专利名称：平面显示器的制造方法、平面显示器用玻璃基板的外表削减装置的制作方法
技术领域：
本发明有关液晶显示器或等离子显示器、有机电激发光显示器等平面显示器(以下称为FPD)的制造。
背景技术：
液晶显示器或等离子显示器等FPD，是广泛使用于计算机显示装置或TV受像器用、移动电话显示部用等各种电子机器。最今还进行有为了自发光而不需背光的高速反应性优良的有机EL显示器开发，且未来受到期望。
此种FPD所要求的课题之一就是薄型化。薄型化是伴随其所装载的电子机器的薄型化或小型化、轻量化而要求的。例如笔记本计算机或移动电话中，是要求更加薄型化或轻量化，随之FPD也要求更薄更轻量。
作为FPD的薄型化或轻量化的重要要素是玻璃基板。不论液晶显示器、等离子显示器、或是有机EL显示器，都采用黏贴一对基板，在其内面配置组件电极的构造。玻璃的比重较重，又有确保机械性强度的必要性，故必须有一定程度的厚度。从而，玻璃基板的存在对于FPD的薄型化或轻量化会造成阻碍。
许多FPD制造工序中，是采用从较大的一对玻璃基板中生产多数FPD的工艺。一对玻璃基板，其区分为所生产的各FPD用途，于各区域分别形成组件电极。在黏贴等工序结束之后，一对玻璃基板会被切割为各区域，而进入修饰工序。
此种从一对玻璃基板产生多数FPD的工艺，因为进行工序的集简化而有可降低制造成本的优点，但是有玻璃基板变大的倾向。例如液晶显示器的制造工艺中，是使用2000mm×1800mm左右大小的玻璃基板。处理这么大的玻璃基板时，若玻璃基板太薄，则容易断裂，或因为本身重量而折弯。从而必须有一定程度的厚度。
另一方面，切断为各区域之后者(半成品)或成为成品者，即使玻璃基板薄到一个程度，也因为尺寸较小而没有问题。从这点来看，日本特开平5-249422号公报的发明中，是采用在进行一对玻璃基板的黏贴后，蚀刻一边的玻璃基板外面来打薄，之后切断为各区域的工艺。
发明内容
在上述公报所记载的发明中，蚀刻是进行着利用浸泡到溶出液的方式。但是更进一步，经由本申请发明者的研究，在该方法的蚀刻中，对FPD来说，针对非常重要的要素的平坦性的特点而言，是没办法确保有足够的品质。关于这一点，说明于如下。
在前述公报揭示的发明中，由浸泡法所揭示的资料，是否使用这种蚀刻液，一切并无具体的说明。经由本申请发明者的研究，考虑有使用氢氟酸来做为蚀刻液。但是更进一步，对仅仅浸泡于氢氟酸的玻璃基板而言，进行确保FPD所要求的平坦性的蚀刻是困难的。
将玻璃浸泡于氢氟酸后，玻璃表面与氢氟酸发生反应，慢慢地软化并进行溶解。对于把蚀刻后的表面进行平坦而言，把反应后的蚀刻液置换掉的新鲜的(未反应的)蚀刻液进行均一地供给是为必要。但是，对浸泡法而言是困难的。通过与蚀刻液的反应、把软化掉的玻璃材料取除掉，于该下层供给新鲜的蚀刻液是必要的；因为把软化溶解掉的玻璃材料均一地蚀刻掉是很困难的缘故，使得蚀刻后的表面平坦性不佳。
但玻璃基板，其组成或是结晶的状态并非为完全地均一，具有不均一处是无法避免的。在利用浸泡法的蚀刻上，因为仅只有化学上的作用的原因，容易受到组成或是不均一性的影响。亦即，在局部难以蚀刻的组成或是结晶状态的场合下，会在此留下没有蚀刻到的痕迹，容易产生蚀刻量的不均。对于此点，在浸泡法上，容易让平坦性恶化。通过上述浸泡法的蚀刻，不适合于实用上。
本申请的发明目的是为了解决上述技术问题而提供可达成FPD薄型化的实用技术方案。
本申请发明的一方面是提供一种平面显示器的制造方法，其包含于一方或双方为玻璃基板的一对基板中最少一方形成电极的电极形成工序，于电极形成工序后经由密封材黏贴一对基板来密封内部的密封工序，在密封工序之后将玻璃基板亦即一方或双方的基板外面加以削减厚度来打薄的外面削减工序；其中所述外面削减工序，具有将溶出上述玻璃基板外面的溶出液，向着上述外面喷射，附加有比本身重量所造成的重力加速度还要大的加速度，使溶出液往上述外面喷出并冲击上述外面，利用溶出液造成的冲击的物理作用再加上溶出液的化学作用，将玻璃外表溶出以进行削减的构造。
本发明的进一步特点是所述溶出液是氢氟酸。
本发明的进一步特点是所述溶出液造成所述外面的冲击时的压力是0.5kg/cm2～3.5kg/cm2的范围。
本发明的进一步特点是在溶出液喷射中是使所述外面成为垂直入射姿势，以保持所述基板。
本发明的进一步特点是将所述黏合后的一对玻璃基板的双方外面，同时加以切削，以将整体厚度变薄。
本发明的进一步特点是所述溶出液的喷射，是利用具有喷射孔的喷嘴来进行，在削减开始时的喷嘴的喷射孔到所述基板外面为止的距离，是5mm以上100mm以下。
本发明的进一步特点是所述溶出液的喷射，是利用具有喷射孔的喷嘴来进进行，各喷射孔是以等间隔来复数设置，且从各喷射孔到所述外面为止的距离是一定的。
本发明另一方面是提供一种外面削减装置，是将平面显示器用的玻璃基板外面做削减来打薄；其特点是包括在内部进行外面削减处理的处理室，将所述玻璃基板保持于处理室内特定位置的基板保持具，具有将溶出液、向着被所述基板保持具保持的所述玻璃基板的该外面喷射的喷射孔的喷嘴，和对喷嘴供给溶出液的溶出液供给系统；所述溶出液供给系统，是以附加有比本身重量所造成的重力加速度还要大的加速度的溶出液，往所述外面吹附并冲击所述外面，而可利用加上了溶出液的化学作用的冲击所造成的物理作用来将所述外面溶出以进行削减的压力，来对所述喷嘴供给溶出液。
本发明的进一步特点是所述溶出液是氢氟酸。
本发明的进一步特点是所述溶出液供给系统，是使所述溶出液从所述喷嘴的喷射孔被喷射，以0.5kg/cm2～3.5kg/cm2范围的压力冲击所述玻璃基板外面地，对所述喷嘴供给所述溶出液。
本发明的进一步特点是所述基板保持具，是在溶出液喷射中使所述外面成为垂直入射姿势，来保持所述基板。
本发明的进一步特点是所述喷嘴可将黏合后的一对玻璃基板的双方外面同时加以削减地，设置在被基板保持具所保持的一对玻璃基板的两侧。
本发明的进一步特点是在削减开始时，从所述喷嘴的喷射孔到所述玻璃基板外面为止的距离，是5mm以上100mm以下。
本发明的进一步特点是各喷射孔是以等间隔来做复数设置，且从各喷射孔到所述外面为止的距离是一定的。
本发明又一方面的一种平面显示器，形成有黏合后的一对玻璃基板，于内部具有光透过控制部或是发光部；其构成有一对玻璃基板的双方外面，使溶出液向着所述外面喷射，以比本身重量所造成的重力加速度还要大的加速度，使得溶出液进行吹附冲击的方式来进行削减；具有最大粗糙度为0.1μm以下的平坦度。
采用本发明的上述方案，除了连续供给新的(没有溶入外面的材料)溶出液之外，溶入有外面材料的溶出液也会因冲击而连续流出，故可进行效率佳且平均性优良的削减。即使是外面中玻璃成分或结晶状态不平均的场所，因为并用有物理作用，故可充分平均地进行削减。因此削减后的外面平坦性可提高，成为所生产的FPD的显示性能也高。
本发明除了所述效果之外，因为以溶出液冲击所述外面时的压力为0.5kg/cm2～3.5kg/cm2的范围，故可充分供给新溶出液来进行削减，同时也可充分利用物理作用，故即使是外面中玻璃成分或结晶状态不平均的场所，亦可充分削减，而更确保较高平坦性。
本发明除了所述效果之外，因为在溶出液喷射中，是与外面成为垂直入射姿势地，故有促进外面的溶出液替换的效果，而充分有效地进行外面削减。
本发明除了所述效果之外，因为将黏合后的一对玻璃基板的双方外面同时加以削减，将整体厚度变薄，故除了可对黏贴面板的薄型化带来贡献之外，工艺生产性也较高。
本发明除了所述效果之外，因为在削减开始时，从喷嘴的喷射孔到基板外面为止的距离是5mm以上100mm以下，故可确保冲击的平均性(亦即削减平坦性)，并可成为实用的工艺。
本发明除了所述效果之外，因为各喷射孔是以等间隔来复数设置，且从各喷射孔到外面为止的距离是一定的，故容易使所喷射的溶出液造成的冲击压力平均，这点对平坦性较高的削减处理可带来贡献。
另外本发明因为可提供薄型化的平面显示器的原因，对于所组装的电子制品的薄型化或是轻量化可以有所增加贡献；因为提高了平坦性，可以提供有显示缺陷少、性能优秀的制品。
图1是表示实施方式中FPD的制造方法的概略图；图2是本发明实施方式的外面削减装置的正面概略图；图3是图2所示的装置的侧面剖面概略图；图4是图2及图3所示的装置中基板保持具的立体概略图；图5是表示图3所示的喷嘴4的形状的立体概略图；图6是表示从各喷射孔对黏贴基板外面平均喷出溶出液的点的概略图；图7是本发明实施方式中FPD的剖面概略图。
具体实施例方式
以下，说明用以实施本申请发明的最佳方式(以下称为实施方式)。
以下的说明中，作为FPD的一例，是采用液晶显示器(以下称为LCD)。
图1是表示实施方式中FPD的制造方法的概略图。图1的方法，是例如移动电话用的LCD制造方法。图1所示的方法包含于双方为玻璃基板的一对基板1中的一方，形成电极11的电极形成工序；于电极形成工序后经由密封材12黏贴一对基板1，在内部注入液晶13后来密封的密封工序；以及在密封工序之后，将双方玻璃基板1的外面加以削减厚度来打薄的外面削减工序。
图1所示的制造方法中，是从几乎相同形状大小的一对玻璃基板1来生产多数LCD。一对玻璃基板1，是区分为所生产的各LCD用途，而电极形成等工序，则对个别区域进行。
电极形成工序，包含ITO等透明导电膜造成的透明电极形成工序；以等离子CVD法制作的低温多结晶硅膜等所造成的驱动电极或共通电极形成工序。各工序中，包含由曝光、显影、蚀刻等所构成的光微影法工序。
有关另一边的玻璃基板1，是进行有彩色滤光片形成工序。彩色滤光片形成工序，是于玻璃基板1上形成着色层或黑矩阵、透明电极等的工序。着色层，是将彩色画像所需的颜料以特定图案形成的工序；以光微影法、印刷法或电镀法来进行。黑矩阵，是了提高对比或防止混色，而沿着像素边界形成的遮光膜；多数情况下是以溅镀形成。透明电极，是多数情况下为ITO膜而以溅镀来形成。
密封工序中，是于一方的玻璃基板1表面涂布密封材12。密封材12，是沿着所生产的各LCD的轮廓，涂布为外围形状。以密封材12包围的内侧是以特定量滴下液晶13。之后配合必要来散布间隔物，一边对准另一方基板1，一边覆盖而用特定位置关系黏贴。
其次，进行成为本实施方式的主要特征的外面削减工序。本实施方式的外面削减工序，是将溶出玻璃基板1外面的溶出液L向着外面喷射，借此由本身重量造成的重力加速度来附加较大加速度，使溶出液L往外面喷出来进行。溶出液L吹附的结果，利用再加上溶出液L的化学作用的吹附造成的物理作用来将外面溶出。另外，单纯散布溶出液L的话，溶出液L就只有附加本身重量造成的加速度，而与此不同。
另外本说明书中，将一对基板互相面对的面称为「内面」，与其相反侧的面称为「外面」。本实施方式的外面削减工序，是将黏贴的一对玻璃基板(以下称为黏贴基板10)的双方外面加以削减的工序。
如图1所示，本实施方式中是保持黏贴基板10在垂直站立，从配置于其两侧的喷嘴4喷射溶出液L。作为溶出液L，是使用氢氟酸等强酸。氢氟酸的情况下，是例如对水100稀释为10～50％左右(体积百分比)来使用。冲击压力在黏贴基板10的外面上为0.5kg/cm2～3.5kg/cm2。
从喷嘴4所喷射的溶出液L所冲击的外面，会被溶出液L的化学作用而被溶出，且通过溶出液L的冲击而流出。借此将外面做削减，而打薄玻璃基板1的厚度(也就是黏贴基板10整体的厚度)。
在削减之际，有不应该使溶出液L碰触的场所时，是黏贴遮盖胶带来预先保护。作为遮盖胶带，当溶出液L为强酸时，可使用聚丙烯(PP)或铁氟龙(Dupon公司注册商标)等氟是树脂的耐酸性薄膜，于背面涂布数十μm厚度的黏着剂者。例如日本日东电工股份有限公司制造的SPV-362M等。
在上述外面削减工序之后，是配合必要进行洗净外面的工序后，进行分割工序。分割工序，是沿着所生产的各LCD轮廓，来切断黏贴基板10的工序。
若依上述的本实施方式制造方法，则将溶出1玻璃基板外面的溶出液L向着外面喷射，藉此由本身重量造成的重力加速度来附加较大加速度，使溶出液L往外面喷出并冲击外面，利用溶出液L造成的冲击的物理作用，再加上溶出液L的化学作用将外面溶出以进行削减；故除了连续供给新溶出液L之外，溶入有外面材料的溶出液L也会因冲击而连续流出，因此可进行效率佳且平均性优良的削减。即使是外面中玻璃成分或结晶状态不平均的场所，因为并用有物理作用，故可充分平均地进行削减。因此削减后的外面平坦性可提高，成为所生产的显示性能也高。
接着，说明适用于上述制造方法的外面削减装置。以下的说明，也是实施方式的外面削减装置的说明。
图2，是实施方式的外面削减装置的正面概略图，图3是图2所示的装置的侧面剖面概略图。图2及图3所示的外面削减装置，包括有在内部进行外面削减处理的处理室2，在处理室2内特定位置保持玻璃基板1的基板保持具3，向着被基板保持具3保持的玻璃基板1外面、设置在喷射溶出液L的位置的喷嘴4，和对喷嘴4供给溶出液L的溶出液供给是5。本实施方式中，因为在黏贴后进行外面蚀刻，故基板保持具3会成为保持黏贴基板10的构件。
处理室2中，包括有搬入黏贴基板10的搬入口21，和将外面削减处理后黏贴基板10搬出的搬出口22。搬入口21及搬出口22，是以封锁闸23来开关。另外，开关是通过封锁闸23在垂直于搬运方向的水平方向(图2的纸面垂直方向)移动来进行。
此装置，是设置有通过搬入口21及搬出口22搬运黏贴基板10的搬运机构30。基板保持具3，是设置为构成搬运机构30的构件。图4，是图2及图3所示的装置中基板保持具3的立体概略图。
如图4所示，基板保持具3是将黏贴的基板10保持成稍稍垂直站立的构件；基板保持具3是主要由水平姿势的基底板31，和站立设置于基底板31的支柱32，和安装于支柱32的缓冲具33所构成。
支柱32，其分别设置于细长长方形的基底板31的边角部份，总计设置4支。还设置有沿着基底板31的长边方向延伸的梁构件34，连接各支柱32上端来补强基板支撑具3。各支柱32，高度是比站立的黏贴基板10更高一点。基底板31短边的两支支柱32之间的间隔，比黏贴基板10的厚度大一点。基底板31长边的两支支柱32之间的间隔，比黏贴基板10的长度长一点。黏贴基板10，是插入此等支柱32所形成的空间而被保持。
缓冲具33，是直接接触黏贴基板10的构件，而不紧靠于黏贴基板10者。缓冲具33，是以对于溶出液L不会被腐蚀(有耐药品性)的材料来形成，例如以铁氟龙(Dupon公司注册商标)等氟系树脂来形成。
如图4所示，缓冲具33是由在基底板31长边方向两端连接各支柱32下端而设置，和一样在长边方向两端连接支柱32上端而设置所构成。被保持的黏贴基板10，是接触此等缓冲具33的各角部。接触黏贴基板10的下端角部的下侧缓冲具33，其短边方向剖面形状为凹状，长边方向剖面形状为L字状。接触黏贴基板10的上端角部的上侧缓冲具33，其短边方向剖面形状为横向凹状。如图4所示，装配黏贴基板10时，是从上方插入，落在各缓冲具33的凹部内。
作为搬运机构30，是例如由闩锁与小齿轮机构所构成。搬运机构30构成为闩锁基底板31，以小齿轮301与其啮合。小齿轮是沿着搬运线以特定间隔多数设置。小齿轮301，是配置于处理室2内外。另外，适当设置有导引移动的基板保持具3整体的导引构件。
如图3所示，喷嘴4是设置于被基板保持具3保持的黏贴基板10两侧位置，可向着黏贴基板10的两侧外面同时喷射溶出液L。图5，是表示图3所示的喷嘴4的形状的立体概略图。
如图5所示，喷嘴4是具有喷射孔41的管状构件。如图5所示，喷嘴4是延伸于垂直方向而配置，在黏贴基板10的长边方向(搬运方向)以均等间隔复数并排设置。喷射孔41，是设置于喷嘴4中面临黏贴基板10的部分，在管的延伸方向(垂直方向)以均等间隔设置。另外作为喷嘴4的构造，有并排比图5所示还要更多(或更少)的情况，也有沿着水平方向或倾斜方向并列复数喷嘴的情况。又喷嘴4不需要为管状，也可以是板状或其它形状。
溶出液供给系统5，是由贮存溶出液L的贮液部51，连接贮液部51与各喷嘴4的配管52，设置于配管52上的阀53或送液泵54等所构成。从所供给的溶出液L中去除杂质或垃圾等的过滤器或调压用泵，则相应需要来设置。
溶出液L是通过溶出液供给系统5对各喷嘴4，从各喷射孔41向着被基板保持具3保持的黏贴基板10的外面喷射。被喷射的溶出液L，会冲击溶解外面而削减外面。
另外如图2所示，处理室2的底部成为漏斗状，而最下部设置有排出孔24。排出孔24连接有排出使用后的溶出液L的排出管25。如上所述，溶入有黏贴基板10的材料的溶出液L，会落下到处理室2底部，透过排出孔24及排出管25而被排出。
又处理室2的内壁面，或处理室2内各构件的表面，是成为对溶出液L有耐药品性的构造。例如溶出液L为氢氟酸时，内壁面或各构件表面，是成为涂布覆盖有铁氟龙(Dupon公司注册商标)等氟系树脂的构造。另外，开关搬入口21或搬出口22的封锁闸23，是不使溶出液L流出地来进行封锁。
本实施方式的装置，因为要更加提高削减后外面的平坦性，故对于喷嘴4构造要特别下工夫。以下针对这点，使用图5及图6来说明。图6，是表示从各喷射孔41对黏贴基板10外面平均喷出溶出液L的点的概略图。
如图5所示，各喷射孔41是对于喷嘴4的管延伸方向(垂直方向)为倾斜45度方向的细长。从而，从各喷射孔41被喷射的溶出液L，是如图5所示，在此倾斜方向扩散为长锥状(或是喇叭状)。
图6中表示从一个喷嘴4的各喷射孔41喷出的溶出液L。图6右侧，是表示从黏贴基板10高度方向看去，来自各喷射孔41的溶出液L的喷射量分布。此时，面临并通过上下相邻的两个喷射孔41的正中间位置的外面上点P，会从该相邻的两个喷射孔41接受溶出液L的供给。此时，此点P位于推拔状的溶出液L的扩散端部，故如图6右侧所示，从一个喷射孔41接受的溶出液L的量，是其它点的1/2左右，而用上下相邻的两个喷射孔41来接收1个喷射孔41份量的溶出液L供给。从而，在黏贴基板10的高度方向，外面各点的溶出液L供给量是平均的。另外，不只是以图5所示的剖面形状来扩散溶出液L的情况，也有用椭圆形、圆形、方形(正方形、长方形)、菱形、平行四边形状等剖面形状来扩散溶出液L的情况。
其次，说明上述装置的动作。
进行有上述密封工序而完成后的黏贴基板10，是在处理室2外装载于基板保持具3。装载动作，有用机器人进行的情况，也有由作业员的手来进行的情况。在对基板保持具3装载之前，也有时会进行遮盖胶带所造成的遮盖。
搬运机构30动作，打开搬入口21的封锁闸23，通过搬入口21使基板保持具3往处理室2内移动。基板保持具3，是在黏贴基板10位于两侧喷嘴4之间的特定位置的时间点，就停止。然后搬入口21的封锁闸23会关闭。此状态下，溶出液供给系统5的阀53会打开，送液泵54以特定压力将溶出液L送到各喷嘴4。结果会从各喷嘴4的喷射孔41喷射溶出液，并以特定压力冲击黏贴基板10的外面。借此，黏贴基板10的外面会被削减。溶入有外面的材料的溶出液L，会落下而从排出孔24被排出。
进行特定时间的溶出液L喷射后，停止送液泵54，关闭阀53。然后搬运机构30会动作，使基板保持具3移动，打开搬出口22的封锁闸23将黏贴基板10搬出处理室2外。被搬出的黏贴基板10，是进行纯水等的洗净液洗净或遮盖胶带去除等作业。之后，来到下个分割工序。
上述装置的动作中，有时在溶出液L喷射中也会因应必要而使黏贴基板10变位。黏贴基板10的外面上各点中，当对各喷嘴4的各喷射孔41为最短距离的点其冲击压力过高时，则通过在溶出液L喷射中使黏贴基板10前后移动，可以使时间平均后的各点的冲击压力平均化。借此，可更加提高削减后外面的平坦性。黏贴基板10的移动，也有在上下方向进行的。
又上述装置的构造中，送液泵54造成的送液压力，是设定为外面的溶出液L造成的冲击压力为0.5kg/cm2～3.5kg/cm2的范围。此时各喷嘴4的各喷射孔41与外面的距离(图3以d表示)就成为重要因素。若距离d过大，则如果不提高送液泵54的送液压力，就无法用上述范围内的压力冲击外面，而难以实用。又距离d较小时，虽然容易保持冲击压力的最佳值，但往喷射孔41的最短点的冲击压力会过高，在平均性观点上会产生问题。为了作为确保冲击的平均性(亦即削减平坦性)的实用结构，距离d以5mm以上100mm以下为佳。另外溶出液L的削减在进行中的过程，虽然从喷射孔41到外面为止的距离会稍微变长，但是5mm以上100mm以下是实际开始削减时的距离。
又若冲击压力比0.5kg/cm2小，则因为新溶出液L的供给较少而无法进行充分削减，此外物理作用也不充分，故玻璃成分或结晶状态不平均的场所则无法充分削减，而有平坦性降低的问题。又若冲击压力比3.5kg/cm2大，则只有从喷嘴4的喷射孔41的最短点会被较多削减，这点会使平坦性恶化。因此，作为0.5kg/cm2～3.5kg/cm2范围的冲击压力为理想。
若依上述装置，除了溶出液L的化学作用外，还利用所谓冲击的物理作用来进行外面削减，故可进行高平坦性的削减；并且因为玻璃基板1的搬运与削减处理都被自动化，故生产性也高。
又喷嘴4的各喷射孔41是以均等间隔来设置，从各喷射孔41到外面为止的距离为一定，故容易使被喷射的溶出液L的冲击压力平均，这点对平坦性较高的削减处理会带来贡献。
又保持黏贴基板10为垂直的状态来进行溶解这点，有促进外面的溶出液L替换的效果，而有以充分效率进行外面削减的技术性意义。
而且喷嘴4设置于黏贴基板10的两侧，可将双方外面同时作削减，故除了可对黏贴基板10的薄型化更有贡献之外，生产性也较高。
上述各实施方式的构造中，溶出液L所达成的外面削减，也可以被认为是蚀刻的一种。但是，除了化学的作用外，也并用了物理性作用，与仅浸泡于蚀刻液或仅散布蚀刻液等蚀刻有实质上的不同。
又上述实施方式中，虽在黏贴一对玻璃基板1之后进行外面削减处理，但有时也会在黏贴前进行外面削减处理。此时，是在进行电极形成工序等之前来进行外面削减，或在形成彩色滤光片之前进行外面削减。此时基板保持具3，也会构成仅保持一片玻璃基板1。当玻璃基板1变薄虽然会产生强度问题，但若以氢氟酸等强酸来作削减，则强酸作用会有强化的副效果，即使变薄也不会有问题。更且，也有在分割工序之后进行外面削减者。另外，也有时会同时保持复数黏贴基板10，来同时进行外面削减处理。
上述实施方式的说明中虽采用LCD，但等离子显示器或有机EL显示器等情况也同样适用。因为这些FPD不需要背光，故有时与射出侧相反侧的基板不是玻璃基板。亦即有时只有一边是玻璃基板。又本申请发明中，可以对一对玻璃基板中的一边进行外面削减处理，此时也会得到本申请发明的效果。
其次，说明FPD的发明的实施方式。
图7，是实施方式中FPD的剖面概略图。图7所示的FPD，是黏贴一对玻璃基板1而形成。图7所示的是与上述实施方式相同，是作为FPD一例的液晶显示器。一对玻璃基板的内部，作为构成光透过控制部，形成有于一边玻璃基板1内面的电极(组件电极、共通电极等)11，和被封存的液晶13。另一边的玻璃基板1内面，形成有彩色滤光片14。光透过控制部的构造本身，是与一般液晶显示器相同。
图7所示的FPD的特征点，是一对玻璃基板1的双方外面100，是通过外面削减处理来削减。外面削减处理与上述各实施方式的情况相同，故省略说明。此实施方式的FPD的主要特征点，是通过进行上述外面削减处理，使外面100具有0.1μm以下的平坦性。
若说明平坦性，则如放大图7所表示，在外面100中，将最顶部101与最低部102的距离作为平坦性。此值是相当于表面粗糙度测定中测定最大粗糙度(Rmax)的情况。市售有来自数家公司的可测定最大粗糙度的表面粗糙度计，从其中适当选择即可测定上述外面100的平坦性。根据本申请发明者的研究，通过进行上述外面削减处理，可将一片玻璃基板1的厚度t作为0.5mm左右，且使平坦性(Rmax)为0.1μm以下，而可提供达成薄型化、轻量化且无显示不均的高性能FPD。另外此种平坦性，与进行外面削减处理之前玻璃基板1的外面平坦性为相同程度，此时会得到不会因为外面削减处理而损及平坦性的表现。
上述例子中，虽然以最大粗糙度作为平坦性，但也可用中心线平均粗糙度(Ra)作为平坦性。此时，是求出外面100的凹凸的平均高度，以其高度为基准，球出各凹凸高度差异的绝对值。此时也市售有可测定中心线平均粗糙度(Ra)的比面粗糙度计，故使用该者。顺带一提，中心线平均粗糙度的情况下，若在0.03mm以下则可提供无显示不均的FPD，此种平坦性亦可通过上述外面削减处理来达成。
另外上述构造，即使是液晶显示器之外的FPD也同样适用。如有机EL显示器般自发光的FPD的情况下，是取代光透过控制部而设置发光部。
权利要求
1.一种平面显示器的制造方法，所述方法包含于一方或双方为玻璃基板的一对基板中、最少一方形成电极的电极形成工序，和于电极形成工序后、经由密封材黏贴一对基板来密封内部的密封工序，和在密封工序之后、将玻璃基板亦即一方或双方的基板外面加以切削来打薄的玻璃基板外表削减工序；其特征在于所述玻璃基板外表削减工序，是将溶出所述玻璃基板外表的溶出液，向着所述外表喷射，来附加较本身重量所造成的重力加速度还要大的加速度，使溶出液往所述外表喷出并冲击所述外表，利用溶出液造成的冲击的物理作用，再加上溶出液的化学作用，将玻璃外表溶出以进行削减。
2.如权利要求1所述的平面显示器的制造方法，其特征在于，所述溶出液是氢氟酸者。
3.如权利要求1或2项所述的平面显示器的制造方法，其特征在于，所述溶出液造成所述外表的冲击时的压力处于0.5kg/cm2～3.5kg/cm2的范围。
4.如权利要求1至3之任一项所述的平面显示器的制造方法，其特征在于，在溶出液喷射中，是使所述外表成为垂直入射姿势，以保持所述基板。
5.如权利要求1至4之任一项所述的平面显示器的制造方法，其特征在于，是将所述黏合后的一对玻璃基板的双方外表，同时加以切削，以将整体厚度变薄。
6.如权利要求1至5之任一项所述的平面显示器的制造方法，其特征在于，所述溶出液的喷射，是利用具有喷射孔的喷嘴来进行；在削减开始时的喷嘴的喷射孔到所述玻璃基板外表为止的距离，是5mm以上100mm以下。
7.如权利要求1至5之任一项所述的平面显示器的制造方法，其特征在于，所述溶出液的喷射，是利用具有喷射孔的喷嘴来进行；各喷射孔是以等间隔来复数设置，且从各喷射孔到所述外表为止的距离是一定的。
8.一种外面削减装置，是将平面显示器用的玻璃基板外面做削减来打薄；其特征在于包括在内部进行外面削减处理的处理室；将所述玻璃基板保持于处理室内特定位置的基板保持具；具有将溶出液、向着被所述基板保持具保持的所述玻璃基板的该外表喷射的喷射孔的喷嘴；以及对喷嘴供给溶出液的溶出液供给系统；所述溶出液供给系统，是将附加有比本身重量所造成的重力加速度还要大的加速度的溶出液，往所述外表吹附并冲击所述外表，而可利用加上了溶出液的化学作用的冲击所造成的物理作用来将所述外表溶出以进行削减的压力，来对所述喷嘴供给溶出液。
9.如权利要求8所述的外表削减装置，其特征在于，所述溶出液是氢氟酸。
10.如权利要求8或9所述的外表削减装置，其特征在于，所述溶出液供给系统，是使所述溶出液从所述喷嘴的喷射孔被喷射，以0.5kg/cm2～3.5kg/cm2范围的压力冲击所述玻璃基板外表，对所述喷嘴供给所述溶出液。
11.如权利要求8至10之任一项所述的外面削减装置，其特征在于，所述基板的保持具，是在溶出液喷射中使所述外表成为垂直入射姿势，以保持所述基板。
12.如权利要求8至11之任一项所述的外面削减装置，其特征在于，所述喷嘴可将黏合后的一对玻璃基板的双方外面同时加以削减地设置在被基板保持具所保持的一对玻璃基板的两侧。
13.如权利要求8至12之任一项所述的外表削减装置，其特征在于，在削减开始时，从所述喷嘴的喷射孔到所述玻璃基板外表为止的距离，是5mm以上100mm以下。
14.如权利要求8至13之任一项所述的外表削减装置，其特征在于，各喷射孔是以等间隔来做复数设置，且从各喷射孔到所述外表为止的距离是一定的。
15.一种平面显示器，形成有黏合后的一对玻璃基板，于内部具有光透过控制部或是发光部；其特征在于一对玻璃基板的双方外表是，使溶出液向着所述外表喷射，以较本身重量所造成的重力加速度还要大的加速度，使得溶出液进行吹附冲击的方式来进行削减；具有最大粗糙度为0.1μm以下的平坦度。
全文摘要
本发明提供一种可达成FPD薄型化的实用技术，是于一对玻璃基板(1)的一边形成电极(11)，经由密封材(12)黏合玻璃基板(1)来密封内部之后，进行将玻璃基板(1)外面作切削来打薄厚度的外面削减工序。在外面削减工序中，从喷嘴(4)向着玻璃基板(1)的外面喷射由氢氟酸构成的溶出液(L)，附加有比本身重量所造成的重力加速度还要大的加速度，以0.5kg/cm
文档编号G09F9/00GK101063762SQ20061007990
公开日2007年10月31日 申请日期2006年4月27日 优先权日2006年4月27日
发明者柳泽真太郎 申请人:蔡孟廷