光学旋转装置以及干涉相位差显微镜的制作方法
【专利摘要】本发明揭露一种光学旋转装置以及干涉相位差显微镜。光学旋转装置包括旋转组件以及驱动机构。旋转组件具有多个驱动槽，其等间距环状排列于旋转组件的侧壁。驱动机构包括驱动凸块，其持续环绕旋转轴转动。光学组件设置于旋转组件，当驱动凸块位于驱动槽内时，驱动凸块推动旋转组件旋转，进而使光学组件间歇性地旋转。
【专利说明】光学旋转装置以及干涉相位差显微镜
【技术领域】
[0001 ] 本发明主要关于一种旋转装置，尤指一种光学旋转装置以及干涉相位差显微镜。【背景技术】
[0002]目前可利用干涉相位差显微镜取得一物体表面的立体影像，以针对半导体上的缺陷提供测量与分析。一般已知的干涉相位差显微镜是利用偏振片旋转，并将偏振片于预定的多个旋转角度静止后，经由影像传感器撷取一物体于不同偏置(bias)上的影像。之后经由适合的影像处理法以及积分计算后，将前述的多个影像形成前述物体表面的立体影像。
[0003]前述偏振片的旋转于已知技术上是经由步进马达来控制。通过间歇性地驱动步进马达来使偏振片旋转，并停止至预定的旋转角度。然而，要将偏振片精确的停止于特定的旋转角度上，需要经过复杂的控制，增加了制作上的困难度。此外，由于需控制步进马达间歇性的旋转，因此无法进一步提高步进马达的旋转速度，使得对于物体的影像撷取的速度较慢，增加了整体干涉相位差显微镜的检测时间。
【发明内容】
[0004]本发明的目的为提供一种光学旋转装置以及干涉相位差显微镜，可增加偏振片或是检偏镜等光学组件的旋转速度，并可精确的停在预定的旋转角度，以减少整体干涉相位差显微镜的检测时间。
[0005]为了达到上述的目的，本发明提供了一种光学旋转装置，该光学旋转装置包括一旋转组件以及一驱动机构。旋转组件具有一中心孔、多个驱动槽以及一周缘侧壁，其中中心孔位于旋转组件的中央，驱动槽等间距环状排列于周缘侧壁。驱动机构包括一旋转座、一驱动组件、一马达以及一驱动凸块。马达持续地驱动驱动组件旋转，且驱动凸块设置于旋转座上。其中光学组件设置于中心孔，当驱动凸块位于驱动槽内时，驱动凸块推动旋转组件，进而使光学组件间歇性地旋转。
[0006]为了达到上述的目的，本发明提供了一种干涉相位差显微镜，包括前述的光学旋转装置、一光源、一光学组件、一物体、一影像传感器、以及一干涉相位差棱镜。光源产生一光束，且所述的光束沿一行进路线行进。光学组件设置于光学旋转装置的中心孔，且位于行进路线上。物体以及一影像传感器位于行进路线上。干涉相位差棱镜，位于物体以及影像传感器之间。每当光学组件静止时，影像传感器感测照射于影像传感器上的光束，并形成一影像号。
[0007]综上所述，本发明的光学旋转装置可于马达持续地驱动驱动组件旋转的情况下间歇性地旋转光学组件。由于马达不需间歇性地转动，因此可大幅简化对于马达的精确控制，亦可提高马达运转速度，减少了整体干涉相位差显微镜的检测时间。另外，通过旋转组件以及驱动机构的配合，光学组件亦可精确的停止于预定的旋转角度上。
【专利附图】
【附图说明】[0008]图1为本发明的第一实施例的干涉相位差显微镜的示意图；
[0009]图2为本发明的光学旋转装置的立体图，其中一光学组件设置于光学旋转装置上;
[0010]图3为本发明的光学旋转装置分解图，其中光学组件设置于光学旋转装置上；
[0011]图4至图7为本发明的光学旋转装置俯视图，其中一光学组件设置于旋转组件，驱动凸块持续转动，并带动旋转组件间歇性地转动；
[0012]图8为本发明的第二实施例的干涉相位差显微镜的示意图；
[0013]图9为本发明的第三实施例的干涉相位差显微镜的示意图；
[0014]图10为本发明的第四实施例的干涉相位差显微镜的示意图；
[0015]图11为本发明的第五实施例的干涉相位差显微镜的示意图；
[0016]图12为本发明的第六实施例的干涉相位差显微镜的示意图；
[0017]图13为本发明的第七实施例的干涉相位差显微镜的示意图；以及
[0018]图14为本发明的第八实施例的干涉相位差显微镜的示意图。
[0019]【主要组件符号说明】
[0020]干涉相位差显微镜1、la、lb、lc、Id、le、If、Ig ;光源 10 ；
[0021]投光镜组20;
[0022]滤镜21 ；
[0023]聚光镜22 ；
[0024]偏振片(光学组件)23 ；
[0025]波片24 ；
[0026]取像镜组30 ；
[0027]分光镜31 ；
[0028]干涉相位差棱镜32 ；
[0029]物镜33 ；
[0030]检偏镜(光学组件)34;
[0031]成像镜35;
[0032]波片36 ；
[0033]反射镜37 ；
[0034]干涉相位差棱镜38 ；
[0035]聚焦透镜39 ；
[0036]物体40 ；
[0037]影像传感器50 ；
[0038]光学旋转装置60 ；
[0039]基座61;
[0040]环形孔611;
[0041 ]孔壁 612 表面 613 ;
[0042]周壁614;
[0043]锁孔615;
[0044]旋转组件62 ；[0045]中心孔621;
[0046]孔壁6211;
[0047]驱动槽622 ；
[0048]内凹弧面623;
[0049]表面624 ；
[0050]端部6231 ；
[0051]驱动机构63;
[0052]驱动组件631;
[0053]圆弧区段6311;
[0054]内凹区段6312;
[0055]驱动凸块632;
[0056]旋转座633 ；
[0057]马达634 ；
[0058]驱动轴635 ；
[0059]指标侦测器64 ；
[0060]本体641 ；
[0061]固定组件642;
[0062]指针组件65 ；
[0063]数据处理模块70 ；
[0064]基准线Al ；
[0065]旋转轴AX1、AX2;
[0066]圆心Cl ；
[0067]第一排列方向Dl;
[0068]第二排列方向D2;
[0069]第一旋转方向Rl;
[0070]第二旋转方向R2。
【具体实施方式】
[0071]图1为本发明的第一实施例的干涉相位差显微镜I的示意图。于本实施例中，干涉相位差显微镜I为一反射式显微镜，干涉相位差显微镜I包括一光源10、一投光镜组20、一取像镜组30、一物体40、一影像传感器50、一光学旋转装置60、以及一数据处理模块70。
[0072]光源10可为一发光二极管、一激光二极管、或是一灯泡，用以产生一光束，光束的中心波长可为55nm，频宽20nm。前述的光束沿一行进路线行进。投光镜组20、取像镜组30、物体40、以及影像传感器50均设置于前述光束的行进路线上。
[0073]投光镜组20包括一滤镜21 (flter)、一聚光镜22 (collection lens)、一光学组件23、以及一波片24。滤镜21、聚光镜22、偏振片23、以及波片24沿一第一排列方向Dl直线排列，且分别垂直于第一排列方向D1。由光源10产生的光束先照射至投光镜组20，并可经过投光镜组20的滤镜21、聚光镜22、偏振片23、以及波片24等。
[0074]光学组件23，例如偏振片，邻近于光源10，并置于光学旋转装置60上，并经由光学旋转装置60间歇性地转动，因此，光束穿透偏振片23后由于偏振片23可产生不同相位的偏极光。于本实施例中，波片24可为四分之一波片(QffP)。
[0075]取像镜组30包括一分光镜31 (beam splitter)、一干涉相位差棱镜32(differential interference contrast prism, DIC prism)、一 物镜 33(obj ectivelens)、一检偏镜34 (analyzer)、以及一成像镜35 (imaging lens)。分光镜31、干涉相位差棱镜32、物镜33、检偏镜34、以及成像镜35沿一第二排列方向D2直线排列，且分别垂直于第二排列方向D2。分光镜31位于影像传感器50以及干涉相位差棱镜32之间，干涉相位差棱镜32位于物体40以及影像传感器50之间，检偏镜34邻近于影像传感器50，且检偏镜34位于成像镜35与分光镜31之间。成像镜35位于检偏镜34与影像传感器之间。
[0076]光束穿过投光镜组20的波片24后，经过分光镜31、干涉相位差棱镜32、物镜33至物体40。光束进入分光镜31由沿第一排列方向Dl行进改变为沿第二排列方向D2行进，换句话说，光束进入分光镜31后以90度朝向干涉相位差棱镜32反射。光束进入干涉相位差棱镜32后被分为两道光束(其可为互相垂直的偏振光(Ο-ray及E-ray)，并形成一干涉系统)通过物镜33而到达物体40上，前述的两道光束经由物体40反射后，再经过物镜33、干涉相位差棱镜32、分光镜31、检偏镜34、成像镜35至影像传感器50而被影像传感器50感测接收。但前述两道光束进入干涉相位差棱镜32时会再度合成为一道光束，并具有物体40的干涉影像信息。前述光束沿第二排列方向D2穿过分光镜31，且经过检偏镜34后产生干涉。
[0077]前述光束穿过投光镜组20和取像镜组30中的各个组件所形成的变化，以及光束经由物体40反射后所形成的变化为一已知技术，于此不再多加解释。
[0078]于本实施例中，每当偏振片23停止旋转时，影像传感器50感测到光束并形成一影像信号，并传送影像信号至数据处理模块70，并且数据处理模块70依据影像信号产生一影像。其中数据处理模块70可为一计算机或微处理器等等。
[0079]图2为本发明的光学旋转装置60的立体图。图3为本发明的光学旋转装置60分解图。图4为本发明的光学旋转装置60俯视图，其中光学组件23固定于光学旋转装置60上，且经由光学旋转装置60间歇性地旋转。光学旋转装置60包括一基座61、一旋转组件62、一驱动机构63、一指针侦测器64以及一指针组件65。
[0080]基座61可为一平板或一开放式壳体，用以容纳旋转组件62与驱动机构63等等。旋转组件62枢接于基座61上，并可于基座61上旋转。旋转组件62具有一中心孔621、多个驱动槽622以及多个内凹弧面623。其中中心孔621位于旋转组件62的中央。于本实施例中，光学组件23固定于中心孔621上。多个驱动槽622以及多个内凹弧面623分别等间距环状排列于旋转组件62的周缘侧壁上，且驱动槽622以及内凹弧面623可为交错排列。然而，驱动槽622的数目并不予以限制，举例而言，可为两个、四个、六个或八个。
[0081]基座61具有一环形孔611,且环形孔611的孔壁612凸出于该基座61的一表面613外。而旋转组件62的中心孔621的孔壁6211亦凸出于该旋转组件62的一表面624夕卜，使旋转组件62的中心孔621的孔壁6211可嵌入基座61的环形孔611内而可旋转者。旋转组件62可为一棘轮结构。
[0082]在一实施例中，驱动槽622可为八个，相对地内凹弧面623亦为八个，两相邻的驱动槽622相隔45度方位角。如图4所示，一基准线Al通过旋转组件62的圆心。驱动槽622位于相对于基准线Al的O度、45度、90度、135度、180度、225度、270度、以及315度的方位角上。于另一实施例中，驱动槽622可为四个，相对地内凹弧面623亦为四个，两相邻的驱动槽622相隔90度方位角，驱动槽622位于相对于基准线Al的O度、90度、180度、以及270度的方位角上。
[0083]驱动机构63包括一驱动组件631、一驱动凸块632、旋转座633以及一马达634。驱动组件631设有一旋转轴AX1，其中驱动组件631以旋转轴AXl为轴心旋转。驱动组件631的周缘侧壁上具有一圆弧区段6311以及一内凹区段6312。且圆弧区段6311的形状(或曲度)对应于内凹弧面623。内凹区段6312的两端连接于圆弧区段6311两端，且朝向驱动凸块632。驱动组件631与驱动凸块632设置于一旋转座633上，且驱动凸块632位于驱动组件631的内凹区段6312内彼此相对应。
[0084]驱动凸块632可为一柱状结构，固定垂直于旋转座633上。驱动凸块632环绕旋转轴AXl旋转。马达634设置于基座61下方。马达634包括一沿旋转轴AXl突出的驱动轴635。驱动轴635透过基座61并固定于驱动组件631上。马达634可以一定速持续旋转，并带动驱动组件631以及驱动凸块632同样以一定速持续旋转。因此，每当驱动组件631旋转至圆弧区段6311而面对旋转组件62的内凹弧面623，旋转组件62不会转动。而当驱动组件631继续旋转至内凹区段6312，而驱动凸块632会因转动进入旋转组件62的驱动槽622中，进而带动旋转组件62转动一段距离，直至驱动凸块632离开驱动槽622，旋转组件62停止旋转。如此不断重复动作，旋转组件62即形成间歇性转动。
[0085]在一实施例中，当驱动凸块632位于驱动槽622内时，驱动凸块632可驱动旋转组件62以一旋转轴AX2为圆心间歇性地旋转，进而使得固定于旋转组件62上的光学组件23间歇性地旋转，并可精确地静止于预定的旋转角度上，在一实施例中，前述的旋转角度可定义为相对于基准线Al的O度、90度、180度、以及270度等方位角。另外，所述的旋转轴AXl平行于旋转轴AX2，且旋转组件62的旋转方向与驱动组件631的旋转方向相反。
[0086]于另一实施例中，驱动凸块632以及内凹区段6312的数目可为两个以上，可视旋转组件62以及驱动组件631的相对尺寸，以及驱动槽622的数目作一调整，并不予以限制。
[0087]指标侦测器64设置于基座61上，且指针组件65固定于旋转组件62上。当指针组件65经过指针侦测器64时，指标侦测器64产生一信号。在一实施例中，指标侦测器64可为一 U型结构，指针组件65可为一金属片，且可为一 Z型结构的金属片。指针侦测器64产生一磁场，当指针组件65经过U型结构内部时，磁场产生变化，指标侦测器64产生一信号至数据处理模块70，借以侦测旋转组件62的转速以及光学组件23的旋转角度。基座61具有一周壁614,并于周壁614上表面上设置有锁孔615。而指标侦测器64具有一本体641及位于本体641两侧的固定组件642，固定组件642可使用螺丝固定于锁孔615内固定。因此，指针侦测器64的U型结构为一侧向开口，使旋转组件62上的指针组件65通过开口时，即产生一信号至数据处理模块70，借以侦测旋转组件62的转速以及光学组件23的旋转角度。
[0088]数据处理模块70耦接于光学旋转装置60的马达634以及指标侦测器64，并耦接于影像传感器50。数据处理模块70可依据信号来判断旋转组件62，并可进一步依据信号来调整马达634的转速。同时，数据处理模块70可依据四个或八个驱动槽622进而设定指针组件65通过指针侦测器64的开口时，即表示已完成四个或八个旋转角度或计算转速。[0089]图5至图7为本发明的光学旋转装置60俯视图，其中光学组件23固定于光学旋转装置60，且位于光束的行进路线上。在一实施例中，驱动组件631以一定速且沿一第一旋转方向Rl持续旋转。于图4中,驱动组件631沿一第一旋转方向Rl持续旋转,但由于内凹弧面623面对驱动组件631的圆弧区段6311，因此旋转组件62无法相对于驱动组件631旋转，而保持静止的状态。此时数据处理模块70可驱动影像传感器50感测照射于影像传感器50的光束，并形成一影像信号，影像传感器50并将前述的影像信号传输于数据处理模块70进行处理。
[0090]由于驱动组件631持续沿旋转方向持续旋转，当驱动凸块632转动至图5中的位置时，驱动凸块632位于驱动槽622的开孔，并开始驱动旋转组件62旋转。于图5至图6的过程中，驱动凸块632位于驱动槽622内，且驱动凸块632由驱动槽622的开孔朝向驱动槽622的底部移动，且驱动凸块632驱动旋转组件62沿一第二旋转方向R2旋转。此时，内凹弧面623的端部6231对应于驱动组件631的内凹区段6312，因此，旋转组件62的内凹弧面623并未被卡固，所以旋转组件62可以转动。
[0091]于图6至图7的过程中，驱动凸块632由驱动槽622的底部朝向驱动槽622的开孔移动。当驱动凸块632位于如图7的位置时，驱动凸块632开始脱离驱动槽622，并停止驱动旋转组件62。此时，内凹弧面623的端部6231面对驱动组件631的圆弧区段6311，旋转组件62停止旋转。之后，光学旋转装置60不断重复图4至图7的位置，因此可使得，驱动机构63能于持续旋转的情况下，使光学组件23间歇性地旋转，进而增加了影像传感器50感测光束的频率。
[0092]每当光学组件23于预定的旋转角度静止时，影像传感器50感测光束，并形成一影像信号，每一影像信号可经由数据处理模块70形成一影像(微分相位差影像)。在一实施例中，光学组件23为一偏振片(于后述的实施例中光学组件23可为一检偏镜),通过马达634的定速旋转，可使光学组件23间歇旋转，并于相对于基准线Al的0°、90°、180°、270°等旋转角度上静止。前述的0°、90°、180°、270°亦可为光学组件(偏振片)23的偏置(bias)角。因此当光学组件23旋转一周后，数据处理模块70可控制影像传感器50于偏振片23静止时取得四影像。
[0093]前述的四个影像可为相位差影像。在一实施例中，可经四幅影像处理法将前述四个相位差影像进行计算，以取得微分相位差信息，再经由线积分(linear integration)还原为一原始像位信息，即可将前述的四个相位差影像合并为物体40的一表面的立体影像，前述的立体影像可包括表面的高度数值，因此可提供物体表面的测量与分析。
[0094]于另一实施例中，依据改变驱动槽622、驱动凸块632的数目以及旋转组件62和驱动机构63可于偏振片(光学组件)23的不同的偏置角取得不同数目的相位差影像，因此可采用不同的影像处理法进行处理。例如于偏置角0°、180°时取得两个微分相位差影像，可利用二幅影像处理法进行处理；于又一例子中可采用六幅影像处理法进行处理；于又一例子中可采用八幅影像处理法进行处理。由于前述的影像处理法均为一已知技术，在此不多作进一步解释。
[0095]图8为本发明的第二实施例的干涉相位差显微镜Ia的示意图。第二实施例与第一实施例的主要差异说明如下。于第二实施例中，投光镜组20不包括波片24，而取像镜组30包括一波片36,位于检偏镜34以及分光镜31之间。[0096]图9为本发明的第三实施例的干涉相位差显微镜Ib的示意图。第三实施例与第一实施例的主要差异说明如下。于第三实施例中，检偏镜(光学组件)34固定于旋转组件62的中心孔621，而非第一实施例的偏振片23固定于旋转组件62的中心孔621。
[0097]图10为本发明的第四实施例的干涉相位差显微镜Ic的示意图。第四实施例与第二实施例的主要差异说明如下。于第三实施例中，检偏镜(光学组件)34，且固定于旋转组件62的中心孔621。
[0098]图11为本发明的第五实施例的干涉相位差显微镜Id的示意图，其中干涉相位差显微镜I为一穿透式显微镜，且偏振片(光学组件)23固定于旋转组件62的中心孔621。第五实施例与第一实施例的主要差异说明如下。于第五实施例中，取像镜组30不包括分光镜31，取像镜组30还包括一反射镜37 (mirror)、一干涉相位差棱镜38、以及一聚焦透镜39 (condenser)。反射镜37用以改变光束的行进方向，亦可选择不设置反射镜37，而将投光镜组20沿第二排列方向D2排列。反射镜37 (mirror)、干涉相位差棱镜38、以及聚焦透镜39沿第二排列方向D2排列。光束穿过投光镜组20的波片24后，经过反射镜37、干涉相位差棱镜38、聚焦透镜39至物体40，并穿透物体40后，再经过物镜33、干涉相位差棱镜32、检偏镜34、成像镜35至影像传感器50。
[0099]图12为本发明的第六实施例的干涉相位差显微镜Ie的示意图。第六实施例与第五实施例的主要差异说明如下。于第六实施例中，投光镜组20不包括波片24，而取像镜组30包括一波片36，位于检偏镜34以及干涉相位差棱镜32之间。
[0100]图13为本发明的第七实施例的干涉相位差显微镜If的示意图。第七实施例与第五实施例的主要差异说明如下。于第七实施例中，检偏镜(光学组件)34固定于旋转组件62的中心孔621，而非第五实施例的偏振片23固定于旋转组件62的中心孔621。
[0101]图14为本发明的第八实施例的干涉相位差显微镜Ig的示意图。第八实施例与第六实施例的主要差异说明如下。于第八实施例中，检偏镜(光学组件)34固定于旋转组件62的中心孔621。
[0102]依据图1、以及图8至图14的实施例可知，本发明的光学旋转装置60可应用于各种反射式或是穿透式干涉相位差显微镜，但不以前述所揭露的干涉相位差显微镜为限，因此可大幅简化各式干涉相位差显微镜的研发和制作。
[0103]综上所述，本发明的光学旋转装置可于马达持续地驱动驱动组件旋转的情况下间歇性地旋转光学组件。由于马达不需间歇性地转动，因此可大幅简化对于马达的精确控制，亦可提高马达运转速度，减少了整体干涉相位差显微镜的检测时间。另外，通过旋转组件以及驱动机构的配合，光学组件亦可精确的停止于预定的旋转角度上。
[0104]本发明虽以各种实施例揭露如上，然而其仅为范例参考而非用以限定本发明的范围，任何熟悉此项技艺者，在不脱离本发明的精神和范围内，当可做些许的更动与润饰。因此上述实施例并非用以限定本发明的范围，本发明的保护范围当视所附的权利要求书所界定的范围为准。
【权利要求】
1.一种光学旋转装置，其特征在于，包括: 旋转组件，具有中心孔、多个驱动槽以及周缘侧壁，其中所述中心孔位于所述旋转组件的中央，所述驱动槽等间距环状排列于所述周缘侧壁；以及驱动机构，包括； 旋转座； 驱动组件，设置于该旋转座上； 马达，持续地驱动所述驱动组件旋转；以及 驱动凸块，设置于所述旋转座上； 其中所述光学组件设置于所述中心孔，当所述驱动凸块位于所述驱动槽内时，所述驱动凸块推动所述旋转组件，进而使所述光学组件间歇性地旋转。
2.根据权利要求1所述的光学旋转装置，其特征在于，所述驱动槽为两个、四个、六个或是八个。
3.根据权利要求1所述的光学旋转装置，其特征在于，所述旋转组件具有多个等间距环状排列于所述侧壁的内凹弧面，且所述多个内凹弧面以及所述多个驱动槽交错排列。
4.根据权利要求3所述的光学旋转装置，其特征在于，所述驱动组件的侧壁具有圆弧区段，且所述圆弧区段的形状对应于所述内凹弧面。
5.根据权利要求1所述的光学旋转装置，其特征在于，所述驱动组件的侧壁具有圆弧区段以及连接于所述圆弧区段两端的内凹区段，且所述内凹区段朝向所述驱动凸块。
6.根据权利要求1所述的光学旋转装置，其特征在于，所述旋转组件以第一旋转轴为圆心旋转，所述驱动组件以第二旋转轴为圆心旋转，所述第一旋转轴平行于所述第二旋转轴，且所述旋转组件的旋转方向与所述驱动组件的旋转方向相反。
7.根据权利要求1所述的光学旋转装置，其特征在于，所述驱动组件以及所述马达以定速持续旋转。
8.根据权利要求1所述的光学旋转装置，其特征在于，所述光学组件为偏振片或检偏镜。
9.根据权利要求1所述的光学旋转装置，其特征在于，还包括指针侦测器以及设置于所述旋转组件的指针组件，其中当所述指针组件经过所述指针侦测器时，所述指针侦测器产生信号。
10.一种干涉相位差显微镜，其特征在于，包括根据权利要求1所述的光学旋转装置，且所述干涉相位差显微镜还包括: 光源，产生光束，且所述的光束沿一行进路线行进； 光学组件，设置于所述光学旋转装置的所述中心孔，且位于所述行进路线上； 物体，位于所述行进路线上； 影像传感器，位于所述行进路线 上；以及 干涉相位差棱镜，位于所述物体以及所述影像传感器之间； 其中每当所述光学组件静止时，所述影像传感器感测到所述光束，并形成影像信号。
11.根据权利要求10所述的干涉相位差显微镜，其特征在于，还包括偏振片，位于所述行进路线上，其中所述偏振片邻近于所述光源，且所述光学组件为检偏镜，邻近于所述影像传感器。
12.根据权利要求10所述的干涉相位差显微镜，其特征在于，还包括检偏镜，位于所述行进路线上，其中所述光学组件为偏振片，邻近于所述光源，且所述检偏镜邻近于所述影像传感器。
13.根据权利要求10所述的干涉相位差显微镜，其特征在于，所述干涉相位差显微镜为反射式显微镜，还包括分光镜，位于所述影像传感器以及所述干涉相位差棱镜之间，其中所述光束被所述物体反射。
14.根据权利要求10所述的干涉相位差显微镜，其特征在于，所述干涉相位差显微镜为穿透式显微镜，其中所 述光束穿透所述物体。
【文档编号】G02B26/06GK103809284SQ201210505467
【公开日】2014年5月21日 申请日期:2012年11月30日 优先权日:2012年11月7日
【发明者】刘定坤, 余昇刚 申请人:财团法人工业技术研究院