用于产生测量对象的至少一个虚拟图像的方法和设备的制造方法_3

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、倾翻、滚动或者横向运动。
[0047]在另一种实施方式中,附加地根据所述图像检测装置的图像传感器的传感器参数确定所述虚拟图像。
[0048]图像传感器在此表示一种用于将电磁射束、尤其是将光转换成电信号的器件。电信号又可以被转换成比特或者比特序列,其中,这些比特和比特序列编码图像的信息。图像传感器例如可以是CXD传感器或者CMOS传感器。显然,也可以设想其他类型的图像传感器。
[0049]先前描述的转换在此与传感器参数相关。传感器参数例如描述光的强度和例如电信号的幅度之间的关系。传感器参数也可以描述图像传感器的噪音特性、例如以信噪比的形式。此外,传感器参数可以例如以像素大小的形式描述分辨率,可以描述芯片大小、调制特性和动态特性。动态特性例如可以包括在图像传感器的以预先确定的强度曝光的情况下产生或者释放的光电流的特性、最小或者最大曝光时间和/或例如从光到电子和然后到比特的信号转换的特性、例如非线性。
[0050]传感器参数也可以描述图像传感器的反射率。反射率例如可与入射方向相关。因此,也可以直接地或者间接地在产生虚拟图像时考虑图像传感器的反射率,所述图像传感器可以在实际成像时例如产生所谓的虚光(Falschlicht)。
[0051]由此,也可以有利地在产生虚拟图像时考虑图像传感器的实际特性,所述实际特性作用于实际图像的产生。这又有利地允许如此改善所产生的虚拟图像的质量,使得所述虚拟图像尽可能少地偏离对应的实际图像。
[0052]在另一种实施方式中,在产生所述虚拟图像之后在所述虚拟图像上应用至少一个图像处理方法,其中,所述图像处理方法模拟所述图像检测装置的至少一个成像误差。在此,图像处理方法可以应用到至少一个像点上或者像点的预先确定的区域上。因此,成像误差的模拟不是根据借助成像参数的描述、而是通过图像处理方法的应用来实现。因此,不进行虚拟图像的基于模型的产生、而是进行虚拟图像的基于结果的产生。
[0053]图像处理方法在此表示例如数学运算,其应用于虚拟图像的基于值的表示。“基于值”在此表示,例如数学运算考虑和/或改变像点的强度值、例如灰度值。
[0054]这样的图像处理方法例如包括平滑操作、滤波操作和其它用于改变像点的强度值的操作。通过这样的图像处理方法也可以模拟图像传感器的与一个传感器元件相邻的传感器元件对该传感器元件的作用,所述作用也可以称作所谓的串扰,其可在曝光的情况下形成并且使由传感器元件产生的信号失真。
[0055]由此可以有利地模拟具有足够精度的成像特性,所述成像特性基于模型、尤其在数学上难以描述。
[0056]在另一种实施方式中,在产生虚拟图像之后将至少一个平滑滤波操作应用到所述虚拟图像上。根据所述测量对象的成像到一个或者多个像点中的点与所述图像检测装置的焦平面的间距来选择所述平滑滤波操作的强度。在此,平滑滤波操作的强度随着与焦平面的所成像的点增大的间距而增加。该间距例如可以根据图像检测装置的成像特性来描述。在光线追踪方法中,也可以在射束走向的计算期间确定和存储该间距。平滑滤波操作在此可以应用到一个像点或者多个像点上,相应的点成像到所述像点或者所述多个像点上。
[0057]平滑操作例如可以包括求平均值,尤其也可以包括经加权的求平均值,其中,在像点的预先确定的区域中计算强度值的平均值。该预先确定的区域在此可以包括一个像点或者多个像点,相应的点成像到所述一个像点或者多个像点上。在这种情况下,预先确定的区域的大小也可以根据强度来选择。尤其是该区域可以随着增加的强度而变得更大。
[0058]因此,可不改变对焦平面中的点进行成像的像点的强度值。对远离焦平面的点进行成像的像点可与相邻像点一起显著变模糊。
[0059]这能够有利地实现景深效果的简单仿真,该景深效果在实际图像的像点产生中引起前述效果。然而,这并不基于模型进行,相反地,所提出的平滑滤波操作产生与景深效果相同的结果。这尤其是当利用前述的光线追踪方法或者渲染方法时是有利的,因为这些方法产生清晰的虚拟图像。
[0060]因为图像检测装置的数值孔径决定性地影响景深效果,所以如前所述,在产生虚拟图像时可替代地通过考虑在确定虚拟图像时的数值孔径来模拟景深效果。
[0061]在另一种实施方式中,确定所述图像检测装置的(虚拟的)焦平面,其中,所述虚拟图像相应于所述虚拟测量对象的设置在所述(虚拟的)焦平面中的部分。这意味着,在产生虚拟图像时仅仅考虑来自(虚拟的)焦平面的或者来自该(虚拟的)焦平面周围的预先确定的区域的信息。因此,仅仅对于虚拟测量对象的布置在(虚拟的)焦平面中的或者在该焦平面周围的具有预先确定的大小的区域中的部分或者区域确定,所述部分或者区域如何成像到虚拟的图像平面中或者成像所述部分或者区域的射束如何转换成电信号。
[0062]光线追踪方法或者渲染方法尤其是可仅仅对于测量对象的以下部分或者区域来进行,所述部分或者区域布置在(虚拟的)焦平面中或者在该焦平面周围的预先确定的区域中。例如,前述的部分或者区域的选择可以通过所谓的削波功能来实现,所述削波功能在光线追踪方法中允许挑选确定的深度区域。
[0063]由此可以有利地简化、尤其是加速虚拟图像的产生,因为在产生虚拟图像时可考虑更少的信息。
[0064]在另一种实施方式中,根据用于产生所述虚拟图像的对应参数来调节至少一个光源的至少一个可调节的参数。如果虚拟图像的产生例如根据至少一个光源的确定的发射参数进行,则例如可相应于所述对应的发射参数调节实际光源的可变参数。例如,可以相应于光源的在产生虚拟图像时所应用的强度来调节实际光源的强度。替代地或者累积地,也可以在实际光源中相应地调节前述发射参数中的其它参数。
[0065]替代地或者累积地,可以相应于在产生虚拟图像时考虑的参数调节坐标测量装置的至少一个可调节的参数。这尤其适用于前述的运动参数。
[0066]替代地或者累积地,可以相应于在产生虚拟图像时考虑的参数调节图像检测装置的至少一个可调节的参数。这样一个参数例如可以是焦距。
[0067]替代地或者累积地,可以相应于在产生虚拟图像时考虑的参数调节光学传感器的至少一个可调节的参数。这样一个参数例如可以是敏感性。
[0068]因此,这能够有利地实现:用于模拟的参数承担用于调节实际参数和因此用于控制实际的光学测量。所述承担在此例如可以自动地进行或者例如通过相应的使用者输入来触发。为此,可以将相应的数据从用于产生至少一个虚拟图像的设备传输到坐标测量装置的一个或者多个相应的控制装置上。
[0069]所建议的方法能够有利地通过坐标测量装置的图像检测装置实现图像拍摄的逼真模拟。使用者或者用于自动调节的算法例如可以根据如此产生的用于工件的实际光学测量的虚拟图像来估计图像剪裁、合适的放大、合适的工作间距以及其它在图像拍摄中可调节的参数。然后,用于模拟的参数可被用于控制坐标测量装置。
[0070]也可以根据所产生的虚拟图像测试用于特征探测和特征确定以及用于焦点测量的方法。因此,在实际测量之前、也即离线地可以预处理例如测试计划,所述测试计划能够实现测量对象的所期望的测量。
[0071]此外,可以通过所建议的方法测试用于分析处理实际上产生的图像的方法,例如用于基于图像地测量测量对象的方法。例如可以根据虚拟图像实施用于特征识别、边缘探测和边缘测量的方法、尤其是图像处理方法。
[0072]使用者也可以借助不同的参数、例如借助不同的照明强度、借助不同的运动参数、借助不同的虚拟位置和/或定向等产生虚拟图像并且基于所产生的虚拟图像确定对于实际使用的测量最优的参数。这可以对于每一个测量任务、即对于每一个测量对象或者甚至对于测量对象上的一个、多个或者所有待测量的特征或者(部分)结构单独地进行。
[0073]前
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