专利名称：涂布设备及其防止接头未拔取的装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种涂布设备中用来防止接头未拔取的装置。
背景技术：
图l表示在现有黄光工艺中，对晶片涂布光刻胶的设备。现有涂布设备
100包括储液瓶10、中继室20、泵30、回吸阀(suckback valve)40与喷嘴50。 储液瓶10中储存光刻胶液，当泵30运转时，光刻胶液会从储液瓶10依次 经由中继室20、泵30、回吸阀40而从喷嘴50喷出至晶片5上进行涂布。
在储液瓶10与中继室20之间的管路70上设有气泡传感器60,当储液 瓶10中的光刻胶液用尽时，空气会从管路70进入中继室20而在管路70上 产生气泡，此时气泡传感器60感测到气泡，会发出信号至机台(未示出)， 在机台中具有电路200，如第2图所示，指示灯80连接至该电路200，气泡 传感器60的信号从结点90输入，使指示灯80亮起，此时操作人员根据亮 起的指示灯80而得知储液瓶10中的光刻胶液已经用尽，因此需更换新的储 液并瓦10。
在更换新的储液瓶IO之后，需要用氮气对储液瓶10中的光刻胶液加压， 以便将储液瓶10的光刻胶液中固有的微小气泡排出，因此操作人员会将连 接至氮气加压装置(未示出)的接头15 (参照图1 )连接至储液瓶10进行 加压，等气泡排除完成后，操作人员会将接头15拔除，并操作机台使指示 灯80熄灭，然后继续进行喷涂作业。
在此工艺中，若作业人员忘记将接头15从储液瓶10移除，则仍然可以 操作机台使指示灯80熄灭，然后继续进行喷涂作业，但是由于氮气加压装 置仍然连接到储液瓶10并持续加压，光刻胶液涂布至晶片5上的厚度会产 生异常，同时过大的压力会损坏泵30以及回吸阀40。
发明内容
有鉴于此，本发明提供一种防止接头未拔取的装置，藉此若接头未从储
液瓶拔除，则无法操作机台使指示灯熄灭，如此使操作人员可以检查接头拔 除与否，而避免产生接头未拔除的状况。
本发明的防止接头未拔取的装置的优选实施例包括钥匙、基座以及指示 装置。钥匙设于接头上，基座被设置成与储液瓶保持适当距离，指示装置具 有一电路，钥匙与基座分别连接到该电路。当钥匙与连接到基座时，使该电 路形成闭路，当钥匙脱离基座时，使该电路形成开路，且通过该适当距离， 接头脱离工作装置后钥匙才能连接到基座。指示装置还包括指示灯，连接到 该电路，当指示灯亮起时，通过钥匙与连接到基座使该电路成为闭路，而使 指示灯熄灭。
在上述优选实施例中，该钥匙可为插接件，通过插入基座而连接。 在另一优选实施例中，钥匙为无线电发射器，基座设有接收器，当钥匙 与基座接近至感应距离时，钥匙以无线电波与基座连接，感应距离需小于适
当距离。
为了让本发明的上述和其他目的、特征、和优点能更明显易懂，下文特
举优选实施例，并配合所附图示，作详细说明如下
图1为现有的涂布设备的示意图。
图2为现有的连接到图1的涂布设备的机台中的电路。
图3a、 3b为本发明的涂布设备的示意图。
图4为本发明的连接到图3a、 3b涂布设备的机台中的电路。
附图标记说明
5: 晶片10储液瓶;
20:中继室30泵
40:回p及阀50喷嘴
60:气泡传感器70管路
80:指示灯90结点
100:涂布设备152:钥匙
154:基座200:电路
400:电路470: 5负载480指示灯490结点
500涂布设备510储液瓶(工作装置)
520中继室530泵
540回吸阀550喷嘴
560气泡传感器570管路
具体实施例方式
图3a、 3b表示本发明的涂布设备的示意图。本发明的涂布设备500包 括储液瓶(工作装置)510、中继室520、泵530、回吸阀(suckbackvalve) 540以及喷嘴550。储液瓶510中储存光刻胶液，当泵530运转时，光刻胶 液会从储液瓶510依次经由中继室520、泵530、回吸阀540而从喷嘴550 喷出至晶片5上进行涂布。
在储液瓶510与中继室520之间的管路570上设有气泡传感器560,当 储液瓶510中的光刻胶液用尽时，空气会从管路570进入中继室520而在管 路570上产生气泡，此时气泡传感器560感测到气泡，会发出信号至机台(未 示出)。
在机台中具有电路400，如图4所示，指示灯480被连接到电路400上， 气泡传感器560的信号从结点490输入电路400，使指示灯480点亮。
回到图3a，操作人员根据点亮的指示灯480得知储液瓶510中的光刻胶 液已经用尽，因此更换新的储液瓶510，同时将连接至氮气加压装置(未示 出)的接头15连接至储液瓶510,进行排除光刻胶液中固有微小气泡的作业， 在接头15上设有钥匙152，在与储液瓶510具有适当距离d处设有基座154， 钥匙152与基座154分别连接到电路400中结点490与负栽470之间。当钥 匙152与基座154分离时，即接头15仍连接到储液瓶510时，结点490与 负载470之间呈开路的状态，当指示灯480亮起时，即使操作机台也无法使 指示灯480熄灭。
图3b表示接头15从储液瓶510移除并将设置于接头15的钥匙152插 接在基座154上，由此图4所示的电路400中，负载470与结点490之间的 回路由于钥匙152连接到基座154而形成闭路，这样才可操作机台使指示灯 480熄灭，而继续进行后续的喷涂作业。
在本实施例中钥匙152为插接件，通过插接于基座154而使负载470与
结点490之间的回路形成闭路。但是钥匙152也可使用无线的方式与基座154 产生连接，例如钥匙152为无线电发射器，基座154设有接收器，当钥匙152 与基座154接近至感应距离时，产生电性连接而使负载470与结点490之间 的回路形成闭路。
通过本发明的钥匙152与基座154,使得在未拔除接头15的情况下，负 载470与结点490之间的回路形成开路，无法通过操作机台使指示灯480熄 灭，可以藉此提醒作业人员接头15尚未拔除，避免人为的疏失而影响产品 的良品率或造成设备的损坏。
本发明的防止接头未拔取的装置可以应用于半导体黄光工艺、旋转涂布 工艺以及其他需要防止接头未拔除的工艺中。
虽然本发明已以优选实施例揭露如上，然其并非用以限定本发明，本领 域技术人员在不脱离本发明的精神和范围内，当可作些许改动与润饰，因此 本发明的保护范围当以权利要求所界定的为准。
权利要求
1.一种防止接头未拔取装置，用于接头，该接头可拆卸地连接到工作装置，该防止接头未拔取装置包括钥匙，设于该接头上；基座，设置成与该工作装置保持适当距离；指示装置，具有电路，该钥匙与该基座分别连接到该电路，其中当该钥匙与连接到该基座时，该电路形成闭路，当该钥匙脱离该基座时，该电路形成开路，且通过该适当距离，该接头脱离该工作装置后该钥匙才能连接到该基座。
2. 如权利要求1所述的防止接头未拔取装置，其中该钥匙为插接件， 通过插入该基座而连接。
3. 如权利要求1所述的防止接头未拔取装置，其中该钥匙为无线电发 射器，该基座设有接收器，当该钥匙与该基座接近至感应距离时，该钥匙以 无线电波与该基座连接。
4. 如权利要求3所述的防止接头未拔取装置，其中该感应距离小于该 适当距离。
5. 如权利要求1所述的防止接头未拔取装置，其中该指示装置还包括 指示灯，连接到该电路，当该指示灯亮起时，通过该钥匙与连接到该基座使 该电路成为闭路，而使该指示灯熄灭。
6. —种涂布设备，包括 储液瓶，储存涂布液体； 喷嘴；泵，连接该储液瓶与该喷嘴；中继室，连接该泵与该储液瓶；气泡感应器，设于该储液瓶与该中继室的管路上；接头，可拆卸地连接到该储液瓶；钥匙，设于该接头上；基座，设置成与该储液瓶保持适当距离；指示装置，具有电路以及指示灯，该指示灯以及该气泡感应器连接到该 电路，其中该涂布液体通过该泵的运转，从该储液瓶经由该中继室、该泵而 从该喷嘴喷出，当该储液瓶中的该涂布液体用尽时，该气泡感应器感应到气 泡而输出信号至该电路使该指示灯亮起，该钥匙与该基座分别连接到该电 路，当该钥匙与连接到该基座时，该电路形成闭路，而使该指示灯熄灭，且 通过该适当距离，该接头脱离该储液瓶后该钥匙才能连接到该基座。
7. 如权利要求6所述的涂布设备，其中该钥匙为插接件，通过插入该 基座而连接。
8. 如权利要求6所述的涂布设备，其中该钥匙为无线电发射器，该基 座设有接收器，当该钥匙与该基座接近至感应距离时，该钥匙以无线电波与 该基座连才妾。
9. 如权利要求8所述的涂布设备，其中该感应距离小于该适当距离。
10. 如权利要求6所述的涂布设备，其中该涂布设备应用于半导体的黄 光工艺。
11. 如权利要求6所述的涂布设备，其中该涂布设备应用于旋转涂布玻 璃的工艺。
全文摘要
本发明公开了一种防止接头未拔取装置，用于接头，该接头可拆卸地连接到工作装置，该防止接头未拔取装置包括钥匙、基座以及指示装置。钥匙被设在接头上，基座设置成与工作装置保持适当距离，指示装置具有电路，钥匙与基座分别连接到该电路。当钥匙连接到基座时，该电路形成闭路，当钥匙脱离基座时，该电路形成开路，且通过该适当距离，接头脱离工作装置后钥匙才能连接到基座。
文档编号G03F7/16GK101174091SQ200610143310
公开日2008年5月7日 申请日期2006年11月3日 优先权日2006年11月3日
发明者杨盛华, 梁景泯 申请人:力晶半导体股份有限公司