一种深紫外光刻照明系统的制作方法
【专利摘要】一种深紫外光刻照明系统，包括衍射元件和聚光镜组；石英棒，位于聚光镜组的光路上，聚光镜组会聚的光经由石英棒的入射端入射并经由出射端出射；石英棒控制装置，负责控制石英棒，有垂直于光轴的旋转轴，绕旋转轴转动可调换石英棒的两端，沿旋转轴移动可将不同的石英棒置于光轴上。石英棒控制装置由高精度旋转台控制转动，由高精度一维平移台控制轴向移动；锥形棱镜组位于准直镜组的出射光路上；准直镜组位于控制装置后，石英棒的出射光路上；复眼透镜阵列在准直镜组后，负责将光束分解为多个二级光源并通过其后的成像系统照明掩模面。本发明利用简单的方法实现了相干因子的多档变化，简化变焦透镜的设计复杂度，达到简化结构降低成本的目的。
【专利说明】一种深紫外光刻照明系统
【技术领域】
[0001]本发明涉及光刻领域，特别是一种深紫外光刻照明系统。
【背景技术】
[0002]光学投影光刻是利用光学投影成像的原理，将掩模版上的集成电路(IC)图形以分步重复或步进扫描曝光的方式将高分辨率图形转移到涂胶硅片上的光学曝光过程。
[0003]根据光刻机实际工作时不同的曝光要求，硅片上需要不同的数值孔径或者相干因子。
[0004]现有的技术主要是变焦镜组配合上锥形棱镜来调整照明系统的相干因子。
[0005]如美国专利US6452662采用了变焦镜组配合锥形棱镜的方法调节照明系统的相干因子。图1a和图1b所示为该系统的见图:该系统主要包括扩束整形系统10，锥形棱镜和变焦模块12，匀光器和投影光学系统14。系统中定义了光轴16，光瞳面18和调制平面20。模块12中包含了间距可调的锥形棱镜组和变焦镜组，其中锥形棱镜22中前者为负锥，后者为正锥。激光器光源发出的经光照明系统中的扩束整形系统10后，进入由锥形棱镜和变焦镜构成的模块12，最后进入匀光器和投影光学系统模块14后，照明调制平面。图2所示为经锥形棱镜22和变焦镜组24调节后，光瞳面18上可获得的光能分布。其中光瞳形状由A变为形状B时，将锥形棱镜的间隔置零，将变焦镜组24的焦距变大即可；当需要从光瞳形状A变为形状C时，增加锥形棱镜22的间隔即可。上述过程就是在调节照明系统的相干因子。
[0006]然而对于上述的照明系统想要得到广的相干因子变化范围时，变焦镜组的焦距比就更大，控制结构就会变得更复杂。
【发明内容】
[0007]本发明技术解决问题:克服现有技术的不足，提供一种深紫外光刻照明系统，能用简单的方法改变照明系统的相干因子，简化变焦镜组，提高光刻机的效率，降低成本。
[0008]本发明技术解决方案:一种深紫外光刻照明系统，首先将穿过照明系统各组件中心的虚拟直线定义为系统的光轴，沿Z轴正方向为光轴的正方向，照明系统各元件的中心都在光轴上；
[0009]所述照明系统还包括:
[0010]衍射元件:位于照明系统的前端照明光路上，将入射光束整形成对应的形状，在光瞳面上获得相应形状的能量分布；
[0011]聚光镜组，位于衍射元件后的照明系统光路上，将经扩束整形得到的平行光会聚到石英棒入射端口附近；
[0012]石英棒，位于所述聚光镜组后的照明系统光路上，聚光镜组出射的光经由所述石英棒的入射端进入，并由其出射端出射；系统中有多根所述石英棒；任意两根石英棒两端的口径比不相同；
[0013]石英棒控制装置，被安装在照明系统的机械外壳上，用来固定所述多根石英棒，石英棒控制装置有垂直于光轴的旋转轴，石英棒控制装置沿旋转轴移动可以调节石英棒的位置，使指定的石英棒置于照明系统光路中参与调节照明系统的相干因子，还可以绕石英棒控制装置的旋转轴石英棒来调节照明系统的相干因子；
[0014]准直镜组:位于控制装置后的照明系统光路上，负责将由石英棒出射的光束准直；
[0015]锥形棱镜组:位于准直镜组的照明系统光路上后，由两个锥形棱镜组成，通过调整锥形棱镜的间隔能同时改变光束的内外沿高度，保持光束宽度和角度不变；
[0016]复眼透镜阵列:位于锥形棱镜后的光路上，将光束分解为多个子光源，调节照明系统掩模面上的照明均匀性；
[0017]复眼成像系统:复眼透镜阵列分解成的多个二级光源通过复眼成像系统照明掩模面；
[0018]光束经过系统的衍射元件、聚光镜组、石英棒、聚光镜组、锥形棱镜后，在复眼透镜组的前表面形成由衍射元件整形成的特定光瞳形状，此面为系统的光瞳面。
[0019]所述石英棒两端的口径不相同；
[0020]所述控制装置由调整精度在微米量级的一位平移台控制轴向移动，由分辨率>0.0001°，单向重复性> 0.0005°，绝对控制精度达到0.01°的高精度旋转台控制转动，控制精度满足照明系统的对准要求。
[0021]所述准直镜组必须为变焦镜组，以准直经过锥形棱镜调整的不同高度入射的光线。
[0022]所述的锥形棱镜组可以是一正锥形棱镜和一负锥形棱镜或者两个锥形棱镜。锥面向内凹的锥形棱镜为负锥形棱镜、锥面向外凸的锥形棱镜为正锥形棱镜。正负锥形棱镜配合时，负锥形棱镜放置在在准直镜组后的照明系统光路上，正锥形棱镜放置在负锥形棱镜后，需要在负锥形棱镜与准直镜组或者正锥形棱镜与准直镜组之间留出足够的轴向距离来移动锥形棱镜；两个正锥形棱镜配合时，锥面的朝向必须相反才能保证光束经过棱镜组后只改变光束尺寸而不改变光束发散角。两个锥形棱镜的锥面的组合方式有:位置靠前的正锥形棱镜正锥面朝光轴负方向而位置靠后的锥形棱镜正锥面朝光轴正方向或者位置靠前的正锥形棱镜正锥面朝光轴正方向而位置靠后的锥形棱镜正锥面朝光轴负方向。正负锥形棱镜配合时，调节相同的光束尺寸所需的轴向距离相对于两个正锥形棱镜配合需要的轴向距离小，但是负锥形棱镜比正锥形棱镜难加工；两个正锥形棱镜配合时，调节相同的光束尺寸时锥形棱镜间的轴向间隔比正负锥形棱镜配合时的轴向间隔大。
[0023]本发明与现有技术相比的优点在于:本发明利用多根口径比不同的石英棒，利用控制装置控制石英棒。控制装置只需沿着旋转轴平移或是绕着垂直旋转轴旋转就能实现照明系统多档数值孔径，即多档相干因子的变化。对于特定石英棒置于光路上的照明系统，调整锥形棱镜组的间距，可以在该特定的石英棒所决定的照明系统最小和最大相干因子之间调节。与仅通过变焦镜组配合锥形棱镜组来调整照明系统相干因子，这种方法调节时仅需调节一次石英棒控制装置，控制结构及过程更简单。
【专利附图】
【附图说明】
[0024]图1a和图1b为美国专利US6452662中使用变焦镜组和锥形棱镜来调整系统相干因子的照明系统，其中图1a为采用石英棒匀光的照明系统实施图；图1b为采用复眼阵列透镜勻光的照明系统；
[0025]图2为美国专利US6452662中使用变焦镜组和锥形棱镜调整光瞳面能量分布示意图；
[0026]图3a、3b、3c中所示为本发明中控制装置图。图3a为控制装置在XZ平面内的投影图，图3b为控制装置在YZ平面内的投影图，图3c为控制装置在XY平面内的投影图；
[0027]图4a、4b、4c、4d所示为本发明实施例的照明系统方案图，其中图4a为石英棒301置于照明系统光路中的照明系统实施简图，图4b为调节控制装置后将石英棒302置于照明系统光路中的照明系统实施简图，图4c为石英棒303置于照明系统光路中的照明系统实施简图，图4d为石英棒304置于照明系统光路中的照明系统实施简图；
[0028]图5a、5b、5c、5d所示为本发明实施例将图4中所示的石英棒控制装置绕旋转轴旋转180°后的照明系统方案简图，其中图5a为石英棒304置于照明系统光路中的照明系统实施简图，图5b为调节控制装置后将石英棒303置于照明系统光路中的照明系统实施简图，图5c为石英棒302置于照明系统光路中的照明系统实施简图，图5d为石英棒301置于照明系统光路中的照明系统实施简图；
[0029]图6a、6b、6c、6d、6e为本发明石英棒配合锥形棱镜调整光束尺寸的示意图，其中图6a、6b、6c、6d分别为将石英棒201、202、203、204置于照明系统光路中时，照明系统中从石英棒出射端出射的光线高度随石英棒孔径比不同的变化。图6e为石英棒出射的光线经过锥镜调整的示意图；
[0030]图7a、7b、7c所示为可用于本发明的锥形棱镜结构形式，其中图7a为正负锥形棱镜调节光束高度的示意图，图7b所示为两个正锥以第一种方式调节光束高度的示意图，图7c所示为两个正锥调节以第二种方式光束高度的示意图；
【具体实施方式】
[0031]下面结合附图和具体实施例对本发明的【具体实施方式】作进一步详细地描述。
[0032]本发明能用简单的方法实现多档相干因子变换，简化变焦镜组，提高曝光效率。
[0033]本发明首先利用两端口径比不同的多根石英棒，通过控制装置使特定的石英棒以不同的方式置于照明系统光路上参与照明系统相干因子调节，可实现多档数值孔径，即相干因子的变化。再利用锥形棱镜来改变光束的整体高度，增大相干因子的可调范围。与仅通过变焦镜组配合锥形棱镜组来调整照明系统相干因子，这种方法调节时仅需调节一次石英棒控制装置，控制结构和过程都更简单，并且可以获得多档相干因子。控制装置通过高精度旋转台驱动，可以达到较高的旋转精度。
[0034]衡量一个光学系统收集光线的能力是拉氏不变量:
[0035]L = nhu (I)
[0036]式中n、h和u分别表示介质折射率、物高以及视场角；
[0037]由于式(I)是对小角度的光学系统的近似，在大角度系统中采用sinu代替U，可以获得更接近真实系统的拉氏不变量。根据拉氏不变量在石英棒入射端和出射端不变可得到:
[0038]hnsinu = h' n/ sinu' (2)[0039]h、n、u分别表示石英棒入射端口径、入射端介质折射率以及入射端边缘光线的角度；h'、n'、u'分别表示石英棒出射端口径、出射端介质折射率以及出射端边缘光线的角度。
[0040]利用石英棒端口的直径D代替式中的h，在本系统的说明中更为方便。石英棒两端的拉格朗日不变量不变，nsinu即为系统的数值孔径(NA)，即:
[0041]D1NA1=D2NA2 (3)
[0042]式中D1,NA1，为石英棒入射端的口径和入射数值孔径，D2，NA2为出射端的直径和出射数值孔径。
[0043]石英棒的出射端面是入射端面直径的k倍，即DfkD1，由上述公式可得NA1=IcNA2, SP出射端的数值孔径是入射端数值孔径的1/k。
[0044]图4和图5给出了本发明实施例的照明系统相干因子调整示意图。本发明包括:穿过照明系统中各元件中心的照明系统光轴08，衍射元件01位于照明系统的前端，用于改变入射光束的形状；聚光镜组02，负责会聚由衍射元件01整形后的光束到石英棒的入射端面附近；控制装置03，用来固定不同口径比的石英棒301a、石英棒302b、石英棒303c和石英棒304d，并通过沿垂直于光轴的旋转轴平移或者绕旋转轴转动控制石英棒在照明系统中的位置；准直镜组和锥形棱镜组成的模块04，负责将光束准直，再调整光束的高度。复眼透镜阵列05，将经过调整并准直了的光束分解为多个二级光源，并通过复眼成像系统06均匀照明掩模面07 ;在照明系统中将复眼整列透镜05的前表面定义为光瞳面09。光束在经过衍射元件01，聚光镜组02，石英棒03，锥形棱镜组和准直镜组04以后，在光瞳面09上获得由衍射元件01整形成的如图2中所示的光瞳形状。
[0045]本实施例中石英棒301 —端口径是6mm,另一端口径是IOmm,石英棒301沿Z轴方向的长度为50mm。
[0046]假设光束经衍射元件01整形，再由聚光镜02汇聚后，在301石英棒的入射端面的数值孔径为0.05。
[0047]图4a中石英棒301出射端的口径是入射端口径的1.67倍，由于聚光镜的数值孔径为0.05，由公式(3)可得石英棒出射端的数值孔径为0.03。
[0048]定义相干因子O为照明系统的数值孔径与投影光学系统的数值孔径之比，表示为:
[0049]O =NAin/NApo (4)
[0050]由上式可以看出，当投影光学系统的物方数值孔径固定时，调整照明系统的像方数值孔径就能调整照明系统的相干因子。
[0051]沿旋转轴移动控制装置03可以调节照明系统的像方数值孔径。除了石英棒301外控制装置02中还固定其它了 3根石英棒，分别为302，303和304。其余三根石英棒的一端口径也都为6mm,另一端的口径分别为9mm, 8mm, 7mm。石英棒的两个端面都为正方形。为了保证调节的便利性并且相邻的石英棒彼此不影响，相邻两根石英棒的中心的距离都为15mm。
[0052]将图4a中的控制装置沿负X轴方向移动15mm，将石英棒302置于照明系统光路中，如图4b所示。石英棒的入射端口径为6mm，出射端的口径为9mm。入射端的数值孔径仍为0.05，出射端的数值孔径变为0.0333。
[0053]将图4b中的控制装置沿负X轴方向移动15mm，将石英棒302置于照明系统光路中，如图4c所示。石英棒的入射端口径为6mm，出射端的口径为8mm。入射端的数值孔径仍为0.05，出射端的数值孔径变为0.0375。
[0054]将图4c中所不的控制装置沿负X轴方向移动15mm,将石英棒302置于照明系统光路中，如图4d所示。石英棒的入射端口径为6mm，出射端的口径为7mm。入射端的数值孔径仍为0.05，出射端的数值孔径变为0.0429。
[0055]把控制装置绕着其旋转轴转180°，将石英棒的两端对调后，此时石英棒304在光路中，如图5a所示。入射光的数值孔径仍为0.05，入射端口径为7mm，出射端口径为6mm，出射端的数值孔径为0.0583。
[0056]将图5a中的控制装置沿X轴正方向移动15mm，石英棒303置于光路中，如图5b所示。石英棒的入射口径为8mm,出射口径为6mm。入射光的数值孔径仍为0.05,出射端数值孔径为0.0667。
[0057]将图5b中的控制装置沿X轴正方向移动15mm，石英棒302置于光路中，如图5c所示。石英棒的入射口径为9mm,出射口径为6mm。入射光的数值孔径仍为0.05,出射端数值孔径为0.075。
[0058]将图5c中的控制装置沿X轴正方向移动15mm，石英棒302置于光路中，如图5d所示。石英棒的入射口径为IOmm,出射口径为6mm。入射光的数值孔径仍为0.05,出射端数值孔径为0.083。
[0059]准直后的光束高度与入射光数值孔径成线性关系:随着入射光数值孔径增大，准直后的光束高度也增加。
[0060]将照明系统设计成:当石英棒出射端的数值孔径为0.03时，准直后的光束与锥形棱镜的口径比值约为0.27。由于锥形棱镜402的通光尺寸决定了复眼透镜阵列05的通光区域，锥镜间隔为Omm时，光束在复眼透镜阵列05上的高度与其通光口径的比值也近似为0.27。
[0061]照明系统像方数值孔径由光束在复眼透镜阵列05上的入射高度决定:不同入射高度的光线在掩模面上的数值孔径不同并且成比例。当光线的入射高度正好等于复眼透镜阵列的有效通光口径时，光线在掩模面上的数值孔径为照明系统的理论数值孔径最大值，在光刻系统中该值等于投影光学系统的物方数值孔径。
[0062]入射光束以0.27的相对口径入射到复眼透镜阵列05上时，其在掩模面上的数值孔径与照明系统最大数值孔径的比值也为0.27，由公式(4)可以得出照明系统的相干因子为 0.27。
[0063]将图4a中的控制装置沿X轴负方向移动15mm，石英棒303置于光路中，如图4b所示，照明系统对应的相干因子为0.3。
[0064]将图4b中的控制装置沿X轴负方向移动15mm，石英棒303置于光路中，如图4c所示，照明系统对应的相干因子为0.34。
[0065]将图4c中的控制装置沿X轴负方向移动15mm，石英棒303置于光路中，如图4d所示，照明系统对应的相干因子为0.39。
[0066]将图4d中控制装置旋转180°后，照明系统结构如图5a所示，此时照明系统的相干因子为0.53。
[0067]将图5a中的控制装置沿X轴正方向移动15mm，照明系统如图6b所示，照明系统对应的相干因子为0.6。
[0068]将图5b中的控制装置沿X轴正方向移动15mm，照明系统如图6c所示，照明系统对应的相干因子为0.675。
[0069]将图5c中的控制装置沿X轴正方向移动15mm，照明系统如图6d所示，照明系统对应的相干因子为0.75。
[0070]由上述的调节过程可知:仅调节控制装置即可以获得8档相干因子。
[0071]锥形棱镜调整光束高度的原理如图6所示。假设锥面的半锥角为9，材料折射率为n，光线平行于光轴入射到锥面上，光线相对于锥面出射的角度0 ’为:
[0072]9 ' = arcsin (n*sin 0 ) (5)
[0073]出射光线与光轴的夹角为:
[0074](J) = 0 ' - 0 (6)
[0075]光束变化的高度为Ah=Al*C0Sc]5，其中Al为锥形棱镜402a和402b之间的间隔。为了确保光能无损失锥形，棱镜的半口径应该大于准直镜组的像高。如图6所示，锥形棱镜402的间隔大小由石英棒的出射光数值孔径决定。石英棒的出射光数值孔径越大，保证光能不损失的前提下，锥形棱镜的可移动间隔就越小，相应的相干因子可调范围也就越小。
[0076]上述获得的8档相干因子都是在锥形棱镜402的间隔为0时获得的，改变锥形棱镜402的间隔也能改变系统的相干因子。对于相干因子0.27的照明系统，调整锥形棱镜402的间隔，改变光束的高度可以使相干因子在[0.27，0.9]的范围内连续变化；当相干因子为0.3时，调整锥形棱镜402的间隔，改变光束的高度可以使相干因子在[0.3，0.9]的范围内连续变化；当相干因子为0.34时，调整锥形棱镜402的间隔，改变光束的高度可以使相干因子在[0.34，0.9]的范围内连续变化；当相干因子为0.34时，调整锥形棱镜402的间隔，改变光束的高度可以使相干因子在[0.39，0.9]的范围内连续变化；
[0077]旋转控制装置后，照明系统的相干因子分别可以在[0.53，0.9]，[0.6，0.9]，[0.675，0.9]和[0.75，0.9]的范围内调节。
[0078]通过调整控制装置03，系统的相干因子有8档变化，再配合上锥形棱镜402，系统的相干因子可以在更大的范围内变化。控制装置由高精度旋转台驱动，可以获得较高的精度。高精度旋转台可绕旋转轴360°旋转，系统中选择最大转速为30°的旋转台，6秒可以完成石英棒端口的对调。
[0079]如图7中所示，锥形棱镜的锥面有向内凹和向外凸的两种，其中锥面向内凹的锥形棱镜为负锥形棱镜，锥面向外凸的锥形棱镜为正锥形棱镜。
[0080]图7a中所示的正负锥形棱镜组成的锥形棱镜组，当锥形棱镜702a与702b之间的空气间隔为0_时，光束尺寸不发生变化。当空气间隔大于0时，光束的高度就会改变。假设锥形棱镜的张角为140°，当光线平行于光轴入射到锥形棱镜上时，光线在锥面上的入射角为20°。在锥面处根据折射定律IifSini1=IVljSini2可知，其中nl、il为锥形棱镜的折射率和光线在锥面上的入射角，n2、i2为空气的折射率和光线在空气中的出射角。I1为20。假设锥形棱镜的折射率为1.5608，可以算出i2=32.25°，出射光线与光轴的夹角i3=i2-(90-140/2) =12.25°。两个锥形棱镜的间隔为L，光线经过负锥形棱镜后相对于光轴的出射高度为，在正锥形棱镜上的高度为h2,Vh1=Ltana3)。假设锥形棱镜的口径为D，当光束以D/2的高度入射时，当光束充满正锥形棱镜的通光口径时，两个锥形棱镜的间隔 L=D/ (2*tan (i3))。
[0081]图7b和7c中所示的两个正锥形棱镜组成的锥形棱镜组，必须使平行于光轴入射的最外延光束在光轴上会聚后经过位置靠后的正锥形棱镜才能被准直。两个锥形棱镜的间隔同样为L，光线经过负锥形棱镜后相对于光轴的出射高度为Ii1，在正锥形棱镜上的高度为h2。假设锥形棱镜的半口径为D，当光束以D/2的高度入射时，Ii2-1i1=I tana3)-D/2，入射光束被以光轴为对称轴上下调换，当光束充满正锥形棱镜的通光口径时，两个锥形棱镜的间隔 L=3*D/ (2*tan (i3))。
[0082]由此可见，同样将光束的高度调整D/2时，两个正锥形棱镜的轴向间隔要比正负锥形棱镜配合时的轴向间隔大了 D/tan(i3)，增加了照明系统的轴向长度，但是正锥形棱镜的可加工性又优于负锥形棱镜，所以两种方案各有优点。
[0083]采用本发明改 变系统的数值孔径、相干因子简单易行，调节时只需调整石英棒控制装置一次，比变焦配合锥形棱镜的控制结构及过程更简单。
[0084]综上所述，本发明利用旋转控制装置控制两端面积不同的石英棒至于照明系统光路中，操作控制装置将指定的石英棒置于照明系统光路中即可实现数值孔径和曝光视场的变换。
[0085]相对于变焦镜组配合锥形棱镜调整照明系统的相干因子的方法，本发明通过高精度旋转台驱动控制装置，使不同的石英棒置于光路中调节照明系统的相干因子，可达到的精度高。单独通过石英棒调节系统的数值孔径、相干因子时，可获得多档变化。再配合上锥形棱镜就可以实现更大范围的相干因子调整，照明系统结构简单，成本低，效率高。
[0086]本发明未详细阐述部分属于本领域公知技术。
[0087]以上所述，仅为本发明部分【具体实施方式】，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本领域的人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。
【权利要求】
1.一种深紫外光刻照明系统，其特征在于:首先将穿过照明系统各组件中心的虚拟直线定义为系统的光轴，沿Z轴正方向为光轴的正方向，照明系统各兀件的中心都在光轴上；所述照明系统包括: 衍射元件:位于照明系统的前端照明光路上，将入射光束整形成对应的形状，在光瞳面上获得相应形状的能量分布； 聚光镜组，位于照明系统的照明光路上，将经扩束整形得到的平行光会聚到石英棒入射端口附近； 石英棒，位于所述聚光镜组的光路上，聚光镜组出射的光经由所述石英棒的入射端进入，并由其出射端出射；系统中有多根所述石英棒；任意两根石英棒两端的口径比不相同；石英棒控制装置，被安装在照明系统的机械外壳上，用来固定所述多根石英棒，石英棒控制装置有垂直于光轴的旋转轴，石英棒控制装置沿旋转轴移动可以调节石英棒的位置，使指定的石英棒置于照明系统光路中参与调节照明系统的相干因子，还可以绕石英棒控制装置的旋转轴石英棒来调节照明系统的相干因子； 准直镜组:位于控制装置后的照明系统光路上，负责将由石英棒出射的光束准直； 锥形棱镜组:位于准直镜组的照明系统光路上后，由两个锥形棱镜组成，通过调整锥形棱镜的间隔能同时改变光束的内外沿高度，保持光束宽度和角度不变； 复眼透镜阵列:位于锥形棱镜后的光路上，将光束分解为多个子光源，调节照明系统掩模面上的照明均匀性； 复眼成像系统:复眼透镜阵列分解成的多个二级光源通过复眼成像系统照明掩模面；光束经过系统的衍射元件、聚光镜组、石英棒、聚光镜组、锥形棱镜后，在复眼透镜组的前表面形成由衍射元件整形成的特定光瞳形状，此面为系统的光瞳面。
2.根据权利要求1所述的一种深紫外光刻照明系统，其特征在于:所述石英棒两端的口径不同，且两端面都为正方形。
3.根据权利要求1所述的一种深紫外光刻照明系统，其特征在于:所述控制装置由调整精度在微米量级的一维平移台控制轴向移动，由分辨率> 0.0001°，单向重复性>0.0005°，绝对控制精度达到0.01°的高精度旋转台控制转动，控制精度满足照明系统的对准要求。
4.根据权利要求1所述的一种深紫外光刻照明系统，其特征在于:所述锥形棱镜组中的两个棱镜可以是负锥形棱镜配合正锥形棱镜，也可以是正锥形棱镜配合正锥形棱镜；锥面向内凹的锥形棱镜为负锥形棱镜、锥面向外凸的锥形棱镜为正锥形棱镜；正负锥形棱镜配合调整光束时，将负锥形棱镜放置在准直镜组后的照明系统光路上，正锥形棱镜放在负锥形棱镜后；可通过负锥形棱镜向光轴负方向移动或者将正锥形棱镜沿光轴正方向移动的方式来改变光束的高度；当照明系统采用两个正锥形棱镜配合调整光束高度时，两个正锥面的朝向必须相反才能保证光束经过锥形棱镜组后只改变高度而不改变光线的发散角；两个锥形棱镜的锥面的组合方式有:位置靠前的正锥形棱镜正锥面朝光轴负方向而位置靠后的锥形棱镜正锥面朝光轴正方向，或者位置靠前的正锥形棱镜正锥面朝光轴正方向而位置靠后的锥形棱镜正锥面朝光轴负方向。
【文档编号】G03F7/20GK103454865SQ201310400805
【公开日】2013年12月18日 申请日期:2013年9月5日 优先权日:2013年9月5日
【发明者】卢亮, 张海波, 何毅, 林妩媚 申请人:中国科学院光电技术研究所