专利名称：一种全金属光栅的制作方法
技术领域：
一种全金属码盘或光栅涉及一种光栅，特别是全金属光栅。一种全金属光栅包括图形区和非图形区，图形区厚度较薄，以保证码盘或光栅有足够高的分辨率，非图形区厚度较厚，以保证光栅的机械强度和平整度。
目前，全金属光栅的图形区和非图形区厚度是相同的，通过刻蚀不锈钢、铜和铝等金属或光刻后再进行电镀完成。由于要保证全金属光栅的机械强度和平整性能，使用这两种方法制造的全金属光栅的厚度不能很薄，很难在图形区制造出很精细的图形。本实用新型的目的是提供一种具有高分辨率、高机械强度和平整度的光栅。实际使用中，全金属主光栅和副光栅配合使用。
全金属主光栅是由一块完整的矩形材料制成，面积为1-300cm2。光栅分图形区1和非图形区2。图形区1处在矩形的中间部位，由主计量光栅1a和零位窗口1b组成；图形为矩形或矩形组合；图形宽度4-200微米，厚度2-40微米；矩形线可分成二部分、三部分或更多部分；非图形区2处在图形区1以外区域，由过渡区2a和厚度加强区2b组成，厚度加强区2b厚度50-200微米；过渡区厚度2a与图形区1厚度相同2-40微米。
全金属副光栅是由一块完整的矩形材料制成，面积为1-10cm2。光栅分图形区3和非图形区4。图形区3处在矩形的中间部位，由主计量光栅3a和零位窗口3b组成；图形为矩形或矩形组合；图形宽度4-200微米，厚度2-40微米；矩形线可分成二部分、三部分或更多部分；非图形区4处在图形区3以外区域，由过渡区4a和厚度加强区4b组成，厚度50-200微米；过渡区厚度4a与图形区3厚度相同2-40微米。
全金属主光栅和副光栅，图形结构相互对应，配对、重叠在一起使用。
以下结合附图和实施例作进一步的说明。
图1全金属主光栅结构示意图。
图2全金属副光栅结构示意图。
图1中A为俯视图，B为抛面主视图。
图2中A为俯视图，B为抛面主视图。
实施例本实用新型全金属主光栅是由一块完整的矩形材料制成，面积为20cm2。光栅分图形区1和非图形区2。图形区1处在矩形的中间部位，由主计量光栅1a和零位窗口1b组成；图形为矩形组合；图形宽度80微米，厚度20微米；矩形线段分成三部分；非图形区2处在图形区1以外区域，由过渡区2a和厚度加强区2b组成，厚度加强区2b厚度100微米；过渡区厚度2a与图形区1厚度相同。
全金属副光栅是由一块完整的矩形材料制成，面积为2cm2。光栅分图形区3和非图形区4。图形区3处在矩形的中间部位，由主计量光栅3a和零位窗口3b组成；图形为矩形组合，图形宽度90微米，厚度20微米；矩形线段可分成二部分；非图形区4处在图形区3以外区域，由过渡区4a和厚度加强区4b组成，厚度100微米；过渡区厚度4a与图形区3厚度相同20微米。
全金属主光栅和副光栅，图形结构相互对应，配对、重叠在一起使用。
权利要求1.一种全金属主光栅是由一块完整的矩形材料制成，光栅分图形区(1)和非图形区(2)；其特征在于光栅的图形区(1)处在矩形的中间部位，由主计量光栅(1a)和零位窗口(1b)组成；图形为矩形或矩形组合，图形宽度4-200微米，厚度2-40微米；非图形区2处在图形区1以外区域，由过渡区2a和厚度加强区2b组成，图形形状没有限制，厚度50-200微米；过渡区厚度2a与图形区1厚度相同2-40微米；主光栅面积为1-300cm2。
2.一种全金属副光栅是由一块完整的矩形材料制成，光栅分图形区(3)和非图形区(4)；其特征在于光栅的图形区(3)处在矩形的中间部位，由主计量光栅(3a)和零位窗口(3b)组成；图形为矩形或矩形组合，图形宽度4-200微米，厚度2-40微米；非图形区(4)处在图形区(3)以外区域，由过渡区(4a)和厚度加强区(4b)组成，图形形状没有限制，厚度50-200微米；过渡区厚度(4a)与图形区3厚度相同2-40微米；副光栅面积为1-10cm2。
3.根据权利要求1和2所述的全金属主光栅和副光栅，其特征在于主光栅和副光栅的图形区厚度薄，非图形区中的厚度加强区较厚，主光栅和副光栅的图形结构相互对应，配对。
4.根据权利要求1和2所述的全金属主光栅和副光栅，其特征在于图形区的矩形线段可分成二部分、三部分或更多部分。
专利摘要本实用新型是一种全金属光栅，包括图形区和非图形区，图形区的图形为矩形、梯形、扇形或其中任意两种相同图形组合。图形区厚度为4－20微米，图形宽4－200微米，非图形区包括过渡区和厚度加强区，厚度加强区厚度50－200微米。该实用新型全金属光栅的优点为高分辨率、高机械强度和平整度。
文档编号G02B5/18GK2665725SQ0326519
公开日2004年12月22日 申请日期2003年6月5日 优先权日2003年6月5日
发明者伊福廷 申请人:中国科学院高能物理研究所