专利名称：喷嘴保养装置及使用该喷嘴保养装置的涂布处理装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及ー种喷嘴保养装置及使用该喷嘴保养装置的涂布处理装置，本发明尤其涉及ー种对在长条状的喷嘴上形成着喷出口，且从所述喷出口喷出的处理液附着的喷嘴前端，实施所述处理液的擦拭处理的喷嘴保养装置及使用该喷嘴保养装置的涂布处理装置。
背景技术：
例如,在FPD (Flat panel display,平板显示器)的制造中，一直进行ー种利用所谓的光微影(photolithography)步骤而形成电路图案(circuit pattern)的操作。在该光微影步骤中，于在玻璃基板等被处理基板上成膜特定的膜之后，涂布作为处理液的光致抗蚀剂(photoresist)(以下,称为光阻剂)而形成光阻膜(resist film)(感光膜)。然后，与电路图案对应地曝光所述光阻膜，使其得到显像处理，而形成图案。在此种光微影步骤中，作为在被处理基板上涂布光阻液而形成光阻膜的方法，有从狭缝状的喷嘴喷出口呈带状地喷出光阻液，并将光阻液涂布在基板上的方法。在使用该方法的以往的光阻剂涂布装置中，例如，如图12所示利用喷嘴移动机构51使喷嘴52相对于载置在工作台50上的基板G相对地移动。此时，从狭缝状的喷出口 52a喷出光阻液R，由此在基板G上形成光阻膜。可是，对于所述喷嘴52而言，狭缝状的喷出口 52a是由微小的间隙所形成的，因此如果在等待中不实施喷嘴前端的保养处理，则会因光阻液R的干燥等而产生堵塞。
因此，以往是如图所示，设置ー种加注(priming)处理装置54，具有用来将附着在喷嘴前端的光阻液R均一化(称为加注处理，)的旋转自由的加注棍(priming roller)53。在该加注处理装置54的加注处理中，喷嘴52利用喷嘴移动机构51移动到加注辊53的上方，并朝向利用辊旋转控制机构55而旋转驱动的加注辊53的表面，从喷出ロ 52a喷出光阻液R。由此，附着在喷嘴前端的光阻液R的状态沿着喷嘴长度方向而均一化。另外，对于所述加注处理装置54而言，为了除去附着在加注辊53的辊面上的光阻液R，而具备可利用如图所示的进退驱动部56而自由进退的刮刷器57、及用来将加注辊53的下部(为了溶解光阻剂)浸溃在清洗液58 (例如稀释液)中的清洗液58的储留槽59等。也就是说，如果一次加注处理结束，那么会发生如下操作:使加注辊53连续旋转，使刮刷器57抵接在辊面上而将光阻液R刮落，使加注辊53的下部浸溃在稀释液58中，而清洗辊面整体。此外，关于此种加注处理装置在专利文献I中有所公开。
背景技术：
文献专利文献专利文献1:日本专利特开2005-252045号公报发明内容
[发明所要解决的问题]然而，对于所述加注处理而言，必须对着旋转的加注辊53的辊面，喷出大量光阻液R，从而存在光阻液R的(无谓)消耗量过多的课题。另外，如上所述，对于加注处理后的加注辊53的清洗处理而言，必需大量的储留在储留槽59中的清洗液58，因此存在成本高涨的课题。进ー步来说，存在加注处理及加注辊53的清洗所用的时间较长，从而工作时间变长导致生产性下降的课题。本发明是鉴于如上所述的以往技术的问题点研究而成，提供ー种喷嘴保养装置及使用该喷嘴保养装置的涂布处理装置，所述喷嘴保养装置对在沿被处理基板的宽度方向延伸的长条状的喷嘴上形成着喷出ロ，且从所述喷出ロ喷出的处理液附着的喷嘴前端，实施所述处理液的擦拭处理，可消除处理液等化学药品的无谓消耗，且可缩短工作时间从而提高生产性。[解决问题的技术手段]为了解决所述课题，本发明的喷嘴保养装置的特征在于:对从形成在沿被处理基板的宽度方向延伸的长条状的喷嘴上的喷出口喷出的处理液所附着的喷嘴前端，实施所述处理液的擦拭处理；且包括:擦拭体，形成为圆柱状或圆盘状，在其周面上具有沿着所述喷嘴前端的长度方向平行地形成的多个擦拭部，利用面朝特定方向的一擦拭部夹持所述喷嘴前端，并且该擦拭体设为沿着所述喷嘴前端的长度方向可移动；擦拭体移动机构，使所述擦拭体沿着所述喷嘴前端的长度方向移动；以及擦拭体旋转机构，使移动到所述喷嘴前端的侧方的所述擦拭体绕轴旋转，使其他擦拭部取代所述ー擦拭部成为面朝所述特定方向的状态。此外，理想的是所述擦拭体形成为在圆柱状体或圆盘状体的周面上沿着所述喷嘴前端的长度方向平行地设置着齿间迹的齿轮状，且所述擦拭部包含形成在相邻的ー对齿之间的沟槽部。另外，理想的是所述沟槽部的底部相对于所述形成为齿轮状的擦拭体的轴方向而傾斜。或者，所述擦拭体也可以由在同一轴上相连而排列的多个齿轮所构成，且所述多个齿轮的面朝所述特定方向的各沟槽部通过擦拭所述喷嘴前端的任一面而使所述喷嘴前端的所有面都得到擦拭。或者，所述擦拭体也可以形成为具有可挠性的圆柱状或圆盘状，且所述擦拭部是由其周面所形成。进ー步来说，理想的是所述喷嘴保养装置具备对已擦拭所述喷嘴前端的所述擦拭部喷涂清洗液的清洗机构。通过以此方式构成，可无需如以往般的使用加注辊进行的加注处理，从而大幅地降低处理液或清洗液的消耗量。另外，可通过擦拭体擦拭喷嘴前端而完成保养处理，且可利用擦拭体的旋转将新的擦拭部立即用于下次的保养处理中，因此可缩短工作时间，从而提高生产性。 另外，为了解决所述课题，本发明的涂布处理装置的特征在干:使用所述喷嘴保养装置；且包括:工作台，载置被处理基板；喷嘴保养装置，设置在所述工作台的侧方；所述喷嘴，在载置于所述工作台的被处理基板的上方，沿着基板面向特定方向移动，并且从形成在沿所述基板的宽度方向延伸的长条状的喷嘴上的喷出口向所述基板面喷出处理液；以及喷嘴移动机构，使所述喷嘴在所述工作台上与所述喷嘴保养装置之间移动。此外，所述喷嘴保养装置也可沿着所述喷嘴的移动方向，分别配置在所述工作台的两侧侧方。通过以此方式构成，可取得所述喷嘴保养处理相关的效果，且可缩短对被处理基板的涂布处理的工作时间，从而提高生产性。[发明的效果]根据本发明，可获得ー种喷嘴保养装置及使用该喷嘴保养装置的涂布处理装置，所述喷嘴保养装置对在沿被处理基板的宽度方向延伸的长条状的喷嘴上形成着喷出口，且从所述喷出口喷出的处理液附着的喷嘴前端，实施所述处理液的擦拭处理，可消除处理液等化学药品的无谓消耗，且可缩短工作时间从而提高生产性。
图1是表示本发明的涂布处理装置及喷嘴保养装置的概略构成的立体图。图2是图1的涂布处理装置的局部放大图，且是表示涂布处理装置所具备的喷嘴保养装置的主要部分的立体图。图3(a)是喷嘴保养装置所具备的刮刷垫的立体图，图3(b)是表示利用刮刷垫擦拭喷嘴前端的状态的刮刷垫及喷嘴前端的局部放大图。图4(a)是示意性地表示涂布处理装置及喷嘴保养装置的状态变迁的侧视图，图4(b)是对应于图4(a)的状态的示意性的前视图。
图5(a)是示意性地表示从图4的状态开始的涂布处理装置及喷嘴保养装置的状态变迁的侧视图，图5(b)是对应于图5(a)的状态的示意性的前视图。图6 (a)是示意性地表示从图5的状态开始的涂布处理装置及喷嘴保养装置的状态变迁的侧视图，图6(b)是对应于图6(a)的状态的示意性的前视图。图7 (a)是示意性地表示从图6的状态开始的涂布处理装置及喷嘴保养装置的状态变迁的侧视图，图7(b)是对应于图7(a)的状态的示意性的前视图。图8(a)是表示擦拭体的另一形态的立体图，图8(b)是其局部放大剖视图。图9(a)是表示擦拭体的另一形态的立体图，图9(b)是表示利用刮刷垫擦拭喷嘴前端的状态的刮刷垫及喷嘴前端的局部放大图。图10是表示擦拭体的另一形态的立体图。图11(a) (C)是表示利用图10的擦拭体擦拭喷嘴前端的状态的刮刷垫及喷嘴前端的局部放大图。图12是用来说明以往的光阻涂布装置中的喷嘴的加注处理的示意性的侧视图。[符号的说明]I涂布处理装置2工作台3喷嘴3a喷嘴前端
5喷嘴移动机构6处理液供给源10喷嘴保养装置11刮刷垫(擦拭体)Ila沟槽部(擦拭部)Ilb周面(擦拭部)12齿13扫描臂(擦拭体移动机构)14滑件(擦拭体移动机构)15轨道(擦拭体移动机构)17旋转传动装置(擦拭体旋转机构)18伺服马达(擦拭体旋转机构)20清洗喷嘴(清洗机构)21清洗液供给源(清洗机构)`
25清洗液槽G玻璃基板(被处理基板)R光阻液(处理液)
具体实施例方式以下，根据图式，对本发明的喷嘴保养装置及使用该喷嘴保养装置的涂布处理装置的ー实施方式进行说明。此外，对于该实施方式，以应用在如下装置上的情况为例进行说明，也就是将被处理基板设定为玻璃基板并从喷嘴向该玻璃基板喷出处理液也就是光阻液而形成光阻涂布膜的涂布处理装置、及调整附着有光阻液的所述喷嘴的喷出口的状态的喷嘴保养装置。图1是表示本发明的涂布处理装置及喷嘴保养装置的概略构成的立体图。图2是图1的涂布处理装置的局部放大图，表示有涂布处理装置所具备的喷嘴保养装置的主要部分。图1所示的涂布处理装置I具备可载置玻璃基板G的工作台2、可于载置在该工作台2上的玻璃基板G之上进行扫描地设置的喷嘴3、及调整喷嘴3的喷出ロ的状态的喷嘴保养装置10。所述喷嘴3的喷出ロ设置在向下方突起并沿基板宽度方向形成得较长的喷嘴前端3a，且在基板宽度方向上形成为细长的狭缝状。喷嘴3在涂布处理时，使喷嘴前端3a(喷出ロ)与工作台2上的玻璃基板G之间维持成特定距离，利用喷嘴移动机构5在玻璃基板G上从其一端到另一端进行扫描，并且将从处理液供给机构6供给的光阻液喷到基板G上。另外，每当对各基板G的涂布处理结束，喷嘴3都会利用喷嘴移动机构5移动到喷嘴保养装置10的上方(设定为喷嘴等待位置)，从而使喷嘴前端3a (喷出口)的保养处理得以实施。喷嘴保养装置10具有刮刷垫11 (擦拭体)，对配置在上方(喷嘴等待位置)的喷嘴3的喷嘴前端3a，沿着基板宽度方向从其一端到另一端进行扫描。利用该刮刷垫11可擦拭掉附着在喷嘴前端3a的光阻夜(将该处理称为保养处理)。所述刮刷垫11如图3(a)所示，为在圆柱状体或圆盘状体的周面上设置着多个齿12的齿轮状的形状，且沿着喷嘴前端3a的长度方向平行地形成着齿间迹(多个沟槽部Ila)。就该刮刷垫11而言，于在以面朝特定方向的方式而配置的一沟槽部Ila(擦拭部)中卡嵌有喷嘴前端3a，且喷嘴前端3a夹持在对向的ー对齿12的侧面12a的状态下，刮刷垫11在基板宽度方向上移动。由此，可擦拭掉附着在喷嘴前端3a的光阻液。此外，刮刷垫11的材质并无特别限定，为了易于擦拭掉光阻液，优选为由硬质橡胶等合成树脂所形成。另外，于配置在喷嘴等待位置的喷嘴3的下方，设置着清洗液槽25，沿基板宽度方向延伸设定以便收纳喷嘴前端3a，并且可储留清洗液(例如光阻液的溶剂也就是稀释液)。利用该清洗液槽25，可使喷嘴前端3a暴露在光阻液的溶剂环境下，防止喷出ロ的干燥,并且使利用刮刷垫11而擦拭取得的光阻液落在槽内，而溶解在清洗液中。另外，所述刮刷垫11除了用来进行喷嘴喷出ロ 3a的保养处理的动作期间以外，都如图1、图2所示配置在喷嘴侧方的等待位置。刮刷垫11旋转自由地支撑在沿喷嘴前后方向延伸的扫描臂13的前端，扫描臂13的后端连接在滑件14上。另外，滑件14可沿着在基板宽度方向上延伸的轨道15,在基板宽度方向上往返移动地设置在工作台2的后方。也就是说，支撑在扫描臂13上的刮刷垫11可利用滑件14沿着轨道15的移动而从等待位置沿着基板宽度方向往返移动。此外，由所述扫描臂13、滑件14、轨道15构成擦拭体移动机构。另外，如果刮刷垫11 终止喷嘴3的保养处理而返回到等待位置，那么其齿间迹面的一部分形成为卡合在同样地形成为齿轮状的旋转传动装置17上的状态。旋转传动装置17利用伺服马达18而得到旋转控制，例如，通过旋转传动装置17仅旋转特定的旋转角度，而将刮刷垫11的齿间迹面仅以所述特定的旋转角度沿特定方向送出(旋转)。由此在刮刷垫11中，由于喷嘴前端3a的擦拭而附着有光阻液的一沟槽部Ila移动到特定的位置(例如刮刷垫11的侧部)。另外，移动到面朝特定方向的位置(例如刮刷垫11的上部)，以便使未附着光阻液的其他沟槽部Ila可用于下面的保养处理中。此外，由旋转传动装置17、伺服马达18构成擦拭体旋转机构。另外，在等待位置的刮刷垫11及旋转传动装置17的侧方，设置着清洗喷嘴20，利用保养处理从所述清洗喷嘴20对附着有光阻液的刮刷垫11的沟槽部Ila喷涂清洗液。稀释液等光阻液的溶剂从清洗液供给源21供给到清洗喷嘴20中。由此，附着有光阻液的刮刷垫11的沟槽部Ila得到清洗。此外，由清洗喷嘴20、清洗液供给源21构成清洗机构。接着，使用图4到图7，对以此方式构成的涂布处理装置I及喷嘴保养装置10的一系列动作进行说明。此外，图4 (a)、图5 (a)、图6 (a)、图7 (a)是示意性地表示涂布处理装置I及喷嘴保养装置10的状态变迁的侧视图。另外，图4 (b)、图5 (b)、图6 (b)、图7 (b)是分别对应于图4 (a)、图5 (a)、图6 (a)、图7 (a)的状态的示意性的前视图。首先，如果如图4(a)、图4(b)所示在工作台2上载置基板G，那么喷嘴3利用喷嘴移动机构5移动到工作台2的一端侧，如图5 (a)、图5 (b)所示一面喷出光阻液R —面在基板G上进行扫描。由此，在基板G上形成光阻液R的涂布膜。如果涂布处理结束，那么喷嘴3如图6(a)、图6(b)所示移动到喷嘴等待位置，通过在刮刷垫11的一沟槽部IIa夹持喷嘴前端3a的状态下沿基板宽度方向进行扫描而擦拭掉喷嘴前端3a的光阻液R (进行喷嘴3的保养处理)。如果喷嘴3的保养处理结束，那么如图7(a)、图7(b)所示刮刷垫11以卡合在旋转传动装置17的下部的方式返回到等待位置，且利用旋转传动装置17的旋转仅旋转特定角度。由此，附着有光阻液17的沟槽部Ila移动到例如刮刷垫11的侧部，从清洗喷嘴20对该沟槽部Ila喷涂清洗液，而进行刮刷垫11的清洗。另外，未附着光阻液R的其他沟槽部Ila移动到刮刷垫11的上部以便用于下面的保养处理中。另外，在从工作台2搬出形成着光阻膜的基板G并搬入新的基板G从而结束对该基板G的涂布处理后，刮刷垫11利用未附着光阻液的沟槽部Ila进行喷嘴前端3a的擦拭处理。如上所述，根据本发明的实施方式，通过以齿轮状的刮刷垫11夹持具有沿基板宽度方向延伸的狭缝状的喷出ロ的喷嘴前端3a并且沿着喷出ロ的长度方向对该刮刷垫11进行扫描，而除去附着在喷嘴前端3a的光阻液。利用该构成，可无需如以往般的使用加注辊进行的加注处理，从而大幅地降低光阻液或清洗液等化学药品消耗量。另外，可通过刮刷垫11擦拭喷嘴前端3a而完成保养处理，且可利用刮刷垫11的旋转将新的擦拭部(沟槽部Ila)立即用于下次的保养处理中，因此可缩短工作时间，从而提高生产性。此外，在所述实施方式中，如图3所示刮刷垫11的沟槽部Ila设定为其宽度方向的深度尺寸一定，但并不限定于此。例如，如图8(a)的立体图、图8(b)的剖视图所示，也可以使沟槽部Ila的底部相对于轴方向具有傾斜，且沟槽部Ila的深度在刮刷垫11的轴方向上变化的方式形成。通过以此方式形成，可在针对喷嘴前端3a的擦拭处理之后，易于冲掉积留在沟槽部Ila的光阻液。 或者，如图9(a)的立体图所示，也可形成为在刮刷垫11的周面上未设置着齿12的圆柱形状或圆盘形状。在该情况下，只要如图9(b)所示通过相对于刮刷垫11的周面Ilb (擦拭部)按压喷嘴前端3a而利用面Ilb夹持喷嘴前端3a即可。另外，在所述实施方式中，设定成利用I个刮刷垫11擦拭喷嘴前端3a的构成，但也可由多个刮刷垫11构成I个擦拭体。例如，在图10的立体图中，表示有由3个刮刷垫11A、11B、11C构成I个擦拭体的例子。在该情况下，当擦拭喷嘴前端3a时，例如，如图11 (a)所示利用刮刷垫IlA擦拭喷嘴前端3a的ー侧面，如图11(b)所示利用刮刷垫IlB擦拭喷嘴前端3a的另ー侧面。接着，最后如图11(c)所示利用刮刷垫IlC擦拭喷嘴前端3a的前端面。通过以此方式构成，可更有效地擦拭掉附着在喷嘴前端3a的光阻液。另外，在所述实施方式中，设定成使I个喷嘴3在工作台2的一侧方等待且配备有I个喷嘴保养装置10的构成，但也可在另ー侧方也同样地配备喷嘴保养装置10。在该情况下，可在从工作台2的一端朝向另一端喷出光阻液之后，利用所述另ー端侧的侧方的喷嘴保养装置10进行喷嘴前端3a的保养处理，接着，当从工作台2的所述另一端侧返回到一端侧时，进行对下个基板G的涂布处理。也就是说，可缩短对多个基板G连续地进行涂布处理时的工作时间，从而提高生产性。
另外，在所述实施方式中，以在玻璃基板G上涂布光阻液作为处理液的情况为例进行了说明，但对于本发明而言，并不限定于该形态。也就是说，被处理基板也可是玻璃基板G以外的基板，另外，处理液也可是光阻液以外的处理液。另外，在所述实施方式中，使用具有狭缝状的喷出口的喷嘴3进行了说明，但本发明并不限定于具有狭缝状的喷出口的喷嘴3。例如，对于如下所述的喷嘴也可应用本发明，该喷嘴为沿玻璃板G的宽度方向延伸的长条状的喷嘴，喷出口并非狭缝状，作为喷出口多个微细孔以特定的间隔排列 设置成一行、或多行。
权利要求
1.一种喷嘴保养装置，其特征在于:对从形成在沿被处理基板的宽度方向延伸的长条状的喷嘴上的喷出口喷出的处理液所附着的喷嘴前端，实施所述处理液的擦拭处理；且包括: 擦拭体，形成为圆柱状或圆盘状，在其周面上具有沿着所述喷嘴前端的长度方向平行地形成的多个擦拭部，利用面朝特定方向的一擦拭部夹持所述喷嘴前端，并且所述擦拭体设为沿着所述喷嘴前端的长度方向可移动； 擦拭体移动机构，使所述擦拭体沿着所述喷嘴前端的长度方向移动；以及 擦拭体旋转机构，使移动到所述喷嘴前端的侧方的所述擦拭体绕轴旋转，使其他擦拭部取代所述ー擦拭部成为面朝所述特定方向的状态。
2.根据权利要求1所述的喷嘴保养装置，其特征在于: 所述擦拭体形成为在圆柱状体或圆盘状体的周面上沿着所述喷嘴前端的长度方向平行地设置着齿间迹的齿轮状； 所述擦拭部包含形成在 相邻的一对齿之间的沟槽部。
3.根据权利要求2所述的喷嘴保养装置，其特征在于: 所述沟槽部的底部相对于所述形成为齿轮状的擦拭体的轴方向而傾斜。
4.根据权利要求2所述的喷嘴保养装置，其特征在于: 所述擦拭体是由在同一轴上相连而排列的多个齿轮所构成； 所述多个齿轮的面朝所述特定方向的各沟槽部通过擦拭所述喷嘴前端的任一面，使所述喷嘴前端的所有面都得到擦拭。
5.根据权利要求3所述的喷嘴保养装置，其特征在于: 所述擦拭体是由在同一轴上相连而排列的多个齿轮所构成； 所述多个齿轮的面朝所述特定方向的各沟槽部通过擦拭所述喷嘴前端的任一面，使所述喷嘴前端的所有面都得到擦拭。
啊
6.根据权利要求1所述的喷嘴保养装置，其特征在于: 所述擦拭体形成为具有可挠性的圆柱状； 所述擦拭部是由其周面所形成。
7.根据权利要求1至6中任ー权利要求所述的喷嘴保养装置，其特征在于: 具备清洗机构，该清洗机构对已擦拭所述喷嘴前端的所述擦拭部喷涂清洗液。
8.一种涂布处理装置，其特征在于:使用根据权利要求1至7中任ー权利要求所述的喷嘴保养装置；且包括: 工作台，载置被处理基板； 喷嘴保养装置，设置在所述工作台的侧方； 所述喷嘴，在载置于所述工作台的被处理基板的上方，沿着基板面向特定方向移动，并且从形成在沿所述基板的宽度方向延伸的长条状的喷嘴上的喷出口向所述基板面喷出处理液；以及 喷嘴移动机构，使所述喷嘴在所述工作台上与所述喷嘴保养装置之间移动。
9.根据权利要求8所述的涂布处理装置，其特征在干: 所述喷嘴保养装置沿着所述喷嘴的移动方向，分别配置在所述工作台的两侧侧方。
全文摘要
本申请发明是一种喷嘴保养装置及使用该喷嘴保养装置的涂布处理装置。本发明的课题在于消除处理液等化学药品的无谓消耗，且缩短工作时间，提高生产性。该喷嘴保养装置包括擦拭体(11)，形成为圆柱状或圆盘状，在其周面上具有沿着所述喷嘴前端的长度方向平行地形成的多个擦拭部(11a)，利用面朝特定方向的一擦拭部夹持喷嘴前端(3a)，并且所述擦拭体(11)设为沿着所述喷嘴前端的长度方向可移动；擦拭体移动机构(13、14、15)，使所述擦拭体沿着所述喷嘴前端的长度方向移动；以及擦拭体旋转机构(17、18)，使移动到所述喷嘴前端的侧方的所述擦拭体绕轴旋转，使其他擦拭部取代所述一擦拭部成为面朝所述特定方向的状态。
文档编号G03F7/16GK103086612SQ20121040285
公开日2013年5月8日 申请日期2012年10月22日 优先权日2011年10月28日
发明者福田喜辉 申请人:东京毅力科创株式会社