一种干燥装置及其干燥方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及显示技术领域，具体地，涉及一种干燥装置及其干燥方法。
【背景技术】
[0002]在有机电致发光器件(OLED)显示领域，通常会利用喷墨打印等方法形成有机功能层薄膜；在液晶(IXD)显示领域，通常会利用喷墨打印等方法形成彩膜结构。类似喷墨打印成膜的各种湿法成膜工艺的一个共同特点是:都需要通过后续干燥工艺去除形成的膜层中多余的溶剂，从而形成所需要的薄膜。而这一去除溶剂形成干燥薄膜的工艺过程决定了形成薄膜的形貌的均一性。对于光电显示器件而言，干燥后形成的薄膜的形貌均一性对显示器件的寿命和显示效果有较大影响。
[0003]如图1所示，为一个包含有干燥后薄膜的显示基板的俯视图。在将含有有机功能材料的溶剂墨水喷印到显示基板4的显示区41后，我们需要在常压下使溶剂自然挥发或在减压下进行去除溶剂的过程。由于喷印到显示区41的溶剂墨水是以很小的墨滴形式分散在像素区内的，具有很大的表面积，因此溶剂墨水的自然挥发速率较快。根据常识我们知道，溶剂墨水处于显示区41边缘区域411的部分较处于显示区41中心区域412的部分自然挥发速率要快。图2是图1中的显示基板4沿剖切线5进行剖切的剖面图，图2中42为像素分隔墙结构，43为干燥后的有机薄膜，可以看到处于显示区边缘区域411的像素区内由于溶剂的自然挥发速率较快，导致干燥后形成的薄膜形貌不均一(咖啡环效应)，而距离边缘区域411较远的中心区域412，干燥后形成的薄膜形貌逐渐变好。这种自然挥发干燥后形成的薄膜形貌不均一是一种自然客观现象，并且难以完全去除。宄其原因，与多种因素有关，如溶剂特性(组成比例和蒸汽压等)，像素分隔墙42材质，干燥工艺，设备等。在某些情况下，薄膜干燥不均一会导致显示器件点亮后形成如图1所示的从中心向周边延展的同心圆状的显不不良。
[0004]现有的生产工艺中，通常是在一个真空炉中进行减压去除湿法形成的膜层中的溶剂。而目前的真空设备的抽气端口通常设置在炉子的角落部位，这样在减压抽气过程中，容易导致气流的分布不均，进而使膜层中溶剂挥发速率各处的差异相对于自然挥发干燥情况下发生扭曲，从而导致干燥后形成的薄膜的形貌不均一也发生扭曲变化。
[0005]总之，不管是采用自然挥发干燥的方法去除膜层中的溶剂，还是采用常规真空干燥设备去除膜层中的溶剂，都难以避免干燥后表面形貌不均一现象的出现。因此如何减轻或避免湿法形成的有机薄膜在干燥过程中出现的表面形貌不均一的现象，成为亟待解决的一个难题。
【发明内容】
[0006]本发明针对现有技术中存在的上述技术问题，提供一种干燥装置及其干燥方法。该干燥装置能使待干燥膜层在干燥过程中其不同区域的溶剂挥发速率基本相同，从而使待干燥膜层经干燥后形成表面形貌均一的膜层，改善了待干燥膜层干燥工艺后的表面形貌均一性效果，进而提高了包含该干燥膜层的显示器件的寿命和显示效果。
[0007]本发明提供一种干燥装置，用于干燥采用湿法形成在基板上的待干燥膜层，包括干燥部和承载部，所述承载部用于承载形成有所述待干燥膜层的所述基板；所述干燥部用于对应并面对所述待干燥膜层设置，并用于对所述待干燥膜层进行干燥；所述干燥部和所述承载部能使所述待干燥膜层经干燥后形成表面形貌均一的膜层。
[0008]优选地，所述干燥部包括抽气罩、隔板和抽气机构，所述抽气罩包括用于面向所述待干燥膜层设置的第一开口和用于背向所述待干燥膜层设置的第二开口 ；所述第二开口连接所述抽气机构，所述隔板盖合在所述第一开口上，所述隔板上开设有多个孔；所述抽气机构用于从所述抽气罩中向外抽气。
[0009]优选地，所述抽气罩呈中空的锥体形，所述第二开口的面积小于所述第一开口的面积，所述第二开口在所述隔板上的正投影落在所述隔板的中心区域。
[0010]优选地，所述隔板的形状和大小与所述待干燥膜层相同，所述隔板用于对应并平行于所述待干燥膜层设置，所述隔板上不同区域的开孔密度用于与所述待干燥膜层上相对应区域的自然风干速率成反比。
[0011]优选地，多个所述孔的大小和形状相同，所述孔在所述隔板上不同区域的分布密度用于与所述待干燥膜层上相对应区域的自然风干速率成反比。
[0012]优选地，多个所述孔的形状相同，大小不同，所述孔在所述隔板上不同区域的开孔大小用于与所述待干燥膜层上相对应区域的自然风干速率成反比。
[0013]优选地，多个所述孔的大小和形状相同且均匀分布在所述隔板上，每个所述孔都对应配备有一个孔塞，所述孔塞能塞入所述孔内，以将所述孔堵住；或者，所述孔塞能从所述孔内拔出，以使所述孔通气。
[0014]优选地，所述待干燥膜层的四周边缘区域的自然风干速率大于其中心区域的自然风干速率；
[0015]所述干燥部还包括设置在所述第一开口边框上的溶剂添加机构，所述溶剂添加机构用于对应向所述待干燥膜层的四周边缘区域添加呈挥发状态的溶剂，所述溶剂为湿法形成所述待干燥膜层时所采用的溶剂。
[0016]优选地，所述溶剂添加机构包括开设在所述第一开口边框上的溶剂槽和对应设置在所述溶剂槽的远离所述第二开口一侧的挥发结构；所述溶剂槽用于容置未挥发的所述溶剂；所述挥发结构用于使所述溶剂槽中的所述溶剂挥发形成呈挥发状态的所述溶剂，并使呈挥发状态的所述溶剂对应添加到所述待干燥膜层的四周边缘区域。
[0017]优选地，所述承载部包括载板和围设在所述载板边缘的围栏，所述载板和所述围栏连接为一体；所述载板用于承载形成有所述待干燥膜层的所述基板，所述围栏的高度高于置于所述载板上的所述待干燥膜层的上表面的高度。
[0018]优选地，所述围栏的高于所述待干燥膜层的上表面的顶部距离所述待干燥膜层的上表面的距离大于10cm。
[0019]优选地，所述载板与所述第一开口的形状相同，所述载板的面积大于所述第一开口的面积，所述第一开口能对应嵌入至所述围栏围成的区域中。
[0020]本发明还提供一种上述干燥装置的干燥方法，包括:将形成有待干燥膜层的基板置于承载部上；调整干燥部与所述待干燥膜层相对应并面对；所述干燥部对所述待干燥膜层进行干燥。
[0021]优选地，所述调整干燥部与所述待干燥膜层相面对具体包括:降低所述干燥部的抽气罩或者抬升所述承载部的载板，使所述抽气罩的第一开口进入到所述承载部的围栏围成的区域中，并使盖合在所述第一开口上的隔板的面向所述待干燥膜层的下表面与所述待干燥膜层的上表面之间的距离范围为Imm?10cm。
[0022]本发明的有益效果:本发明所提供的干燥装置，通过设置干燥部和承载部，能使待干燥膜层在干燥过程中其不同区域的溶剂挥发速率基本相同，从而使待干燥膜层经干燥后形成表面形貌均一的膜层，改善了待干燥膜层干燥工艺后的表面形貌均一性效果，进而提高了包含该干燥膜层的显示器件的寿命和显示效果。
【附图说明】
[0023]图1为现有技术中显示基板上的干燥薄膜的俯视示意图；
[0024]图2为图1中的显示基板沿剖切线进行剖切的剖视图；
[0025]图3为本发明实施例1中干燥装置的结构示意图；
[0026]图4为图3中隔板的结构俯视图；
[0027]图5为图3中干燥部的结构剖视图。
[0028]其中的附图标记说明:
[0029]1.干燥部