专利名称：用于紫外光刻机的光刻照明系统的制作方法
技术领域：
本发明涉及光刻机，特别是一种用于紫外光刻机的光刻照明系统。
背景技术：
随着大规模集成电路的发展,光刻成像的分辨率要求越来越高,相应地,对光刻照明系统的要求也越来越高。在先进光刻机的照明系统中，通过选择和光刻掩模图形的结构和尺寸相对应的光瞳面照明光强分布，特别是通过改变光瞳面上环形照明的环带的内径大小和环带宽度，来提高光刻机的分辨率，改善光刻图形的对比度，从而实现超精细光刻图形的精确复制。目前的紫外光刻照明系统中，光瞳面照明光强分布的形成主要靠衍射光学元件、连续变焦透镜组和锥形镜组来实现；衍射光学元件用于产生光刻照明所需的光瞳面光强分 布花样(如传统、环形、二极和四极等照明模式)，光刻机中衍射光学元件设计可参见JerryLeonard, JamesCarriere, Jared Stack, Rich Jones, Marc Himel, John Childers, KevinWelch, Proc. SPIE. 6924, Optical Microlithography XXI 692420, March 14，2008 ;所述的锥形镜组一般由凹、凸两个锥形镜构成，通过改变两个锥形镜之间的距离实现光瞳面上环带内径的调节。连续变焦透镜组用于调节光瞳面上环带宽度的调节。采用该方法的主要缺点有锥形镜组的引入将使光学系统产生难于校正的轴外像差，使光瞳面光强分布劣化，改变了光瞳面切向极张角的大小，并且径向光强分布也会受到影响；锥形镜组的引入降低了整个光学系统的透过率，无法有效利用激光紫外激光器的能量；工作在深紫外波段的锥形镜的加工难度大，导致光刻机的制造成本高。在现有技术中，“一种微光刻照明光瞳的整形结构”(参见专利CN101320216A)中，公开了一种光刻照明用的光瞳整形结构，和传统的光刻照明系统相比，该发明仍然利用衍射元件和连续变焦镜组产生不同的环带宽度，所不同的是利用两个凸锥形镜调节环带内外径的大小。但是，该发明没有改变传统整形装置的整体布局。
发明内容
本发明的目的在于克服上述在先技术的不足，提供一种用于紫外光刻机的照明系统。本发明的照明系统不含锥形镜组，而是采用一维连续变倍扩束镜组与衍射光学元件相结合的方式，产生各种照明模式，并调节部分相干因子，具有结构简单、光学透过率高、不存在锥形镜组引入的光瞳劣化问题、能有效降低光刻机的生产成本等特点。本发明的技术解决方案如下—种用于紫外光刻机的光刻照明系统，特点在于其构成包括紫外激光器、一维连续变倍扩束镜组、转盘机构、傅里叶变换透镜、匀光系统和控制器，上述元部件的位置关系如下所述的紫外激光器产生的截面为方形的平行光束，沿该光束传输方向依次是所述的一维连续变倍扩束镜组、转盘机构、傅里叶变换透镜和匀光系统；
所述的转盘机构含有多个衍射光学元件，所述的控制器通过圆编码器精确控制转盘机构的转动，选择所需的衍射光学元件，实现所需的照明模式；每个衍射光学元件由多个子区域排列而成，所述的控制器控制所述的衍射光学元件沿其子区域排列方向移动，实现照明光瞳面上内环大小的调节；所述的傅里叶变换透镜将所述的衍射光学元件发散的环形光束在其后焦面照明光瞳面上变换成环形光斑，得到所需的照明模式，该照明光瞳面的光强分布经所述的匀光系统进行均匀化处理，并投射到掩模面上。所述的转盘机构沿圆周均匀地设有五个衍射光学元件，分别依次为环形照明衍射光学元件、X方向二极照明衍射光学元件、Y方向二极照明衍射光学元件、四极照明衍射光学元件和传统照明衍射光学元件，相应的在所述的光瞳面上形成环形照明、X方向二极照明、Y方向二极照明、四极照明和传统照明。所述的衍射光学元件由一系列一维分区式的子区域构成，该子区域的排列方向和所述的衍射光学元件的移动方向相同，每个子区域分别对应于产生不同直径而环带宽度相 同的照明环带，所述的衍射光学元件的子区域和所述的光瞳面上的环带相对应，每个子区域和相邻子区域产生的照明环带是正好相接的，工作时，通过照射几个连续的子区域，得到一个总的照明环带，该总的照明环带的宽度等于被照射子区域的个数乘以一个照明环带的览度。所述的一维连续变倍扩束镜组，由依次的第一球面镜、第二球面镜、第一柱面镜、第二柱面镜和第三柱面镜构成，所述的第一球面镜、第二球面镜固定不动，所述的第一柱面镜、第二柱面镜和第三柱面镜位于一导轨上，维连续变倍扩束镜组的控制器通过编码器精确控制丝杆驱动所述的第一柱面镜、第二柱面镜和第三柱面镜沿导轨移动，改变三片柱面镜之间沿光束传播方向的位置关系，将紫外激光器输出的平行光束扩束成在y方向上尺寸固定，X方向上尺寸可调节的平行光束。所述的衍射光学元件转盘机构通过圆编码器精确控制转盘机构转动，实现多个衍射光学元件之间的精确位置切换。旋转转盘机构，将所需的衍射光学元件转到光路中，光路中的衍射光学元件位于傅里叶变换透镜前焦面，并在傅里叶变换透镜的后焦面形成特定的照明光瞳分布；且每个衍射光学元件垂直于光轴放置，并且通过导轨、丝杆和位移编码器的精确控制，每个衍射光学元件能沿其子区域排列方向精确移动。所述的衍射光学元件的主要作用是在照明光瞳面上产生所需照明花样，通过沿子区域排列方向移动衍射光学元件可以改变照明光瞳面上环带内径的大小；而改变一维连续变倍扩束镜组的扩束倍率，则可以调节照明光瞳截面上环宽的大小。即通过移动衍射光学元件和改变一维连续变倍扩束镜组的扩束倍率，能够实现照明光瞳面上环带宽度和环带内环大小的调节。改变了传统方式中的连续变焦透镜组和锥形镜的模型。所述的衍射光学元件采用一维分区式结构，子区域可根据照明花样的要求设计，每个子区域产生一个内外数值孔径不同而内外数值孔径之差固定的发散环形光束，相邻子区域产生的发散环形光束正好相接，衍射光学元件的移动方向和子区域排列方向相同，经过傅里叶变换透镜，每个子区域分别对应于在照明光瞳面上产生不同直径而环带宽度相同的照明环带，而且每个子区域和相邻子区域产生的照明环带是正好相接的。工作时，一维连续变倍扩束镜组将紫外激光器发出的平行光束扩束，在垂直于衍射光学元件的子区域排列方向上，扩束尺寸固定，且与衍射光学元件在该方向的尺寸相同；在平行于衍射光学元件的子区域排列方向上，光束尺寸随扩束倍率变化而改变，从而改变照射衍射光学元件连续子区域的个数。通过照射到衍射光学元件几个连续的子区域，在傅里叶变换透镜后焦面上可产生几个连续相接的照明环带，当改变照射连续子区域的个数时，总的环带的宽度也随之变化，其总的环带宽度等于照射子区域的个数乘以每个照明环带的宽度。当一维连续变倍扩束镜组变倍比固定时，衍射光学元件通过移动改变入射光束照射到衍射光学元件子区域的位置，光束照射的位置决定了发散环形光束的内外数值孔径的具体数值，再经过傅里叶变换透镜变换后，在其后焦面上实现照明光强内环大小的调节，但不改变环带宽度。综上所述，通过调整一维连续变倍扩束镜组的扩束倍率，以改变照明光瞳面上总的环带宽度；通过沿子区域排列方向移动衍射光学元件，以改变环带的内环大小。从而实现照明光瞳面上照明环带的内径大小和环带宽度的调整，提高了光刻机的分辨率。
所述的衍射光学元件在垂直于子区域排列方向的总尺寸是Dy，平行于子区域排列方向的总尺寸是Dx。衍射光学元件中每个子区域的尺寸I的选取范围是O. 5mm到1_。其总尺寸Dx的计算公式为久二 I · - dtJ/M，其中d.是照明光瞳截面外环的最大直径，是照明光瞳截面内环的最小直径，△(!是照明光瞳截面内环的调节分辨率，也等于一个照明环带的宽度。所述的衍射光学元件采用一维分区式结构，每个子区域含有M*N个方形位相单元，这些方形位相单元组合成一个位相分布矩阵，产生所需的照明光瞳分布；方形位相单元的尺寸t为不大于其中C是照明光瞳截面外环的最大直径，λ是入射激光的波长，f是傅里叶透镜在波长λ下的焦距。所述的衍射光学元件的每个子区域，根据所需的照明光瞳分布，每个子区域排的位相分布矩阵通过盖师贝格-撒克斯通(G-S)迭代算法得到。盖师贝格-撒克斯通(G-S)迭代算法的具体步骤可以参见 R.W. Gershberg, W. O. Saxton，Optik，35，237-246，1972。依次求出每个子区域的位相分布矩阵后，得到该衍射光学元件整体的位相分布矩阵。与在先技术相比，本发明具有下列技术优点(I)本发明的光刻照明系统采用分区式衍射光学元件，实现传统光瞳整形模块中的锥形镜组调节光瞳面上环带内径的功能，从而无需锥形镜组，系统的整体透过率得到提闻。(2)本发明无需锥形镜组，降低了光学设计的难度，并且不存在锥形镜组引起的光瞳劣化问题；无需设计变焦的傅里叶透镜组，简化设计步骤和时间。(3)本发明省去了锥形镜组的加工费用，降低了系统制造成本。
图I是本发明光刻照明系统的结构框图。图2和图3是本发明一维变倍扩束镜组的实施例。图4和图5是本发明一个实现环形照明光瞳调节的实施例。图6是本发明的衍射光学元件及子区域的结构图。图7是本发明的一种更换衍射光学元件的转盘结构图。
具体实施例方式下面结合附图和实例对本发明作进一步的说明，但不应以此限制本发明的保护范围。先请参阅图1，图I是本发明一种光刻照明系统结构图，由图可见，本发明用于紫外光刻机的光刻照明系统的构成包括紫外激光器11、一维连续变倍扩束镜组12、转盘机构13、傅里叶变换透镜14、匀光系统16和控制器18，上述元部件的位置关系如下所述的紫外激光器11产生的截面为方形的平行光束，沿该光束传输方向依次是所述的一维连续变倍扩束镜组12、转盘机构13、傅里叶变换透镜14和匀光系统16 ；所述的转盘机构13含有多个衍射光学元件，所述的控制器18通过圆编码器精确控制转盘机构13的转动，选择所需的衍射光学元件，实现所需的照明模式；每个衍射光学元件由多个子区域排列而成，所述的控制器18控制所述的衍射光学元件沿其子区域排列 方向移动，实现照明光瞳面15上内环大小的调节；所述的傅里叶变换透镜14将所述的衍射光学元件发散的环形光束在其后焦面照明光瞳面上变换成环形光斑，得到所需的照明模式，该照明光瞳面15的光强分布经所述的匀光系统16进行均匀化处理，并投射到掩模面17上。所述的转盘机构13沿圆周均匀地设有五个衍射光学元件，分别依次为环形照明衍射光学元件401、X方向二极照明衍射光学元件402、Y方向二极照明衍射光学元件403、四极照明衍射光学元件404和传统照明衍射光学元件405，相应的在所述的光瞳面15上形成环形照明、X方向二极照明、Y方向二极照明、四极照明和传统照明。从物侧到像侧依次包括紫外激光器11，一维连续变倍扩束镜组12，衍射光学元件转盘机构13，傅里叶变换透镜14，匀光系统16，控制器18。所述的紫外激光器11，内置准直系统，用于产生截面为方形的平行紫外光。请参阅图2和图3，所述的一维连续变倍扩束镜组12，由依次的第一球面镜121、第二球面镜122、第一柱面镜123、第二柱面镜124和第三柱面镜125构成,所述的第一球面镜121和第二球面镜122固定不动，所述的第一柱面镜123、第二柱面镜124和第三柱面镜125位于一导轨126上，维连续变倍扩束镜组的控制器128通过编码器精确控制丝杆127驱动所述的第一柱面镜123、第二柱面镜124和第三柱面镜125沿导轨126移动，改变三片柱面镜之间沿光束传播方向的位置关系，将紫外激光器11输出的平行光束扩束成在I方向上尺寸固定，X方向上尺寸可调节的平行光束。转盘机构13含有五个衍射光学元件40f405，请参见图7，图7是本发明所述的转盘结构13的示意图。所述的转盘机构13沿圆周均匀地设有五个衍射光学元件，分别依次为环形照明衍射光学元件401、X方向二极照明衍射光学元件402、Y方向二极照明衍射光学元件403、四极照明衍射光学元件404和传统照明衍射光学元件405，相应的在所述的光瞳面15上形成环形照明、X方向二极照明、Y方向二极照明、四极照明和传统照明。每个衍射光学元件是由一系列子区域排列构成，通过沿其子区域排列方向移动来改变照明光瞳面上内环直径的大小。请参见图1，以环形照明衍射光学元件401为例，环形照明衍射光学元件401通过控制器18控制丝杆4012驱动环形照明衍射光学元件201沿导轨4011精确移动，同理，其它衍射光学元件也可按此方式沿其子区域排列方向精确移动，当所述的衍射光学元件40f405沿其子区域排列方向的移动时，可以用于实现照明光瞳面上内环大小的调节。同时，控制器18还可以通过圆编码器精确控制转盘机构13的转动，实现五个衍射光学元件之间的切换，以此来实现多种照明模式的切换(如传统、环形、二极和四极等照明模式)。如图I所示，以衍射光学元件401为例，一维连续变倍扩束镜组12扩束的光束用于照射在衍射光学元件401上；衍射光学元件401垂直于光轴放置，且位于傅里叶变换透镜14的前焦面，其功能是在照明光瞳面15形成特定的照明光瞳分布(如传统、环形、二极和四极等照明模式)；照明光瞳面15上不同的空间光强分布进入匀光系统16进行均匀化处理，并投射到掩膜面17上。工作时，通过调整一维连续变倍扩束镜组12的扩束倍率，可改变光瞳面上总的环带宽度；通过沿子区域排列方向移动衍射光学元件401，可改变照明光瞳面15总的环带的内外环大小。照明光瞳面上的分布进入匀光系统16进行均匀化处理，并投射到掩模面17上。
下面结合图4和图5进行说明环形照明衍射光学元件是如何改变照明光瞳面上的内环直径的。如图4所示，衍射光学元件401的子区域和环带中的对应关系用相同的数字表示，例如子区域6用于产生环带6。每个子区域和相邻子区域产生的照明环带是正好相接的，其宽度等于被照射子区域的个数乘以一个照明环带的宽度。如图4所示，调整一维连续变倍扩束镜组12的扩束倍率，使光束照射到了衍射光学元件401的五个子区域，照射到的子区域Γ8经过傅里叶变换透镜14在照明光瞳面15上产生了 5* Λ d的环宽，对应数字也为4 8，且子区域8产生的花样对应着照明光瞳面15上的环带8，子区域4产生的花样对应着照明光瞳面15上的环带4，子区域6产生的花样对应着照明光瞳面15上中间环带6，8所对应的环宽直径为环带的内环大小；如图5中所示，调整一维连续变倍扩束镜组12的变倍比，使光束照射到衍射光学元件401的面积从5个子区域大小变为3个子区域大小，然后沿X轴方向精确移动衍射光学元件401，使照射的子区域变为n-2、n-l和η三个子区域，照射到的子区域η-2、η-1和η经过傅里叶变换透镜14在照明光瞳面15上产生了 3* Λ d的环宽。由于子区域I对应着照明光瞳面上的环宽，子区域η对应着照明光瞳面上勺环宽，所以产生了内环直径为O的传统照明图形花样。综上所述，通过调整一维连续变倍扩束镜组12的变倍比，改变入射光束宽度，可以改变照明光瞳面上的环宽，通过沿X轴方向(子区域排列方向)移动衍射光学元件，可以改变照明光瞳面上的内环大小。两者配合，实现了光刻照明系统中照明光瞳面上的环宽和内环大小的调节。图6中所不的衍射光学兀件在垂直于子区域排列方向的总尺寸和方形入射光束的尺寸Dy相同，平行于子区域排列方向的总尺寸是Dx。衍射光学元件中每个子区域的尺寸I的选取范围是O. 5mm到1mm。其总尺寸Dx的计算公式为从=I · (C - O / ，其中C是照明光瞳截面外环的最大直径，是照明光瞳截面内环的最小直径，Δ d是照明光瞳截面内环的调节分辨率，等于一个照明环带的宽度。如图6所示，衍射光学元件采用一维分区式结构，每个子区域含有M*N个正方形位相单元311，这些正方形位相单元组合成一个位相分布矩阵，产生所需的照明光瞳分布；正方形位相单元311的尺寸t不大于l//d，其中C=是照明光瞳截面外环的最大直径，入是入射激光的波长，f是傅里叶变换透镜对应于λ时的焦距。图7是转盘结构13的示意图，具有五个可更换的衍射光学元件，并通过更换机构换入所需的衍射光学元件，实现特定的照明模式。例如，衍射光学元件401-405依次产生环形、X方向二极、Y方向二极、四极、传统照明。具体应用中需要根据光刻图形的具体要求，选择合适的照明模式和对应的衍射光学元件。通过精确控制转盘，将所需要的衍射光学元件旋转到激光光束照射的位置。并且每个衍射光学元件可以沿自己子区域排列方向移动来改变照明光瞳面上内环的大小。工作时，通过旋转具有精确定位的转盘，如图4或图5所示，将环形照明衍射光学元件401旋转到激光光束照射的位置。激光光束照射在环形可动照明衍射光学元件401的几个连续子区域上，且激光光束光轴方向沿Z轴方向，沿着光轴的方向在401的后面放置傅里叶变换透镜，则在照明光瞳面产生一定环宽的环形照明。当环形照明衍射光学元件401沿着子区域排列方向移动时，照明光瞳面的内环直径随之变化。下面通过一个具体实施例，进一步说明本发明光刻照明系统的工作原理。
首先确定设计要求及参数，设计要求为实现环形照明光瞳分布，参数为入射激光波长λ为248nm，照明光瞳截面外环的最大直径C为25mm，照明光瞳截面内环的最小直径d:为0mm。通过计算公式凡=I · id:r - / Δ /得到Dx为62. 5mm,可动光学衍射元件子区域的个数《=(d — OA/=/25，其中子区域尺寸I取为O. 5mm，照明光瞳截面内环的调节分辨率Λ d为O. 2mm, Dx和Dy是衍射光学元件的二维最大尺寸。现在要在照明光瞳面上得到外环直径15mm，内环直径IOmm的光瞳照明模式，傅里叶变换透镜焦距为500mm。通过公式计算，则一维连续变倍扩束镜组的x方向扩束尺寸应为Sx=IX (15mm-10mm) / Δ d=12. 5mm,外环直径对应的子区域数 nQUt= (25mm-15mm) / Ad = 50,内环直径对应的子区域数nin=(25mm-10mm)/Ad = 75。则工作过程如下,通过调节一维连续变倍扩束镜组，使入射光束尺寸为IOmm(y) X 12. 5mm(x)，y方向光束扩束尺寸不变为10mm，X方向光束扩束尺寸为12. 5_。然后沿X方向移动衍射光学元件，使光束落在区域数5(Γ75的子区域内，得到外环直径15mm,内环直径IOmm的光瞳照明分布。衍射光学元件采用一维分区式结构，每个子区域含有M*N个方形位相单元，这些方形位相单元组合成一个位相分布矩阵，产生所需的环形照明光瞳分布；方形位相单元的尺寸t为不大于Af/d=, = 4.96jLm，计算后方形位相单元尺寸t为2 μ m。衍射光学元件采用一维分区式结构，根据所需的照明光瞳分布，每个子区域上的位相分布矩阵可通过盖师贝格-撒克斯通(G-S)迭代算法得到。盖师贝格-撒克斯通(G-S)迭代算法的具体步骤可以参见Optik，35，237-246，1972。例如设计从上往下数第四个子区域，该子区域产生的环形照明光场的尺寸为外径24. 4mm,内径24. 2mm,则第五个子区域对应产生的环形照明光场的尺寸为外径24. 2mm,内径24_。按照这些条件可以通过盖师贝格-撒克斯通(G-S)迭代算法得到该子区域的位相分布矩阵。依次求出每个子区域的位相分布矩阵后，得到该衍射光学元件整体的位相分布矩阵，即完成设计。与在先技术相比，本发明具有下列技术优点(I)本发明采用光瞳整形模块采用分区式衍射光学元件，实现传统光瞳整形模块中的锥形镜组调节光瞳面上环带内径的功能，从而无需锥形镜组，系统的整体透过率得到提闻。(2)本发明无需锥形镜组，降低了光学设计的难度，并且不存在锥形镜组引起的光瞳劣化问题；无需设计变焦的傅里叶透镜组，简化设计步骤和时间。(3)本发明省去了锥形镜组的加工费用，降低了系 统制造成本。
权利要求
1.一种用于紫外光刻机的光刻照明系统，特征在于其构成包括紫外激光器(11)、一维连续变倍扩束镜组(12)、转盘机构(13)、傅里叶变换透镜(14)、匀光系统(16)和控制器(18)，上述元部件的位置关系如下所述的紫外激光器(11)产生的截面为方形的平行光束，沿该光束传输方向依次是所述的一维连续变倍扩束镜组(12)、转盘机构(13)、傅里叶变换透镜(14)和匀光系统(16)；所述的转盘机构(13)含有多个衍射光学元件，所述的控制器(18)通过圆编码器精确控制转盘机构(13)的转动，选择所需的衍射光学元件，实现所需的照明模式；每个衍射光学元件由多个子区域排列而成，所述的控制器(18)控制所述的衍射光学元件沿其子区域排列方向移动，实现照明光瞳面(15)上内环大小的调节；所述的傅里叶变换透镜(14)将所述的衍射光学元件发散的环形光束在其后焦面照明光瞳面上变换成环形光斑，得到所需的照明模式，该照明光瞳面(15)的光强分布经所述的匀光系统(16)进行均匀化处理，并投射到掩模面(17)上。
2.根据权利要求I所述的紫外光刻机的光刻照明系统，其特征在于所述的转盘机构(13)沿圆周均匀地设有五个衍射光学元件，分别依次为环形照明衍射光学元件(401)、X方向二极照明衍射光学元件(402)、Y方向二极照明衍射光学元件(403)、四极照明衍射光学元件(404)和传统照明衍射光学元件(405 )，相应的在所述的光瞳面(15 )上形成环形照明、X方向二极照明、Y方向二极照明、四极照明和传统照明。
3.根据权利要求I所述的紫外光刻机的光刻照明系统，其特征在于所述的衍射光学元件由一系列一维分区式的子区域构成，该子区域的排列方向和所述的衍射光学元件的移动方向相同，每个子区域分别对应于产生不同直径而环带宽度相同的照明环带，所述的衍射光学元件的子区域和所述的光瞳面上的环带相对应，每个子区域和相邻子区域产生的照明环带是正好相接的，工作时，通过照射几个连续的子区域，得到一个总的照明环带，该总的照明环带的宽度等于被照射子区域的个数乘以一个照明环带的宽度。
4.根据权利要求I所述的紫外光刻机的光刻照明系统，其特征在于所述的一维连续变倍扩束镜组(12)，由依次的第一球面镜(121)、第二球面镜(122)、第一柱面镜(123)、第二柱面镜(124)和第三柱面镜(125)构成，所述的第一球面镜(121 )、第二球面镜(122)固定不动，所述的第一柱面镜(123)、第二柱面镜(124)和第三柱面镜(125)位于一导轨(126)上,维连续变倍扩束镜组的控制器(128)通过编码器精确控制丝杆(127)驱动所述的第一柱面镜(123)、第二柱面镜(124)和第三柱面镜(125)沿导轨(126)移动，改变三片柱面镜之间沿光束传播方向的位置关系，将紫外激光器(11)输出的平行光束扩束成在I方向上尺寸固定，X方向上尺寸可调节的平行光束。
全文摘要
一种用于紫外光刻机的光刻照明系统，包括紫外激光器、一维连续变倍扩束镜组、衍射光学元件转盘机构、傅里叶变换透镜、匀光系统和控制器，所述的衍射光学元件转盘机构沿圆周均匀地设有多个衍射光学元件。所述的紫外激光器产生平行光束，沿光束传输方向依次是所述的一维连续变倍扩束镜组、转盘机构的衍射光学元件、傅里叶变换透镜和匀光系统。本发明具有系统结构简单、光学透过率高、不存在锥形镜组引入的光瞳劣化问题、能有效降低光刻机的生产成本等特点。
文档编号G03F7/20GK102929106SQ20121049955
公开日2013年2月13日 申请日期2012年11月29日 优先权日2012年11月29日
发明者陈明, 朱菁, 杨宝喜, 曾爱军, 黄惠杰, 胡中华, 李璟 申请人:中国科学院上海光学精密机械研究所