述多个喷嘴的所述液状体的喷出状态的喷嘴信息、和在所述相对移动中按每个所述像素区域所涉及的喷嘴的配置信息；坐标生成部，其基于所述喷嘴信息和所述配置信息，生成所述基板上的观察坐标；和观察部，其观察位于由所述坐标生成部生成的所述观察坐标处的所述像素区域；所述坐标生成部生成在至少一次所述相对移动中所述多个喷嘴所涉及的所述像素区域的坐标，作为所述观察坐标。
2、 根据权利要求1所述的像素观察系统，其特征在于， 在所述喷嘴信息包含产生喷出不良情况的不良喷嘴的信息的情况下，所述坐标生成部生成在所述不良喷嘴所涉及的所述像素区域上加上其周 边的所述像素区域后的坐标，作为所述观察坐标。
3、 根据权利要求1或2所述的像素观察系统，其特征在于， 所述不良喷嘴的信息包含堵塞喷嘴、滴落位置偏移喷嘴以及喷出量异常喷嘴中的至少一个。
4、 根据权利要求1 3中任一项所述的像素观察系统，其特征在于， 所述观察部包括摄像机构、和将通过所述摄像机构摄像的图像变换成图像信息的图像处理部。
5、 根据权利要求4所述的像素观察系统，其特征在于， 还包括喷嘴信息生成部，将所述液状体作为液滴从所述多个喷嘴向滴落观察用被喷出物上喷出，通过所述摄像机构对滴落的所述液滴进行摄 像，并基于通过所述图像处理部对所得到的图像进行变换后的图像信息来 生成所述喷嘴信息。
6、 根据权利要求5所述的像素观察系统，其特征在于， 所述滴落观察用被喷出物是记录纸。
7、 根据权利要求1 6中任一项所述的像素观察系统，其特征在于， 与所述基板和所述多个喷嘴的多次相对移动同步地喷出描绘所述液状体，所述存储部中存储按每次所述相对移动的所述配置信息。
8、 根据权利要求7所述的像素观察系统，其特征在于，所述存储部中分为所述相对移动的往动和复动来存储所述配置信息。
9、 一种描绘系统，包括液滴喷出装置，其将含有功能性材料的液状体作为液滴从多个喷嘴向 基板上的多个像素区域喷出；和权利要求1 8中任一项所述的像素观察系统。
10、 根据权利要求9所述的描绘系统，其特征在于， 还包括统一控制部，其对所述液滴喷出装置和所述像素观察系统进行统一控制，在通过所述像素观察系统得到了不良像素信息的情况下，所述统一控 制部基于所述不良像素信息对所述不良喷嘴进行确定，并按照停止从所述 不良喷嘴喷出所述液滴、从所述不良喷嘴以外的其它喷嘴喷出不足部分的 所述液滴的方式，对所述液滴喷出装置进行控制。
11、 根据权利要求9所述的描绘系统，其特征在于， 还包括统一控制部，其对所述液滴喷出装置和所述像素观察系统进行统一控制，在通过所述像素观察系统得到了所述不良像素信息的情况下，所述统 一控制部基于所述不良像素信息对作为所述不良喷嘴的滴落位置偏移喷 嘴或喷出量异常喷嘴进行确定，并按照对从该喷嘴喷出所述液滴的驱动条 件进行变更的方式对所述液滴喷出装置进行控制。
12、 一种液状体的描绘方法，与基板和多个喷嘴的相对移动同步地从 所述多个喷嘴向所述基板上的多个像素区域喷出含有功能性材料的液状 体而形成多个像素，该液状体的描绘方法包括观察坐标生成工序，基于表示从所述多个喷嘴喷出的所述液状体的喷 出状态的喷嘴信息、和在所述相对移动中按每个所述像素区域涉及的喷嘴的配置信息，生成所述基板上的观察坐标；描绘工序，基于所述配置信息，将所述液状体作为液滴从所述多个喷 嘴向所述多个像素区域进行喷出描绘；观察工序，对被喷出描绘的位于所述基板的所述观察坐标处的所述像 素区域进行观察；和修正工序，在所述观察工序中检测到不良像素的情况下，对成为所述 不良像素的所述像素区域所涉及的不良喷嘴进行确定，并修正所述配置信 息；在所述观察坐标生成工序中，生成在至少一次所述相对移动中所述多 个喷嘴所涉及的所述像素区域的坐标，作为所述观察坐标。
13、 根据权利要求12所述的液状体的描绘方法，其特征在于， 还包括喷嘴信息更新工序，基于被确定的所述不良喷嘴的信息，对所述喷嘴信息进行更新。
14、 根据权利要求12或13所述的液状体的描绘方法，其特征在于， 当所述喷嘴信息含有所述不良喷嘴的信息时，在所述观察坐标生成工序中，生成在所述不良喷嘴所涉及的所述像素区域上加上其周边的所述像 素区域后的坐标，作为所述观察坐标。
15、 根据权利要求12 14中任一项所述的液状体的描绘方法，其特 征在于，所述不良喷嘴的信息包含堵塞喷嘴、滴落位置偏移喷嘴以及喷出量 异常喷嘴中的至少一种喷嘴信息。
16、 根据权利要求12 15中任一项所述的液状体的描绘方法，其特 征在于，还包括滴落状态检查工序，将所述液状体作为液滴从所述多个喷嘴向 检查用被喷出物上喷出，测量所述液滴的滴落直径以及滴落位置偏移， 所述喷嘴信息包含所述滴落直径以及所述滴落位置偏移的尺寸信息。
17、 根据权利要求16所述的液状体的描绘方法，其特征在于， 在所述滴落状态检査工序中，使所述多个喷嘴与所述检査用被喷出物相对移动，并按照分为所述相对移动的往动和复动而使所述液滴分别滴落 到假想的直线上的方式对所述多个喷嘴进行喷出控制。
18、 根据权利要求16或17所述的液状体的描绘方法，其特征在于， 所述检査用被喷出物是记录纸。
19、 根据权利要求12 18中任一项所述的液状体的描绘方法，其特 征在于，所述配置信息包含喷出所述液滴的喷嘴的选择信息， 在所述修正工序中，按照不选择所述不良喷嘴、选择所述不良喷嘴以 外的喷嘴来喷出不足部分的所述液滴的方式修正所述配置信息。
20、 根据权利要求12 18中任一项所述的液状体的描绘方法，其特 征在于，所述配置信息按所述多个喷嘴的每一个包含喷出所述液滴的驱动条件，在所述修正工序中，作为所述不良喷嘴确定滴落位置偏移喷嘴或喷出 量异常喷嘴，并改变从所述滴落位置偏移喷嘴或者所述喷出量异常喷嘴喷 出所述液滴的驱动条件，由此对所述配置信息进行修正。
21、 一种滤色器的制造方法，在基板上划分形成的多个像素区域上具 有至少三色的着色层，该滤色器的制造方法包括描绘工序，利用权利要求12 20中任一项所述的液状体的描绘方法， 向所述多个像素区域喷出描绘包含至少三色的着色层形成材料的液状体； 和固化工序，使被喷出描绘的所述液状体固化，形成所述至少三色的着 色层。
22、 一种有机EL元件的制造方法，在基板上划分形成的多个像素区 域上至少具有发光层，该有机EL元件的制造方法包括-描绘工序，利用权利要求12 20中任一项所述的液状体的描绘方法， 向所述多个像素区域喷出描绘含有发光层形成材料的液状体；和 固化工序，使被喷出描绘的所述液状体固化，形成所述发光层。
全文摘要
一种能早期发现因液状体的喷出不良情况引起的不良像素的像素观察系统、描绘系统、液状体的描绘方法、滤色器的制造方法、有机EL元件的制造方法。描绘系统(1)具备液滴喷出装置(10)，将液状体作为液滴进行喷出描绘；像素观察系统(2)，具有对喷出描绘了液状体的像素区域进行观察的观察部(3)；和上位计算机(11)，作为对液滴喷出装置(10)和像素观察系统(2)进行统一控制的统一控制部。上位计算机(11)基于保存在存储部(14)的喷嘴信息与喷嘴相对基板的配置信息，在至少一次基板与多个喷嘴的相对移动中生成多个喷嘴涉及的像素区域的坐标作为观察坐标，利用观察部(3)的相机(15)，对位于该观察坐标处的像素区域进行观察/摄像。
文档编号B41J2/04GK101200133SQ2007101865
公开日2008年6月18日 申请日期2007年12月12日 优先权日2006年12月12日
发明者木下丰太郎 申请人:精工爱普生株式会社