专利名称：掩模版白缺陷修补烘烤装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及修补烘烤装置技术领域，尤其涉及一种掩模版白缺陷修补烘烤装置。
背景技术：
掩模版photomask,也称光罩、光学掩模版,常见的掩模版有铬版(chrome mask)、干版(emulsion mask)、菲林(film mask)等,是指在薄膜、塑料或玻璃基体材料上制作各种功能图形并精确定位，以便用于光致抗蚀剂涂层选择性曝光的一种结构。但是，掩模版在生产制造过程中会存在各种缺陷，其中白缺陷的修补通常使用修补剂进行修补，需要将修补剂加热到一定的温度时才能使之固化在进行修补过程中通常采用整版烘烤方式进行加热，而整版烘烤会使得掩模版中未进行修补部分中存在的颗粒物质黏附在掩模版上，导致掩模版整版清洗困难，此外，该种烘烤方式的温度也较难控制且烘烤时间和散热时间也较长。
实用新型内容为此，本实用新型所要解决的技术问题是提供一种掩模版白缺陷修补烘烤装置，以克服掩模版因整版加热后的清洗困难的弊端，同时还便于烘烤温度的控制以及缩短单个缺陷修补烘烤时间。于是，本实用新型提供了一种掩模版白缺陷修补烘烤装置，包括枪式烘烤加热器、用于固定枪式烘烤加热器并可调整其升降的调节固定装置和用于控制枪式烘烤加热器温度的温控电路。其中，所述调节固定装置包括电磁阀和由电磁阀控制的可调节枪式烘烤加热器升降的汽缸。所述枪式烘烤加热器包括加热丝和用于感应枪式烘烤加热器加热温度的温度传感器，加热丝和温度传感器都与温控电路连接。当温控电路为至少两个时，通过模式切换开关进行切换。所述温控电路包括与枪式烘烤加热器中的温度传感器连接的用于进行数据处理的温度控制器、受温度控制器控制的固态继电器，该固态继电器的一端还与枪式烘烤加热器中的加热丝连接，当温度传感器给到温度控制器的温度超过预置温度值时，温度控制器通知固态继电器使其切断加热丝的连接通路，当温度传感器给到温度控制器的温度低于预置温度值时，温度控制器通知固态继电器使其接通加热丝的连接通路。上述温控电路还包括一连接在所述温度控制器和电源之间的声音报警器，当加热
丝加热时间超过预置时间值或者加热温度超出预置温度时，温度控制器通知声音报警器报
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目O本实用新型所述掩模版白缺陷修补烘烤装置，通过使用枪式烘烤加热器、以及对烘烤加热温度进行控制的温控电路，使得对掩模版白缺陷的修补烘烤实现了点对点的烘烤，避免了现有技术中所述因部分修补而使用的整版烘烤，克服了因整版烘烤而带来的烘烤时间长以及掩模版整版清洗困难的弊端，同时，由于温控电路的使用，使得枪式烘烤加热器的烘烤烘烤温度、烘烤时间、以及烘烤报警时间等烘烤参数都可控，实现了掩模版白缺陷修补烘烤装置的可控性。
图I为本实用新型实施例所述动力设备综合报警系统框图；图2为本实用新型实施例所述动力设备综合报警系统具体实现电路图；图3为电磁阀控制电路图。
具体实施方式
下面，结合附图对本实用新型进行详细描述。如图I所示，本实施例提供了一种掩模版白缺陷修补烘烤装置，包括枪式烘烤加热器11、用于固定枪式烘烤加热器并可调整其升降的调节固定装置12和用于控制枪式烘烤加热器温度的温控电路(图中未标示)。如图2所示，其中，枪式烘烤加热器11包括加热丝112和用于感应枪式烘烤加热器加热温度的温度传感器114，加热丝和温度传感器都与温控电路连接。其中，调节固定装置12包括电磁阀(图中未标示)和由电磁阀控制的可调节枪式烘烤加热器升降的汽缸121，图3为电磁阀控制电路图，其主要原理是电磁阀的工作电源由SB1、SB2、SB3三个开关的通断来控制，开关选用不带自锁功能的按键，自锁功能由继电器来实现。其中SBl是汽缸上升按键开关，属于常闭状态；SB2、SB3分别是温度控制器烘烤启动按键、汽缸下降按键，均属于常开状态且两者并联。当不烘烤时，汽缸是出于上升状态，当按下SB2或是SB3，电磁阀通电，汽缸下降，继电器KAl吸合，SB2与SB3的不同之处是SB2不仅是控制电磁阀的通断按键而且还是控制温度控制器烘烤启动按键的开关；当烘烤结束时，SB2温度控制器烘烤启动按键自动断开，电磁阀断电，汽缸上升。SB3汽缸下降按键主要是用于调试烘烤装置过程中控制汽缸的下降。如图2所示，本实施例给出了温控电路的具体实现方式，该电路可以包括至少两个温控电路，本实施例包括两个温控电路。温控电路由模式切换开关Kl进行选择切换，每个温控电路控制不同的烘烤温度，其中温度控制器I用于掩模版白缺陷中针孔类缺陷修补的烘烤，温度控制器2用于掩模版白缺陷中的断线、凹陷类缺陷修补的烘烤。下面以温度控制器I所在回路加热说明。当模式切换开关Kl选择温控控制器I所在回路时，用于进行数据处理的温度控制器I与枪式烘烤加热器中的温度传感器114连接，固态继电器I的不但与温度控制器I连接，还与枪式烘烤加热器中的加热丝112连接，当温度传感器114给到温度控制器I的温度超过预置温度值时，温度控制器I通知固态继电器I使其切断加热丝112的连接通路，令加热丝112断电，不再继续加热；当温度传感器I给到温度控制器I的温度低于预置温度值时，温度控制器I通知固态继电器I使其接通加热丝112的连接通路，令加热丝112接通电源，继续加热。[0023]为了实现声音报警，所述温控电路还包括一连接在所述温度控制器I和电源之间的声音报警器H1，，当加热丝112加热时间超过预置时间值，或者加热温度超出预置温度时，即温度超出设计值偏差范围时，温度控制器I通知声音报警器报警。温度控制器2的连接方式及其实现原理与温度控制器I相同，如图2所述，在此不再重复文字和原理描述。综上所述，本实用新型所述掩模版白缺陷修补烘烤装置，通过使用枪式烘烤加热器、以及对烘烤加热温度进行控制的温控电路，使得对掩模版白缺陷的烘烤实现了点对点的稳定加热，避免了现有技术中所述因部分修补而使用的整版烘烤，克服了因整版烘烤而带来的掩模版整版清洗困难的弊端以及时间长的问题，同时，由于温控电路的使用，使得枪式烘烤加热器的烘烤温度、烘烤时间、以及烘烤报警时间等参数都可控，实现了掩模版白缺陷修补烘烤装置的可控性。以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
权利要求1.一种掩模版白缺陷修补烘烤装置，其特征在于，包括枪式烘烤加热器、用于固定枪式烘烤加热器并可调整其高度的调节固定装置和用于控制枪式烘烤加热器温度的温控电路。
2.根据权利要求I所述的掩模版白缺陷修补烘烤装置，其特征在于，所述调节固定装置包括电磁阀和由电磁阀控制的可调节枪式烘烤加热器高度的汽缸。
3.根据权利要求I所述的掩模版白缺陷修补烘烤装置，其特征在于，所述枪式烘烤加热器包括加热丝和用于感应枪式烘烤加热器加热温度的温度传感器，加热丝和温度传感器都与温控电路连接。
4.根据权利要求I所述的掩模版白缺陷修补烘烤装置，其特征在于，当温控电路为至少两个时，通过模式切换开关进行切换。
5.根据权利要求I至4任意一项所述的掩模版白缺陷修补烘烤装置，其特征在于，所述温控电路包括 与枪式烘烤加热器中的温度传感器连接的用于进行数据处理的温度控制器、受温度控制器控制的固态继电器，该固态继电器的一端还与枪式烘烤加热器中的加热丝连接，当温度传感器给到温度控制器的温度超过预置温度值时，温度控制器通知固态继电器使其切断加热丝的连接通路，当温度传感器给到温度控制器的温度低于预置温度值时，温度控制器通知固态继电器使其接通加热丝的连接通路。
6.根据权利要求5所述的掩模版白缺陷修补烘烤装置，其特征在于，所述温控电路还包括一连接在所述温度控制器和电源之间的声音报警器，当加热丝加热时间超过预置时间值或者加热温度超出预置温度时，温度控制器通知声音报警器报警。
专利摘要本实用新型提供了一种掩模版白缺陷修补烘烤装置，包括枪式烘烤加热器、用于固定枪式烘烤加热器并可调整其高度的固定装置和用于控制枪式烘烤加热器温度的温控电路。本实用新型所述掩模版白缺陷修补烘烤装置，通过使用枪式烘烤加热、以及对烘烤加热温度进行控制的温控电路，使得对掩模版白缺陷修补的烘烤实现了点对点、局部的加热方式，避免了现有技术中所述因部分修补而使用的整版烘烤的缺点，克服了因整版烘烤而带来的烘烤时间、散热时间过长以及影响掩模版整版清洗困难的弊端，同时，由于温控电路的使用，使得枪式烘烤加热器的烘烤温度、烘烤时间、以及烘烤报警时间等烘烤参数都可控，实现了掩模版白缺陷修补烘烤装置的可控性。
文档编号G03F1/72GK202494860SQ20122010645
公开日2012年10月17日 申请日期2012年3月20日 优先权日2012年3月20日
发明者侯广杰, 游定平 申请人:深圳市龙图光电有限公司