专利名称：显影液的喷洒装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及生产制造领域，特别是指一种显影液的喷洒装置。
背景技术：
现有技术中，制作TFT (Thin Film Transistor,薄膜晶体管)液晶显示面板时,在ARRAY(阵列)流程中有三个部分即薄膜、光刻和刻蚀。在光刻エ艺中，需要在玻璃基板上涂覆ー层光刻胶，然后再进行曝光和显影，再经过刻蚀，形成最終的图案。进行显影的方式较多，有浸泡式、持续喷洒式和喷洒振荡式等等。浸泡式可以防 止显影液溅射，但是显影速度慢，エ艺制程复杂，并且浪费显影液。喷洒式是通过滑轮带动待喷洒显影液的玻璃基板在喷洒显影液的喷头下面移动，从而使得玻璃基板上喷洒有显影液。但是，喷头喷出的显影液并不均匀，容易引起图形缺陷的问题。
实用新型内容本实用新型要解决的技术问题是提供一种显影液的喷洒装置，能够均匀地在玻璃基板上喷洒显影液。为解决上述技术问题，本实用新型的实施例提供技术方案如下一种显影液的喷洒装置，包括密闭的盒体，所述盒体的底壁的第一端设置有一液体出口，所述液体出口的宽度与待喷洒显影液的玻璃基板的宽度一致；喷头，设置在所述盒体的内壁上，所述喷头连接有显影液容器，用于向所述盒体内喷洒显影液，所述喷头喷出的显影液经由所述液体出口排出。所述液体出ロ呈一直线，并且所述液体出口与水平面平行。所述的显影液的喷洒装置，还包括吹风ロ，设置在所述盒体的内壁上，所述吹风ロ连接有出风装置，用于向所述喷头喷出的显影液吹风；所述吹风ロ的风向与所述喷头的流向之间的角度在5度-175度之间。所述吹风ロ设置在所述盒体的顶壁的内表面上，所述喷头设置在所述盒体的第一侧壁的内表面上，所述盒体的第一侧壁与所述底壁的第一端相対。所述喷头设置在所述盒体的顶壁的内表面上，所述吹风ロ设置在所述盒体的第一侧壁的内表面上，所述盒体的第一侧壁与所述底壁的第一端相対。所述喷头设置在所述盒体的顶壁的内表面上，所述吹风ロ设置在所述盒体的第二侧壁的内表面上，所述盒体的第二侧壁与所述底壁的第一端相连接。所述盒体的底壁与水平面的倾斜角度在5度-45度之间，所述底壁的设置有液体出ロ的第一端低于所述底壁的未设置液体出ロ的第二端。所述盒体的底壁设置有液体出口的第一端连接有缓冲导板。所述缓冲导板的倾斜角度和所述盒体的底壁的倾斜角度一致。所述显影液的喷洒装置比所述玻璃基板高O. 5CM-2CM。[0019]本实用新型的实施例具有以下有益效果上述方案中，显影液的喷洒装置包括密闭的盒体，所述盒体的底壁的第一端设置有一液体出口，所述液体出口的宽度与待喷洒显影液的玻璃基板的宽度一致；喷头，设置在所述盒体的内壁上，所述喷头连接有显影液容器，用于喷洒显影液，所述喷头喷出的显影液经由所述液体出口排出。当需要在玻璃基板上喷洒显影液时，使用滑轮带动玻璃基板通过喷洒装置下方；喷头连接显影液容器，向盒体内喷洒显影液；显影液在密闭的盒体内，通过所述液体出ロ流出；液体出ロ的宽度与待喷洒显影液的玻璃基板的宽度一致，使得显影液均匀地流到玻璃基板上。
图I为本实用新型的显影液的喷洒装置的一实施例的示意图；图2为本实用新型的显影液的喷洒装置的另ー实施例的示意图；图3为本实用新型的显影液的喷洒装置的另ー实施例的示意图。
具体实施方式
为使本实用新型的实施例要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例进行详细描述。图I为本实用新型的显影液的喷洒装置的一实施例的示意图；图2为本实用新型的显影液的喷洒装置的另ー实施例的示意图；图3为本实用新型的显影液的喷洒装置的另一实施例的示意图。以下结合图1、2、3，描述本实用新型的显影液的喷洒装置。如图1、2、3所示，本实用新型的显影液的喷洒装置，包括密闭的盒体10，所述盒体10的底壁11的第一端111设置有一液体出ロ 90，所述液体出ロ 90的宽度与待喷洒显影液的玻璃基板30的宽度一致；喷头40，设置在所述盒体10的内壁上，所述喷头40连接有显影液容器(图中未示)，用于向所述盒体10内喷洒显影液，所述喷头40喷出的显影液经由所述液体出ロ排出。当需要往玻璃基板30上喷洒显影液吋，使用滑轮80带动玻璃基板30通过喷洒装置下方。喷头40连接显影液容器，向盒体10内喷洒显影液；显影液在密闭的盒体10内，通过所述液体出ロ 90流出；液体出ロ 90的宽度与待喷洒显影液的玻璃基板的宽度一致，使得显影液均匀地流到玻璃基板上，并且，流出的显影液能够完全覆盖玻璃基板30的表面。进ー步，所述的显影液的喷洒装置，还包括吹风ロ 20，设置在所述盒体10的内壁上，所述吹风ロ 20连接有出风装置，用于向所述喷头40喷出的显影液吹风；所述吹风ロ 20的风向与所述喷头40的流向之间的角度在5度-175度之间。吹风ロ 20吹出的风对喷头喷洒出的显影液进行吹拂，使得显影液更均匀。本实用新型中，吹风ロ 20和喷头40的位置可以灵活设置。例如,如图I所示,所述吹风ロ 20设置在所述盒体10的顶壁51的内表面上,所述喷头40设置在所述盒体10的第一侧壁52的内表面上，所述盒体的第一侧壁52与所述底壁11的第一端111相対。例如，如图2所示，所述喷头40设置在所述盒体10的顶壁51的内表面上，所述吹风ロ 20设置在所述盒体10的第一侧壁52的内表面上，所述盒体10的第一侧壁52与所述底壁11的第一端111相对。例如，如图3所示，所述喷头40设置在所述盒体10的顶壁51的内表面上，所述吹风ロ 20设置在所述盒体10的第二侧壁53的内表面上，所述盒体10的第二侧壁53与所述底壁11的第一端111相连接。所述显影液的喷洒装置可以比所述玻璃基板30高O. 5CM-2CM，使得显影液流向玻璃基板时，流速比较缓和。为了对显影液的流速进行缓冲，所述盒体10的底壁11与水平面的倾斜角度为5度-45度之间，所述底壁11的设置有液体出ロ的第一端111低于所述底壁的未设置液体出ロ的第二端112。 所述盒体10的底壁11设置有液体出ロ的第一端111连接有缓冲导板60，缓冲导板60将显影液导向玻璃基板30。优选的，所述缓冲导板60的倾斜角度和所述盒体的底壁的倾斜角度一致。所述液体出ロ 90呈一直线，并且所述液体出ロ与所述水平面平行，这样，从所述液体出ロ 90流出的显影液喷洒到玻璃基板30时，对玻璃基板30的作用カー致，使得喷洒更均匀。本实用新型的显影液的喷洒装置能够使显影液均匀地喷洒在玻璃基板上；并且，相比于现有技术中直接用喷头进行喷洒的方式，本实用新型的显影液的喷洒装置可以防止由于显影液溅射导致的图形缺陷，从而提高生产的良品率，降低生产成本。以上所述是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型所述原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
权利要求1.一种显影液的喷洒装置，其特征在于，包括 密闭的盒体，所述盒体的底壁的第一端设置有一液体出口，所述液体出口的宽度与待喷洒显影液的玻璃基板的宽度一致； 喷头，设置在所述盒体的内壁上，所述喷头连接有显影液容器，用于向所述盒体内喷洒显影液，所述喷头喷出的显影液经由所述液体出口排出。
2.根据权利要求I所述的显影液的喷洒装置，其特征在于，其特征在于，所述液体出ロ呈一直线，并且所述液体出口与水平面平行。
3.根据权利要求I所述的显影液的喷洒装置，其特征在于，还包括 吹风ロ，设置在所述盒体的内壁上，所述吹风ロ连接有出风装置，用于向所述喷头喷出的显影液吹风；所述吹风ロ的风向与所述喷头的流向之间的角度在5度-175度之间。
4.根据权利要求I所述的显影液的喷洒装置，其特征在于，所述吹风ロ设置在所述盒体的顶壁的内表面上，所述喷头设置在所述盒体的第一侧壁的内表面上，所述盒体的第一侧壁与所述底壁的第一端相対。
5.根据权利要求I所述的显影液的喷洒装置，其特征在于，所述喷头设置在所述盒体的顶壁的内表面上，所述吹风ロ设置在所述盒体的第一侧壁的内表面上，所述盒体的第一侧壁与所述底壁的第一端相対。
6.根据权利要求I所述的显影液的喷洒装置，其特征在于，所述喷头设置在所述盒体的顶壁的内表面上，所述吹风ロ设置在所述盒体的第二侧壁的内表面上，所述盒体的第二侧壁与所述底壁的第一端相连接。
7.根据权利要求I所述的显影液的喷洒装置，其特征在干， 所述盒体的底壁与水平面的倾斜角度在5度-45度之间，所述底壁的设置有液体出ロ的第一端低于所述底壁的未设置液体出口的第二端。
8.根据权利要求I所述的显影液的喷洒装置，其特征在于，所述盒体的底壁设置有液体出ロ的第一端连接有缓冲导板。
9.根据权利要求8所述的显影液的喷洒装置，其特征在干，所述缓冲导板的倾斜角度和所述盒体的底壁的倾斜角度一致。
10.根据权利要求I所述的显影液的喷洒装置，其特征在于，所述显影液的喷洒装置比所述玻璃基板高O. 5CM-2CM。
专利摘要本实用新型提供一种显影液的喷洒装置，为解决现有技术中在玻璃基板上喷洒显影液不均匀的技术问题而设计。所述的显影液的喷洒装置，包括密闭的盒体，所述盒体的底壁的第一端设置有一液体出口，所述液体出口的宽度与待喷洒显影液的玻璃基板的宽度一致；喷头，设置在所述盒体的内壁上，所述喷头连接有显影液容器，用于向所述盒体内喷洒显影液，所述喷头喷出的显影液经由所述液体出口排出。本实用新型能够在玻璃基板上均匀地喷洒显影液。
文档编号G03F7/30GK202486499SQ20112054113
公开日2012年10月10日 申请日期2011年12月21日 优先权日2011年12月21日
发明者于航, 惠官宝 申请人:京东方科技集团股份有限公司