基于ccd对位系统的曝光的制造方法

基于ccd对位系统的曝光的制造方法
【专利摘要】本发明公开了一种基于CCD对位系统的曝光机，包括机座，以及设于机座上的自动供收机构、贴合机构，CCD自动对位机构、曝光光源组以及控制装置。本发明通过控制装置的统一控制以及各部件的协调工作，实现全程自动化上下料以及曝光和贴合，连续循环式的输送以及出料方式极大地提高了生产效率，通过CCD自动对位系统的精密对位，取代人工对位方式，不但有效地提高效率，而且能够降低人为因素的影响，从而保证产品的质量，另外本发明采用独特的光源设定，能够稳定地实现紫外平行光的输出，从而保证产品曝光效果，增加产品质量。
【专利说明】基于CCD对位系统的曝光机

【技术领域】
[0001] 本发明涉及机械装置，特别涉及一种基于CCD对位系统的曝光机。

【背景技术】
[0002] 曝光机在电机科技产品上得到广泛的应用，例如：右半导晶元制作的应用、PCB电 路板的应用、薄膜式的晶片电阻等等。曝光机主要用于将电子线路图形显现在产品零件上， 从而得到体积小且多层线路的电子零件产品。现有技术的曝光机仅设置一个输送单位其工 作效率偏低，而且现有曝光光源输出直接照射，造成光束不稳定以及不均匀问题，影响产品 的质量。现有的曝光机机大部分采用激光测距或者光电测距对位，上述的测距方式测距存 在一定的偏差，产品的质量不能够保证。


【发明内容】

[0003] 本发明的目的在于提供一种新型的基于CCD对位系统的曝光机。
[0004] 根据本发明的一方面，提供了一种基于CCD对位系统的曝光机，包括机座，机座内 设置有散热部件，在其顶部设有用于安装工作部件的工作台，在工作台上设有外壳保护工 作部件；工作部件包括如下：自动供收机构，通过设有的机械手实现自动上料，置料以及出 料的功能。贴合机构，贴合机构包括曝光工作台、用于承载初稿的贴合机板以及设于曝光工 作台上的驱动机构，经由驱动机构驱动下，使得曝光工作台夹持工作以及在各方向上移动 位置的调整以及实现曝光与贴合的功能。CCD自动对位机构，实现工件的精准校准。曝光光 源组，曝光光源组设于曝光室内，曝光光源组设有多组光镜组合实现紫光平行光源输出。控 制装置，设定、整合自动供收机构、曝光光源组、C⑶自动对位机构以及贴合机构的运作，以 及监控各部件的工作流程和安全性问题，并反馈相应的指示信号。
[0005] 特别的，曝光光源组以及曝光室的设定包括如下：
[0006] ①、曝光室的整体呈"L"型，在曝光室的横向端下方设有出光口，且横向端的顶部 为斜面，在曝光室的纵向端内部设有灯架以及光镜组合的安装结构，且在纵向端的内部还 设置有散热风扇，曝光室通过支架固定于工作台上。
[0007] ②、曝光光源组包括点光源短弧灯、冷镜、椭圆极光器、积光器、反射镜以及平行反 射镜，点光源短弧灯为汞氙短弧灯，点光源短弧灯的发光源完全置于椭圆极光器内，冷镜斜 设于椭圆极光器的出光口上部，在椭圆极光器一旁设有用于将冷镜反射的光线均勻化的光 学积分器，反射镜以及平行反射设于曝光室的出光口。
[0008] 特别的，C⑶自动对位机构包括影像机构、UVW平台，影像机构以及UVW平台均通过 控制装置控制运行，
[0009] ①、UVW平台安装于贴合机构上，且设有升降伺服马达以及固定气缸，经由升降伺 服马达控制UVW平台的Z轴位移，固定气缸设于UVW平台的两侧，UVW平台还设置有原点光 电开关以及极限光电开关，用于升降伺服马达的原点以及极限位置的检测。
[0010] ②、影像机构包括影像基座以及设于影像基座上的两个成像机构，成像机构包括Y 轴移动机构、X轴移动机构、Z轴移动机构以及CCD光学摄像头所述Y轴移动机构包括固定 于影像基座上的第一步进马达以及与第一步进马达连接的第一活动座，X轴移动机构包括 固定于影像基座上的第二步进马达以及与第二步进马达连接的第二活动座，第二活动座设 于第一活动座上，Ζ轴移动机构包第三步进马达以及与第三步进马达连接的第三活动座，第 三活动座设于第二活动座上，C⑶光学摄像头固定于第三活动座上，C⑶光学摄像头采用上 光源组。
[0011] 特别的，贴合机构，包括曝光工作台、用于承载初稿的贴合机板以及驱动机构，具 体设定如下：
[0012] ①、曝光工作台包括固定于机座上的曝光基座，以及设于曝光基座上的置料平台 和光罩固定座：
[0013] a、曝光基座包括上基座以及下基座，下基座的设置有第一滑轨，上基座设置于第 一滑轨上，下基座还设置有线性马达座以及线性马达，上基座通过线性马达座实现在滑轨 上前后移动，上基座表面还设置有第二滑轨以及联轴槽，线性马达还设置有原点光电开关 以及极限光电开关，用于线性马达的原点以及极限位置的检测；
[0014] b、所述置料平台包括平台机架、置料台伺服马达、与置料台伺服马达连接的伺服 马达联轴器、置料台以及夹持机构：所述平台机架设置于第二滑轨上，所述伺服马达联轴器 设于联轴槽内且与平台机构连接，所述置料台伺服马达安装于上基座，UVW平台设于平台 机架上，置料台上设有上升气缸、夹持定位机构以及高度检测装置，夹持定位机构包括夹持 座、夹持定位爪、与夹持定位爪连接的夹持步进马达，夹持定位爪与夹持步进马达设于夹持 座上，置料台上还设有调整槽，夹持定位爪穿过调整槽，高度检测装置安装于调整槽一侧。
[0015] c、光罩固定座固定于第二滑轨上，且位于置料平台的前方，光罩固定座设有安装 槽。
[0016] ②、贴合机板安装于光罩固定座的安装槽上。
[0017] 特别的，上升气缸设有上升气压监测器、上升气压调节器、下降气压监测器以及下 降气压调节器。
[0018] 特别的，自动供收机构包括储盒机构、输送机构以及收送料移载机构：
[0019] ①、储盒机构包括储盒底座、储盒框座、储盒切换气缸、储盒前后气缸以及储盒升 降气缸，储盒底座上设有第三滑轨，储盒框座设于第三滑轨上且与储盒前后气缸连接，储盒 切换气缸固定于储盒底座上，储盒框座左右各设有用于放置储盒的切换制具，所述两个切 换制具分别用于待加工工件的输送以及加工完成工件的收取，储盒框座上的设有第四滑 轨，切换制具设于第四滑轨上，切换制具与储盒切换气缸连接，储盒升降气缸与切换制具连 接。
[0020] ②、输送机构包括输送架、输送带以及感应马达，输送架固定于工作台上，且两侧 设有用于安装输送带的滚轴，感应马达与输送带连接。
[0021] ③、收送料移载机构包括移载机架、设于移载机架上的第五滑轨取料机构以及用 于取料机构沿第五滑轨滑动的取料步进马达，取料机构包括滑座、升降座、取料夹爪、升降 气缸以及开合气缸，滑座设于第五滑轨上且与取料步进马达连接，滑座上设有第六滑轨，升 降座设于第六滑轨上且与升降气缸连接，取料夹爪固定于升降座上，取料夹爪与开合气缸 连接，通过开合气缸实现取料夹爪的张合从而抓持工件，升降气缸固与卡合气缸均固定于 升降座上。
[0022] 特别的，储盒框座上还设有储盒检测装置，检测装置用于检测框座是否装载储盒， 储盒底座的顶端设有油压缓冲器，油压缓冲器用于储盒框座的切换限位，输送架上设置有 用于检测储盒内是否有工件的感测装置，感测装置与感应马达连接，收送料移载机构还包 括到料检测装置，到料检测装置设于输送架上，且与控制装置连接。
[0023] 特别的，储盒机构包括两个以上储盒机构，两个储盒机构分别设于收送料移载机 构的两侧，输送机构包括两个以上的输送机构，两个输送机构均分别设于储盒机构与收送 料移载机构之间，收送料移载机构包括两个以上的取料机构，取料机构分别安装与升降座 的两侧。
[0024] 特别的，控制装置包括相互连接的人机界面以及控制器，设定、整合自动供收机 构、曝光光源组、(XD自动对位机构以及贴合机构的运作，以及监控各部件的工作流程和安 全性问题，并反馈相应的指示信号至人机界面。
[0025] 基于CCD对位系统的曝光机的工作原理，其工作原理为：首先自动供收机构将带 有工件的储盒固定并将储盒内的工件输入输送带，同时机械手夹紧工件并送至贴合机构 上，贴合机构固定工件后，CCD自动对位机构启动，通过系统的对工件位置的调整，使得工件 能与曝光位置重合，工件位置调整完成后，贴合机构将工件输送至曝光光源组曝光以及进 行贴合，贴合完成后贴合机构复位，机械手将工件取出并输入空的取料储盒内，然后解锁储 盒并送出，即可完成出料步骤。
[0026] 本发明的有益效果：本发明通过控制装置的统一控制以及各部件的协调工作，实 现全程自动化上下料以及曝光和贴合，连续循环式的输送以及出料方式极大地提高了生产 效率，通过CCD自动对位系统的精密对位，取代人工对位方式，不但有效地提高效率，而且 能够降低人为因素的影响，从而保证产品的质量，另外本发明采用独特的光源设定，能够稳 定地实现紫外平行光的输出，从而保证产品曝光效果，增加产品质量。

【专利附图】

【附图说明】
[0027] 图1为本发明的基于CCD对位系统的曝光机的结构示意图。
[0028] 图2为图1中自动供收机构的储盒机构结构示意图。
[0029] 图3为图2中的切换制具的结构示意图。
[0030] 图4为图1中自动供收机构的输送机构结构示意图。
[0031] 图5为图1中自动供收机构的收送料移载机构结构示意图。
[0032] 图6为图1中自动供收机构的曝光光源组结构示意图。
[0033] 图7为图1中自动供收机构的CCD自动对位机构的影像机构结构示意图。
[0034] 图8为图1中的贴合机构的截面示意图。
[0035] 图9为图1中贴合机构的置料平台的结构示意图。
[0036] 图10为图9中的夹持机构结构示意图。
[0037] 图11为本发明的工作原理示意图。

【具体实施方式】
[0038] 下面结合附图对本发明作进一步详细的说明。
[0039] 图1至图2示意性地显示了根据本发明的基于(XD对位系统的曝光机。
[0040] 根据本发明的一方面，提供了一种基于CCD对位系统的曝光机，包括机座1，所述 机座1内设置有散热部件11，在其顶部设有用于安装工作部件的工作台12,在工作台12上 设有外壳保护工作部件，具体的工作部件包括如下：
[0041] 自动供收机构2,包括储盒机构21、输送机构22以及收送料移载机构23,在本实 施例中共设有两个储盒机构21，该储盒机构21分别设于收送料移载机构23的两侧，同样的 配套两个输送机构22,输送机构22设于储盒机构21与收送料移载机构23之间。
[0042] 储盒机构21，如图2及图3所示，包括储盒底座210、储盒框座211、储盒切换气缸 212、储盒前后气缸213以及储盒升降气缸214,储盒底座210上设有第三滑轨2101，储盒框 座211设于第三滑轨2101上且与储盒前后气缸213连接，储盒切换气缸212固定于储盒底 座210上。储盒框座211左右各设有用于放置储盒的切换制具2111，在本实施例中储盒框 座211上共设有两个切换制具2111，储盒框座211的两侧分别设有第四滑轨2112,两个切 换制具2111分别用于待加工工件的输送以及加工完成工件的收取，上述的两个切换制具 2111分别设于第四滑轨2112,切换制具2111与储盒切换气缸212连接，储盒升降气缸214 与切换制具2111连接。储盒框座211上还设有储盒检测装置2113,检测装置用于检测框座 是否装载储盒，储盒底座210的顶端设有油压缓冲器2102,油压缓冲器2102用于储盒框座 211的切换限位。如图4所示，输送机构22包括输送架221、输送带222以及感应马达223， 输送架221固定于工作台12上，且两侧设有用于安装输送带222的滚轴2221，所述感应马 达223与输送带222连接，输送架221上还设置有用于检测储盒内是否有工件的感测装置 224,感测装置224与感应马达223连接。
[0043] 收送料移载机构23,如图5所示，包括移载机架231、设于移载机架231上的第五 滑轨232、取料机构233以及用于取料机构233沿第五滑轨232滑动的取料步进马达234,； 取料机构233包括滑座2331、升降座2332、取料夹爪2333、升降气缸2334以及开合气缸 2335,在本实施例中共收送料移载机构23包括两个取料夹爪2333,取料夹爪2333分别安 装于升降座2332的两侧，滑座2331设于第五滑轨232上且与取料步进马达234连接，滑 座2331上设有第六滑轨，升降座2332设于第六滑轨上且与升降气缸2334连接，取料夹爪 2333固定于升降座2332上，取料夹爪2333与开合气缸2335连接，通过开合气缸2335实 现取料夹爪2333的张合从而抓持工件，升降气缸2334固与卡合气缸均固定于升降座2332 上。收送料移载机构23还包括到料检测装置234,到料检测装置234设于输送架221上，且 与控制装置连接。
[0044] 曝光光源组3,曝光光源组3设于曝光室31内，曝光光源组3设有多组光镜组合实 现紫光平行光源输出。曝光光源组3以及曝光室31的设定包括如下：曝光室31的整体呈 "L"型，在曝光室31的横向端下方设有出光口，且横向端的顶部为斜面32,在曝光室31的 纵向端内部设有灯架以及光镜组合的安装结构，且在纵向端的内部还设置有散热风扇，曝 光室31通过支架固定于工作台12上。曝光光源组3包括点光源短弧灯32、冷镜33、椭圆 极光器34、积光器35、反射镜36以及平行反射镜37,所述点光源短弧灯32为汞氙短弧灯， 所述点光源短弧灯32的发光源完全置于椭圆极光器34内，所述冷镜33斜设于椭圆极光器 34的出光口上部，在椭圆极光器34 -旁设有用于将冷镜33反射的光线均匀化的光学积分 器，反射镜36以及平行反射设于曝光室31的出光口。
[0045] 上述曝光的工作原理为：如图6所示，本实施例中设置的汞氙短弧灯功率可根据 需求设为500W至5KW，其射出的光线平行半角为1.5°，斜射角小于Γ，当汞氙短弧灯发出 光线经由椭圆极光器34的抛物灯罩反射至冷镜33,通过冷镜33将过滤红外光或热源穿透， 同时将可见光反射至积光器35,通过积光器35的工作将分布不均匀的光照进行均匀化，然 后传递至反射镜36上，经由反射镜36反射至平行反射镜37上，最后通过平行反射镜37调 整光线的平行度，使光线最终以90°直射曝光照射面，如此通过增加光源与照射面的距离 以及多组光学器具的配合，确保曝光光线的有效曝光范围内各点接受到的能量以及强度一 致性，从而增加曝光的质量。
[0046] (XD自动对位机构4，实现工件的精准校准。(XD自动对位机构4包括影像机构41、 UVW平台42,所述影像机构41以及UVW平台42均通过控制装置6控制运行，
[0047] UVW平台42安装于贴合机构5上，且设有升降伺服马达421以及固定气缸422,经 由升降伺服马达421控制UVW平台42的Z轴位移，固定气缸422设于UVW平台42的两侧， 所述UVW平台42还设置有原点光电开关以及极限光电开关，用于升降伺服马达421的原点 以及极限位置的检测。
[0048] 影像机构41，如图7所示，包括影像基座411以及设于影像基座411上的两个成像 机构412,成像机构412包括Y轴移动机构、X轴移动机构、Z轴移动机构以及CCD光学摄像 头所述Y轴移动机构包括固定于影像基座411上的第一步进马达413以及与第一步进马达 413连接的第一活动座414, X轴移动机构包括固定于影像基座411上的第二步进马达415 以及与第二步进马达415连接的第二活动座416,第二活动座416设于第一活动座414上， Z轴移动机构包第三步进马达417以及与第三步进马达417连接的第三活动座418,第三活 动座418设于第二活动座416上，C⑶光学摄像头419固定于第三活动座418上，在本实施 例中两个C⑶光学摄像头419采用上光源组4190,为两百万像素的C⑶光学摄像头419， 对位精度误差为±2微米，UVW平台42的移动量X/Y轴误差为±3毫米，角度调整误差为 ±3。。
[0049] 贴合机构5,如图8贴合机构5包括曝光工作台、用于承载初稿的贴合机板54以及 设于曝光工作台上的驱动机构，经由驱动机构驱动下，使得曝光工作台夹持工作以及在各 方向上移动位置的调整以及实现曝光与贴合的功能，具体设定如下：
[0050] 曝光工作台包括固定于机座1上的曝光基座51，以及设于曝光基座51上的置料 平台52和光罩固定座53 :曝光基座51包括上基座511以及下基座512,其中下基座512的 设置有第一滑轨5121，上基座511设置于第一滑轨5121上，下基座512还设置有线性马达 座以及线性马达5122,上基座511通过线性马达5122座实现在滑轨上前后移动，所述上基 座511表面还设置有第二滑轨5111以及联轴槽，所述线性马达5122还设置有原点光电开 关以及极限光电开关，用于线性马达5122的原点以及极限位置的检测；
[0051] 如图9所述，置料平台52包括平台机架521、置料台伺服马达522、与置料台伺服 马达522连接的伺服马达联轴器523、置料台524以及夹持机构：平台机架521设置于第二 滑轨5111上，伺服马达联轴器523设于联轴槽内且与平台机构连接，置料台524伺服马达 522安装于上基座511，UVW平台42设于平台机架521上，其中置料台524上设有上升气缸 5241、夹持定位机构5242以及高度检测装置5243。如图10所示，夹持定位机构5242包括 夹持座52421、夹持定位爪52422、与夹持定位爪52422连接的夹持步进马达52423,夹持定 位爪52422与夹持步进马达52423设于夹持座52421上，上升气缸5241设有上升气压监测 器、上升气压调节器、下降气压监测器以及下降气压调节器。置料台524上还设有，夹持定 位爪52422穿过调整槽5244,高度检测装置5243安装于调整槽5244 -侧。光罩固定座53 固定于第二滑轨5111上，且位于置料平台52的前方，所述光罩固定座53设有安装槽，贴合 机板54安装于光罩固定座53的安装槽上。
[0052] 控制装置6包括相互连接的人机界面61以及控制器，设定、整合自动供收机构、曝 光光源组3、(XD自动对位机构4以及贴合机构5的运作，以及监控各部件的工作流程和安 全性问题，并反馈相应的指示信号至人机界面61。
[0053] 基于CCD对位系统的曝光机的工作流程，其工作原理为：如图11所示，首先自动 供收机构将带有工件的储盒固定并将储盒内的工件输入输送带，同时机械手夹紧工件并送 至贴合机构上，贴合机构固定工件后，CCD自动对位机构启动，通过系统的对工件位置的调 整，使得工件能与曝光位置重合，工件位置调整完成后，贴合机构将工件输送至曝光光源组 曝光以及进行贴合，贴合完成后贴合机构复位，机械手将工件取出并输入空的取料储盒内， 然后解锁储盒并送出，即可完成出料步骤。
[0054] 基于CCD对位系统的曝光机的工作流程，其工作流程为：启动电源，首先储盒前后 气缸213驱动储盒框座211，通过设有的切换制具2111收取待加工的储盒，在储盒框上设有 储盒检测装置2113检测到装载的储盒后，储盒升降气缸214带动切换制具2111上升至输 送机构22 ;设于输送机构22上的到料检测装置234检测到储盒后，通过控制装置6启动收 送料移载机构23,取料步进马达234驱动取料机构233移动至输送机构22上方，输送机构 22通过输送带222将储盒内的工件输送至取料机构233下方，升降气缸2334推动取料夹爪 2333往下移动至工件上，同时开合气缸2335打开取料夹爪2333夹住工件，取料夹爪2333 在升降气缸2334与卡合气缸的配合下将工件输送至置料台524上方，通过置料台524上的 夹持定位机构5242夹住工件，通过置料台伺服马达522将曝光工作台送至C⑶光学摄像头 419的工作区域，通过C⑶光学摄像头419取像通过控制装置6的计算分析并反馈调整的参 数至UVW平台42, UVW平台42根据参数对工件位置进行调整，工件完成位置调整后，置料台 伺服马达522继续将曝光工作台送至曝光室31的出光口上进行曝光，并通过上升气缸5241 进行贴合；完成曝光贴合后，置料台伺服马达522将曝光工作台复位，取料夹爪2333将加工 完成的工件输送至输送机构22上，储盒切换气缸212将推动储盒框座211移动使得收料储 盒移至输送机构22旁，实现储盒的切换，在输送架221上设置有储盒检测装置2113,用于检 测收料储盒内工件的个数，以便更换收料储盒，同样亦用于检测送料储盒内的工件数量，及 时更换储盒以便机械工作的连续性，当收料储盒内填满工件后，切换制具2111即会解锁储 盒，并将其输出工作区域完成自动出料，完成出料步骤。在本实施例中共设置有两个储盒机 构21，通过设置两个储盒机构21能够不间断地输送工以及收取工件，极大地提高了工作效 率。
[0055] 本发明的有益效果：本发明通过控制装置6的统一控制以及各部件的协调工作， 实现全程自动化上下料以及曝光和贴合，连续循环式的输送以及出料方式极大地提高了生 产效率，通过CCD自动对位系统的精密对位，取代人工对位方式，不但有效地提高效率，而 且能够降低人为因素的影响，从而保证产品的质量，另外本发明采用独特的光源设定，能够 稳定地实现紫外平行光的输出，从而保证产品曝光效果，增加产品质量。
[0056] 以上所述仅为本发明的优选实施方式。对于本领域的普通技术人员来说，在不脱 离本发明创造构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，均属于本发明的保护范围。
【权利要求】
1. 基于CCD对位系统的曝光机，其特征在于，包括机座，所述机座内设置有散热部件， 在其顶部设有用于安装工作部件的工作台，在工作台上设有外壳保护工作部件； 所述工作部件包括如下： 自动供收机构，通过设有的机械手实现自动上料，置料以及出料的功能； 贴合机构，所述贴合机构包括曝光工作台、用于承载初稿的贴合机板以及设于曝光工 作台上的驱动机构，经由驱动机构驱动下，使得曝光工作台夹持工作以及在各方向上移动 位置的调整以及实现曝光与贴合的功能； CCD自动对位机构，实现工件的精准校准； 曝光光源组，曝光光源组设于曝光室内，曝光光源组设有多组光镜组合实现紫光平行 光源输出； 控制装置，设定、整合自动供收机构、曝光光源组、C⑶自动对位机构以及贴合机构的运 作，以及监控各部件的工作流程和安全性问题，并反馈相应的指示信号。
2. 根据权利要求1所述的基于CCD对位系统的曝光机，其特征在于，所述曝光光源组以 及曝光室的设定包括如下： ① 、所述曝光室的整体呈"L"型，在曝光室的横向端下方设有出光口，且横向端的顶部 为斜面，在曝光室的纵向端内部设有灯架以及光镜组合的安装结构，且在纵向端的内部还 设置有散热风扇，所述曝光室通过支架固定于工作台上； ② 、所述曝光光源组包括点光源短弧灯、冷镜、椭圆极光器、积光器、反射镜以及平行反 射镜，所述点光源短弧灯为汞氙短弧灯，所述点光源短弧灯的发光源完全置于椭圆极光器 内，所述冷镜斜设于椭圆极光器的出光口上部，在椭圆极光器一旁设有用于将冷镜反射的 光线均匀化的光学积分器，反射镜以及平行反射设于曝光室的出光口。
3. 根据权利要求2所述的基于CCD对位系统的曝光机，其特征在于，所述CCD自动对位 机构包括影像机构、UVW平台，所述影像机构以及UVW平台均通过控制装置控制运行， ① 、所述UVW平台安装于贴合机构上，且设有升降伺服马达以及固定气缸，经由升降伺 服马达控制UVW平台的Z轴位移，所述固定气缸设于UVW平台的两侧，所述UVW平台还设置 有原点光电开关以及极限光电开关，用于升降伺服马达的原点以及极限位置的检测； ② 、所述影像机构包括影像基座以及设于影像基座上的两个成像机构，所述成像机构 包括Y轴移动机构、X轴移动机构、Z轴移动机构以及CCD光学摄像头所述Y轴移动机构包 括固定于影像基座上的第一步进马达以及与第一步进马达连接的第一活动座，所述X轴移 动机构包括固定于影像基座上的第二步进马达以及与第二步进马达连接的第二活动座，所 述第二活动座设于第一活动座上，所述Z轴移动机构包第三步进马达以及与第三步进马达 连接的第三活动座，所述第三活动座设于第二活动座上，所述CCD光学摄像头固定于第三 活动座上，所述(XD光学摄像头采用上光源组。
4. 根据权利要求3所述的基于CCD对位系统的曝光机，其特征在于，所述贴合机构，包 括曝光工作台、用于承载初稿的贴合机板以及驱动机构，具体设定如下： ①、所述曝光工作台包括固定于机座上的曝光基座，以及设于曝光基座上的置料平台 和光罩固定座： a、所述曝光基座包括上基座以及下基座，所述下基座的设置有第一滑轨，所述上基座 设置于第一滑轨上，下基座还设置有线性马达座以及线性马达，所述上基座通过线性马达 座实现在滑轨上前后移动，所述上基座表面还设置有第二滑轨以及联轴槽，所述线性马达 还设置有原点光电开关以及极限光电开关，用于线性马达的原点以及极限位置的检测； b、 所述置料平台包括平台机架、置料台伺服马达、与置料台伺服马达连接的伺服马达 联轴器、置料台以及夹持机构：所述平台机架设置于第二滑轨上，所述伺服马达联轴器设于 联轴槽内且与平台机构连接，所述置料台伺服马达安装于上基座，所述UVW平台设于平台 机架上，所述置料台上设有上升气缸、夹持定位机构以及高度检测装置，所述夹持定位机构 包括夹持座、夹持定位爪、与夹持定位爪连接的夹持步进马达，所述夹持定位爪与夹持步进 马达设于夹持座上，所述置料台上还设有调整槽，所述夹持定位爪穿过调整槽，所述高度检 测装置安装于调整槽一侧； c、 所述光罩固定座固定于第二滑轨上，且位于置料平台的前方，所述光罩固定座设有 安装槽； ②、所述贴合机板安装于光罩固定座的安装槽上。
5. 根据权利要求4所述的基于CCD对位系统的曝光机，其特征在于，所述上升气缸设有 上升气压监测器、上升气压调节器、下降气压监测器以及下降气压调节器。
6. 根据权利要求1所述的基于CCD对位系统的曝光机，其特征在于，所述自动供收机构 包括储盒机构、输送机构以及收送料移载机构： ① 、所述储盒机构包括储盒底座、储盒框座、储盒切换气缸、储盒前后气缸以及储盒升 降气缸，所述储盒底座上设有第三滑轨，所述储盒框座设于第三滑轨上且与储盒前后气缸 连接，所述储盒切换气缸固定于储盒底座上，所述储盒框座左右各设有用于放置储盒的切 换制具，所述两个切换制具分别用于待加工工件的输送以及加工完成工件的收取，所述储 盒框座上的设有第四滑轨，所述切换制具设于第四滑轨上，所述切换制具与储盒切换气缸 连接，所述储盒升降气缸与切换制具连接； ② 、所述输送机构包括输送架、输送带以及感应马达，所述输送架固定于工作台上，且 两侧设有用于安装输送带的滚轴，所述感应马达与输送带连接； ③ 、所述收送料移载机构包括移载机架、设于移载机架上的第五滑轨取料机构以及用 于取料机构沿第五滑轨滑动的取料步进马达，所述取料机构包括滑座、升降座、取料夹爪、 升降气缸以及开合气缸，所述滑座设于第五滑轨上且与取料步进马达连接，所述滑座上设 有第六滑轨，所述升降座设于第六滑轨上且与升降气缸连接，所述取料夹爪固定于升降座 上，所述取料夹爪与开合气缸连接，通过开合气缸实现取料夹爪的张合从而抓持工件，所述 升降气缸固与卡合气缸均固定于升降座上。
7. 根据权利要求6所述的基于CCD对位系统的曝光机，其特征在于，所述储盒框座上还 设有储盒检测装置，所述检测装置用于检测框座是否装载储盒，所述储盒底座的顶端设有 油压缓冲器，所述油压缓冲器用于储盒框座的切换限位，所述输送架上设置有用于检测储 盒内是否有工件的感测装置，所述感测装置与感应马达连接，所述收送料移载机构还包括 到料检测装置，所述到料检测装置设于输送架上，且与控制装置连接。
8. 根据权利要求6所述的基于CCD对位系统的曝光机，其特征在于，所述储盒机构包括 两个以上储盒机构，所述两个储盒机构分别设于收送料移载机构的两侧，所述输送机构包 括两个以上的输送机构，所述两个输送机构均分别设于储盒机构与收送料移载机构之间， 所述收送料移载机构包括两个以上的取料机构，所述取料机构分别安装与升降座的两侧。
9. 根据权利要求1所述的基于CCD对位系统的曝光机，其特征在于，所述控制装置包括 相互连接的人机界面以及控制器，设定、整合自动供收机构、曝光光源组、(XD自动对位机构 以及贴合机构的运作，以及监控各部件的工作流程和安全性问题，并反馈相应的指示信号 至人机界面。
10. 基于CCD对位系统的曝光机的工作原理，其工作原理为：首先自动供收机构将带有 工件的储盒固定并将储盒内的工件输入输送带，同时机械手夹紧工件并送至贴合机构上， 贴合机构固定工件后，CCD自动对位机构启动，通过系统的对工件位置的调整，使得工件能 与曝光位置重合，工件位置调整完成后，贴合机构将工件输送至曝光光源组曝光以及进行 贴合，贴合完成后贴合机构复位，机械手将工件取出并输入空的取料储盒内，然后解锁储盒 并送出，即可完成出料步骤。
【文档编号】G03F9/00GK104111586SQ201310263053
【公开日】2014年10月22日 申请日期:2013年6月27日 优先权日:2013年6月27日
【发明者】喻良岳 申请人:东莞市瑾耀精密设备有限公司