专利名称：用于氢化炉的波纹管双层玻璃视镜的制作方法
技术领域：
本实用新型属于太阳能光伏技术领域，涉及一种氢化炉中的测温视镜，特别是涉
及一种用于氢化炉的波纹管双层玻璃视镜。
背景技术：
近几年来，国内多晶硅生产技术高速发展，然而现在生产多晶硅80 %采用西门子法，西门子法制备多晶硅的同时，也生成了大量副产物SiC^、 SiCl4不仅浪费原材料，处理不当还会造成严重的环境污染问题，为了降低生产成本，循环利用生产原料，防止环境污染，急需能够有效处理SiCl4的氢化炉。 氢化炉运作时需要通过观察炉内温度对各工艺口进行控制，以保持设备稳定高效的运行，这就需要在氢化炉中设置一个或几个测温视镜。 目前，还没有氢化炉的专用视镜，常用视镜结构简单，而氢化炉是夹套结构，需要设置引出管连接视镜和设备，由于设备内部反应温度很高，筒体和夹套温差很大，造成引出管周期性的受热膨胀并导致焊缝疲劳破坏而出现裂缝，而且视镜玻璃的耐热温度有限，故而需要采用新的结构，既能对视镜的关键部位进行冷却，又能防止焊缝疲劳破坏。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种用于氢化炉的波纹管双层玻璃视镜，用于解决氢化炉设备内筒体和夹套温差过大，而导致视镜引出管受热膨胀引起的焊缝疲劳破坏的技术问题，同时还要解决视镜玻璃的冷却问题。 为了实现本实用新型的目的，本实用新型的用于氢化炉的波纹管双层玻璃视镜，其依次包括固定相连接的外法兰、外视镜玻璃、中间法兰、内视镜玻璃和内法兰，所述内法兰通过引出管与氢化炉的内筒体相连接。所述引出管外套设有与其同轴心的波纹管，所述波纹管一端与所述内法兰相连，另一端与所述夹套筒体相连。 其中，所述外视镜玻璃、所述中间法兰和所述内视镜玻璃形成一水冷却室，所述中
间法兰外侧分别设有冷却水进水管和冷却水出水管，并与所述水冷却室相通。 所述冷却水进水管与冷却水出水管均沿径向固定在中间法兰外侧。 所述波纹管与所述内法兰内端通过短节连接，与所述夹套筒体通过外锻件管连接。 所述引出管与所述内筒体通过内锻件管连接。 所述的外法兰、外视镜玻璃、中间法兰、内视镜玻璃和内法兰通过紧固螺栓和螺母连接。 本实用新型用于氢化炉的波纹管双层玻璃视镜的工作原理是氢化炉工作时，引出管受热膨胀，夹套筒体中的冷却水流经波纹管和引出管之间的间隙对引出管进行冷却，减少热膨胀量，并由波纹管吸收剩余膨胀量。冷却水经进出水管通过水冷却室对视镜玻璃进行冷却。[0013] 本实用新型和已有技术相比，具有以下优点 1.本实用新型在引出管外套设波纹管，利用波纹管和引出管之间的间隙填充冷却水，对引出管和内法兰进行冷却，并且利用波纹管吸收引出管的热膨胀，避免了温度变化产生的疲劳破坏，保证了设备的安全运行。 2.在内外层视镜之间设置水冷却室，通过外接管路通入冷却水对视镜玻璃进行冷却，并且双层视镜玻璃提高了视镜的安全性。
图1是本实用新型的用于氢化炉的波纹管双层玻璃视镜结构示意图。[0017] 图中，1是外锻件管、2是波纹管、3是短节、4是内法兰、5是冷却水进水管、6是中间法兰、7是外法兰、8是外视镜玻璃、9是紧固螺栓、10是螺母、11是冷却水出水管、12是内视镜玻璃、13是引出管、14是内锻件管、15是夹套筒体、16是内筒体。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的具体结构作进一步描述。 如图1所示，本实用新型用于氢化炉的波纹管双层玻璃视镜包括外法兰7、中间法兰6、内法兰4、外视镜玻璃8、内玻璃视镜12、引出管13、波纹管2、短节3、外锻件管1、内锻件管14、进水管11、出水管5、螺栓9和螺母10。 其中外法兰7、外视镜玻璃8、中间法兰6、内视镜玻璃12和内法兰4依次排布，并用紧固螺栓9和螺母IO连接。外视镜玻璃8、中间法兰6和内视镜玻璃12围成了一个水冷却室。冷却水由进水管11进入水冷却室，吸收内视镜玻璃12和外视镜玻璃8的热量后从出水管5流出，进水管11与出水管5均沿径向焊接在中间法兰6外侧。[0021] 内法兰4与引出管13焊接连接，内筒体16与引出管13通过内锻件管14焊接连接，并且在引出管13外套设有与其同心的波纹管2。波纹管2通过短节3与内法兰4焊接连接，通过外锻件管1与夹套筒体15焊接连接。引出管13与波纹管2之间留有间隙，夹套筒体内的冷却水可以流入间隙中对引出管13和内法兰4进行冷却。 本实施例用于氢化炉的波纹管双层玻璃视镜的工作过程是夹套筒体15冷却水流经波纹管2和引出管13之间的间隙，外部冷却水通过进水管5和出水管11流经由外视镜玻璃8、中间法兰6和内视镜玻璃12组成的水冷却室。 氢化炉工作时，引出管13受热，波纹管2和引出管13之间的冷却水对引出管13和内法兰4进行冷却，并由波纹管2吸收引出管13的热膨胀，避免了温度变化引起的疲劳破坏，保证了设备的安全运行。 进水口 5流入的冷却水对外视镜玻璃8和内视镜玻璃12进行冷却，双层视镜玻璃也提高了视镜安全性。
权利要求一种用于氢化炉的波纹管双层玻璃视镜，其特征在于，其依次包括固定相连接的外法兰(7)、外视镜玻璃(8)、中间法兰(6)、内视镜玻璃(12)和内法兰(4)，所述内法兰(4)通过引出管(13)与氢化炉的内筒体(16)相连接，所述引出管(13)外套设有与其同轴心的波纹管(2)，所述波纹管(2)一端与所述内法兰(4)相连，另一端与所述夹套筒体(15)相连。
2. 根据权利要求1所述的用于氢化炉的波纹管双层玻璃视镜，其特征在于，所述外视镜玻璃(8)、所述中间法兰(6)和所述内视镜玻璃(12)形成一水冷却室，所述中间法兰(6)外侧分别设有冷却水进水管(11)和冷却水出水管(5)，并与所述水冷却室相通。
3. 根据权利要求2所述的用于氢化炉的波纹管双层玻璃视镜，其特征在于，所述冷却水进水管(5)与冷却水出水管(11)均沿径向固定在中间法兰(6)外侧。
4. 根据权利要求l-3任意一项所述的用于氢化炉的波纹管双层玻璃视镜，其特征在于，所述波纹管(2)与所述内法兰(4)内端通过短节(3)连接，与所述夹套筒体(15)通过外锻件管(1)连接。
5. 根据权利要求4所述的用于氢化炉的波纹管双层玻璃视镜，其特征在于，所述引出管(13)与所述内筒体(16)通过内锻件管(14)连接。
6. 根据权利要求1所述的用于氢化炉的波纹管双层玻璃视镜，其特征在于，所述的外法兰(7)、外视镜玻璃(8)、中间法兰(6)、内视镜玻璃(12)和内法兰(4)通过紧固螺栓(9)和螺母(10)连接。
专利摘要本实用新型提供了一种用于氢化炉的波纹管双层玻璃视镜，其依次包括固定相连接的外法兰、外视镜玻璃、中间法兰、内视镜玻璃和内法兰，所述内法兰通过引出管与氢化炉的内筒体相连接，所述引出管外套设有与其同轴心的波纹管，所述波纹管一端与所述内法兰相连，另一端与所述夹套筒体相连。本实用新型利用波纹管和引出管之间的间隙填充冷却水，对引出管和内法兰进行冷却，并且利用波纹管吸收引出管的热膨胀，避免了温度变化产生的疲劳破坏，保证了设备的安全运行。
文档编号G02B7/00GK201514504SQ20092021000
公开日2010年6月23日 申请日期2009年9月24日 优先权日2009年9月24日
发明者吴海龙, 李东曦, 石兰, 茅陆荣 申请人:上海森松压力容器有限公司